KR20040065680A - 반도체 제조 설비의 버퍼부 - Google Patents

Abstract

본 발명은 본 발명은 반도체 제조 설비의 버퍼부에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 액세스가 4면에서 모두 가능한 반도체 제조 설비의 버퍼부에 관한 것으로 본 발명은 스테이지와, 상기 스테이지의 네 모서리에 형성되고, 그것들에 의해 4방향으로 반송로봇의 아암이 출입가능한 공간을 제공하는 받침블럭들과, 각각의 상기 받침블럭의 상면에 돌출 형성된 그리고 상기 반송로봇의 아암으로부터 반송된 기판을 지지하는 지지돌기들을 포함한다.

Description

반도체 제조 설비의 버퍼부{A BUFFER OF SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION EQUIPMENT}

본 발명은 반도체 제조 설비의 버퍼부에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판의 액세스가 4면에서 모두 가능한 반도체 제조 설비의 버퍼부에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 제조의 핵심적인 공정인 사진평판(Photo-Lithigraphy)공정은 기판의 감광액 도포와 베이크(Bake)및 현상 등을 수행하는 소위 종합 도포 및 현상설비로 구성된 것으로, 별도의 노광장치(Stepper)와 인-라인(In-Line)으로연결되어 반도체 미세 패턴의 형성에 주요한 설비이다.

이처럼, 기판에 대한 포토리소그래피 공정의 각종의 기판처리를 행하기 위한 기판처리장치는, 종래 포토리소그래피 공정중, 노광처리 전후의 각종의 기판처리를 하기 위한 처리유니트와 노광처리를 하기 위한 노광유니트로 나누어져 구성되어 있다. 처리유니트는 레지스트도포, 프리베이크 등의 노광처리전의 각 기판처리나, 현상, 포스트베이크 등의 노광처리후의 각 기판처리를 행하기 위한 스핀코터(spin coater), 스핀 디벨로퍼(spin developer), 베이크유니트(가열판(hot plate)이나 냉각판(cool pate)을 포함하고 있음) 등의 각종 장치나, 처리유니트내에서 기판의 반송 등을 하는 기판반송 로봇 등을 일체적으로 유니트화하여 구성하고 있다.

노광 유니트는 노광을 하기 위한 예컨대, 축소투영노광기(스텝퍼(stepper)) 등의 노광기나, 노광기에서의 노광패턴의 인화를 위한 위치 결정을 하는 얼라인먼트기구, 노광유니트내에서 기판의 반송 등을 하는 기판반송 로봇 등을 일체적으로 유니트화하여 구성하고 있다.

이 장치에 의한 처리순서는, 우선 처리유니트에서 노광처리전의 기판처리가 행하여지며, 다음에 노광유니트에서 노광처리가 행하여지며, 그리고 다시 처리유니트에서 노광처리후의 기판처리가 행하여진다. 따라서, 처리유니트와 노광유니트와의 사이에서 기판을 이송(인계)할 필요가 있고, 이 종류의 장치에 있어서는, 이들유니트사이에서 기판의 이송(인계)을 하기 위한 인터페이스부를 구비하고 있다.

그러나, 기존 인터페이스부에는 기판이 놓여지는 버퍼부(10)가 구비되어 있는데, 이 버퍼부(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 기판( w)의 액세스가 양쪽 방향에서만 가능한 구조로 이루어져 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 기판의 액세스가 4면에서 모두 가능하게 하여 기파 인계를 위한 반송로봇의 작업성 및 생산성을 높일 수 있는 새로운 형태의 반도체 제조 설비의 버퍼부를 제공하는데 있다.

도 1은 기존 스피너 설비에서 사용하고 있는 버퍼부를 개략적으로 보여주는 도면;

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 버퍼부를 보여주는 도면;

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 버퍼부가 적용된 스피너 시스템을 보여주는 평면 및 측면 구성도이다.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*

100 : 버퍼부

110 : 스테이지

112 : 받침블록

114 : 지지돌기

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 반도체 제조 설비에서 반송로봇들간의 기판 인계를 위한 버퍼부는 스테이지와, 상기 스테이지의 네 모서리에 형성되고, 그것들에 의해 4방향으로 반송로봇의 아암이 출입가능한 공간을 제공하는 받침블럭들과, 각각의 상기 받침블럭의 상면에 돌출 형성된 그리고 상기 반송로봇의 아암으로부터 반송된 기판을 지지하는 지지돌기들을 포함한다.

본 발명의 실시예에 따르면 상기 스테이지는 다단으로 적층되어 이루어진다.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 및 도 3b를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 버퍼부를 보여주는 도면이다. 도 3a 및 도 3b는 본 발명의 인터페이스가 적용된 스피너 시스템을 보여주는 평면 및 측면 구성도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 버퍼부(100)는 스테이지(110)와, 이 스테이지(110)의 네 모서리에 형성된 받침블럭(112)들과, 각각의 받침블럭의 상면에 돌출 형성된 그리고 기판을 지지하는 지지돌기(114)로 이루어지며, 이러한 구성이 다단으로 적층된 구조를 갖는다.

이러한 구성을 갖는 본 발명의 버퍼부(100)는 받침블럭(112)들 사이로 반송로봇의 아암이 출입할 수 있는 공간이 4방향 모두 제공되며, 실질적으로 기판(w)를 받치는 지지돌기(114)들이 기판의 중심부분이 아닌 기판 가장자리를 지지하기 때문에, 4방향 모두에서 기판의 액세스(로딩/언로딩)가 가능한 것이다.

도 3a 및 도3b는 본 발명의 버퍼부(100)가 적용된 스피너 설비(200)의 일 예를 나타낸 것으로서, 인덱서(210), 처리 유니트(220), 인터페이스(230), 노광유니트(240) 등을 구비하고 있다. 상기 처리 유니트(220)의 일측에는 인덱서(210)가 위치되며, 타측에는 노광유니트(240)가 위치되고, 처리유니트(220)와 노광유니트(240) 사이에는 인터페이스(230)가 설치된다.

상기 인덱서(210)는 복수매의 기판이 담겨진 캐리어의 반입/반출테이블(212)들과, 기판 이송을 위한 기판 반입/반출 로봇(214)을 구비하여 구성된다.

상기 처리유니트(220)는 제1처리부(222)와 제2처리부(224) 그리고 제1기판반송로봇(226)을 갖는 기판반송로(228)를 갖는다. 상기 제1처리부(222)와 제2처리부(224)는 상하 적층으로 구획되어 이루어지며, 이들 처리부(222,224)에는 각각 레지스트 도포를 위한 스핀코터, 현상을 위한 스핀 디벨로퍼, 프리 베이크, 포스트 베이크, 에지노광유니트, 등이 각 처리 순서에 맞게 복수개씩 적층구조로 배치되어 있다.

한편, 상기 기판반송로(228)는 제1처리부(222) 중앙을 가로질러 배치된다. 도시되지는 않았지만 상기 제2처리부(224)의 중앙에도 기판반송로가 배치됨은 물론이다. 상기 기판반송로(228)에 배치된 제1기판반송로봇(226)은 기판을 재치하여 지지하는 아암을 갖으며, 이 제1기판반송로봇(226)은 상기 제1처리부(222)의 처리장치에 대한 액세스(각 장치에 대한 기판의 반입/반출 동작)나, 기판의 반송 등을 행한다.

한편, 상기 인터페이스(230)에는 도 2에 도시한 버퍼부(100)와, 다수의 반송로봇들(232)이 배치된다. 이들 반송로봇들(232)은 버퍼부 및 노광 유니트에 대한 액세스 및 기판의 반송 등을 행한다.

예컨대, 기판은 인덱서-제1처리부에서 도포공정(열처리-PR도포-열처리)수행-인터페이스(버퍼부에 액세스)- 노광유니트에서 노광공정 수행-인터페이스(버퍼부에 액세스)-제2처리부에서 현상공정(열처리-현상-열처리) 수행-인덱서를 순서대로 거치면서 포토리소그라피 공정 처리가 완료된다.

다음에, 상기 구성을 갖는 스피너설비에서의 기판처리 동작을 설명한다.

우선, 처리전 기판(W)이 복수매 수납된 캐리어(C)는 인덱서(210)의 반입/반출 테이블(212)의 소정위치에 재치된다. 상기 인덱서(210)의 기판반입/반출 로봇(214)은 반입/반출 테이블(212)에 재치된 캐리어(C)에서 기판(W)을 1장씩 꺼내어 제1처리부(222)내의 기판반송로봇(226)에 순차 인도한다. 그리고, 도포처리가 행하여지기까지의 각 기판처리를 상기 제1처리부내에서 행하여진다. 이렇게, 제1처리부(222)에서 도포공정을 마친 기판은 상기 제1기판반송로봇(226)에 의해 상기 인터페이스(230)의 버퍼부(100)에 수납된다. 노광처리를 위한 기판들은 상기 버퍼부(100)에 수납된 상태로 대기하게 된다. 상기 버퍼부(100)에서 수납되어 있는 기판들은 상기 인터페이스(230)의 반송로봇(232)에 의해 상기 노광유니트(240)로 반송되고, 노광을 마친 기판들은 다시 버퍼부(100)에 수납된다. 이렇게 수납된 기판은 현상공정을 위해 상기 제2처리부(224)로 이송되어 현상공정을 진행하게 되고, 현상공정을 마친 기판은 상기 인덱서(210)로 언로딩된다.

여기에서, 상기 인터페이스(230)에 배치된 버퍼부(100)에서는 4면으로 기판의 액세스가 가능하기 때문에, 반송로봇을 다양한 방향에 배치시킬 수 있는 이점이 있다.

상기한 실시예는, 반도체 디바이스제조의 포토리소그래피공정에 사용되는 스피너 시스템에 관계된 것이었는데, 본 발명은 다른 처리 시스템에도 적용가능하며, 기판도 반도체 기판에 한정하지 않고, LCD 기판, 글라스기판, CD 기판, 포토마스크, 프린트기판, 세라믹 기판 등에 적용할 수가 있다.

이상에서, 본 발명에 따른 스피너 시스템의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

이와 같은 본 발명을 적용하면, 좌우 방향뿐만 아니라 전후 방향으로의 기판 액세스가 가능함으로써, 기판의 반송 경로를 자유롭게 설계할 수 있을 뿐만 아니라, 보다 빠른 공정 진행 효과를 얻을 수 있는 이점이 있다.

Claims (2)

1. 반도체 제조 설비에서 반송로봇들간의 기판 인계를 위한 버퍼부에 있어서:

   스테이지와, 상기 스테이지의 네 모서리에 형성되고, 그것들에 의해 4방향으로 반송로봇의 아암이 출입가능한 공간을 제공하는 받침블럭들과, 각각의 상기 받침블럭의 상면에 돌출 형성된 그리고 상기 반송로봇의 아암으로부터 반송된 기판을 지지하는 지지돌기들을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 버퍼부.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 스테이지는 다단으로 적층되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 버퍼부.