KR20040021845A - 액티브 매트릭스형 유기 전계발광 표시패널 및 그의제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 스캔라인들, 데이터라인들 및 전압공급라인들의 교차부에 매트릭스 형태로 배열된 다수의 화소들을 포함하는 유기 전계발광 표시패널에 있어서,상기 전압공급라인의 소정영역 상에 상기 전압공급라인과 병렬접속되도록 배열되어 상기 화소로의 전류감소에 따른 화소 구동전압 감소를 보상하기 위한 보상전압공급라인을 구비하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기 전계발광 표시패널.
- 제 1 항에 있어서,상기 화소들 각각은외부 전류 및 전압에 의해 발광하는 유기전계발광셀과,상기 스캔라인들 및 데이터라인들의 교차부에 형성되어 스위칭 역할을 하는 제1 스위치 소자와,상기 전압공급라인 및 보상전압공급라인과 유기전계발광셀 사이에 접속되어 상기 유기전계발광셀을 구동하기 위한 제2 스위치 소자와,상기 제1 및 제2 스위치 소자 사이에 접속되어 캐패시터를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기 전계발광 표시패널.
- 제 2 항에 있어서,상기 유기 전계발광셀은 상기 화소 내 발광 영역 상에 투명 도전성 물질로 형성된 제1 전극과,상기 발광 영역 상에 상기 제1 전극을 덮도록 유기 발광물질로 형성된 유기 발광층과,상기 유기 발광층 상부에 상기 상기 화소 전면을 금속물질로 형성된 제2 전극을 구비하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기 전계발광 표시패널.
- 스캔라인들, 데이터라인들 및 전압공급라인들의 교차부에 매트릭스 형태로 배열된 다수의 화소들을 포함하는 유기 전계발광 표시패널의 제조방법에 있어서,상기 화소들을 구동하기 위한 스위치 소자들 및 전압공급전극을 형성하는 단계와,상기 전압공급전극과 접속되도록 상기 전압공급전극의 소정 영역 상에 보상전압공급전극을 형성하는 단계와,상기 스위치 소자들과 접속되어 상기 화소들을 발광시키는 유기 전계발광셀을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기 전계발광 표시패널의 제조방법.
- 제 4 항에 있어서,상기 화소들을 구동하기 위한 스위치 소자들 및 전압공급전극을 형성하는 단계는,발광 영역이 정의된 기판 상에 발광 영역이 드러나도록 제1 마스크 공정에 의해 버퍼층을 형성하는 단계와,상기 버퍼층 상에 노광, 현상, 식각 공정을 포함하는 제2 마스크 공정에 의해 소정 간격으로 이격된 액티브층 및 캐패시터 전극을 형성하는 단계와,상기 액티브층의 중앙부에 게이트 절연막 및 게이트 전극을 순차적으로 형성하는 단계와,상기 게이트 절연막 및 게이트 전극을 덮도록 상기 기판 전면에 제1 절연층을 형성하는 단계와,상기 제1 절연층 상에 상기 캐패시터 전극과 대응하는 영역을 덮도록 상기 기판 상에 전압공급전극을 형성하는 단계와,상기 전압공급전극을 덮도록 상기 기판 전면에 제2 절연층을 형성하는 단계와,상기 액티브층 및 전압공급전극의 소정 영역과 상기 발광영역 상의 기판을 노출시키는 단계와,상기 노출된 액티브층이 형성된 기판을 이온 도핑하여 반도체층을 완성하는 단계와,상기 반도체층 및 전압공급전극의 소정 영역을 통하여 통하여 소정 간격으로 이격된 소스 및 드레인전극을 형성하는 단계와,상기 소스 및 드레인전극을 덮도록 제3 절연층을 형성하는 단계와,상기 드레인 콘택홀을 형성함과 아울러 상기 전압공급전극 상의 소정 영역에전압공급 콘택홀을 형성하도록 제3 절연층을 패터닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기 전계발광 표시패널의 제조방법.
- 제 5 항에 있어서,상기 보상전압공급전극을 형성하는 단계는,상기 전압공급 콘택홀을 통하여 상기 전압공급전극과 접속되도록 상기 전압공급전극의 소정 영역 상에 보상전압공급전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기 전계발광 표시패널의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 유기 전계발광셀을 형성하는 단계는,상기 보상전압공급전극이 형성된 기판 상에 상기 드레인 콘택홀을 통하여 상기 드레인 전극과 접속되도록 상기 기판의 발광영역 상에 투명 도전성 물질의 제1 전극을 형성하는 단계와,상기 제1 전극이 형성된 기판의 발광 영역 상에 유기 발광물질을 도포하여 유기 발광층을 형성하는 단계와,상기 유기 발광층 상에 상기 제1 전극과 함께 전기적 신호가 인가되도록 상기 기판 전면에 금속물질의 제2 전극을 형성하는 단계을 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기 전계발광 표시패널의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 보상전압공급전극은 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo) 등의 금속물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 유기 전계발광 표시패널의 제조방법.
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