KR20040048366A - 웨이퍼를 매핑할 수 있는 웨이퍼 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 개구를 갖는 상자, 수직 방향을 따라 평행하게 웨이퍼를 보관하기 위한 선반 및 개구를 분리식으로 덮기 위한 리드를 구비한 포드가 웨이퍼 처리 장치에 고정될 때 선반에 웨이퍼의 존재 유무를 결정하기 위한 웨이퍼 매핑 장치이며,선반 상에 웨이퍼의 존재 유무를 결정하기 위한 제1 센서와,상기 제1 센서를 지지하기 위한 매핑 프레임과,상기 센서가 상자 내로 돌입하는 상태에서 상기 매핑 프레임을 통해 수직 방향으로 이동 가능하게 제1 센서를 지지하기 위한 이동부와,소정의 간격으로 배치된 인덱스 수단을 갖는 타이밍 플레이트와,상기 인덱스 수단이 그 사이에 적층되도록 제공되는 제2 센서를 포함하고,상기 센서의 수직 이동에 따라 상기 제2 센서와 타이밍 플레이트에 의해 상기 선반의 각각에 대한 신호가 발생되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 매핑 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 이동부와 상기 제2 센서는 상기 개구의 하부 에지의 하측에 위치하고 사실상 폐쇄 공간 내에 제공되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 매핑 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 이동부는 상기 상자로부터 상기 리드를 이격하여 상기 포드의 리드를 보유하는 도어에 연결되고, 상기 상자의 사실상 아래로 상기 리드를이동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 매핑 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 이동부는 상기 상자로부터 상기 리드를 이격하여 상기 포드의 리드를 보유하는 도어에 연결되고, 상기 상자의 사실상 아래로 상기 리드를 이동시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 매핑 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 매핑 프레임은 상기 개구가 상기 리드에 의해 덮여진 상태에서 상기 상부측이 상기 포드의 개구를 형성하는 면으로부터 이격되도록 경사지고, 상기 개구가 개방된 후에 상기 센서가 상기 상자 내로 돌입하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 매핑 장치.
- 제2항에 있어서, 상기 매핑 프레임은 상기 개구가 상기 리드에 의해 덮여진 상태에서 상기 상부측이 상기 포드의 개구를 형성하는 면으로부터 이격되도록 경사지고, 상기 개구가 개방된 후에 상기 센서가 상기 상자 내로 돌입하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 매핑 장치.
- 제3항에 있어서, 상기 매핑 프레임은 상기 개구가 상기 리드에 의해 덮여진 상태에서 상기 상부측이 상기 포드의 개구를 형성하는 면으로부터 이격되도록 경사지고, 상기 개구가 개방된 후에 상기 센서가 상기 상자 내로 돌입하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 매핑 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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KR10-2003-0087410A KR100470369B1 (ko) | 2003-12-04 | 2003-12-04 | 웨이퍼를 매핑할 수 있는 웨이퍼 처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2003-0087410A KR100470369B1 (ko) | 2003-12-04 | 2003-12-04 | 웨이퍼를 매핑할 수 있는 웨이퍼 처리 장치 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR10-2002-0074557A Division KR100497444B1 (ko) | 2002-11-28 | 2002-11-28 | 웨이퍼를 매핑할 수 있는 웨이퍼 처리 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20040048366A true KR20040048366A (ko) | 2004-06-09 |
KR100470369B1 KR100470369B1 (ko) | 2005-02-07 |
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Family Applications (1)
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KR10-2003-0087410A KR100470369B1 (ko) | 2003-12-04 | 2003-12-04 | 웨이퍼를 매핑할 수 있는 웨이퍼 처리 장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
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KR (1) | KR100470369B1 (ko) |
Cited By (1)
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KR20180003314U (ko) | 2017-05-17 | 2018-11-27 | 주식회사 네이처앤네이처 | 화장용 실리콘 퍼프 |
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2003
- 2003-12-04 KR KR10-2003-0087410A patent/KR100470369B1/ko active IP Right Grant
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20180003314U (ko) | 2017-05-17 | 2018-11-27 | 주식회사 네이처앤네이처 | 화장용 실리콘 퍼프 |
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