KR20040039571A - 미소유체 혼합을 위한 미소 유체제어 소자 - Google Patents

미소유체 혼합을 위한 미소 유체제어 소자 Download PDF

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Abstract

본 발명은 미소 유체 혼합을 위한 미소 유체제어 소자에 관한 것으로, 상부 기판 및 하부 기판이 결합되어 미소 유체를 이송 및 혼합하는 미소 유체제어 소자에 있어서, 제1 유체를 이송하는 제1 유로, 제2 유체를 이송하는 제2 유로, 제1 유로 및 제2 유로의 말단과 연결되고, 내부를 가열하기 위한 열선을 포함하는 반응 챔버 및 반응 챔버의 말단에 연결되어 제1 유체 및 제2 유체가 더 이상 이동하지 못하도록 정지시키는 유동정지부를 포함하고, 제1 유로 및 제2 유로를 통해 이송된 제1 유체 및 제2 유체가 상기 반응 챔버에서 만나 층을 이루면, 열선을 이용하여 제1 유체 및 제2 유체를 가열 또는 냉각함으로써 밀도차를 유발시켜 중력에 의해 제1 유체 및 제2 유체를 혼합하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 펌프를 사용하지 않고 모세관 현상만으로 유체를 이송, 정지 시키고 혼합 시킬 수 있고, 유로의 형상에 따른 유체 압력강하를 최소화하여 모세관 현상만으로도 유체의 이송가능하며, 추가적인 펌프 없이 유로의 형상, 재질, 부피에 따라 유체의 혼합비율을 결정할 수 있고, 제작 과정을 단순화 할 수 있다.

Description

미소 유체 혼합을 위한 미소 유체제어 소자{Micro-fluidic devices to mix micro-fluids}
본 발명은 바이오 칩에 적용되는 미소 유체제어 소자(microfluidic device)에 관한 것으로서, 특히 미소 유체가 각각 이송되다가 정지되면 이를 가열하여 밀도차에 의해 혼합하는 미소 유체제어 소자에 관한 것이다.
이종의 미소 유체가 두 층을 이루어 유로를 흐를 때, 점성력이 관성력보다 크기 때문에 자연적으로는 두 층에 수직한 방향으로의 유동이 일어 나지 않는다. 따라서 이종의 미소 유체의 혼합은 보통 확산에 의해서 이루어진다. 그러나 바이오 물질의 크기가 클 경우에는 자연적인 확산에 의한 혼합은 많은 시간을 요구한다. 따라서 강제적으로 유동을 일으키거나 확산을 촉진 시키는 방법을 사용하여 미소유체를 혼합한다. 이렇게 미소 유체를 혼합하는 방법들로는 미소 유체가 확산에 의해서만 혼합되는 방법, 미소 유체를 여러층(lamination)을 이루게 하여 확산되는 거리를 줄이는 방법(lamination), 유로(flow channel)내에 여러 가지 구조물을 만들어 혼류(chaotic advection)나 코앤더 효과(coander효과: 유체가 유로를 따라 진행하다가 유로의 단면적이 급속하게 확장되는 경우 벽 근처의 유체가 부분적으로 회전하는 것을 의미함)에 의해 유로의 벽 근처에서 와류를 일으키는 방법, 유체를 열이나 전기삼투효과(electro-osmosis)를 이용하여 앞뒤로 흔들어 폭 방향의 유동을 발생 시키는 방법 등이 있다.
이하에서는 종래 기술에 의한 미소 유체를 혼합시키는 구체적인 방법에 대하여 설명한다.
미국 등록 특허번호 제 5,904,424 호에서는 "Device for mixing small quantities of liquids"(이하 제1 참조문헌이라 함)에 대하여 개시한다. 제1 참조문헌은 유로를 3차원 적으로 만들어 펌프를 사용하여 유체를 이송하면서, 동시에 상하로 움직여 여러 층을 이루게 하여 확산 되는 거리를 줄이는 구조를 제시한다. 그러나 제1 참조문헌은 제작과정이 복잡하고, 유로를 흐르면서 혼합이 일어나기 때문에 유동 저항으로 인하여 유체를 이송하기 위해 추가적인 펌프가 사용되며 유체의 혼합비를 조절하기 위해 여러 펌프의 압력을 독립적으로 제어해야 하는 문제가 있다.
일리노이 대학에서 2000년 6월에 발표된 논문(Journal of Microelectromechanical Systems, Volume: 9 Issue: 2)에는 "Passive mixing in athree-dimensional serpentine microchannel"(이하 제2 참조문헌이라 함)에 대하여 개시하고 있다. 제2 참조문헌은 유로를 3차원적으로 굽는 구조를 만들어 펌프를 이용하여 유체를 이송하면서 혼류(chaotic advection)을 발생시켜 미소 유체를 혼합하는 방법을 제시하였다. 그러나 제2 참조문헌에 개시된 발명은 유로를 흐르면서 혼합이 일어나기 때문에 유동 저항으로 인하여 유체를 이송하기 위해 추가적인 펌프가 사용되며, 유체의 혼합비를 조절하기 위해 여러 펌프의 압력을 독립적으로 제어해야 하는 단점이 있다.
2002년 2월에 "Sensors and Actuators A"에 발표된 논문에는 "Active microfluidic mixer and gas bubble filter driven by thermal bubble micropump"(이하 제3 참조문헌이라 함)를 개시하고 있다. 제3 참조문헌에서는 유체를 기화온도 이상으로 가열하여 부피 팽창, 수축을 반복함으로써 폭 방향의 유동을 유발 하여 미소 유체를 혼합하는 방법을 개시한다. 그러나 제3 참조문헌에 개시된 발명은 기화점 이상으로 유체를 가열하면 바이오 물질에 손상이 가게 되고, 공기방울이 발생하여 유로가 막히는 등의 문제점이 있다. 또한 혼합비를 조절하기 위해 여러 펌프의 압력을 독립적으로 제어해야 할 필요가 있다.
미국 등록 특허번호 제 6,048,734호에서는 "Thermal microvalves in a fluid flow method"(이하 제4 참조문헌이라 함)를 개시한다. 제4 참조문헌에서는 미소 유체 앞뒤로 공기와의 계면을 만들어 계면을 가열함으로써 유체를 앞뒤로 흔들어 폭 방향의 유동을 발생시켜 혼합을 촉진하는 구조를 제시하였다. 그러나 이는 유체를 앞뒤로 흔드는 교번 시간이 빠르지 않기 때문에 유체가 혼합되는 시간이 그렇게 짧지 않다. 또한 계면에서의 증발 현상으로 미소 유체의 양이 감소되는 문제가 발생한다
또한 상기에 제시된 제1, 제2, 제3 및 제4 참조문헌에 개시된 방법은 바이오 물질의 증폭, 감지를 위한 전처리 과정으로서 필요한 미소 유체의 혼합을 위해 미소 혼합기와 반응을 위한 챔버(chamber)가 별도로 필요하다는 단점을 가지고 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 바이오 물질의 감지, 증폭에 사용되는 반응 챔버에 열선을 배치하여 층을 이루어 저장된 유체들을 가열 또는 냉각함으로써 혼합할 수 있는 미소 유체제어 소자를 제공하는 데 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 의해 미소 유체가 혼합되는 원리를 설명하기 위한 반응 챔버의 구조도이다.
도 2은 본 발명의 다른 실시예에 의해 미소 유체가 혼합되는 원리를 설명하기 위한 반응 챔버의 구조도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 미소 유체제어 소자의 구조도이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 의한 미소 유체제어 소자의 평면도이다.
도 5는 도 3 또는 도 4에서 상부 기판은 소수성 재료로 형성되고, 하부 기판은 친수성 재료로 형성되어 있을 때 유체의 선단 현상을 순차적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 의한 미소 유체제어 소자의 구조도이다.
도 7은 두 유체의 선단이 만나 층을 이루어 진행하는 것을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 도 3에 도시된 미소 유체제어 소자 구조에서 두 유체의 선단이 만나서 층을 이루어 진행하는 것을 설명하기 위한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 유동정지부를 설명하기 위한 도면이다.
도 10은 미소 유체제어 소자의 부분중 반응 챔버를 여러 개 사용하여 혼합비율을 높이는 것을 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
100 : 상부 기판 102 : 하부 기판
104 : 열선 106 : 제1 유체
108 : 제2 유체 110 : 제1 유로
112 : 제2 유로 114 : 반응 챔버
상기 과제를 이루기 위해, 본 발명에 의한 미소 유체제어 소자는 상부 기판 및 하부 기판이 결합되어 미소 유체를 이송 및 혼합하는 미소 유체제어 소자에 있어서, 제1 유체를 이송하는 제1 유로, 제2 유체를 이송하는 제2 유로, 제1 유로 및 제2 유로의 말단과 연결되고, 내부를 가열하기 위한 열선을 포함하는 반응 챔버 및 반응 챔버의 말단에 연결되어 제1 유체 및 제2 유체가 더 이상 이동하지 못하도록 정지시키는 유동정지부를 포함하고, 제1 유로 및 제2 유로를 통해 이송된 제1 유체 및 제2 유체가 상기 반응 챔버에서 만나 층을 이루면, 열선을 이용하여 제1 유체 및 제2 유체를 가열 또는 냉각함으로써 밀도차를 유발시켜 중력에 의해 제1 유체 및 제2 유체를 혼합하는 것이 바람직하다.
본 발명은 미소 유체를 혼합할 수 있는 미소 유체제어 소자에 관한 것으로,가열에 의한 유체 내부의 밀도차를 유발시켜 중력에 의해 유체를 혼합 시키는 방식을 이용한다. 즉, 모세관 현상을 이용하여 이종의 미소 유체를 이송하고, 미소 유체를 가열 했을 때 발생하는 이종의 미소 유체간의 밀도차를 이용하여 중력 방향으로의 유동으로 미소 유체가 혼합되는 방식을 제안한다. 본 발명에 의한 미소 유체제어 소자는 상부 기판 및 하부 기판으로 이루어지는데, 미소 유체를 이송하기 위하여 하부 기판은 친수성 재료를 사용하고 상부 기판은 친수성 재료에 척수성 물질을 부분적으로 형성한다. 또한 이송된 이종의 미소 유체가 반응 챔버 부분에서 만나서 중력 방향으로 층을 이루기 위하여 합류 지점에서 유로의 형상 또는 재질을 부분적으로 변화시킨다. 이송된 미소 유체가 반응 챔버 부분을 채우면, 유동 정지부를 이용하여 정지 시킨 후, 미소 유체를 가열하여 중력 방향으로의 유동을 발생시킨다. 가열의 초기에는, 하판의 열선 부위에서 미소 유체의 밀도가 감소하므로 중력 반대 방향으로의 유동이 일어나게 되고, 미소 유체를 계속하여 가열하면 반응 챔버는 등온 상태가 된다. 이때 유동은 정지하게 된다. 따라서 다시 유동을 발생시키기 위하여 반응챔버를 냉각하고 가열하는 과정을 반복함으로써 미소 유체를 혼합하게 된다. 이때 가열 온도는 90?? 이하로 하여 바이오 물질에 손상이 없도록 하는 것이 바람직하다. 이종의 미소 유체가 만나서 혼합되는 비율은 유로의 형상, 재질, 부피에 의해 각각 결정 된다. 미소 유체의 혼합은 미소 유체내의 바이오 물질을 감지, 증폭하기 위한 전처리 단계로서 행해지는데, 기존의 미소 유체 혼합기에서는 미소 유체의 혼합이 끝난 뒤 미소 유체내의 바이오 물질의 감지나 증폭을 위하여 또 다른 반응 챔버로 이송이 되어야 하지만 본 발명에서는 바이오 물질의 감지나증폭에 쓰이는 가열 구조를 미소 유체의 혼합에 이용하기 때문에 미소 유체의 혼합을 위한 반응 챔버와 증폭, 감지를 위한 반응 챔버를 별도로 만들 필요가 없으므로 구조를 단순화 할수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세하게 설명하기로 한다. 그러나, 이하의 실시예는 이 기술 분야에서 통상적인 지식을 가진 자에게 본 발명이 충분히 이해되도록 제공되는 것으로서 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 다음에 기술되는 실시예에 한정되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 의해 미소 유체가 혼합되는 원리를 설명하기 위한 반응 챔버의 구조도이다. 반응 챔버는 상부 기판(100)과 하부 기판(102)이 접합된 구조이고, 상부 기판(100)과 하부 기판(102) 사이에는 제1 유체(106) 및 제2 유체(108)가 위치한다. 상부 기판(100)에는 유체제어 기능을 갖는 유체제어 구조가 포함되어 있고, 하부 기판(102)의 상부면에는 유체를 가열하기 위한 열선(104)이 배치되어 있다. 도 1에 도시된 실시예에서는 상부 기판(100) 및 하부 기판(102)이 중력 방향에 대하여 수직으로 놓여 있고, 제 1유체(106)와 제 2유체(108)가 중력 방향에 수직으로 층을 이루고 있다. 이렇게 미소 유체가 층을 이루는 방법은 도 5 및 도 8에서 후술한다. 이종의 유체가 이송되어 층을 이룬 뒤, 반응챔버 내 열선(104)을 가열하면 제 1 유체(106)와 제 2유체(108) 사이에 밀도 차가 유발된다. 따라서 중력에 의해 가벼워진 제 1유체(106)가 위로 상승하여 제 2 유체(108)와 혼합이 이루어진다. 가열한 후 일정시간이 경과하면 반응 챔버 내의 제1 및 제2 유체가 등온 상태에 도달하게 된다. 제1 유체(106) 및 제2 유체(108)가등온 상태가 되면 밀도 차가 없어지므로 유체의 유동도 현저히 줄어들게 된다. 따라서 반응 챔버를 냉각한 뒤 다시 가열하여 밀도차로 인한 혼합을 다시 유발할 수 있다. 이렇게 가열 및 냉각 과정을 반복하면 이종의 미소 유체들을 혼합할 수 있다.
밀도 차에 의해 유체를 혼합하는 방법 이외에 반응 챔버 내부의 압력 구배를 크게 하여 유동을 발생하기 위해, 제 1유체 또는 제 2유체에 끓는 점이 물보다 낮은 50-90oC 정도되는 알콜 등과 같은 유체를 소량 첨가할 수도 있다. 이때 첨가된 기화점이 물보다 낮은 유체는 가열시 기화점에서 기체로 변하여 반응챔버내의 압력을 국부적으로 높임으로써 유동을 발생시킬 수 있다. 제 1유체에 기화점이 물보다 낮은 유체를 첨가한 경우 가열시 제1유체에서 제2 유체방향으로 유동을 유발할수 있고, 제 2유체에 첨가한 경우는 반대 방향으로 유동을 유발할 수 있다. 이때 첨가되는 기화점이 물보다 낮은 유체는 바이오 물질에 손상을 주지 않는 범위 내에서 희석이 가능하다.
상부 기판(100)의 재질로서 유리, 플라스틱 또는 금속 등의 물질이 가능하나, 일반적으로 PDMS(polydimethylsiloxane), PMMA(polymethylmethacrylate), PC(polycarbonate), COC(cycloolefin copolymer), PA(polyamide), PE(polyethylene), PP(polypropylene), PPE(polyphenylene ether), PS(polystyrene), POM(polyoxymethylene), PEEK(polyetheretherketone), PTFE(polytetrafluoroethylene), PVC(polyvinylchloride), PVDF(polyvinylidenefluoride), PBT(polybutyleneterephthalate), FEP(fluorinated ethylenepropylene), PFA(perfluoralkoxyalkane) 등의 투명한 폴리머를 사용하는 것이 바람직하다. 상부 기판(100)은 레이저 어블레이션(Laser Ablation), 쾌속조형(Rapid Prototyping), NC(Numerical Control) 머시닝과 같은 전통적인 기계가공법 또는 사진석판술(photolithography)과 식각을 이용한 반도체가공법으로 제작된 금속 또는 Si 구조체를 매스터(master)로 하여 핫엠보싱(Hot Embossing), 사출성형(Injection Molding), 캐스팅(Casting)법을 이용하여 제작이 가능하다. 하부 기판(102)의 재질로서는 유리, PCB 기판과 같은 폴리머, 금속 등의 재료를 이용할 수 있다. 하부 기판(102) 상의 전극, 열선 및 패드 등의 미세 금속 패턴은 반도체 가공법을 이용하여 제작이 가능하다. 접합 방식은 일반적으로 사용하는 접착제를 사용하거나 재료에 따라서 용접, 초음파접합 및 점착제를 이용할 수도 있다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 의해 미소 유체가 혼합되는 원리를 설명하기 위한 반응 챔버의 구조도이다.
상부 기판(100), 하부 기판(102) 및 열선(104)은 상술한 바와 같으나, 상부 기판(100) 및 하부 기판(102)이 접합된 반응 챔버가 도 1 과는 달리 중력 방향에 대하여 수평을 이룬다. 따라서 제 1유체(106)와 제 2유체(108)가 중력 방향에 수직으로 층을 이루고 있다. 그러나, 제1 유체(106)와 제2 유체(108)를 혼합하는 방법은 도 1에서 설명한 바와 동일하게 열선(104)을 통해 유체를 가열하여 밀도 차에 의한 혼합 방식을 이용한다.
이하에서는 도 3, 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 미소 유체제어 소자의 전반적인 동작 과정을 설명한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 미소 유체제어 소자의 구조도이고, 도 4는 본 발명의 다른 실시예에 의한 미소 유체제어 소자의 평면도이다. 도 5는 도 3 또는 도 4에서 상부 기판은 소수성 재료로 형성되고, 하부 기판은 친수성 재료로 형성되어 있을 때 유체의 선단 현상을 순차적으로 도시한 도면으로서, 도 3 또는 도 4의 AA' 선상에서의 단면도이다.
도 3을 참조하면, 미소 유체제어 소자는 제1 유로(110), 제2 유로(112), 반응 챔버(114), 열선(104) 및 유동 정지부(116)로 이루어진다. 제1 유로(110)를 진행한 제1 유체(106)는 모세관 현상에 의해 반응 챔버(114) 쪽으로 유입된다. 유입 시의 상황을 도 5(a) 및 도 5(b)를 참조 하여 설명하면, 반응 챔버(114)의 높이가 제1 유로(110)의 높이보다 높고 반응 챔버의 상부 기판(100) 부분이 소수성을 띠므로 제1 유로(110)를 진행한 제1 유체(106)는 반응 챔버(114)쪽으로 유입시 제1 유로(110)의 높이 만큼만을 채우면서 진행하게 된다. 제1 유체(106)가 제1 유로(110)에서 반응 챔버(114)로 진행시 상부 기판(100)이 급속히 확장되으로 유체에 압력 장벽이 발생하는데, 제1 유로(110)를 지나는 제1 유체(106)가 충분히 가속될 수 있도록 상부 기판(100)과 하부 기판(102)을 부분적으로 친수성이 크게 되도록 만든다. 또한 제1 유체(106)가 충분히 가속될 수 있도록 반응 챔버(114) 부분의 상부 기판(100) 옆벽에서는 단면 형상을 줄여 나갈 수 도 있다.
제1유체(106)가 반응 챔버(114)를 부분적으로 채운 뒤 제2 유체(108)가 제2유로(112)를 진행하여 반응 챔버(114)로 유입이 된다. 이때 반응 챔버(114)에 제1유체가 부분적으로 채워져 있으므로, 제2 유체(108)는 반응 챔버(114) 내에서 제1 유체(106)로 채워지지 않은 부분을 채우게 된다. 미소 유체가 혼합되는 비는 제1 유로(110)의 부피와 반응 챔버의 부피, 제1 유로(110)의 친수성 정도에 의해 결정된다. 이러한 혼합비는 통상적으로 1:1에서 1:5 정도 까지 가능하다.
여기서 제1 유체(106)가 먼저 반응 챔버(114)로 진행하고 제2 유체(108)가 나중에 진행하도록 하는 구조를 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4에 도시된 미소 유체제어 소자는 제1 유로(110) 및 제2 유로(112)의 전단부에 제3, 제4 및 제5 유로(118,120,122)를 갖는다. 제3 유로(118)와 제4 유로(120)를 각각 진행한 제1 및 제2 유체는 제5 유로(122)에서 만나게 된다. 여기서 제1 및 제2 유체가 제5 유로(122)에서 만나 진행하는 과정은 도 7에서 후술하기로 한다. 제5 유로(122)를 지난 제1 및 제2 유체는 제1 유로(110)와 제2 유로(112)로 각각 나뉘게 되는데, 제2 유로(112)의 길이를 충분히 길게 함으로써 제1 유체가 제1 유로(110)를 지나 반응 챔버(114)를 부분적으로 채운 후에 제2 유체가 반응 챔버(114)로 유입되도록 할 수 있다. 이후 도 1을 참조하여 설명된 방식으로 반응 챔버에서 미소 유체의 혼합이 충분히 일어난 뒤, 반응 챔버(114) 내에서 바이오 물질의 증폭이나 감지 과정이 연쇄적으로 이루어 질수 있다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 의한 미소 유체제어 소자의 구조도이고, 도 7은 두 유체의 선단이 만나 층을 이루어 진행하는 것을 설명하기 위한 도면이다.
제1 유로(110)를 먼저 진행한 제1 유체(106)가 제1 유동정지부(124)에서 멈추어 있게 되고, 제2 유로(112)를 진행한 제2 유체(108)와 만나게 되면서 부피가증가하여 제1 유동 정지부(124)를 지나 반응 챔버(114)를 채우게 된다. 제2 유체(108)가 먼저 진행하는 경우에 있어서도 마찬가지로 제2 유체가 제1 유동정지부(124)에서 멈추게 되고, 제1 유체(106)와 만나야만 미소 유체의 부피가 증가하여 제1 유동정지부(124)의 압력장벽을 뚫고 반응 챔버(114)로 진행하게 된다. 이 과정은 도 7(a) 내지 도 7(c)에 도시되어 있다. 제1 및 제2 유체(106,108)가 반응 챔버(114)에서 혼합되는 비율은 제1 및 제2 유로(110,112)의 부피와 제1 유동 정지부(124)의 형상에 의해 결정된다. 혼합비는 통상적으로 1:1 내지 1:5 정도가 가능하다. 제2 유동정지부(126)는 반응 챔버(114) 내의 유체가 더 이상 진행하지 못하게 한다. 두 유체가 반응 챔버(114)를 함께 채운 후 열선을 가열하면 밀도차가 발생하게 된다. 이때 제1 및 제2 유체(106,108)는 도 2에 도시된 방향으로 놓여 있어서 중력에 의한 유동이 발생하고 가열과 냉각과정의 반복에 의해 충분한 혼합이 이루어지게 된다. 그 이후 반응 챔버(114) 내에서 바이오 물질의 증폭이나 감지 과정이 연쇄적으로 이루어 질수 있다.
도 8은 도 3에 도시된 미소 유체제어 소자 구조에서 두 유체의 선단이 만나서 층을 이루어 진행하는 것을 설명하기 위한 단면도이다.
도 1에 도시된 중력 방향으로 층을 이루는 결과를 얻기 위하여 상부 기판을 두 개 사용한다. 즉, 하부 기판(128)위에 SU-8, PMMA 등 패터닝이 가능한 고분자 물질을 이용하여 유로를 형성하고, 폴리이미드(polyimid) 등 패터닝이 가능하면서 덮개로 사용할 수 있는 고분자 물질을 이용하여 제1 상부 기판(130)을 형성한다. 이때 제1 상부 기판(130)은 일반적으로 소수성 물질을 사용한다. 이어서, 도 1을참조하여 설명한 바와 같은 방식으로 제2 상부기판(132)을 추가로 접합한다. 제1 유체나 제2 유체 중 반응 챔버(114) 앞부분 까지 먼저 진행한 유체가 정지하고 있는 상태에서 나중에 진행한 유체가 먼저 진행한 유체와 만나서 반응 챔버(114)를 채울 부피가 되면 반응 챔버(114)로 진행하게 된다. 제1 및 제2 유체가 반응 챔버(114)에서 혼합되는 비율은 제1 및 제2 유로의 부피에 의해 결정이 된다. 그 후, 도 3 또는 도 6을 참조하여 설명한 바와 같은 방법으로 유체의 혼합이 일어나게 된다. 혼합비는 통상적으로 1:1 내지 1:5 정도가 가능하다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 의한 유동정지부를 설명하기 위한 도면이다.
유동정지부(116)에서 압력장벽을 추가적으로 높여서 미소 유체를 원하는 부분에서 정지하게 하기 위한 방법을 설명한다. 하부 기판(102)의 친수성 힘이 상부 기판(100)의 소수성 힘보다 크게 설계하여 미소 유체는 모세관 현상에 의해 유로를 진행하게 된다. 그런데 미소 유체가 소수성인 유동 정지부(116)를 만나게 되면 하부 기판(102)에서 압력 장벽이 걸리게 된다. 이때 상부 기판(100)은 부분적으로 소수성을 띠게 재료가 형성이 되어 유체는 완전히 정지 하게 된다. 이러한 원리는 도 3 및 도 6에 도시된 유동정지부에 모두 사용이 가능하다. 이때 상부 기판(100)은 친수성 물질로 만들고 유동 정지부(116)나 반응 챔버(114) 부분에는 소수성을 띠게 테플론(teflon) 등의 추가적인 물질을 형성 시켜 놓을 수 있다.
도 10은 미소 유체제어 소자의 부분중 반응 챔버를 여러 개 사용하여 혼합비율을 높이는 것을 설명하기 위한 도면이다. 예를 들어 첫번 째 반응 챔버(140)에서제1 유체와 제2 유체가 1:3의 비율로 혼합이 이루어지고, 혼합된 미소 유체가 "1"만큼 두번 째 반응 챔버(142)로 유입이 되고 제2 유체가 다시 "3"이라는 양만큼 유입이 되면, 제1 유체와 제2 유체의 최종 혼합비율은 1:15 가 된다. 만약 첫번 째 반응 챔버(140)에서 혼합비가 1:4일 경우 두번 째 반응 챔버(142)에서는 1:24가 되고, 첫번 째 반응 챔버(140)에서 혼합비가 1:5일 경우 두번 째 반응 챔버(142)에서는 1:35가 된다. 반응 챔버들을 직렬로 배열하여 순차적으로 혼합비를 조절할 경우 n 번째의 혼합 비율이 1:an이라면 n+1 번째의 혼합비율은 1: an 2+2an이 된다. 반응 챔버를 순차적으로 설치하더라도 펌프가 추가적으로 필요하지 않으므로 전체 유체제어 소자의 구현은 간단하다.
지금까지 상하부 기판 구조에 추가적으로 재료의 성질을 이용하여 유체의 혼합비를 맞추는 예들을 설명하였으나 상기 발명에 추가적인 펌프를 적용하여 혼합비를 맞추는 것도 가능하다. 따라서 펌프를 사용하여 유체를 이송함으로써 이종 유체가 층을 이루게 하고, 마찬가지로 가열시 밀도 변화로 중력에 의한 유체의 혼합도 상기 발명에 포함됨은 물론이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 미소 유체 혼합을 위한 미소 유체제어 소자는, 제1 유로 및 제2 유로와 연결된 반응 챔버에 열선을 배치함으로써 펌프를 사용하지 않고 모세관 현상만으로 유체를 이송, 정지 시키고 혼합 시킬 수 있는 효과가 있다. 또한 유로의 형상에 따른 유체 압력강하를 최소화하여 모세관현상만으로도 유체의 이송가능하며, 추가적인 펌프 없이 유로의 형상, 재질, 부피에 따라 유체의 혼합비율을 결정할 수 있고, 추가적인 반응 챔버 없이 미소유체를 혼합, 증폭, 감지할 수 있어 구조를 단순화 할 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.

Claims (9)

  1. 상부 기판 및 하부 기판이 결합되어 미소 유체를 이송 및 혼합하는 미소 유체제어 소자에 있어서,
    제1 유체를 이송하는 제1 유로;
    제2 유체를 이송하는 제2 유로;
    상기 제1 유로 및 제2 유로의 말단과 연결되고, 내부를 가열하기 위한 열선을 포함하는 반응 챔버; 및
    상기 반응 챔버의 말단에 연결되어 상기 제1 유체 및 제2 유체가 더 이상 이동하지 못하도록 정지시키는 유동정지부를 포함하고,
    상기 제1 유로 및 제2 유로를 통해 이송된 상기 제1 유체 및 제2 유체가 상기 반응 챔버에서 만나 층을 이루면, 상기 열선을 이용하여 상기 제1 유체 및 제2 유체를 가열 또는 냉각함으로써 밀도차를 유발시켜 중력에 의해 상기 제1 유체 및 제2 유체를 혼합하는 것을 특징으로 하는 미소 유체제어 소자.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 반응 챔버는
    상기 제1 유로를 통해 이송된 상기 제1 유체가 반응 챔버의 일정부분 만을 채운 후, 상기 제2 유로를 통해 이송된 상기 제2 유체가 상기 반응 챔버 중 채워지지 않은 나머지 부분을 채울 수 있도록, 높이가 상기 제1 유로 보다 높고, 상부 기판이 소수성을 띠는 물질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 미소 유체제어 소자.
  3. 제2 항에 있어서, 상기 제2 유로는
    상기 제2 유체가 상기 제1 유체 보다 늦게 상기 반응 챔버에 도달하도록 상기 제1 유로 보다 길이가 긴 것을 특징으로 하는 미소 유체제어 소자.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 유로 또는 제2 유로를 통해 이송된 유체 중 상기 반응 챔버에 먼저 도달한 유체가 멈추어 있고, 나머지 유체가 상기 반응 챔버에 도달하면 부피가 증가하여 함께 상기 반응 챔버로 진행할 수 있도록, 상기 반응 챔버의 입구에 제2 유동정지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미소 유체제어 소자.
  5. 제1 항에 있어서, 상기 제1 유로 및 제2 유로는
    상기 하부 기판과 제2 상부 기판 사이에 제1 유로가 형성되고, 상기 제1 상부 기판과 상부 기판 사이에 제2 유로가 형성되도록 상기 상부 기판과 하부 기판 사이에 제2 상부 기판을 더 포함하고,
    상기 제1 유로 또는 제2 유로를 통해 이송된 유체 중 상기 반응 챔버에 먼저 도달한 유체가 멈추어 있으면, 나머지 유체가 상기 반응 챔버에 도달하여 부피가 증가함으로써 함께 상기 반응 챔버로 진행하는 것을 특징으로 하는 미소 유체제어 소자.
  6. 제1 항 또는 제4 항에 있어서, 상기 유동정지부는
    상부 기판은 급속 확장구조를 갖거나 소수성을 띠는 테플론 등의 물질로 형성되고, 하부 기판은 소수성 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 미소 유체제어 소자.
  7. 제1 항에 있어서, 상기 제1 유체와 제2 유체가 혼합될 때 혼합비는,
    상기 제1 유로, 제2 유로 및 반응 챔버의 부피의 비, 형상 또는 재질에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 미소 유체제어 소자.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 반응 챔버에서 상기 제1 유체 및 제2 유체를 혼합시킨 후, 상기 반응 챔버의 상기 열선을 이용하여 상기 제1 유체 또는 제2 유체 내의 바이오 물질의 감지 또는 증폭을 순차적으로 유발하는 것을 특징으로 하는 미소 유체제어 소자.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 유체 또는 제2 유체에 기화점이 물보다 낮은 액체를 첨가하여 상기 열선을 이용하여 상기 반응 챔버를 가열할 때, 상기 반응 챔버의 압력을 국부적으로 증가시켜 상기 제1 유체 또는 제2 유체의 유동을 발생시키는 것을 특징으로 하는 미소 유체제어 소자.
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