KR20040022532A - Remote plasma atomic layer chemical vapor deposition apparatus and method - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus for depositing a remote plasma atomic layer is provided to improve uniformity in forming a thin film by making a ring-type gas supply unit dispose a plurality of gas supply units on the same plane. CONSTITUTION: A reaction chamber(10) has an inner space. A substrate for forming a thin film is placed on a substrate support unit(14) disposed in a side of the inner space of the reaction chamber. A remote plasma generation unit supplies plasma to the inner space of the reaction chamber, installed outside the reaction chamber. At least one ring-type source supply unit supplies source for forming the thin film to the inner space of the reaction chamber.

Description

리모트 플라즈마 원자층 증착 장치 및 방법{REMOTE PLASMA ATOMIC LAYER CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND METHOD}Remote plasma atomic layer deposition apparatus and method {REMOTE PLASMA ATOMIC LAYER CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND METHOD}

본 발명은 박막 형성장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 박막을 원자층 단위로 형성하는 원자층 증착(Atomic layer deposition: ALD) 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film forming apparatus, and more particularly, to an atomic layer deposition (ALD) apparatus for forming a thin film in atomic layer units.

일반적으로, 박막은 반도체 소자의 유전막, 액정표시소자의 투명한 도전체및 전자 발광 박막 표시 소자의 보호층 등으로 다양하게 사용된다.In general, the thin film is variously used as a dielectric film of a semiconductor device, a transparent conductor of a liquid crystal display device, and a protective layer of an electroluminescent thin film display device.

이러한 박막은 일반적으로 졸-겔(Sol-gel)법, 스퍼터링(Sputtering)법, 전기도금(Electro-plating)법, 증기(Evaporation)법, 화학기상증착(Chemical vapor deposition)법, 원자층증착(ALD)법 등에 의하여 형성된다.Such thin films are generally sol-gel method, sputtering method, electro-plating method, evaporation method, chemical vapor deposition method, atomic layer deposition ( ALD) method or the like.

이중에서, 원자층 증착법은 기존의 화학기상증착법에 비하여 우수한 단차 피복성을 얻을 수 있고, 저온 공정이 가능하며, 막의 두께를 원자 단위로 형성할 수 있는 장점들을 갖는다.Among these, the atomic layer deposition method has advantages in that it is possible to obtain an excellent step coverage, a low temperature process, and to form a film thickness in atomic units as compared with the conventional chemical vapor deposition method.

원자층 증착법은 열분해(Pyrolysis)가 아닌 각 반응물의 주기적 공급을 통한 화학적 치환(Chemical substitution)으로 반응물을 분해하여 박막을 형성하는 방법이다.The atomic layer deposition method is a method of forming a thin film by decomposing a reactant by chemical substitution through periodic supply of each reactant rather than pyrolysis.

박막의 증착은 그 박막의 균질성과, 의도하는 영역에 그 박막이 얼마나 균일한 두께로 형성되었는지에 따라 그 가치가 평가된다. 양질의 박막을 형성하기 위한 여러 가지 방법들이 있지만, 소오스 가스가 두 가지 이상의 원소를 포함하는 경우에는, 믹싱을 균일하게 하는 것과, 소오스 가스를 챔버내에 유입시키는 과정에서 소오스 가스가 기판의 전면에 고르게 분사되도록 하는 것이 중요하다.The deposition of thin films is valued according to their homogeneity and how uniformly the thin films are formed in the intended area. There are many ways to form a high quality thin film, but if the source gas contains two or more elements, the source gas is evenly distributed on the front of the substrate during uniform mixing and inflowing the source gas into the chamber. It is important to be sprayed.

원자층 증착 장치의 경우, 소오스 가스의 분사는 챔버 내의 웨이퍼 바로 위에서 이루어진다는 사실을 고려할 때, 소오스 가스를 웨이퍼 전면에 고르게 분사하는 것이 특히 중요하다.In the case of an atomic layer deposition apparatus, it is particularly important to spray the source gas evenly over the wafer, given that the injection of the source gas occurs directly above the wafer in the chamber.

그러나, 종래의 트래블링(Traveling) 방식의 경우 기판의 전면에 걸쳐서 균일성을 확보하기가 어렵고, 샤워 헤드(Shower head) 방식의 경우, 트래블링 방식에비하여 균일성을 향상시키지만, 소오스 가스가 기판에 수직으로 1차 충돌한 후 측방향으로 플로우되면서 막이 증착되기 때문에 박막의 증착속도가 느려지거나 박막이 웨이퍼 전면에 걸쳐서 고른 두께로 형성되지 않는 문제가 있다.However, in the conventional traveling method, it is difficult to ensure uniformity over the entire surface of the substrate, and in the shower head method, the uniformity is improved compared to the traveling method, but the source gas is used. Since the film is deposited as it flows in the lateral direction after the first collision vertically, there is a problem that the deposition rate of the thin film is slowed or the thin film is not formed to an even thickness over the entire surface of the wafer.

아울러, 종래의 원자층 증착장치는 플라즈마가 반응실의 내부에서 직접 발생되므로, 기판에 충격을 주는 문제가 발생된다.In addition, in the conventional atomic layer deposition apparatus, since the plasma is generated directly inside the reaction chamber, a problem occurs that impacts the substrate.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해서 제안된 것으로서, 박막 형성에서의 균일성을 유지하는 동시에 플라즈마에 의한 기판의 손상을 방지하는데 있다.Accordingly, the present invention has been proposed to solve the above problems, and is intended to maintain the uniformity in thin film formation and to prevent damage to the substrate by plasma.

본 발명의 다른 목적과 특징들은 이하에 서술되는 실시예를 통하여 보다 명확하게 이해될 것이다.Other objects and features of the present invention will be more clearly understood through the embodiments described below.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따르는 리모트 플라즈마 원자층 증착 장치의 개략적 사시도이다.1 is a schematic perspective view of a remote plasma atomic layer deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따르는 리모트 플라즈마 원자층 증착 장치의 개략적 사시도이다.2 is a schematic perspective view of a remote plasma atomic layer deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 3은 도 1과 도 2에서 적용된 가스 공급부의 저면도이다.3 is a bottom view of the gas supply unit applied in FIGS. 1 and 2.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따르는 리모트 플라즈마 원자층 증착 장치의 개략적 사시도이다.4 is a schematic perspective view of a remote plasma atomic layer deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일측면에 따른 리모트 플라즈마 원자층 증착 장치는 내부 공간을 갖는 반응실, 반응실의 내부 공간의 일측에 배치되고 박막 형성을 위한 기판이 안치되는 기판 지지대, 반응실의 외측에 설치되어 반응실의 내부 공간으로 플라즈마를 공급하기 위한 리모트 플라즈마 발생부, 및 반응실 내부로 박막 형성을 위한 소오스 가스를 공급하는 적어도 하나의 링 타입의 소오스 가스 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.A remote plasma atomic layer deposition apparatus according to an aspect of the present invention for achieving the above object is a reaction chamber having an inner space, a substrate support disposed on one side of the inner space of the reaction chamber and a substrate for forming a thin film, the reaction A remote plasma generator configured to supply plasma to an inner space of the reaction chamber and at least one source gas supply unit supplying a source gas for forming a thin film into the reaction chamber; It is done.

일실시예로, 링 타입의 소오스 공급부는 서로 다른 소오스를 동시에 또는 독립적으로 공급하기 위해 쌍을 이루어 배치되며, 각각 직경을 달리하여 동일 평면상에 배치될 수 있다.In one embodiment, the ring type source supplies are arranged in pairs to supply different sources simultaneously or independently, and may be arranged on the same plane, each having a different diameter.

본 발명의 장치는 반응실 내에 설치된 제 2 플라즈마 발생부를 추가로 포함하고, 제 2 플라즈마 발생부는 기판 지지대의 소정 부분에 설치되어 기판에 RF 파워를 인가하기 위한 제 1 전극부와, 제 1 전극부로부터 소정 간격 이격되고 제 1 전극부와 함께 RF 파워를 인가받아서 소오스 가스 공급부를 통하여 공급된 소오스들에 RF 파워를 인가하므로써 플라즈마를 발생시키는 제 2 전극부와, 소오스 가스를 반응실의 내부 공간으로 유입시키기 위한 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급부를 포함한다.The apparatus of the present invention further includes a second plasma generating unit installed in the reaction chamber, wherein the second plasma generating unit is installed at a predetermined portion of the substrate support to apply RF power to the substrate, and the first electrode unit. A second electrode portion spaced apart by a predetermined distance from the second electrode portion and receiving RF power together with the first electrode portion to generate plasma by applying RF power to the sources supplied through the source gas supply portion; And a carrier gas supply for supplying a carrier gas for introduction.

바람직하게 리모트 플라즈마 발생부는 캐리어 가스 공급부와 연통된다.Preferably the remote plasma generator is in communication with the carrier gas supply.

본 발명의 다른 측면에 따르는 리모트 플라즈마 원자층 증착장치는, 내부 공간을 갖는 반응실과; 상기 반응실의 내부 공간의 일측에 배치되고, 박막 형성을 위한 기판이 안치되는 기판 지지대와; 상기 반응실 내에 장착되어, 플라즈마를 발생하기 위한 제1 플라즈마 발생부와, 상기 반응실의 외측에 설치되어, 플라즈마의 추가 공급이 필요할 때 상기 반응실의 내부 공간으로 플라즈마를 공급하며, 추가 공급이 필요하지 않을 때 발생된 리모트 플라즈마를 상기 반응실 외측의 소정 부분에서 바이패스시키는 바이패스부를 갖는 리모트 플라즈마 발생부와; 상기 반응실의 내부 공간으로 박막 형성을 위한 소오스를 공급하는 적어도 하나의 링 타입의 소오스 공급부를 포함하는 것을 특징으로 한다.Remote plasma atomic layer deposition apparatus according to another aspect of the present invention, the reaction chamber having an internal space; A substrate support disposed on one side of an inner space of the reaction chamber and in which a substrate for forming a thin film is placed; It is mounted in the reaction chamber, the first plasma generating unit for generating a plasma, and is installed outside the reaction chamber, when the additional supply of plasma is supplied to supply the plasma to the inner space of the reaction chamber, the additional supply is A remote plasma generating unit having a bypass unit for bypassing the remote plasma generated when it is not necessary to a predetermined portion outside the reaction chamber; At least one ring-type source supply for supplying a source for forming a thin film to the inner space of the reaction chamber characterized in that it comprises a.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 리모트 플라즈마 원자층 증착방법은, 리모트 H2, H2/Ar, O2, N2플라즈마를 항상 온 시킨 상태에서 유기금속 소오스나 할라이드 소오스를 주기적으로 공급하여 금속, 금속 질화물 또는 금속 산화물을 기판 상에 증착하는 것을 특징으로 한다.According to another aspect of the present invention, the remote plasma atomic layer deposition method, by supplying the organometallic source or halide source periodically while the remote H 2 , H 2 / Ar, O 2 , N 2 plasma is always turned on , Metal nitride or metal oxide is deposited on the substrate.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 원자층 증착 장치의 개략적 구성을 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view showing a schematic configuration of an atomic layer deposition apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 원자층 증착 장치는 내부 공간을 갖는 반응실(10)을 포함한다. 반응실(10)의 내부 공간의 일측에 기판 지지대(12)가 배치된다. 기판 지지대(12)의 하부에 실린더(13)가 연결되어 있다. 기판 지지대(12) 위에 박막 형성을 위한 기판(14)이 안치된다.Referring to FIG. 1, the atomic layer deposition apparatus of the present invention includes a reaction chamber 10 having an internal space. The substrate support 12 is disposed at one side of the inner space of the reaction chamber 10. The cylinder 13 is connected to the lower part of the substrate support 12. The substrate 14 for forming a thin film is placed on the substrate support 12.

반응실(10)의 외측에 리모트 플라즈마 발생부(미도시)가 설치된다. 리모트 플라즈마 발생부는 반응실의 외부에서 발생한 플라즈마를 캐리어 가스 공급부(16)를 통하여 반응실의 내부 공간으로 공급한다.A remote plasma generating unit (not shown) is installed outside the reaction chamber 10. The remote plasma generation unit supplies the plasma generated outside the reaction chamber to the internal space of the reaction chamber through the carrier gas supply unit 16.

반응실(10)의 내부 공간으로 박막 형성을 위한 소오스 가스를 공급하기 위하여 링 타입의 하나의 소오스 가스 공급부(18)가 장착되어 있다. 소오스 가스 공급부(18)는 링 타입의 헤드부(18a)와, 헤드부(18a)의 일단에 연통되어 소오스 가스를 헤드부(18a)로 공급하는 소오스 가스 공급관(18b)을 포함한다.In order to supply a source gas for forming a thin film into the inner space of the reaction chamber 10, one source gas supply unit 18 having a ring type is mounted. The source gas supply part 18 includes a ring-type head part 18a and a source gas supply pipe 18b which communicates with one end of the head part 18a and supplies a source gas to the head part 18a.

헤드부(18a)와 기판(14) 사이의 간격 d는, 예를 들어, 약 1cm 정도로 유지한다. 또한, 기판(14)으로서 8인치 웨이퍼가 사용되는 경우, 헤드부(18a)의 직경은 약 5 ~ 6인치 정도의 범위를 갖도록 한다.The distance d between the head portion 18a and the substrate 14 is maintained at about 1 cm, for example. In addition, when an 8-inch wafer is used as the substrate 14, the diameter of the head portion 18a is in the range of about 5 to 6 inches.

도 3에 도시된 것처럼, 헤드부(18a)의 하면에 소오스 가스 공급관을 통하여 공급된 소오스 가스를 반응실 내부로 분사하기 위하여 일정 간격마다 소정 직경의 분사홀(18h)들이 구비되어 있다. 분사홀(18h)의 직경은 약 0.1mm ~ 5.0mm 정도이다. 분사홀(18h)은 원형의 구조를 갖는 것이 바람직하지만, 거기에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 분사홀(18h)은 원형 외에 다른 형태라도 무방하다.As illustrated in FIG. 3, injection holes 18h having predetermined diameters are provided at predetermined intervals in order to inject the source gas supplied through the source gas supply pipe into the reaction chamber on the lower surface of the head portion 18a. The diameter of the injection hole 18h is about 0.1 mm to 5.0 mm. The injection hole 18h preferably has a circular structure, but is not limited thereto. Therefore, the injection hole 18h may be other forms besides circular.

소오스 가스는 여러 가지 독성을 함유할 수 있으므로, 헤드부(18a)의 수명 연장을 위해서, 소오스 가스에 대한 반응 저항성이 우수한 물질로 만들어지는 것이 바람직하다. 예를 들어, 염소(Cl) 성분을 포함하는 사염화티타늄(TiCl4)이 소오스 가스 중 하나로 공급되는 경우, 헤드부(18a)는 반응 저항성이 우수한 니켈(Ni)로 만들어지는 것이 바람직하다.Since the source gas may contain various toxicities, it is preferable that the source gas be made of a material excellent in reaction resistance to the source gas in order to extend the life of the head portion 18a. For example, when titanium tetrachloride (TiCl 4 ) containing a chlorine (Cl) component is supplied to one of the source gases, the head portion 18a is preferably made of nickel (Ni) having excellent reaction resistance.

도 1의 소오스 가스 공급부(18)는 비록 하나의 소오스 가스 공급관과 하나의 헤드부로 구성되어 있지만, 이들을 통하여 적어도 하나의 소오스 가스가 공급될 수 있다.Although the source gas supply unit 18 of FIG. 1 includes one source gas supply pipe and one head unit, at least one source gas may be supplied through the source gas supply unit 18.

예를 들어, 임의의 박막을 형성하기 위하여, 두 가지의 소오스 가스가 공급될 필요가 있을 때, 소오스 가스 공급부(18)를 통하여 제 1 소오스 가스가 먼저 공급되고, 제 2 소오스 가스가 이후에 공급된다.For example, in order to form an arbitrary thin film, when two source gases need to be supplied, the first source gas is first supplied through the source gas supply unit 18, and the second source gas is subsequently supplied. do.

한편, 도 1의 예에서는 소오스 가스 공급부(18)와 캐리어 가스 공급부(16)가 별도로 구비되어 있지만, 질소(N2) 가스, 아르곤(Ar) 가스, 헬륨(He) 가스와 같은 캐리어 가스들이 캐리어 가스 공급부(16)가 아니라 소오스 가스 공급관(18b)을 통하여 공급되도록 할 수도 있다.Meanwhile, in the example of FIG. 1, the source gas supply unit 18 and the carrier gas supply unit 16 are separately provided, but carrier gases such as nitrogen (N 2 ) gas, argon (Ar) gas, and helium (He) gas are carriers. Instead of the gas supply unit 16, the source gas supply pipe 18b may be supplied.

도면에 도시되지는 않았지만, 리모트 플라즈마 발생부에서 발생한 플라즈마 만으로 박막의 형성조건이 충족되지 않는 경우를 대비하기 위하여, 리모트 플라즈마 발생부와는 별도로 반응실 내에 제 2 플라즈마 발생부가 구비될 수 있다.Although not shown in the drawings, in order to prepare for the case where the thin film formation conditions are not satisfied by the plasma generated in the remote plasma generator, the second plasma generator may be provided in the reaction chamber separately from the remote plasma generator.

제 2 플라즈마 발생부는 반응실의 내부 공간의 소정 부분에 배치되어, 기판에 RF 파워를 인가하기 위한 제 1 전극부를 포함한다. 제 1 전극부로부터 소정 간격 이격되어 제 2 전극부가 설치된다. 제 2 전극부는 제 1 전극부와 함께 RF 파워를 인가받아서, 소오스 가스 공급부(18)를 통하여 공급된 소오스 가스들에 RF 파워를 인가하므로써 플라즈마를 발생시킨다.The second plasma generating unit is disposed in a predetermined portion of the internal space of the reaction chamber and includes a first electrode unit for applying RF power to the substrate. The second electrode part is provided spaced apart from the first electrode part by a predetermined interval. The second electrode part receives RF power together with the first electrode part to generate plasma by applying RF power to source gases supplied through the source gas supply unit 18.

도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따르는 원자층 화학기상증착 장치의 개략적 구성을 보여주는 사시도이다.2 is a perspective view showing a schematic configuration of an atomic layer chemical vapor deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 2와 도 1을 비교하면, 도 2의 원자층 증착장치는 두 개의 소오스 가스 공급부(18, 20)를 구비하고 있다는 점이 도 1의 원자층 증착장치와 구별된다. 즉, 반응실(10), 기판 지지대(14), 캐리어 가스 공급부(16) 및 리모트 플라즈마 발생부의 구성은 도 1의 그것들과 동일하다.2 and 1, the atomic layer deposition apparatus of FIG. 2 is distinguished from the atomic layer deposition apparatus of FIG. 1 by having two source gas supply units 18 and 20. That is, the structure of the reaction chamber 10, the substrate support 14, the carrier gas supply part 16, and the remote plasma generation part is the same as that of FIG.

선택적으로, 두 개의 가스 공급부(18, 20) 중 하나를 통하여 박막 형성을 위한 제 1 소오스 가스가 공급되고, 다른 하나의 가스 공급부를 통하여 박막 형성을 위한 제 2 소오스 가스가 공급된다. 즉, 두 가지의 소오스 가스를 동시에 공급할 필요가 있거나, 단일 소오스 공급부의 적용시 제 1 소오스 가스의 공급 후 제 2 소오스 가스를 공급하기 위하여 퍼지 공정이 필수적으로 수반되는데, 도 2에 도시한 두 개의 소오스 가스 공급부는 이러한 퍼지 공정을 생략하게 할 수 있도록 한다.Optionally, a first source gas for thin film formation is supplied through one of the two gas supplies 18, 20 and a second source gas for thin film formation is supplied through the other gas supply. That is, it is necessary to supply two source gases at the same time, or a purge process is necessarily accompanied to supply the second source gas after the supply of the first source gas in the application of a single source supply, the two shown in Figure 2 The source gas supply allows to omit this purge process.

이처럼, 소오스 가스가 둘 이상이어야 하는 경우가 있을 수 있으므로, 가스 공급부 또한 둘 이상으로 구성될 수 있다.As such, there may be cases in which the source gas should be more than two, so the gas supply may also be composed of two or more.

복수개의 소오스 가스 공급부(18, 20)는 도 3에서 언급한 것처럼 동일한 원형 구조의 링 타입으로 만들어지는 것이 바람직하지만, 최소의 면적을 차지하도록 하기 위하여 그들의 직경은 서로 다르게 한다. 바람직하게는, 상대적으로 작은 직경을 갖는 소오스 가스 공급부(20)의 제 2 헤드부(20a)의 외경은 직경이 큰 가스 공급부의 제 1 헤드부(18a)의 구멍의 직경보다 작게 형성된다. 이렇게 하므로써, 둘 이상의 헤드부가 동일 평면에 배치될 수 있고, 그것에 의하여 박막의 균일도를 더욱 향상시킬 수 있다.The plurality of source gas supplies 18, 20 are preferably made of the same circular ring type as mentioned in FIG. 3, but their diameters are different in order to occupy a minimum area. Preferably, the outer diameter of the second head portion 20a of the source gas supply portion 20 having a relatively small diameter is formed smaller than the diameter of the hole of the first head portion 18a of the large gas supply portion. In this way, two or more head portions can be arranged in the same plane, thereby further improving the uniformity of the thin film.

도 2와 도 3에 도시된 것처럼, 각각의 가스 공급부(18, 20)는 링 타입의 헤드부(18a, 20a)와, 헤드부의 일단에 연통되어 가스를 공급하는 가스 공급관(18b, 20b)을 포함한다.As shown in Figs. 2 and 3, each of the gas supply units 18 and 20 has ring-type head portions 18a and 20a and gas supply pipes 18b and 20b communicating with one end of the head portion to supply gas. Include.

도 3에 도시된 것처럼, 헤드부(18a, 20a)의 하면에 가스 공급관(18b, 20b)을 통하여 공급된 소오스 가스나 캐리어 가스를 반응실 내부로 분사하기 위하여 일정간격마다 소정 직경의 분사홀(18h, 20h)들이 구비되어 있다. 분사홀(18h, 20h)의 직경은 약 0.1mm ~ 5.0mm 정도이다.As illustrated in FIG. 3, injection holes having predetermined diameters are provided at predetermined intervals so as to inject the source gas or the carrier gas supplied through the gas supply pipes 18b and 20b into the reaction chamber into the lower surfaces of the heads 18a and 20a. 18h, 20h) are provided. The diameters of the injection holes 18h and 20h are about 0.1 mm to 5.0 mm.

분사홀(18h, 20h)은 원형의 구조를 갖는 것이 바람직하지만, 거기에 한정되는 것은 아니다. 따라서, 분사홀은 원형 외에 다른 형태라도 무방하다.The injection holes 18h and 20h preferably have a circular structure, but are not limited thereto. Therefore, the injection hole may be any shape other than a circular shape.

소오스 가스는 여러 가지 독성을 함유할 수 있으므로, 헤드부의 수명 연장을 위해서, 소오스 가스에 대한 반응 저항성이 우수한 물질로 만들어지는 것이 바람직하다. 예를 들어, 염소(Cl) 성분을 포함하는 사염화티타늄(TiCl4)를 소오스 가스로 사용하는 경우 헤드부(18a, 20a)는 염소 성분에 대한 반응 저항성이 우수한 니켈로 만들어지는 것이 바람직하다.Since the source gas may contain various toxicities, it is preferable that the source gas be made of a material having excellent reaction resistance to the source gas in order to extend the life of the head portion. For example, when titanium tetrachloride (TiCl 4 ) containing a chlorine (Cl) component is used as the source gas, the head portions 18a and 20a are preferably made of nickel having excellent reaction resistance to the chlorine component.

한편, 제 1 실시예에서 설명한 것과 마찬가지로, 캐리어 가스 공급부(16)와는 별도로, 두 개의 가스 공급부(18, 20) 중 적어도 하나를 통하여 소오스 가스와 함께 캐리어 가스로 기능하는 질소, 아르곤, 헬륨 등과 같은 불활성 가스가 함께 공급되도록 할 수도 있다.On the other hand, as described in the first embodiment, apart from the carrier gas supply unit 16, nitrogen, argon, helium, or the like, which functions as a carrier gas together with the source gas through at least one of the two gas supply units 18 and 20, may be used. Inert gases may also be supplied together.

도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따르는 원자층 화학기상증착 장치의 개략적 구성을 보여주는 사시도이다.4 is a perspective view showing a schematic configuration of an atomic layer chemical vapor deposition apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 4와 도 1을 비교하면, 도 4의 원자층 증착장치는 반응실의 내측에 공급되는 소오스 가스를 이용하여 플라즈마를 발생시키기 위한 제1 플라즈마 발생부가 필수적으로 설치되고, 반응실의 외측에 필요에 따라 리모트 플라즈마를 공급하기 위한 리모트 플라즈마 발생부가 설치되며, 리모트 플라즈마 발생부는 발생된 리모트플라즈마를 바이패스(By-pass)시키기 위한 바이패스부(28)를 포함한다는 점이 도 1의 원자층 증착장치와 특히 구별된다.4 and 1, the atomic layer deposition apparatus of FIG. 4 is essentially provided with a first plasma generating unit for generating a plasma by using a source gas supplied inside the reaction chamber, and is required outside the reaction chamber. According to the atomic plasma deposition apparatus of Figure 1 is provided with a remote plasma generation unit for supplying a remote plasma, the remote plasma generation unit includes a bypass unit 28 for bypassing the generated remote plasma (by-pass) In particular.

도 4에 도시한 것처럼, 소오스 가스 공급부(16)는 소오스 가스와 캐리어 가스를 단일 통로를 통하여 공급할 수 있으며, 캐리어 가스의 공급을 위한 별도의 공급로를 가질 수 있다.As shown in FIG. 4, the source gas supply unit 16 may supply the source gas and the carrier gas through a single passage, and may have a separate supply path for supplying the carrier gas.

선택적으로, 리모트 플라즈마 공급관(26)을 통하여 캐리어 가스를 공급할 수 있는데, 이 경우에는 리모트 플라즈마 발생부의 동작을 중지하고, 바이패스부(28)를 닫은 상태에서 캐리어 가스가 공급되도록 한다.Alternatively, the carrier gas can be supplied through the remote plasma supply pipe 26, in which case the operation of the remote plasma generator is stopped and the carrier gas is supplied while the bypass unit 28 is closed.

반응실 내부의 제1 플라즈마 발생부는 도 1의 제2 플라즈마 발생부의 구성과 동일하며, 발생되는 플라즈마의 균일성(Uniformity)을 위하여 막의 증착동안 플라즈마를 계속적으로 형성하고, 리모트 플라즈마 발생부는 플라즈마의 추가 공급이 필요할 때, 리모트 플라즈마 발생부로부터 발생된 리모트 플라즈마를 리모트 플라즈마 공급관(26)을 통하여 반응실 내부로 공급한다. 플라즈마의 추가 공급이 필요치 않을 때, 리모트 플라즈마 발생부는 공급되는 리모트 플라즈마를 바이패스시킨다.The first plasma generation unit inside the reaction chamber is the same as the configuration of the second plasma generation unit in FIG. 1, and continuously forms plasma during deposition of the film for uniformity of the generated plasma, and the remote plasma generation unit adds plasma. When supply is necessary, the remote plasma generated from the remote plasma generator is supplied into the reaction chamber through the remote plasma supply pipe 26. When no additional supply of plasma is needed, the remote plasma generator bypasses the supplied remote plasma.

도 2의 장치와 마찬가지로, 도 4의 장치는 두 개의 가스 공급부를 구비하는 것도 가능하다. 즉, 하나의 가스 공급부를 통하여 제 1 소오스 가스가 공급되고, 다른 하나의 가스 공급부를 통하여 제 2 소오스 가스가 공급된다. 즉, 두 가지의 소오스 가스를 동시에 공급할 필요가 있지만, 단일 소오스 공급부를 갖는 경우, 제 1 소오스 가스의 공급 후 제 2 소오스 가스를 공급하기 위하여 퍼지 공정이 필수적으로 수반되는데, 두 개의 소오스 가스 공급부는 이러한 퍼지 공정을 생략하게 할 수 있도록 한다.Like the apparatus of FIG. 2, it is also possible for the apparatus of FIG. 4 to have two gas supplies. That is, the first source gas is supplied through one gas supply unit, and the second source gas is supplied through another gas supply unit. That is, it is necessary to supply two source gases at the same time, but in the case of having a single source supply, a purge process is necessarily accompanied to supply the second source gas after the supply of the first source gas, and the two source gas supplies This purge process can be omitted.

이처럼, 소오스 가스가 둘 이상이어야 하는 경우가 있을 수 있으므로, 가스 공급부 또한 둘 이상으로 구성될 수 있다. 이외의 나머지 구성은 도 3에서 설명한 내용들과 동일하게 구성될 수 있다.As such, there may be cases in which the source gas should be more than two, so the gas supply may also be composed of two or more. The rest of the configuration may be the same as the contents described with reference to FIG. 3.

한편, 상기에서 언급한 리모트 플라즈마를 이용한 원자층 화학기상증착장치는 소오스 물질을 공급하는 중간에 리모트 플라즈마를 형성하는 방식(유기금속 소오스 또는 할라이드 소오스, 퍼지, 리모트 플라즈마의 순서)이다. 본 발명의 또 다른 실시예에서는, 이 방식을 유지하면서 하나의 공정이 추가된다.On the other hand, the above-mentioned atomic layer chemical vapor deposition apparatus using a remote plasma is a method of forming a remote plasma in the middle of supplying a source material (in order of organic metal source or halide source, purge, remote plasma). In another embodiment of the present invention, one process is added while maintaining this manner.

예를 들어, 게이트 산화막의 일종인 ZrO2을 증착하는 경우, 리모트 H2, H2/Ar, O2, N2플라즈마를 항상 약하게 띄워 놓고 사염화지르코늄(ZrCl4)을 주기적으로 공급하여 ZrO2를 형성한다. 또한, 리모트 H2, H2/Ar, O2, N2플라즈마를 항상 약하게 띄워 놓고 Zr-t 부톡사이드(Zr-t butoxide) 또는 TDEAZ를 주기적으로 공급하여 ZrO2를 형성한다. 즉, 플라즈마는 항상 온(On) 상태로 유지되고, 소오스는 샤워 헤드 타입으로 주입될 수 있다.For example, in the case of depositing a ZrO 2 type of gate oxide film, the remote H 2, H 2 / Ar, O 2, N 2 , place always float weaken the plasma the ZrO 2 periodically supplied to the zirconium tetrachloride (ZrCl 4) Form. In addition, the remote H 2 , H 2 / Ar, O 2 , N 2 plasma is always slightly floated and Zr-t butoxide (Zr-t butoxide) or TDEAZ is periodically supplied to form ZrO 2 . That is, the plasma is always kept on, and the source can be injected into the shower head type.

게이트 전극 또한 개선된 리모트 플라즈마 증착법이 적용될 수 있다.The gate electrode can also be applied with an improved remote plasma deposition method.

예를 들어, Ta이나 Ti의 경우, 리모트 H2, H2/Ar, N2플라즈마를 항상 약하게 띄워 놓고 Ta이나 Ti을 포함하는 유기금속(MO) 소오스 또는 할라이드 소오스, 예를들어, 사염화탄탈륨(TaCl4)이나 사염화티타늄(TiCl4)을 주기적으로 공급하여 Ta 박막이나 Ti 박막을 형성한다.For example, in the case of Ta or Ti, an organic metal (MO) source or a halide source containing Ta or Ti, always leaving the remote H 2 , H 2 / Ar, N 2 plasma slightly weak, for example tantalum tetrachloride ( TaCl 4 ) or titanium tetrachloride (TiCl 4 ) is periodically supplied to form a Ta thin film or a Ti thin film.

상기한 공정에 더하여 후속공정에서 TiN과 같은 금속질화물을 형성하는데에도 앞서 언급한 개선된 리모트 플라즈마 증착법이 적용될 수 있다. 즉, 리모트 H2, H2/Ar, N2플라즈마를 항상 약하게 띄워 놓고 TDEAT, TDMAT, TEMAT의 유기 소오스나 TiCl4와 같은 할라이드 소오스를 주기적으로 공급하여 TiN 박막을 형성한다.In addition to the above process, the aforementioned improved remote plasma deposition method can also be applied to the formation of metal nitrides such as TiN in subsequent processes. That is, the remote H 2 , H 2 / Ar, N 2 plasma is always floated weakly, and the organic source of TDEAT, TDMAT, TEMAT, or a halide source such as TiCl 4 is periodically supplied to form a TiN thin film.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 원자층 증착장치는 적어도 하나의 링 타입의 가스 공급부와, 반응실 외측에 리모트 플라즈마 발생부를 구비한다. 링 타입의 가스 공급부는 동일 평면상에 다수의 가스 공급부의 배치를 가능하게 하여, 박막 형성에서의 균일도를 향상시킨다.As described above, the atomic layer deposition apparatus of the present invention includes at least one ring-type gas supply unit and a remote plasma generation unit outside the reaction chamber. The ring-type gas supply portion enables the arrangement of a plurality of gas supply portions on the same plane, thereby improving the uniformity in thin film formation.

또한, 반응실 외부에 배치된 리모트 플라즈마 발생부로부터 발생되어 반응실의 내부 공간으로 안내되는 플라즈마는 반응실 내에서 직접 발생되는 플라즈마에 비하여 기판에 직접적인 충격을 가하지 않으므로, 플라즈마로 인한 기판의 손상을 방지한다.In addition, since the plasma generated from the remote plasma generating unit disposed outside the reaction chamber and guided into the inner space of the reaction chamber does not directly impact the substrate as compared with the plasma generated directly in the reaction chamber, damage to the substrate due to the plasma is prevented. prevent.

아울러, 리모트 플라즈마를 설치하여 필요할 때마다 리모트 플라즈마를 반응실 내로 추가로 공급할 수 있으므로, 플라즈마의 균일도를 향상시켜 막질을 향상시킬 수 있다.In addition, since the remote plasma may be installed and additionally supplied to the reaction chamber whenever necessary, the plasma quality may be improved by improving the uniformity of the plasma.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed within the scope of the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. I can understand that you can.

Claims (10)

내부 공간을 갖는 반응실과;A reaction chamber having an internal space; 상기 반응실의 내부 공간의 일측에 배치되고, 박막 형성을 위한 기판이 안치되는 기판 지지대와;A substrate support disposed on one side of an inner space of the reaction chamber and in which a substrate for forming a thin film is placed; 상기 반응실의 외측에 설치되어, 상기 반응실의 내부 공간으로 플라즈마를 공급하기 위한 리모트 플라즈마 발생부와;A remote plasma generating unit installed outside the reaction chamber and configured to supply plasma to an internal space of the reaction chamber; 상기 반응실의 내부 공간으로 박막 형성을 위한 소오스를 공급하는 적어도 하나의 링 타입의 소오스 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리모트 플라즈마 원자층 화학기상증착 장치.And at least one ring-type source supply unit for supplying a source for forming a thin film to an inner space of the reaction chamber. 제 1 항에 있어서, 상기 장치는 상기 반응실 내에 장착되어, 플라즈마를 발생하기 위한 제2 플라즈마 발생부를 추가로 포함하고, 상기 제2 플라즈마 발생부는 상기 반응실의 내부 공간의 소정 부분에 배치되어, 상기 기판에 RF 파워를 인가하기 위한 제 1 전극부와, 상기 제 1 전극부로부터 소정 간격 이격되고, 상기 제 1 전극부와 함께 상기 RF 파워를 인가받아서, 상기 소오스 공급부를 통하여 공급된 소오스들에 RF 파워를 인가하므로써 플라즈마를 발생시키는 제 2 전극부와, 상기 소오스를 상기 반응실의 내부 공간으로 유입시키기 위한 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리모트 플라즈마 원자층 화학기상증착 장치.The apparatus of claim 1, wherein the apparatus is mounted in the reaction chamber, and further includes a second plasma generating unit for generating a plasma, wherein the second plasma generating unit is disposed in a predetermined portion of an internal space of the reaction chamber, A first electrode portion for applying RF power to the substrate, spaced apart from the first electrode portion by a predetermined interval, and receiving the RF power together with the first electrode portion, to the sources supplied through the source supply portion; A remote plasma atomic layer chemical vapor deposition comprising a second electrode portion for generating a plasma by applying RF power, and a carrier gas supply portion for supplying a carrier gas for introducing the source into the inner space of the reaction chamber. Device. 제 1 항에 있어서, 상기 리모트 플라즈마 발생부는 상기 캐리어 가스 공급부와 연통되는 것을 특징으로 하는 리모트 플라즈마 원자층 화학기상증착 장치.The remote plasma atomic layer chemical vapor deposition apparatus according to claim 1, wherein the remote plasma generating unit is in communication with the carrier gas supply unit. 제 1 항에 있어서, 상기 링 타입의 소오스 공급부는 서로 다른 소오스를 동시에 또는 독립적으로 공급하기 위해 쌍을 이루어 배치되는 것을 특징으로 하는 리모트 플라즈마 원자층 화학기상증착 장치.The apparatus of claim 1, wherein the ring type source supply unit is arranged in pairs to supply different sources simultaneously or independently. 제 4 항에 있어서, 상기 링 타입의 소오스 공급부는 각각 직경을 달리하여 동일 평면상에 배치되는 것을 특징으로 하는 리모트 플라즈마 원자층 화학기상증착 장치.5. The remote plasma atomic layer chemical vapor deposition apparatus according to claim 4, wherein the ring-type source supply units are arranged on the same plane with different diameters. 내부 공간을 갖는 반응실과;A reaction chamber having an internal space; 상기 반응실의 내부 공간의 일측에 배치되고, 박막 형성을 위한 기판이 안치되는 기판 지지대와;A substrate support disposed on one side of an inner space of the reaction chamber and in which a substrate for forming a thin film is placed; 상기 반응실 내에 장착되어, 플라즈마를 발생하기 위한 제1 플라즈마 발생부와,A first plasma generating unit mounted in the reaction chamber for generating a plasma; 상기 반응실의 외측에 설치되어, 플라즈마의 추가 공급이 필요할 때 상기 반응실의 내부 공간으로 플라즈마를 공급하며, 추가 공급이 필요하지 않을 때 발생된 리모트 플라즈마를 상기 반응실 외측의 소정 부분에서 바이패스시키는 바이패스부를 갖는 리모트 플라즈마 발생부와;Installed outside the reaction chamber, the plasma is supplied to the inner space of the reaction chamber when additional supply of plasma is required, and the remote plasma generated when no additional supply is required is bypassed in a predetermined portion outside the reaction chamber. A remote plasma generating unit having a bypass unit for discharging; 상기 반응실의 내부 공간으로 박막 형성을 위한 소오스를 공급하는 적어도 하나의 링 타입의 소오스 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리모트 플라즈마 원자층 화학기상증착 장치.And at least one ring-type source supply unit for supplying a source for forming a thin film to an inner space of the reaction chamber. 제 6 항에 있어서, 상기 제1 플라즈마 발생부는 상기 반응실의 내부 공간의 소정 부분에 배치되어, 상기 기판에 RF 파워를 인가하기 위한 제 1 전극부와, 상기 제 1 전극부로부터 소정 간격 이격되고, 상기 제 1 전극부와 함께 상기 RF 파워를 인가받아서, 상기 소오스 공급부를 통하여 공급된 소오스들에 RF 파워를 인가하므로써 플라즈마를 발생시키는 제 2 전극부와, 상기 소오스를 상기 반응실의 내부 공간으로 유입시키기 위한 캐리어 가스를 공급하는 캐리어 가스 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 리모트 플라즈마 원자층 화학기상증착 장치.The method of claim 6, wherein the first plasma generating unit is disposed in a predetermined portion of the internal space of the reaction chamber, the first electrode for applying RF power to the substrate and a predetermined distance from the first electrode portion And a second electrode part receiving the RF power together with the first electrode part to generate a plasma by applying RF power to the sources supplied through the source supply part, and the source into an inner space of the reaction chamber. A remote plasma atomic layer chemical vapor deposition apparatus comprising a carrier gas supply unit for supplying a carrier gas for introduction. 제 6 항에 있어서, 상기 리모트 플라즈마 발생부는 상기 캐리어 가스 공급부와 연통되는 것을 특징으로 하는 리모트 플라즈마 원자층 화학기상증착 장치.7. The apparatus of claim 6, wherein the remote plasma generating unit is in communication with the carrier gas supply unit. 제 6 항에 있어서, 상기 링 타입의 소오스 공급부는 서로 다른 소오스를 동시에 또는 독립적으로 공급하기 위해 쌍을 이루어 배치되는 것을 특징으로 하는 리모트 플라즈마 원자층 화학기상증착 장치.7. The apparatus of claim 6, wherein the ring-type source supplies are arranged in pairs to supply different sources simultaneously or independently. 리모트 H2, H2/Ar, O2, N2플라즈마를 항상 온 시킨 상태에서 유기금속 소오스나 할라이드 소오스를 주기적으로 공급하여 금속, 금속 질화물 또는 금속 산화물을 기판 상에 증착하는 것을 특징으로 하는 리모트 플라즈마 원자층 증착방법.Remote H 2 , H 2 / Ar, O 2 , N 2 With the plasma always on, organometallic source or halide source is periodically supplied to deposit a metal, metal nitride or metal oxide on the substrate Plasma atomic layer deposition method.
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