KR20040036828A - Semiconductor Device Manufacturing Apparatus Having Wafer Deposit Detection System - Google Patents

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KR20040036828A
KR20040036828A KR1020020065497A KR20020065497A KR20040036828A KR 20040036828 A KR20040036828 A KR 20040036828A KR 1020020065497 A KR1020020065497 A KR 1020020065497A KR 20020065497 A KR20020065497 A KR 20020065497A KR 20040036828 A KR20040036828 A KR 20040036828A
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Abstract

PURPOSE: Semiconductor device fabricating equipment having a wafer mounting detection system is provided to increase the yield of a wafer by detecting whether the wafer is normally installed in a slot of a wafer guide and by recovering an abnormally installed wafer after a subsequent lot doesn't be inserted. CONSTITUTION: The wafer guide includes a plurality of slots(102) and lower holes for supporting the wafer. The first light emitting element is installed in the upper outside of the wafer guide, vertical to the direction of the slots. The first light receiving element detects the light generated by the first light emitting element, confronting the light emitting element with the wafer guide between the first light receiving element and the light emitting element. The second light emitting element and the second light receiving element confront each other with the slot formed in the center of the lower hole of the wafer guide therebetween.

Description

웨이퍼 장착 감지 시스템을 구비한 반도체소자 제조설비{Semiconductor Device Manufacturing Apparatus Having Wafer Deposit Detection System}Semiconductor Device Manufacturing Equipment with Wafer Mount Detection System {Semiconductor Device Manufacturing Apparatus Having Wafer Deposit Detection System}

본 발명은 웨이퍼 장착 감지 시스템을 구비한 반도체소자 제조설비에 관한 것으로, 보다 상세하게 설명하면 반도체소자 제조 설비인 DNS사의 웨이퍼 세정 설비인 웨트 스테이션(Wet Station)에서 프로세싱전 대기부(IN-CTC)에 웨이퍼가 잔류할 경우, 후속 롯(LOT:웨이퍼 25장 단위)의 투입을 방지하여 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있도록 한 웨이퍼 장착 감지 시스템을 구비한 반도체소자 제조설비에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device manufacturing facility having a wafer mounting detection system. More specifically, the present invention relates to a pre-processing standby unit (IN-CTC) in a wet station, a wafer cleaning facility of DNS, a semiconductor device manufacturing facility. The present invention relates to a semiconductor device manufacturing facility having a wafer mounting detection system capable of preventing wafer breakage by preventing the subsequent lot (25 wafer units) from being inserted in the wafer.

도 1은 종래 웨이퍼 장착 감지 시스템의 개략적인 사시도이다. 웨이퍼 가이드(101)는 카세트에 담겨진 25장의 웨이퍼를 카세트로 부터 분리하기 위해 사용된다. 웨이퍼 가이드(101)의 슬롯(102)은 웨이퍼 25장이 삽입되도록 25개 형성되어 있으나 편의상 슬롯(102)의 수를 모두 나타내지는 아니한다. 종래의 웨이퍼 장착 감지 시스템은 웨이퍼 가이드(101)의 상부 외측에 슬롯(102)의 방향과 수직하게 한쌍의 발광소자(103) 및 수광소자(104)를 포함하여 구성되었다. 종래의 웨이퍼 장착 감지 시스템은 발광소자(103)에서 발생한 빛이 수광소자(104)에 검출되는 경우에 웨이퍼 가이드(101)에 웨이퍼(105)가 장착되지 아니한 것으로 감지하고, 발광소자(103)에서 발생한 빛이 수광소자(104)에서 검출되지 아니한 경우에 웨이퍼 가이드(101)에 웨이퍼(105)가 장착된 것으로 감지한다.1 is a schematic perspective view of a conventional wafer mount detection system. The wafer guide 101 is used to separate the 25 wafers contained in the cassette from the cassette. 25 slots 102 of the wafer guide 101 are formed so that 25 wafers may be inserted, but the number of slots 102 is not shown for convenience. The conventional wafer mounting detection system includes a pair of light emitting elements 103 and a light receiving element 104 on the upper outer side of the wafer guide 101 perpendicular to the direction of the slot 102. The conventional wafer mounting detection system detects that the wafer 105 is not mounted on the wafer guide 101 when the light generated from the light emitting element 103 is detected by the light receiving element 104, and the light emitting element 103 When the generated light is not detected by the light receiving element 104, the wafer 105 is detected as being mounted on the wafer guide 101.

웨이퍼 가이드(101)에 웨이퍼(105)가 장착되지 아니한 경우에만 후속 롯(LOT: 웨이퍼 25장 단위)을 투입하여 웨이퍼 가이드(101)에 웨이퍼(105)가 장착되도록 하였다.Only when the wafer 105 was not mounted on the wafer guide 101, a subsequent lot (LOT: 25 wafer units) was added to allow the wafer 105 to be mounted on the wafer guide 101.

그런데 이러한 종래의 웨이퍼 장착 감지 시스템에서는 웨이퍼 가이드(101)에 웨이퍼가 불완전하게 장착되는 경우가 있는데 이를 감지하지 못하는 문제점이 있다. 이를 상세히 설명한다.By the way, in the conventional wafer mounting detection system there is a case that the wafer is incompletely mounted on the wafer guide 101, there is a problem that can not detect this. This will be described in detail.

도 2는 종래 웨이퍼 장착 감지 시스템에서 웨이퍼(105a, 105b)가 비정상적으로 장착된 경우를 도시하는 개략적인 사시도이다. 슬롯(102)에 정상적으로 장착된 웨이퍼(105a)와 비정상적으로 장착된 웨이퍼(105b)가 공존하는 경우는 발광소자(103)에서 발생한 빛이 수광소자(104)에서 검출되지 아니하므로 후속 롯(LOT)이 투입되지 않으나, 공정이 중단되지 않고 계속 진행되어 비정상적으로 장착된 웨이퍼(105b)는 이후의 공정에서 손상된다.FIG. 2 is a schematic perspective view illustrating a case where wafers 105a and 105b are abnormally mounted in a conventional wafer mounting detection system. In the case where the wafer 105a normally mounted in the slot 102 and the wafer 105b abnormally mounted coexist, light generated by the light emitting device 103 is not detected by the light receiving device 104. Although this is not injected, the process continues without interruption and the abnormally loaded wafer 105b is damaged in a subsequent process.

더욱이 정상적으로 장착된 웨이퍼(105a)없이 비정상적으로 장착된 웨이퍼(105b)만 존재하는 경우, 발광소자(103)에서 발생한 빛이 수광소자(104)에서 검출되므로 후속 롯(LOT)이 투입되어 다수의 웨이퍼가 슬롯(102)에 정상적으로 장착되지 않고 공정이 계속 진행되어 다수의 웨이퍼가 파손되는 심각한 문제를 초래하였다.Furthermore, in the case where only the wafer 105b that is abnormally mounted without the wafer 105a normally loaded exists, the light generated by the light emitting device 103 is detected by the light receiving device 104, so that a subsequent lot is inserted into the wafer. Has not been properly mounted in the slot 102 and the process has continued, resulting in a serious problem in which a large number of wafers are broken.

따라서 본 발명은 웨이퍼 가이드의 슬롯에 웨이퍼가 정상적으로 장착되었는지를 감지하여 비정상적으로 장착된경우 이를 감지하여 후속 롯(LOT)이 투입되지 않도록 한 후, 비정상적으로 장착된 웨이퍼를 복구할 수 있도록 하여 웨이퍼의 수율을 증가시킴에 그 목적이 있다.Therefore, the present invention detects whether the wafer is normally mounted in the slot of the wafer guide and detects that the wafer is abnormally mounted so that a subsequent lot is not inserted, so that the abnormally mounted wafer can be recovered. The purpose is to increase yield.

도 1은 종래 웨이퍼 장착 감지 시스템의 개략적인 사시도이고,1 is a schematic perspective view of a conventional wafer mount detection system,

도 2는 종래 웨이퍼 장착 감지 시스템에서 웨이퍼가 비정상적으로 장착된 경우를 도시하는 개략적인 사시도이고,2 is a schematic perspective view illustrating a case where a wafer is abnormally mounted in a conventional wafer mounting detection system,

도 3a는 본 발명에 의한 반도체소자 제조설비에 형성된 웨이퍼 장착 감지 시스템의 개략적인 사시도이고,3A is a schematic perspective view of a wafer mounting detection system formed in a semiconductor device manufacturing apparatus according to the present invention;

도 3b는 본 발명에 의한 반도체소자 제조설비에 형성된 웨이퍼 장착 감지 시스템의 개략적인 정면도이다.3B is a schematic front view of a wafer mounting detection system formed in a semiconductor device manufacturing facility according to the present invention.

※ 도면의 주요 부분에 대한 간단한 설명 ※※ Brief description of the main parts of the drawing ※

101: 웨이퍼 가이드 102: 슬롯101: wafer guide 102: slot

103, 103a, 103b, 103c: 발광소자 104,104a, 104b, 104c: 수광소자103, 103a, 103b, 103c: light emitting elements 104, 104a, 104b, 104c: light receiving elements

105, 105a, 105b: 웨이퍼 303: 하부 홀105, 105a, 105b: wafer 303: lower hole

이러한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 반도체소자 제조 설비는 다수의 슬롯과 하부 홀을 구비한 웨이퍼 가이드를 포함하고, 웨이퍼 가이드 상부 외측에 슬롯의 방향과 수직하게 배치된 제 1 발광소자와; 웨이퍼 가이드를 사이에 두고 발광소자와 대향하게 배치되어, 발광소자에서 발생한 빛을 검출하기 위한 제 1 수광소자와; 웨이퍼 가이드의 하부 홀의 중심근방 슬롯을 사이에 두고 서로 대향하게 형성된 제 2 발광소자 및 제 2 수광소자를 포함한 웨이퍼 장착 감지 시스템을 구비한 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a semiconductor device manufacturing apparatus according to the present invention includes a wafer guide having a plurality of slots and a lower hole, the first light emitting device being disposed perpendicularly to the direction of the slot on the outer side of the wafer guide; A first light receiving element disposed opposite the light emitting element with the wafer guide therebetween to detect light generated from the light emitting element; And a wafer mounting detection system including a second light emitting element and a second light receiving element formed to face each other with a slot near a center of a lower hole of the wafer guide interposed therebetween.

양호하게는, 웨이퍼 가이드의 하부 홀의 길이방향 일 측단부 부근 슬롯을 사이에 두고 서로 대향하게 배치된 제 3 발광소자와 제 3 수광소자 및 웨이퍼 가이드의 하부 홀의 길이방향 타 측단부 부근 슬롯을 사이에 두고 서로 대향하게 배치된 제 4 발광소자와 제 4 수광소자를 더 포함한 것을 특징으로 한다.Preferably, a slot between the third light emitting element and the third light receiving element disposed opposite to each other with a slot near one longitudinal end of the lower hole of the lower hole of the wafer guide interposed therebetween a slot near the other longitudinal end of the lower hole of the wafer guide. And a fourth light emitting device and a fourth light receiving device which are disposed to face each other.

이하, 도면을 중심으로 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 3a는 본 발명에 의한 반도체소자 제조설비에 형성된 웨이퍼 장착 감지 시스템의 개략적인 사시도이고, 도 3b는 본 발명에 의한 반도체소자 제조설비에 형성된 웨이퍼 장착 감지 시스템의 개략적인 정면도이다.3A is a schematic perspective view of a wafer mounting detection system formed in a semiconductor device manufacturing facility according to the present invention, and FIG. 3B is a schematic front view of a wafer mounting detection system formed in a semiconductor device manufacturing facility according to the present invention.

본 발명에 의한 웨이퍼 장착 감지 시스템은 웨이퍼 가이드(101)의 하부 홀(303)의 중심근방 슬롯을 통과하는 한 쌍의 발광소자(103a) 및 수광소자(104a)를 구비하고 있으며, 양호하게는 웨이퍼 가이드(101)의 하부 홀(303)의 길이방향 양 측단부 부근에 위치한 슬롯을 사이에 두고 한 쌍의 발광소자(103b, 103c) 및 수광소자(104b, 104c)를 구비하고 있다.The wafer mounting detection system according to the present invention includes a pair of light emitting elements 103a and a light receiving element 104a passing through a slot near the center of the lower hole 303 of the wafer guide 101, preferably a wafer. A pair of light emitting elements 103b and 103c and light receiving elements 104b and 104c are provided between the slots positioned near both side end portions in the longitudinal direction of the lower hole 303 of the guide 101.

이렇게 웨이퍼 가이드(101) 하부 홀(303)를 사이에 두고 대향하게 배치된 발광소자(103b, 103c) 및 수광소자(104b, 104c)는 웨이퍼 가이드(101)위에 비정상적으로 장착된 웨이퍼(105b)를 검출하기 위함이다.The light emitting elements 103b and 103c and the light receiving elements 104b and 104c which are disposed to face each other with the lower hole 303 between the wafer guide 101 and the wafer guide 101 may have a wafer 105b abnormally mounted on the wafer guide 101. To detect.

정상적으로 장착된 웨이퍼(103b)가 존재하는 경우에는 발광소자에서 발생한 빛은 웨이퍼 사이의 공간을 통과하여 수광소자에서 검출되지만, 웨이퍼 가이드(101)에 비정상적으로 장착된 웨이퍼(105b)가 존재하는 경우 발광소자(103b, 103c)에서 발생한 빛은 수광소자(104b, 104c)에서 검출되지 아니한다. 만약 수광소자(104b, 104c)에서 빛이 검출되지 아니하는 경우 이 신호를 반도체소자 제조설비의 제어부(도시안됨)에 전달하여 작업이 중단되도록 한후 비 정상적으로 장착된 웨이퍼(105b)를 정상적으로 장착되도록 수정한다.In the case where the normally loaded wafer 103b exists, the light generated by the light emitting device passes through the space between the wafers and is detected by the light receiving device, but when the wafer 105b abnormally mounted in the wafer guide 101 exists, the light is emitted. Light generated by the elements 103b and 103c is not detected by the light receiving elements 104b and 104c. If light is not detected in the light receiving elements 104b and 104c, the signal is transmitted to the control unit (not shown) of the semiconductor device manufacturing facility so that the operation is stopped, and then the wafer 105b which is not normally loaded is modified to be normally mounted. do.

한편, 본 명세서와 도면에 개시된 발명의 실시예들은 이해를 돕기 위해 특정 예를 예시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것이 아니다. 여기에 개시된 실시예들 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변화예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.On the other hand, embodiments of the invention disclosed in the specification and drawings are merely illustrative of specific examples for the purpose of understanding and are not intended to limit the scope of the invention. It is apparent to those skilled in the art that other variations based on the technical idea of the present invention can be carried out in addition to the embodiments disclosed herein.

본 발명에 의한 웨이퍼 장착 감지 시스템을 구비한 반도체소자 제조설비는 웨이퍼 가이드의 슬롯에 웨이퍼가 정상적으로 장착되었는지를 감지하여 비정상적으로 장착된 경우 이를 감지하여 후속 롯(LOT)이 투입되지 않도록 한 후, 비정상적으로 장착된 웨이퍼를 복구할 수 있도록 하여 웨이퍼의 수율을 증가시킬 수 있다.The semiconductor device manufacturing equipment having the wafer mounting detection system according to the present invention detects whether the wafer is normally mounted in the slot of the wafer guide and detects that the wafer is abnormally mounted so that a subsequent lot is not inserted thereafter. The wafer yield can be increased by allowing the mounted wafer to be recovered.

Claims (2)

웨이퍼를 지지하기 위한 다수의 슬롯과 하부 홀을 구비한 웨이퍼 가이드를 포함한 반도체소자 제조 설비로서,A semiconductor device manufacturing apparatus including a wafer guide having a plurality of slots and a lower hole for supporting a wafer, 상기 웨이퍼 가이드 상부 외측에 상기 슬롯의 방향과 수직하게 배치된 제 1 발광소자;A first light emitting device disposed vertically to the direction of the slot outside the upper portion of the wafer guide; 상기 웨이퍼 가이드를 사이에 두고 상기 발광소자와 대향하게 배치되어, 상기 발광소자에서 발생한 빛을 검출하기 위한 제 1 수광소자;A first light receiving element disposed opposite the light emitting element with the wafer guide therebetween to detect light generated from the light emitting element; 상기 웨이퍼 가이드의 하부 홀의 중심근방 슬롯을 사이에 두고 서로 대향하게 형성된 제 2 발광소자 및 제 2 수광소자;A second light emitting element and a second light receiving element formed to face each other with a slot near a center of a lower hole of the wafer guide interposed therebetween; 를 포함한 웨이퍼 장착 감지 시스템을 구비한 반도체소자 제조 설비.Semiconductor device manufacturing equipment having a wafer mounting detection system including a. 제 1항에 있어서, 상기 웨이퍼 가이드의 하부 홀의 길이방향 일 측단부 부근 슬롯을 사이에 두고 서로 대향하게 배치된 제 3 발광소자와 제 3 수광소자; 및The light emitting device of claim 1, further comprising: a third light emitting element and a third light receiving element disposed to face each other with slots adjacent to one side end portion in the longitudinal direction of the lower hole of the wafer guide; And 상기 웨이퍼 가이드의 하부 홀의 길이방향 타 측단부 부근 슬롯을 사이에 두고 서로 대향하게 배치된 제 4 발광소자와 제 4 수광소자;A fourth light emitting element and a fourth light receiving element disposed to face each other with slots near the other end side in the longitudinal direction of the lower hole of the wafer guide interposed therebetween; 를 더 포함한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 장착 감지 시스템을 구비한 반도체 소자 제조 설비.Semiconductor device manufacturing equipment having a wafer-mounted detection system further comprising.
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