KR20040039384A - 박막 광 디바이스용 어셈블리, 유기 전자발광 디스플레이디바이스, 및 그 제조 방법 - Google Patents

박막 광 디바이스용 어셈블리, 유기 전자발광 디스플레이디바이스, 및 그 제조 방법 Download PDF

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KR20040039384A
KR20040039384A KR10-2004-7004079A KR20047004079A KR20040039384A KR 20040039384 A KR20040039384 A KR 20040039384A KR 20047004079 A KR20047004079 A KR 20047004079A KR 20040039384 A KR20040039384 A KR 20040039384A
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KR10-2004-7004079A
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파울루스 세. 두이네벨트
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코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
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Abstract

박막 광 디바이스용 어셈블리는 기판(1; 25)과, 상기 기판(1; 25) 위에 증착되고 물질을 수용하기 위한 복수의 채널(8 내지 10, 15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)을 형성하도록 이격되는 복수의 연장된 뱅크(4; 14, 21 내지 24; 26 내지 28; 35; 39)를 포함한다. 적어도 1개의 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)은 일정량의 상기 물질(18 내지 20)을 증착하기 위한 공간을 한정하기 위해, 해당 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)을 따라 있는 적어도 1개의 위치에서 국부적으로 넓어진다. 전자발광 디스플레이 디바이스의 제조 방법은 그러한 어셈블리를 선택하는 단계와, 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)을 따라 있는 증착 공간들에서만 유기 전자발광 물질(3)을 포함하는 물질의 하나 이상의 분량(18 내지 20)을 증착하는 단계를 특징으로 한다. 유기 전자발광 디스플레이 디바이스는 그러한 어셈블리를 포함한다.

Description

박막 광 디바이스용 어셈블리, 유기 전자발광 디스플레이 디바이스, 및 그 제조 방법{ASSEMBLY FOR A THIN-FILM OPTICAL DEVICE, ORGANIC ELECTROLUMINESCENT DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING SAME}
이러한 어셈블리, 디스플레이 디바이스 및 방법은 예를 들어 EP0989778A1호에 공지되어 있고, 상기 특허는 박막을 패턴화하기 위한 기판과 상기 기판의 표면 처리를 설명하고 있다. 뱅크들은 기판의 표면 상의 영역들을 분할하는데, 상기 영역들은 예를 들어 전자발광 재료를 포함하는 물질로 코팅되게 한다. 이웃하는 영역들 사이의 물질의 넘침(overflow)을 방지하기 위해, 뱅크들 상부의 상부 표면들은 물방울 저장용기 구조(liquid droplet reservoir structure)를 가진다. 따라서, 뱅크들은 그러한 저장용기를 수용하기에 충분하도록 넓어야 하고, 이러한 저장용기는 상기 영역들 사이에서 넘치는 모든 것을 흡수하도록 충분히 큰 단면적을 가져야 한다. 뱅크들은 채널들을 위해 이용 가능한 영역으로부터의 공간을 저하시키는데, 상기 채널들이 그렇지 않으면 디스플레이 디바이스의 픽셀들을 생성하기 위해 유기 전자발광 화합물로 채워질 수 있다. 이는 이웃하는 채널들이 상이한 컬러의 광을 방출하는 화합물로 채워지게 되고, 디스플레이된 이미지의 고해상도가 이루어져야 할 때, 특히 문제가 된다.
본 발명은 기판과, 상기 기판상에 배치되고 물질(substance)을 수용하기 위한 복수의 채널을 형성하도록 간격을 두고 떨어져 있는, 복수의 연장된 뱅크(bank)를 포함하는 박막광 디바이스용 어셈블리에 관한 것이다.
본 발명은 또한 유기 전자발광 디스플레이 디바이스와 전자발광 디스플레이 디바이스의 제조 방법에 관한 것이다.
도 1은 폴리머 LED 디스플레이 디바이스들의 중요한 개념들의 일부를 예시하는, 이러한 디바이스의 부분 사시도.
도 2는 종래 기술에서 공지된 어셈블리와 본 발명에 따른 어셈블리의 일 실시예를 도시하는 평면도.
도 3은 본 발명에 따른 어셈블리의 일 실시예를 도시하는 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 어셈블리의 대안적인 실시예를 도시하는 평면도.
도 5는 본 발명에 따른 어셈블리의 또다른 대안적인 실시예의 평면도.
본 발명의 목적은 대안적인 어셈블리, 디스플레이 디바이스, 및 전술한 타입의 디스플레이 디바이스의 제조 방법을 제공하는 것이다.
따라서, 본 발명에 따른 어셈블리는 적어도 1개의 채널이 한 분량의 물질을 증착하기 위한 공간을 한정하기 위해 해당 채널을 따라 있는 적어도 하나의 위치에서 국부적으로 넓어지는 데 특징이 있다. 본 발명에 따른 방법은 청구범위 제 1항 내지 제 5항중 어느 한 항에 의한 어셈블리를 선택하는 단계와, 채널을 따라 있는 증착 공간들에서만 유기 전자발광 재료를 포함하는 물질의 하나 이상의 분량들을 증착시키는 단계를 특징으로 한다.
따라서, 고해상도의 이미지 디스플레이를 달성하기 위해, 물방울 직경에 비해 작은 폭을 가지는 가깝게 이격된 채널들을 사용하는 것이 가능하다. 채널이 더 넓은 공간들에서만 많은 양의 물질이 물방울로서 증착되기 때문에, 이웃하는 채널들 사이에서의 넘침이 방지된다.
본 발명에 따른 어셈블리의 바람직한 실시예에서, 각 채널은 다량의 물질을 증착하기 위한 복수의 공간을 한정하기 위해 해당 채널을 따른 복수의 위치에서 국부적으로 넓어진다. 따라서, 상이한 물질들 사이에서 어떠한 혼합도 발생하지 않고, 멀티컬러 디스플레이 디바이스를 생성하도록 상이한 채널들에서 상이한 광 물질들을 증착하는 것이 가능하다.
본 실시예의 바람직한 변형예에서, 이웃하는 채널들의 평행한 증착 공간들은 서로 엇갈리게 배치된다. 따라서, 어셈블리로부터 제조된 멀티 컬러 디스플레이에서의 이웃하는 채널들의 총 폭은 작게 유지되어 고해상도를 달성하게 된다.
본 발명에 따른 어셈블리의 바람직한 실시예에서, 채널을 형성하는 뱅크들의 대향면들은 채널에 적어도 부분적으로 걸치는 구역을 가진다. 따라서, 모세관(capillary) 효과가 증가되어 증착 공간들에서의 물방울들의 유체 증착이 증착 공간들 사이의 채널 구역들을 더 양호하게 채우게 한다.
이제, 본 발명을 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 1은 전자발광 매트릭스 디스플레이 디바이스를 도시한다. 이러한 디바이스는, 예를 들어 휴대폰, PDA, 컴퓨터 모니터 또는 유사한 전자 기기용 평면 패널 디스플레이의 일부가 될 수 있다. 모노 및 컬러 버전(version)이 존재한다. 이러한 디바이스는 기판(1)을 포함한다. 기판(1)은 예를 들어 유연한 또는 단단한 투명 합성 수지, 수정, 세라믹 또는 유리로 제조될 수 있다. 기판(1) 상의 전기 전도성 재료의 많은 이격된 스트립들은 제 1 전극(2)을 형성한다. 디스플레이 디바이스는 추가로 기판(1) 상에서 뱅크(4)들에 의해 분리되는 스트립들로 배치된, 전자발광 재료층(3)을 포함한다. 제 2 전극(5)들은 전자발광 재료층(3)의 상부에 배치된다. 제 2 전극(5) 스트립들은 동작시 개별 발광 디바이스(픽셀)가 제 1 및 제 2 전극 스트립의 교차점에 배치되도록, 제 1 전극 스트립(2)들과 교차한다.
제 1 전극(2)의 방향은 제 2 전극(5)의 방향에 실질적으로 수직인 것이 바람직하다. 도 1에 도시된 예에서, 제 1 전극(2)들은 디스플레이 디바이스의 캐소드를 형성하고, 제 2 전극(5)들은 디스플레이 디바이스의 애노드를 형성한다. 캐소드와 애노드 사이의 전압차가 설정되면, 캐리어, 정공(hole) 및 전자들은 각각 캐소드와 애노드 사이를 표류한다. 적절한 종류의 캐리어 방출을 얻기 위해서, 애노드는 Au, Pt, Ag와 같은 일 함수(work function)를 갖는 금속이나 합금으로 적절하게 제조된다. 캐소드는 Yb, Ca, Mg:Ag, Li:Al, Ba와 같은 낮은 일 함수를 갖는 금속 또는 합금으로 적절하게 제조되거나 상이한 층들의 적층물이 될 수 있다. 애노드용으로 주로 사용되는 매우 적절한 투명한 재료는 인듐-주석-산화물(ITO)이다. 그러한 전극들은 포토리소그래피 프로세서를 사용하여 제조되고, 이는 전극들이 특정 패턴들로형상화되도록 한다.
픽셀(6)들은 제 1 전극(2)들과 제 2 전극(5)들이 교차하는 위치에 한정된다. 제 1 전극(2)과 제 2 전극(5) 사이의 전압차의 영향아래, 전극들 사이에서 표류하는 전자들과 정공들은 전자발광 재료층(3)에서 결합되어 빛이 방출되도록 한다. 수동 매트릭스 디스플레이에서, 픽셀(6)은 적절한 제 2 전극(5)과 제 1 전극(2) 사이의 전압차를 설정함으로써 주소지정된다(addressed). 능동 매트릭스 디스플레이에서, 각 픽셀(6)을 개별적으로 주조지정하는 트랜지스터와 커패시터는 각 픽셀(6)에 대해 공급된다.
뱅크(4)들은 전자발광 재료층(3)을 복수의 채널들로 분할하고, 채널 각각은 상이한 타입의 전자발광 재료를 포함할 수 있기 때문에, 상이한 색의 픽셀(6)들이 사용될 수 있다.
도 1의 매트릭스 디스플레이 디바이스는 추가로 캐리어 주입층(7)을 포함한다. 이 층(7)의 도움으로, 캐리어들이 제 1 전극(2)으로부터 전자발광 재료층(3)으로 주입된다. 제 1 전극(2)이 캐소드를 형성하는지 또는 애노드를 형성하는 지에 따라, 캐리어 주입층(7)은 전자 또는 정공들로 각각 강화, 즉 캐리어 주입층(7)이 각각 전자들과 정공들의 주입을 강화시킨다. 미도시된 유사한 층이 전자발광 재료층(3)과 제 2 전극들(5) 사이에 제공될 수 있다.
유기 LED 디바이스들은 전자발광 재료 또는 그것의 프리커서(precursor) 재료를 가진 유체를 성분으로서 뱅크(4)들 사이에 삽입하여 제조될 수 있다. 이 유체는 용액, 분산액(dispersion), 에멀젼 또는 페이스트일 수 있다. 상기 유체는 예를들어, 전자발광을 나타내는 용해 가능한 폴리머를 포함할 수 있다. 뱅크(4)들 사이의 채널들이 유체들로 채워진 후에, 전자발광 재료층(3)은 용매의 증발이나 유체의 조성물에 따라 전자발광 재료(3)를 만들어내는 화학 반응에 의해 생성될 수 있다.
본 발명은 유체가 뱅크(4)들 사이에 증착되는 제조 프로세스에서의 단계에 초점을 맞춘다. 이에 대한 설명은 성분으로서 전자발광 재료 또는 그 프리커서 재료를 가진 유체의 증착에 초점을 맞출 것이다. 하지만, 캐리어 주입층(7)은 개별 처리 단계에서 유사한 방식으로 증착될 수 있다는 점에 유의한다. 뱅크들 사이에서의 유체의 증착은 잉크-젯 프린팅에 의해 행해지는 것이 바람직하고, 이러한 유체의 방울(drop)들은 노즐을 통해 강제로 밀려나가며, 이러한 노즐은 2개의 뱅크들 사이의 채널에 걸쳐 정확하게 위치한다. 또한, 피펫(pipette)을 사용하는 것도 가능한데, 이 경우 방울들은 중력 및/또는 접착력의 영향아래 채널들에서 증착된다.
뱅크(4)들 사이의 공간은 디스플레이 디바이스의 특성에 직접 영향을 미친다. 만약, 뱅크들이 채널들이 매우 가깝게 함께 있는 식으로 이격되어 있다면, 디스플레이의 해상도는 향상된다. 하지만, 이것이 채널들이 더 좁아지는 것을 의미한다면, 픽셀(6)들의 크기가 감소하며, 이로 인해 빛의 방출이 더 떨어진다. 이 외에도, 전술한 기술들을 사용하여, 이웃하는 채널들로의 어떠한 물질의 넘침 없이, 채널들에서 광 물질의 방울들을 증착하는 것이 매우 어렵게 된다.
이러한 균형(trade-off)은 컬러 디스플레이 디바이스가 요구될 때 중대한 사안이 된다. 뱅크(4)들 사이의 채널들은 상이한 유체들로 번갈아가면서 채워지게 된다. 프로세싱 후, 각 유체는 상이한 발광 특성, 그 중에서도 특히 방출된 빛의 상이한 파장을 갖는 전자발광 재료(3)의 스트립을 초래하게 된다. 뱅크(4)들 사이에 증착된 유체 방울들의 크기는 또한 뱅크(4)들에 의해 형성된 패턴의 설계에 있어서의 관심사가 된다. 상이한 채널들 사이에서의 유체의 넘침과 이어지는 혼합은 방지되어져야만 한다. 방울의 크기는 보통 사용된 장비, 예컨대 잉크젯 프린팅용으로 사용된 노즐의 크기에 따라 결정되기 때문에, 뱅크(4)들과 기판(1)에 의해 형성된 어셈블리는 적절하게 설계되어야 한다.
도 2는 그러한 2가지 어셈블리들의 평면도를 도시한다. 종래 기술에 공지된 어셈블리는 3개의 채널(8 내지 10)을 포함한다. 디스플레이 디바이스의 제조 동안, 방울(11 내지 13)은 채널(8 내지 10) 위에서 정확하게 중앙에 위치한, 하나 이상의 노즐들로부터 연속적인 흐름으로 증착되고, 길이 방향으로 노즐들을 따라 움직인다. 유체의 제 1 방울(11)은, 예를 들어 적색광을 발광하는 전자발광 재료를 초래할 수 있고, 제 2 방울(12)은 청색광을 발광하는 재료를, 제 3 방울은 녹색광을 발광하는 재료를 초래할 수 있다. 채널(8 내지 10)들은 뱅크(14)들에 의해 형성되고, 이러한 뱅크(14)들은 동등한 간격으로 이격되어, 각 채널(8 내지 10)들은 동일한 폭(wc1)을 가진다. 채널(8 내지 10)들의 폭과 채널들을 분리시키는 뱅크(14)들의 폭이 합해져서 총 폭(w1)을 형성한다. 각 컬러마다 1개씩, 3개의 픽셀(6)들이 하나의 이미지에서의 각 점을 위해 필요하므로, 총 폭(w1)은 최종 디스플레이 디바이스를 이용하여 달성될 수 있는 해상도를 결정한다. 폭(w1)이 작을수록 더 높은 해상도를 암시한다. 뱅크(14)들은 또한 너무 폭넓지 않아야 하는데, 이는 이것이 채널(8 내지 10)의 폭(wc1)을 감소시키고, 다라서 픽셀 크기 또한 감소시키기 때문이다. 도 2의 방울(11 내지 13)은 직경(d)을 가진다. 도면으로부터 알 수 있는 바와 같이, 폭(wc1)의 값은 방울(11 내지 13)의 직경(d)에 비해 너무 작게 선택되었다.
직경(d)에 대한 통상적인 값은 25 내지 30㎛의 범위 내에 있다. 방울은 약 10㎛의 정확도로 놓여질 수 있어, 방울 배치는 약 50㎛의 국부적인 폭을 요구한다. 멀티 컬러 디스플레이 디바이스의 경우에, 총 폭(w1)에 대한 바람직한 값은 약 100 내지 200㎛이다. 이는 채널 폭(wc1)이 30 내지 66㎛라는 것을 암시한다. 얻을 수 있는 최소 방울 직경과 방울 배치 정확도가 주어지면, 넘침과 이어지는 유체의 혼합은 공지된 어셈블리를 사용하는 것을 방지하기에 매우 어렵다.
종래 기술의 어셈블리 좌측에는, 본 발명에 따른 어셈블리의 실시예가 도시되어 있다. 이것 또는 3개의 채널들을 포함하는데, 디스플레이 디바이스의 제조시 이 채널들로 방울(18 내지 20)이 증착되게 된다. 이격되도록 배치된 뱅크(21 내지 24)는 채널(15 내지 17)을 한정한다. 뱅크(21 내지 24)는 알려진 어셈블리의 뱅크(14)들과 동일한 폭을 가진다. 채널(15 내지 17)의 총 폭(w2)은 알려진 디바이스의 채널(8 내지 10)과 뱅크(14)들의 총 폭(w1)과 동일하다. 하지만, 본 발명에 따른 어셈블리의 채널(15 내지 17)의 폭은 그것들의 길이를 따라 일정하지 않다. 대신, 도 2에 도시된 실시예에서, 채널의 폭은 더 작은 폭(wc2)과 층폭(wc3) 사이에서 변동된다. 채널(15 내지 17)은 그것들의 길이를 따른 특정 위치들에서 국부적으로넓어진다.
각 채널(15 내지 17)들이 한 분량의 유체를 증착하도록 복수의 공간들을 한정하기 위해, 해당 채널을 따른 복수의 위치에서 국부적으로 넓어지기 때문에, 채널(15 내지 17)에서 물질들의 어떠한 혼합도 발생하지 않고, 각 채널들은 상이한 물질들로 채워질 수 있다. 도 2의 실시예에서, 채널(15 내지 17)은 꽤 갑작스런 방식으로 넓어져서, 비교적 가파른 가장자리들과 코너들을 발생시키고, 여기서 뱅크(22, 23)들은 직선으로부터 벗어난다. 또한, 본 발명의 범위 내에서 더 점진적으로 넓어지는 채널들을 제공하는 것도 가능하다. 이는 가파른 코너들은 더 많은 유체를 끌어당기는 경향이 있기 때문에, 유리할 수 있다.
도면에서 알 수 있는 바와 같이, 이웃하는 채널(15 내지 17)의 평행한 증착 공간들은 서로 엇갈리게 되어 있다. 따라서, 채널(15 내지 17)이 국부적으로 wc3까지 넓어지더라도 총 폭은 일정하게 유지된다. 채널(15 내지 17)이 적색, 청색, 및 녹색 광을 방출하기 위한 물질들로 번갈아 채워지면, 동일한 컬러의 다음 채널까지의 거리는, 채널(15 내지 17)의 길이를 따라 여전히 작고 일정하게 유지될 것이다. 따라서, 고해상도 실현이 가능하게 된다.
본 발명에 따라 어셈블리로부터 디스플레이 디바이스를 제조하는 동안, 노즐들은 재차 채널(15 내지 17) 상에서 정확하게 중앙에 있게 되고, 길이 방향으로 채널들을 따라 움직인다. 하지만, 본 발명에 따른 제조 방법에서, 방울(18 내지 20)은 그것들의 폭(wc3)에 의해 정해진 증착 공간들에서만 증착된다. 도 2에서 알 수있듯이, 이는 방울(11 내지 13)과 동일한 직경(d)을 가진 방울(18 내지 20)이 채널(15 내지 17) 사이에서 어떠한 넘침 없이 사용되도록 한다.
더 넓은 증착 장소들의 사용은 몇가지 구별되는 장점을 가진다. 분명히, 본 발명에 따른 디스플레이 디바이스로 달성할 수 있는 해상도는 주어진 방울 직경(d)에서 종래의 디바이스의 해상도보다 더 높다. 그것들의 측면 이격(lateral spacing)도 더 작다. 부가적으로, 매트릭스 디스플레이는 증착 공간들에서 픽셀(6)들을 형성하기 위해 제 1 전극(2)과 제 2 전극(5)이 겹치도록 구성될 수 있다. 이들 공간들은 확대된 면적을 가지므로, 더 많은 광이 픽셀로부터 방출될 수 있다.
제 2 전극(5)의 폭은 좌측 채널(15) 및 우측 채널(17)과 연관된 전극들을 중앙 채널(16)과 연관된 전극으로부터 전기적으로 절연되게 유지하기에 충분히 작도록 선택되어져야만 한다는 것이 명백할 것이다. 하지만, 바람직한 실시예에서, 채널(15 내지 17)들과 실질적으로 평행하게 진행되는 제 2 전극(5)은, 픽셀 영역을 추가적으로 증가시키기 위해 증착 공간들에서 또한 넓어진다. 이는 심지어 더 큰 픽셀 크기를 제공하지만, 제 2 전극(5)들이 계속 전기적으로 절연되도록 유지시켜 픽셀(6)들이 개별적으로 주소지정 가능하도록 보장한다.
도 3은 본 발명에 다른 어셈블리의 일 실시예의 단면도를 도시한다. 전술한 타입의 기판(25)이 도시되어 있다. 뱅크(26 내지 28)들은 2개의 채널(30, 31)을 한정한다. 그 단면은 채널(30, 31)을 따라 있는 한 위치에서 취해지고, 여기서 물방울(18 내지 20)의 증착을 위한 공간은 좌측 채널(30)에 위치한다. 그 결과, 우측 채널(31)의 폭은 그곳에서 더 작다.
뱅크(26 내지 28)들은 포토레지스트층을 기판(25)에 도포함으로써 제조되었다. 그 다음, 배리어 형태(barrier topography)가 알려진 방법을 사용하여 마스크를 통해 빛을 투사함으로써 결정되었다. 그 결과, 볼록한 포토레지스트 부분(32)들로 이루어지는 포토레지스트의 패턴이 기판 위에 형성된다. 원한다면, 이러한 패턴은 채널들을 세그먼트들로 효과적으로 분할하는 체크판과 같은 구성을 생성할 수 있는 뱅크(26 내지 28)를 횡단하는 위치에서 추가로 뱅크들을 포함할 수 있다. 이는 디스플레이 디바이스에서 전극들과 채널들의 상이한 구성이 달성되어야 할 때 유용할 수 있고, 여기서 제 2 전극들은 기판에 내장되거나 또는 직접 그 위에 위치하게 되고, 제 1 전극들은 채널들의 상부에 위치하게 된다.
포토레지스트 부분(32)들의 습윤성(wettability)을 감소시키기 위해, CF4플라즈마와 같은 적절한 표면 처리가 사용될 수 있었다. 이러한 식으로 유체는 뱅크를 넘어가는 경향이 줄어든다. 뱅크(26 내지 28)는, 물론 채널의 벽들을 형성할 뿐만 아니라 어셈블리로부터 제조된 디스플레이 디바이스에서 제 2 전극(5)들 사이의 전기적인 절연을 제공한다.
바람직한 실시예에서, 포토레지스트부(32)와 결합한 물질의 뱅크 상부(33)들은 추가로 뱅크(26 내지 28)들을 구성한다. 총 높이는 1 내지 30㎛의 범위, 좀더 일반적으로는 3 내지 8㎛의 범위에 있을 수 있다. 뱅크 폭의 통상 값들은 1 내지 50㎛, 바람직하게는 5 내지 20㎛ 사이의 범위에 있다.
뱅크 상부(33)들은 채널(30, 31)을 형성하는 뱅크(26 내지 28)들이 채널(30,31)에 부분적으로 걸치는 부분(34)을 가지는 방식으로 모양이 형성된다. 이는 모세관 효과가 증가되는 결과를 가져온다. 따라서, 채널(30, 31)들의 더 넓은 부분들에 증착된 유체는 좀더 효과적으로 그리고 채널(30, 31)을 따라 좀더 신속하게 확산되고, 이로 인해 더 좁은 부분들을 채우게 된다. 그러므로, 도 3의 단면을 참조하면, 채널(30)의 디스플레이된 부분은 하나 이상의 유체 방울들로 직접 채워지고, 반면에 채널(31)의 디스플레이된 부분은 폭이 증가된 공간들 사이에서 흐르는 유체로 채워진다.
걸쳐있는 뱅크 상부(33)들의 추가 장점은, 그것들이 뱅크들 가까이의 전극 재료의 진공 증착을 방지하는 쉐도우 마스크를 제공한다는 점이다. 따라서, 뱅크(26 내지 28)들 사이에 위치한 전극들의 전기적인 절연이 보장된다.
대안적으로, 국부적으로 넓어진 뱅크들은 볼록한 포토레지스트 부분만을 포함할 수 있다. 만약 횡단하는 뱅크들이 존재하면, 상기 뱅크들에는 걸치는 부분들을 가지는 상부가 제공될 수 있다. 따라서, 걸치는 부분들을 가지는 뱅크들에 직교하는 방향으로 프린트하는 것이 또한 가능하다. 그러면, 모세관 효과는 더 이상 존재하지 않지만, 걸쳐있는 뱅크 부분들 아래에서 유체가 덜 끝나게 되며, 이는 때때로 바람직할 수 있다. 국부적으로 넓어지는 뱅크들이 여전히 존재하고 국부적으로 넓어지는 뱅크들에 의해 정해진 채널들을 따라 프린팅이 여전히 발생하기 때문에, 더 넓은 증착 공간들의 본질적인 장점이 본 발명의 이 실시예에서 유지된다.
도 4와 도 5는 본 발명에 따른 박막 어셈블리들의 또다른 2개의 실시예들을 도시한다. 도 4에서, 뱅크(35)들은 재차 상이한 유체들이 증착될 수 있는 3개의 채널(36 내지 38)을 한정한다. 채널(36 내지 38)을 따라 화면의 바닥으로부터 상부까지 움직이면, 증착 공간에서 중앙 채널(37)의 넓어짐은, 도 2의 경우에서와 마찬가지로, 좌측 채널(38)만을 희생하여 달성된다는 것이 명백하게 될 것이다. 중앙 채널(37)에 이웃하는 오직 1개의 채널만이 중앙 채널(37)에 있는 증착 공간에 평행한 위치에서 국부적으로 좁아진다.
이와 대조적으로, 도 5의 실시예에서는 뱅크(39)들이 길이 방향으로 동일한 위치들에서 오프셋(offset)된다. 제 1 채널(40)이 2개의 이웃하는 채널(41, 42)을 희생하여 넓어진다. 제 1 채널(40)에 이웃하는 양쪽 채널(41, 42)이 제 1 채널(40)에서의 증착 공간에 평행한 채널(41, 42)을 따라 있는 위치에서 국부적으로 좁아지므로, 도 2에 도시된 뱅크(21, 24)와 같은 직선 뱅크들은 이 실시예에서 발생하지 않는다. 도 4의 실시예와는 대조적으로, 상이한 뱅크(39)들의 평행한 직선 부분들은 동일한 길이를 갖는다. 이러한 대칭적인 배치는 상부에서 바라본 채널 면적이 각 채널에서 실질적으로 동일하다는 장점을 가진다. 멀티 컬러 디바이스에서, 어떠한 색도 더 넓은 발광 면적을 가지지 않을 것이다.
본 발명은 첨부된 청구항들의 범위 내에서 변형될 수 있는, 전술한 실시예들에 한정되지 않는다는 것은 당업자들에게 있어서는 명백할 것이다.
예를 들어, 뱅크들이 일정한 폭을 가진다는 것은 본 발명의 본질적인 양상이 아니다.
비록, 앞의 설명이 예를 들어 채널들 내에서의 방울들과 같은 액체의 증착에 초점이 맞추어져 있었지만, 본 발명의 어셈블리는 유럽 특히 EP0732868B1호에 기술된 바와 같이 진공 증착에 의한 물질의 증착용으로도 동일하게 잘 사용될 수 있다는 것이 이해될 것이다.
또한, 앞의 설명이 유기 전자발광 디스플레이 디바이스용의 박막 어셈블리들에 초점이 맞추어져 있었지만, 상이한 염료들의 방울들이 채널들에 증착되는 LCD와 같은 다른 박막 광 디바이스나, 형광체 입자들의 용액이 채널들에서 증착되는 플라즈마 디스플레이들에 대해서도 동일하게 잘 사용될 수 있다는 것이 이해될 것이다.
요약하면, 본 발명은:
기판(1; 25)과, 이 기판(1; 25) 위에 증착되고 물질을 수용하기 위한 복수의 채널(8 내지 10, 15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40내지 42)을 형성하도록 이격된 복수의 연장된 뱅크(4; 14, 21 내지 24; 26 내지 28; 35; 39)를 포함하는 박막 광 디바이스용 어셈블리에 관한 것이다. 적어도 1개의 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40내지 42)은 다량의 물질(18 내지 20)을 증착하기 위한 공간을 한정하기 위해 해당 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40내지 42)을 따라 있는 적어도 1개의 위치에서 국부적으로 넓어진다.
본 발명은 그러한 어셈블리를 선택하는 단계와 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40내지 42)을 따라 있는 증착 공간에서만 유기 전자발광 재료(3)를 포함하는 물질의 하나 이상의 분량(18 내지 20)을 증착시키는 단계를 특징으로 하는 전자발광 디스플레이 디바이스의 제조 방법에 관한 것이다.
그리고 본 발명은 그러한 어셈블리를 포함하는 유기 전자발광 디스플레이 디바이스에 관한 것이다.
본 발명은 고해상도 이미지 디스플레이의 구현이 필요한 디스플레이 디바이스에 응용할 수 있다.

Claims (11)

  1. 기판(1; 25)과, 상기 기판(1; 25) 상에 배치되고 물질을 수용하기 위한 복수의 채널(8 내지 10, 15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)을 형성하도록 이격된 복수의 연장된 뱅크(4; 14, 21 내지 24; 26 내지 28; 35; 39)들을 포함하는 박막 광 디바이스용 어셈블리에 있어서,
    적어도 1개의 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)은 일정량의 물질(18 내지 20)을 증착하기 위한 공간을 한정하기 위해 해당 채널(8 내지 10, 15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)을 따라 있는 적어도 1개의 위치에서 국부적으로 넓어지는 것을 특징으로 하는, 박막 광 디바이스용 어셈블리.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 각 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)은 일정량의 상기 물질(18 내지 20)을 증착하기 위한 복수의 공간을 한정하기 위해 해당 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)을 따라 복수의 위치에서 국부적으로 넓어지는, 박막 광 디바이스용 어셈블리.
  3. 제 2항에 있어서, 이웃하는 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)들의 평행한 증착 공간들은 서로 엇갈리게 되어 있는, 박막 광 디바이스용 어셈블리.
  4. 제 1항 내지 제 3항중 어느 한 항에 있어서, 채널(8 내지 10, 15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)을 형성하는 상기 뱅크(4; 14, 21 내지 24; 26 내지 28; 35; 39)의 대향면들은 적어도 부분적으로 상기 채널(8 내지 10, 15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)에 걸치는 부분(34)을 가지는, 박막 광 디바이스용 어셈블리.
  5. 제 1항 내지 제 4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 채널(40)에서의 증착 공간에 평행한 위치에서 국부적으로 좁아지는 상기 채널(40)의 양측 상에서 이웃하는 채널(41, 42)을 포함하는, 박막 광 디바이스용 어셈블리.
  6. 전자발광 디스플레이 디바이스의 제조 방법에 있어서,
    제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 따른 어셈블리를 제공하는 단계와,
    채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)들을 따르는 증착 위치에서만 유기 전자발광 재료를 포함하는 물질의 하나 이상의 분량(18 내지 20)을 증착하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 전자발광 디스플레이 디바이스의 제조 방법.
  7. 제 6항에 있어서, 상기 다량의 물질(18 내지 20)은 잉크젯 프린팅 기술을 사용하여 증착되는, 전자발광 디스플레이 디바이스의 제조 방법.
  8. 제 6항 또는 제 7항에 있어서, 상기 어셈블리는 국부적으로 넓어진 증착 공간들을 가지는 적어도 2개의 이웃하는 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)을 포함하고, 상이한 전자발광 재료(3)를 포함하는 물질들은 이웃하는 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)에 증착되는, 전자발광 디스플레이 디바이스의 제조 방법.
  9. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 의한 어셈블리를 포함하는, 유기 전자발광 디스플레이 디바이스.
  10. 제 9항에 있어서, 상기 기판(1; 25)에 내장되거나 증착된 적어도 1개의 제 1 전기 전도성 구조체와, 유기 발광 다이오드의 애노드와 캐소드를 형성하도록 하는 방식으로 적어도 상기 전자발광 재료(3)에 의해 상기 제 1 구조체로부터 분리된 적어도 1개의 추가 전기 전도성 구조체를 더 포함하는, 유기 전자발광 디스플레이 디바이스.
  11. 제 10항에 있어서, 상기 제 1 전기 전도성 구조체는 상기 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)에 실질적으로 횡단하여 진행되는 제 1 전극(2)을 포함하고, 제 2 전기 전도성 구조체는 상기 채널(15 내지 17; 30, 31; 36 내지 38; 40 내지 42)에 실질적으로 평행하게 진행되고, 겹쳐지는 점들에서 픽셀(6)을 형성하는 제 2 전극(5)을 포함하며, 여기서 상기 제 2 전극(5)은 하나 이상의 상기 증착 공간에서 국부적으로 넓어져서, 증가된 픽셀 면적을 제공하는, 유기 전자발광 디스플레이 디바이스.
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI237413B (en) * 2003-06-06 2005-08-01 Chi Mei Optoelectronics Corp Organic electro-luminescent device array and fabrication method thereof
US7132788B2 (en) * 2003-09-09 2006-11-07 Osram Opto Semiconductors Gmbh Optimal bank shapes for inkjet printing
JP2006114585A (ja) * 2004-10-13 2006-04-27 Seiko Epson Corp 隔壁構造体、隔壁構造体の形成方法、デバイス、電気光学装置及び電子機器
JP4046115B2 (ja) * 2004-11-01 2008-02-13 セイコーエプソン株式会社 デバイスの製造方法、電気光学装置、電子機器
US7166860B2 (en) * 2004-12-30 2007-01-23 E. I. Du Pont De Nemours And Company Electronic device and process for forming same
JP4483757B2 (ja) * 2005-09-30 2010-06-16 セイコーエプソン株式会社 有機ｅｌ装置及び光学装置
US20070176539A1 (en) * 2006-02-01 2007-08-02 Osram Opto Semiconductors Gmbh OLED with area defined multicolor emission within a single lighting element
US20080102253A1 (en) * 2006-10-31 2008-05-01 Icf Technology Limited. Patterned thin-film layer and method for manufacturing same
CN106784352B (zh) * 2016-12-28 2019-03-29 固安翌光科技有限公司 有机发光器件及其制造方法
CN107393946B (zh) * 2017-07-31 2020-08-11 京东方科技集团股份有限公司 一种有机发光二极管显示面板及其制作方法
TWI678009B (zh) * 2018-06-22 2019-11-21 友達光電股份有限公司 顯示面板及其製作方法
KR102648575B1 (ko) * 2018-12-12 2024-03-15 엘지디스플레이 주식회사 유기발광 표시장치

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3813217B2 (ja) 1995-03-13 2006-08-23 パイオニア株式会社 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイパネルの製造方法
JP3198016B2 (ja) * 1994-08-25 2001-08-13 シャープ株式会社 発光ダイオードアレイ及びその製造方法
US6380672B1 (en) * 1997-08-21 2002-04-30 Seiko Epson Corporation Active matrix display device
JP3885303B2 (ja) * 1997-08-29 2007-02-21 セイコーエプソン株式会社 発光基板の製造方法
JP3543170B2 (ja) * 1998-02-24 2004-07-14 カシオ計算機株式会社 電界発光素子及びその製造方法
KR100577903B1 (ko) 1998-03-17 2006-05-10 세이코 엡슨 가부시키가이샤 박막패터닝용 기판 및 그 표면처리
GB9808806D0 (en) * 1998-04-24 1998-06-24 Cambridge Display Tech Ltd Selective deposition of polymer films
JP4136185B2 (ja) * 1999-05-12 2008-08-20 パイオニア株式会社 有機エレクトロルミネッセンス多色ディスプレイ及びその製造方法
JP2001313172A (ja) * 2000-02-25 2001-11-09 Seiko Epson Corp 有機エレクトロルミネッセンス白色光源、及びその製造方法
JP2002203499A (ja) * 2000-12-28 2002-07-19 Pioneer Electronic Corp 電子放出素子フラットパネル表示装置
WO2002056104A2 (en) * 2001-01-15 2002-07-18 Avery Dennison Corporation Lcd substrate with protrusions and method of making

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Publication number Publication date
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