KR20040064842A - 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드(cathode pad) 제조방법에 관한 것으로, 유기 전기발광 소자를 밀봉하는 실(seal)면 안쪽 부위 캐소드 패드와 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드에 의해 연결되는 보조전극을 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작으면서 전자빔 증착방법(electron beam evaporation)에 의해 증착가능한 물질로 형성함으로써, 유기 전기발광 소자 구동시 저항에 따른 전압차이를 줄여 전력소모를 줄이고 전류량에 관계없이 캐소드 라인 간의 상대적인 전압차이도 줄여 라인 간의 휘도 차이를 없앨 수 있다.
Description
본 발명은 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드(cathode pad) 제조방법에 관한것으로, 더욱 상세하게는 유기 전기발광 소자를 밀봉하는 실(seal)면 안쪽 부위 캐소드 패드와 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드에 의해 연결되는 보조전극을 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작으면서 전자빔 증착방법 (electron beam evaporation)에 의해 증착가능한 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 캐소드 패드 제조방법에 관한 것이다.
도 1은 일반적인 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드 구성을 설명하기 위한 개략도로서, 캐소드 라인(10)에 연장되어 형성된 실면 안쪽 부위 캐소드 패드(12), 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드(14) 및 이들에 의해 연결되는 것으로 실면 부위(20)에 위치하는 보조전극(16)으로 이루어지는 캐소드 패드를 도시한다.
종래에는 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드를 제조할 때에 유기 전기발광 소자를 밀봉하고 있는 실면의 안쪽 부위 캐소드 패드(12)와 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드(14)에 의해 연결되는 보조전극(16) 및 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드(14)를 면저항이 캐소드로 사용되는 물질보다 큰 크롬(Cr)을 사용하여 패터닝하는 방법으로 형성하였다.
상기 종래기술에 따른 크롬의 패턴 형성과정은 다음과 같다.
먼저, Cr/ITO 기판에 포지티브 포토레지스트를 도포한 후, 포토마스크를 이용하여 크롬이 형성되어야 하는 부분만 노광이 되지 않도록 하고, 크롬이 제거되어야 하는 부분만 노광이 되게 한후, 현상액을 사용하여 포토레지스트를 제거함으로써 노광된 부분의 크롬만 드러나게 한다. 그 다음, 상기 결과물을 크롬 식각액에 담그어 포토레지스트에 의해 보호받고 있는 부분의 크롬은 남게 하고, 노광 및 현상에 의해 포토레지스트가 제거된 부분의 크롬만 에칭에 의해 제거가 되도록 한다.
마지막으로, 포토레지스트 세정액을 사용하여 크롬 위에 있는 포토레지스트를 제거하면 원하는 부분에만 크롬을 형성할 수 있는 것이다.
반면, 캐소드 라인(10)으로는 상기 크롬보다 면저항이 작은 알루미늄(Al) 등의 물질을 사용하였다.
종래에 상기와 같이 보조전극(16) 물질로서 면저항이 큰 크롬을 사용한 이유는, 알루미늄을 이용하여 패턴을 형성하는 경우에는 이후 공정에서 절연막 패턴을 형성할 때 사용되는 현상액에 의해 전극으로 형성된 알루미늄이 손상 또는 벗겨지는 현상이 나타나기 때문이다.
이러한 경우, 캐소드 패드 쪽의 높은 저항으로 인한 전압강하 때문에 유기 전기발광 소자 구동시 고전류가 흐르는 쪽이 상대적으로 더 큰 전압강하를 일으키므로 휘도가 떨어지는 현상이 나타나게 된다.
예를 들어, 백색화면만 나타나는 캐소드 라인과 검은색을 나타내는 부분이 포함된 캐소드 라인을 비교하였을 때 백색화면 쪽이 상대적으로 전류가 더 많이 흐르게 되어 더 큰 전압강하로 인해 휘도가 더 떨어져 보이는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 유기 전기발광 소자 구동시 저항에 따른 전압차이를 줄이기 위하여 캐소드 패드 형성시 보조전극을 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작으면서 전기빔 증착방법에 의해 증착가능한 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 캐소드 패드 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 일반적인 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드 구성을 설명하기 위한 개략도.
도 2는 본 발명에 따른 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드를 제조할 때에 사용되는 마스크를 나타내는 단면도.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
10 : 캐소드 라인
12 : 실(seal)면 안쪽 부위 캐소드 패드
14 : 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드
16 : 보조전극
20 : 실면 부위
100 : 마스크
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드 제조방법에 있어서, 유기 전기발광 소자를 밀봉하는 실(seal)면 안쪽 부위 캐소드 패드와 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드에 의해 연결됨으로써 실면 부위에 위치하는 보조전극이 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작은 물질로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 캐소드 패드 제조방법은 상기 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작은 물질이 Al, Ca, Mg, Ag, Mo, Al/Li 및 Al/Cu로 이루어진 군으로부터 선택되는 것과,
상기 보조전극은 전자빔 증착방법으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 전술한 바와 같이 일반적인 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드 구성을 설명하기 위한 개략도로서, 캐소드 라인(10)에 연장되어 형성된 실면 안쪽 부위 캐소드 패드(12), 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드(14) 및 이들에 의해 연결되는 것으로 실면 부위(20)에 위치하는 보조전극(16)으로 이루어지는 캐소드 패드를 도시한다.
본 발명에서는 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드를 제조할 때에 유기 전기발광 소자를 밀봉하고 있는 실면의 안쪽 부위 캐소드 패드(12)와 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드(14)에 의해 연결되는 보조전극(16)을 유기 전기발광 소자의 캐소드에사용되는 물질과 면저항이 같거나 작은 물질로 형성한다.
이때, 상기 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작은 물질로는 Al, Ca, Mg, Ag, Mo, Al/Li 또는 Al/Cu을 사용하는 것이 바람직하고, 상기 보조전극은 전자빔 증착방법으로 형성하는 것이 바람직하다.
도 2는 본 발명에 따라 캐소드 패드를 제조할 때에 사용되는 마스크를 나타내는 단면도로서, 보조전극(16)이 전자 빔 증착 방법에 의해 증착되는 부위인 "A"가 형성되어 있는 마스크(100)를 도시한다.
본 발명에서는 전자빔이 캐소드 물질에 충격을 가함으로써, 전자빔의 충격에 의해 떨어져 나온 캐소드 물질의 원자들이 기판으로 이동하게 되어, 도 2에서와 같이 마스크의 오픈된 부분인 "A"에만 캐소드 물질이 증착됨으로써 보조전극(16)이 형성되는 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에서는 캐소드 패드 형성시 보조전극을 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작으면서 전자빔 증착방법에 의해 증착가능한 물질로 형성함으로써, 유기 전기발광 소자 구동시 저항에 따른 전압차이를 줄여 전력소모를 줄이고, 전류량에 관계없이 캐소드 라인 간의 상대적인 전압차이도 줄여 라인 간의 휘도 차이를 없앨 수 있다.
Claims (3)
- 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드(cathode pad) 제조방법에 있어서,유기 전기발광 소자를 밀봉하는 실(seal)면 안쪽 부위 캐소드 패드와 실면 바깥쪽 부위 캐소드 패드에 의해 연결됨으로써 실면 부위에 위치하는 보조전극이 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작은 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 유기 전기발광 소자의 캐소드에 사용되는 물질과 면저항이 같거나 작은 물질은 Al, Ca, Mg, Ag, Mo, Al/Li 및 Al/Cu로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드 제조방법.
- 제 1 항에 있어서,상기 보조전극은 전자빔 증착방법(electron beam evaporation)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전기발광 소자의 캐소드 패드 제조방법.
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