KR20040039370A - 광학주사장치용 광학장치 - Google Patents

Abstract

광학주사장치용 광학장치(10)는, 내장된 빔 스플리터(14), 방사원(20)을 수납하도록 구성된 내장된 부분들과, 방사선 감지 검출기(22)를 갖는 일체화된 부품(18)을 구비한다. 이 광학장치는 양호한 방사 효율을 갖고, 소형이며 경량이다. 일체화된 부품은, 유리나 투명 플라스틱 재료로 제조될 수 있으며, 회절격자(16)와 대물렌즈(12)를 구비할 수도 있다.

Description

광학주사장치용 광학장치{OPTICAL UNIT FOR AN OPTICAL SCANNING DEVICE}

본 발명은, 주사빔을 공급하는 방사원과, 주사빔을 주사하고자 하는 물체 상의 주사 스폿에 초점을 맞추는 대물렌즈와, 주사된 물체에 의해 반사된 반사빔을 전기신호로 변환하는 방사선 감지 검출기를 구비한 광학주사장치용 광학장치에 관한 것이다.

또한, 본 발명은 이와 같은 광학장치를 구비한 광학주사장치에 관한 것이다.

광학주사장치는, 일반적으로, 광 기록매체, 예를 들면 콤팩트 디스크(CD) 또는 디지털 다기능 디스크(DVD) 등의 광 디스크의 정보층을 주사하는데 사용되지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 이와 같은 경우에, 물체의 주사는, 기록된 정보층의 정보를 판독하고, 비어 있는 부분 또는 일부가 비어 있는 정보층에 정보를 기록하기 위해 정보층을 주사하는 것을 의미하는 것으로 해석된다.

현재 사용가능한 기술은, 그것들 중에서 가장 콤팩트한 것이 홀로그래피 광소자를 사용하는 광학주사장치를 제공한다. 이와 같은 소자는, 반사된 빔을 진행중인 빔의 경로로부터 검출계를 향해 편향시킨다. 홀로그래피 광소자는 선형으로 변화하는 격자 주기를 갖는 격자일 수도 있는데, 이것은 이 격자를 통과하는 방사빔이 비점수차를 갖도록 한다. US-A-4,358,200에 개시된 것과 같이, 4개의 사분면 검출기와 함께 이와 같은 비점수차를 갖는 빔을 사용할 때, 초점오차신호가 발생될수 있다.

그러나, 광학주사장치에서의 홀로그램의 이용은, 이 주사장치를 방사 강도에 대해 매우 비효율적이 되도록 한다. 이와 같은 장치에서는, 방사원에 의해 방출된 6%의 방사선만이 검출계에 도달하게 된다. 이것은, 레코더블 콤팩트 디스크(CD-R) 또는 리라이터블 콤팩트 디스크(CD-RW) 등과 같이 낮은 반사율을 갖는 물체로부터 판독하는 것이 필요한 주사장치에, 홀로그램 광소자를 갖는 광학장치를 사용하기 부적합하게 만든다. 또한, 홀로그램 광소자를 갖는 장치는 제조하는데 비용이 많이 들고, 이 장치에 대한 설계 변경도 구현하기가 어렵다.

필요성이 인식되었음에도 불구하고, 당업계에서의 계속되는 실패는, 콤팩트한 광학주사장치의 광학 파워의 효율을 증가시키는 동시에, 제조비용을 줄이는 것이 불가능한 것이었다. 그 결과, 저가이면서도 방사 효율을 갖는 콤팩트한 광 픽업장치를 제공하는 것이 지속적으로 불가능하였다.

결국, 본 발명의 목적은, 이들 문제점을 해소하여, 콤팩트하고 저가이며 방사 효율적인 광학주사장치용 광학장치를 제공함에 있다. 이 광학장치는, 방사원과 검출기를 수납하는 일체화된 부품을 구비하고, 빔 스플리터를 구성하는 내장된 경사 부분을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명은, 간단한 빔 스플리터로 홀로그램 광소자를 대체함으로써, 방사 효율이 증가될 수 있을 뿐 아니라, 빔 스플리터로서의 역할을 하는 내벽을 갖는 일체화된 부품을 제공할 수 있다는 착상에 근거를 두고 있다. 이와 같은 일체화에 의해, 광학주사장치가 더욱 더 콤팩트해지고, 더욱 더 낮은 비용으로 제조할 수 있다.

US-A 4,358,200에도, 방사빔을 기록매체로 가는 빔으로부터 분리하고, 반사빔을 검출기를 향하게 하는 빔 스플리터를 구비한 광학주사장치가 개시되어 있다는 점에 주목하기 바란다. 이와 같은 주사장치에서는, 광학 부품들이 자립형(stand-alone) 부품들로서, 빔 스플리터가 방사원과 검출기를 수납하는 일체화된 부품의 일부를 구성하지 않는다.

바람직하게는, 상기한 광학장치는, 빔 스플리터가 평판으로 구성되어, 반사빔에 비점수차를 도입하는 것을 특징으로 한다.

특정한 두께를 갖는 평판의 형상을 갖는 빔 스플리터에 입사한 반사빔이 수렴 빔이므로, 이 평판은 빔을 충분한 비점수차를 갖도록 하여, 이 빔이 비점수차법에 따라 초점오차신호를 발생하는데 이용될 수 있다. 이와 같은 방법은, 자립형 광학 부품들을 갖는 주사장치를 참조하면서 US-A 4,358,200에 기재되어 있다.

방사원과 관련하여, 상기한 광학장치는, 일체화된 부품이, 빔 스플리터의 제 1 면에 배치되고 방사원을 수납하도록 구성된 제 1 벽을 구비한 것을 더 특징으로 한다.

검출기와 관련하여, 광학장치는, 일체화된 부품이, 빔 스플리터의 제 2 면에 배치되고 방사선 감지 검출기를 수납하도록 구성된 제 2 벽을 구비한 것을 더 특징으로 한다.

상기한 광학장치는, 내장된 회절격자가 방사원과 빔 스플리터 사이에 배치된 것을 더 특징으로 한다.

3점 격자(three-spot grating)로 알려진 이와 같은 격자는 방사원으로부터의 빔을 주 빔과 2개의 보조 빔들로 분할한다. 주 빔은 광 기록매체의 정보층에 있는 주된 주사 스폿 m에 초점에 맞추어지고, 보조 빔들은 각각 주 스폿의 서로 다른 측에 있는 보조 스폿들에 초점이 맞추어진다. 당업계에 공지된 것과 같이, 보조 스폿들은 주 스폿을 트랙 상에 유지하는데 사용된다.

광학주사장치의 대물렌즈는 일체화된 부품의 외부에 배치될 수도 있다. 바람직하게는, 광학장치는, 대물렌즈가 일체화된 부품 내부에 설치되는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 구성에 의해, 광학장치가 더욱 더 콤팩트해진다.

내장된 대물렌즈는, 일체화된 부품이 제조된 후에, 이 부품 내부에 배치되는 개별 렌즈일 수도 있다. 바람직하게는, 광학장치는, 대물렌즈가 일체화된 부품과 동일한 재료로 제조되는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 구성은, 대물렌즈가 일체화된 부품과 함께 제조될 수 있도록 하여, 광학장치가 더욱 더 낮은 비용으로 제조될 수 있다.

본 발명의 또 다른 국면에 따르면, 광학장치는, 일체화된 부품이 유리로 제조된 것을 특징으로 한다.

특히, 빔 스플리터와 일체화된 대물렌즈에 대해, 유리는 뛰어난 광학 품질을 갖는다.

이와 달리, 그리고 바람직하게는, 광학장치는, 일체화된 부품이 투명 플라스틱 재료로 제조된 것을 특징으로 한다.

투명 플라스틱의 사용은, 일체화된 부품과, 이에 따라 주사장치의 질량의 감소를 가능하게 하는데, 이것은 신속한 액세스의 주사장치에 중요하다. 적합한 투며 플라스틱으로, 현재 광학분야에서 사용되고 충분한 광학품질을 갖는 폴리메틸 메타크릴레이트(PMMA) 또는 폴리카보네이트(PC)를 들 수 있다.

또한, 본 발명은, 물체를 주사하고, 주사빔과 주사동작에 의해 발생된 검출기 신호를 공급하는 광학장치와, 광학장치와 물체를 서로에 대해 이동시키는 수단과, 검출기 신호를 주사하고 있는 물체에 대한 정보를 포함하는 정보신호로 처리하는 전자처리수단을 구비한 광학주사장치에 관한 것이다. 이 주사장치는, 광학장치가 전술한 광학장치인 것을 특징으로 한다.

전술한 것과 같은 유리한 효과는, 일반적으로 광학주사장치용 광학장치와 소형화된 광학주사장치에 대해 본 명세서에 개시된 예시적인 장치, 메카니즘 및 방법 단계들에 적용된다. 이들 이점을 제공하는 특정한 구조와 단계들을 이하에서 더욱 더 상세히 설명한다.

도면에서,

도 1은 분리된 대물렌즈를 갖는 본 발명에 따른 광학장치의 제 1 실시예를 나타낸 것이고,

도 2는 내장된 대물렌즈를 갖는 본 발명에 따른 광학장치의 제 2 실시예를 나타낸 것이다.

필요에 따라, 본 발명의 상세한 실시예들을 본 명세서에서 설명하지만, 개시된 실시예들은 단지 다양한 다른 형태로 구체화될 수 있는 본 발명의 예에 불과하다는 것은 자명하다. 이들 도면은 반드시 비례축척으로 도시하지는 않았으며, 특정한 구성요소의 상세내용을 나타내기 위해 일부 특징부들을 과장하거나 최소화할 수도 있다, 따라서, 본 명세서에 개시된 특정한 구조적 및 기능적 상세내용은, 본 발명을 제한하는 것으로 해석되어서는 안되며, 청구범위에 대한 기초와, 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에게 본 발명을 다양한 방식으로 채용하도록 가르치기 위한 대표적인 기초로서 해석되어야 한다.

도 1은 분리된 대물렌즈를 갖는 본 발명에 따른 광학장치의 일 실시예를 나타낸 것이다. 이 광학장치는, 광 디스크(24)의 정보층(25)을 주사하는 광학주사장치의 일부를 구성할 수도 있다. 일반적으로, 광학주사장치는, 방사원(20), 예를 들면 레이저, 바람직하게는, 반도체 레이저, 또는 발광 다이오드(LED)를 구비한다. 주사장치의 또 다른 주요한 구성요소는, 방사원(20)에 의해 방출된 빔 b를 투명 기판(23)을 갖는 광 디스크(24)의 정보층(25)에 있는 주사 스폿 S에 초점을 맞추는 대물렌즈(12)이다. 주사장치는, 정보 평면에 의해 반사된 반사빔 b'을 전기신호들로 변환하는 짜넣어진 방사선 감지 검출기(22)를 더 구비한다. 당업계에 공지된 것과 같이, 이들 신호로부터, 판독신호, 초점오차신호 및 트랙오차신호가 유도될 수 있다.

진행중인 빔 b의 경로를 벗어나 검출기(22)를 향해 반사빔 b'을 편향시키기 위해, 종래의 콤팩트한 주사장치에서는 홀로그래피 광소자가 사용된다. 이 소자는,서로 다른 격자 주가들 또는 서로 다르게 배향된 격자 스트립들을 갖는 2개의 서브격자들로 구성된 회절격자일 수도 있다. 서로 다른 회절차수로 격자에 의해 회절된 빔들 중에서 한 개, 바람직하게는 1차 빔이 검출기로 향하게 된다. 2개의 서브격자들의 존재에 의해, 이와 같은 1차 빔이 2개의 공간적으로 분리된 서브빔들로 분할된다. 이들 서브빔은 당업계에 공지된 방법으로 초점오차신호를 발생하는데 사용된다. 이와 같은 주사장치에서는, 예를 들면 방사원에 의해 방출된 방사빔의 6% 정도의 아주 적은 부분이 실제로 검출기에 도달한다.

이와 같은 부분을 증가시키고 주사장치의 부피 및 중량을 줄이기 위해, 홀로그래피 광소자가 빔 스플리터(14)로 대체되고, 이 빔 스플리터는 도 1에 도시된 것과 같이 일체화된 부품(18) 내부에 수납된다. 이 부품은, 방사원(20)이 위치하는 개구를 갖는 제 1 외벽(19)과, 검출기(22)를 수납하기 위한 개구를 갖는 제 2 외벽(21)을 구비한다. 이 부품은, 경사 내벽(26)을 더 구비하는데, 이 경사 내벽의 일면은 방사원(22)을 향하고 나머지 면은 검출기(22)를 향한다. 일체화된 부품(18)의 재료는 투명한데, 이것은 입사 방사빔의 강도의 일부분을 반사시키고 이 강도의 나머지 부분을 투과시키는 코딩에 대한 지지체로서 경사 벽을 사용할 수 있도록 한다. 경사 벽(26)을 이와 같은 코팅(27)으로 피복함으로써, 추가적인 공간을 필요로 하지 않는 저가의 빔 스플리터(14)가 얻어진다. 이 빔 스플리터(14) 방사원으로부터 광 디스크로 빔 b의 일부를 반사시키고, 반사빔 b'의 일부를 검출기로 투과시킨다. 당업계에 공지된 것과 같이, 코팅(27)은 λ/4 및 λ/2 층들의 적층체를 구비하는데, 이때 λ는 빔 b 및 b'의 파장이다. 코팅의 조성은, 그것의 반사율 및 투과율, 따라서 디스크를 향해 반사되는 빔 b의 부분과 검출기를 향해 투과되는 빔 b'의 부분을 결정한다. 코팅의 조성은 주사장치의 예상된 맞추어 변형될 수 있다. CD 등의 양호한 반사율을 갖는 광 디스크를 판독하고자 하는 경우에는, 방사율과 투과율이 모두 50%일 수도 있다. 따라서, 50%의 방사원 방사빔이 디스크의 정보층(25)에 도달하게 되며, 25%의 방사원 방사빔이 검출기(20)에 도달하게 된다. 더 낮은 반사율을 갖는 광 디스크를 판독하고자 하거나, 정보층에 정보를 기록하고자 할 때에는, 코팅이 50%의 방사원 방사빔이 디스크로 반사되도록 하는 조성을 가질 수도 있다. 위에서 주어진 백분율은 이론적인 값이다. 실제적으로는, 다른 무엇보다도, 빔 스플리터의 피복되지 않은 면에서, 디스크의 전방면에서, 검출기의 입사면에서, 그리고 특히 디스크의 방사 손실로 인한, 원치 않는 반사에 기인한 방사 손실로 인해, 백분율이 더 낮아진다. 제 1 주사장치가 본 발명에 따른 빔 스플리터를 구비하는 한편, 제 2 주사장치가 푸코 격자(Foucault grating)를 구비한다는 점에서만 서로 다른 2개의 주사장치를 실제로 비교할 때, 첫 번째 장치에서는, 검출기에 입사된 방사빔의 양이 12.5%의 크기를 갖는 한편, 제 2 장치에서는 이 양이 6%의 크기를 갖는다는 것이 밝혀졌다. 본 발명의 광학장치의 방사 효율은 종래의 장치의 방사 효율보다 실질적으로 더 크다.

일체화된 부품(18)은, 유리나, 폴리메틸 메타크릴레이트(PMMA) 또는 폴리카보네이트(PC)와 같은 투명 플라스틱 재료 등의 임의의 적당한 강성을 갖는 투명 재료로 제조될 수도 있다. 유리는, 온도나 습도 등의 환경적인 파라미터의 영향에 민감하지 않다는 이점을 갖는다. 투명 플라스틱은 유리보다 작은 중량을 가지므로,이들 플라스틱을 사용하여 광학장치의 질량을 줄일 수 있다.

빔 스플리터(14)는 충분한 강성을 부여하기 위해 특정한 두께를 가져야만 한다. 이와 같은 두께와, 반사빔 b'이 평행빔이 아니라 수렴빔이라는 사실은, 빔 스플리터를 검출기로 진행하는 빔에 비점수차를 도입하는 비점수차 부품으로서 사용할 수 있도록 한다. 검출기(22)가 4개의 사분면 검출기를 구비한다면, US-A 4,358,200에 기재된 것과 같이, 비점수차법은 초점오차신호를 발생하는데 사용될 수 있다.

도 1에 도시된 것과 같이, 일체화된 부품(18)의 설계는, 3점 회절격자(16)가 방사원(20)을 마주보도록 벽(19)의 내면에 더 수용할 수 있도록 한다. 당업계에 공지된 것과 같이, 이와 같은 격자는, 각각 기록매체의 정보층에 있는 주 스폿의 서로 다른 측에 2개의 보조, 또는 팔로우-온(follow-on) 스폿이 생성될 수 있도록 한다. 이들 팔로우-온 스폿들이 대물렌즈(12)에 의해 검출기(22)의 서로 다른 검출기 소자들에 상이 형성되는 경우에, 이들 검출기 소자들의 출력신호가 트랙킹 에러신호로 처리될 수 있다. 일체화된 부품(18)의 벽(21)의 내면에 있는 격자(16)는, 예를 들면 몰딩공정을 사용하여, 이 구성요소와 동시에 제조될 수도 있다. 따라서, 추가적인 공간을 필요로 하지 않는 저가의 3점 격자가 광학장치에 추가될 수 있다.

도 1의 광학장치에 있는 자립형 대물렌즈(12)는 일체화된 부품(18)의 일부를 구성하는 대물렌즈로 교체될 수 있다. 후자의 대물렌즈와 부품(18)은 별개로 제조될 수 있으며, 그후 대물렌즈가 부품(18)의 상면에 고정될 수도 있는데, 예를 들면 대물렌즈가 부품(18) 내부에 이 렌즈를 위해 예약된 오리피스들 내부에 흡수될 수도 있다.

도 2는, 부품들의 추가적인 일체화가 행해진 본 발명에 따른 광학장치(30)의 일 실시예를 나타낸 것이다. 이때, 일체화된 부품(34)은, 재료의 나머지 부분과 동일한 재료로 이루어진 상면을 구비하고, 이 상면(32)은 도 1에 도시된 대물렌즈와 동일하게 빔 b의 초점을 맞추도록 성형되어, 후자의 렌즈를 대체한다. 이에 따르면, 추가적인 공간을 필요로 하지 않는 저가의 대물렌즈(32)가 얻어진다.

도 1의 실시예의 대물렌즈(12)와 도 2의 실시예의 대물렌즈(32)는 단일-비구면 또는 이중-비구면 렌즈일 수 있다. 단일-비구면 렌즈는 1개의 비구면을 갖고, 이중-비구면 렌즈는 2개의 비구면을 갖는다. 비구면은 그것의 기본적인 형상이 구형이거나 평탄한 반사면을 의미하는 것으로 해석되지만, 실제적인 형상은 구면수차를 보상하기 위해 기본적인 형상으로부터 약간의 편차를 나타낸다.

광학주사장치에서는, 초점 및 트랙킹 에러를 교정하기 위해 정보층에 대해 대물렌즈를 이동시키는 것이 일반적이다. 따라서, 종래의 장치에서는, 대물렌즈가 방사원, 검출기 및 빔 스플리터 또는 격자를 수납하는 홀더에 대해서도 움직인다. 대물렌즈가 일체화된 부품(18)에 고정되는 도 2의 광학장치의 실시예에서는, 대물렌즈의 이동이 전체 광학장치의 이동에 의해 구현된다. 대물렌즈의 작업 거리, 즉 디스크를 마주보는 렌즈 표면과 디스크 입사면 사이의 거리가, 3 내지 4mm의 더욱 더 일반적인 거리 대신에, 12mm로 줄어들 수도 있다. 작은 공역, 즉 대물 평면과 렌즈의 대물측 주 평면 사이의 작은 거리를 갖도록 대물렌즈를 설계함으로써, 광학장치의 크기, 이에 따라 중량이 더욱 더 줄어들 수 있다.

요약하면, 본 명세서에 포함된 발명의 특징과 데이터에 의해, 현재 사용가능한 광학주사장치에 있는 별개의 구성요소들에 의해 처리되는 적어도 3가지의 기능을 대체하는데 유리하게 사용될 수 있는 PMMA 등의 투명 플라스틱이나 유리로 제조된 한 개의 구성요소를 포함하여, 광학장치의 다수의 구성요소를 본 발명에 따라 광학장치(10, 30) 내에 유리하게 일체화하는 것에 대한 유용성과 성공이 확실하게 밝혀졌다. 예를 들면, 본 발명의 레이저 안내장치(10, 30)는, 현재 사용되고 있는 광학주사장치의 별도로 제조되고 설치된 회절 격자, 빔 스플리터 및 광학 하우징을 대체하는데 유리하게 사용될 수 있다.

더구나, 본 발명의 광학장치(30)는, 콤팩트하고 경량이며, 대량생산시에 매우 낮은 부품당 제조비용을 달성하는 기회를 갖는다. 더욱이, 광학장치(10, 30)는 저가이고, 광효율적이며, 콤팩하고, 고도로 집적화된 광학주사장치를 제조할 수 있도록 하므로, 이와 같은 주사장치는 본 발명의 구현을 나타낸다. 주사동작에 의해 발생된 주사 스폿들과 검출기 신호들을 제공하는 광학장치에 덧붙여, 이와 같은 주사장치는, 광학장치와 물체를 서로에 대해 이동시키는 수단과, 검출기 신호를 주사하고자 하는 물체에 대한 정보를 포함하는 정보신호로 처리하는 전자적 처리수단을 구비한다.

전술한 것과 같이, 이와 같은 광학주사장치는, 콤팩트 디스크(CD), 레코더블 콤팩트 디스크(CD-R), 리라이터블 콤팩트 디스크(CD-RW)와 디지털 다기능 디스크(DVD)들과 같은 광 디스크를 판독하는데 사용될 수 있다. 또한, 본 발명의 광학주사장치는, 주사 광학 현미경과 표면 검사 또는 표면 거칠기 측정장치 등과같은 일반적인 광학주사 목적에도 적용가능하다.

본 발명의 다양한 목적을 실현함에 있어서 본 발명의 다수의 바람직한 실시예를 설명하였다. 이들 실시예는 단지 본 발명의 원리를 예시하는 것으로 해석되어야 한다. 따라서, 본 발명의 사상과 범주를 벗어나지 않고, 본 발명의 다양한 변형 및 변경이 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에 의해 이루어질 수 있다.

Claims (9)

1. 주사빔을 공급하는 방사원과, 주사빔을 주사하고자 하는 물체 상의 주사 스폿에 초점을 맞추는 대물렌즈와, 주사된 물체에 의해 반사된 반사빔을 전기신호로 변환하는 방사선 감지 검출기를 구비한 광학주사장치용 광학장치에 있어서,

   방사원과 검출기를 수납하는 일체화된 부품을 구비하고, 빔 스플리터를 구성하는 내장된 경사 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 광학장치.
2. 제 1항에 있어서,

   빔 스플리터가 평판으로 구성되어, 반사빔에 비점수차를 도입하는 것을 특징으로 하는 광학장치.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   일체화된 부품이, 빔 스플리터의 제 1 면에 배치되고 방사원을 수납하도록 구성된 제 1 벽을 구비한 것을 특징으로 하는 광학장치.
4. 제 1항, 제 2항 및 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,

   일체화된 부품이, 빔 스플리터의 제 2 면에 배치되고 방사선 감지 검출기를 수납하도록 구성된 제 2 벽을 구비한 것을 특징으로 하는 광학장치.
5. 제 1항, 제 2항, 제 3항 및 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,

   내장된 회절격자가 방사원과 빔 스플리터 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 광학장치.
6. 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서,

   대물렌즈가 일체화된 부품 내부에 설치되는 것을 특징으로 하는 광학장치.
7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,

   일체화된 부품이 유리로 제조된 것을 특징으로 하는 광학장치.
8. 제 1항 내지 제 7항 중 어느 한 항에 있어서,

   일체화된 부품이 투명 플라스틱 재료로 제조된 것을 특징으로 하는 광학장치.
9. 물체를 주사하고, 주사빔과 주사동작에 의해 발생된 검출기 신호를 공급하는 광학장치와, 광학장치와 물체를 서로에 대해 이동시키는 수단과, 검출기 신호를 주사하고 있는 물체에 대한 정보를 포함하는 정보신호로 처리하는 전자처리수단을 구비한 광학주사장치에 있어서,

   상기 광학장치는 청구항 1 내지 8 중 어느 한 항에 기재된 광학장치인 것을 특징으로 하는 광학주사장치.