KR20040016415A - 회절광학소자 - Google Patents

Abstract

본 발명은 파장이 다른 2개의 광 중, 한쪽을 회절시키지 않고, 다른쪽을 회절시키는 회절격자를 가지는 회절광학소자에 있어서, 제조가 용이하고 또한 회절효율이 높은 회절광학소자를 제공하는 것이다.

파장이 다른 2개의 광을 입사시키는 회절광학소자(1)에 있어서, 회절격자(2)는 입사방향을 따르는 상승면부(5)와, 이 상승면부(5)로부터 돌출하여 가는 폭으로 형성된 회절면부(6)로 이루어지는 단부(7)를 소정 단수 구비한 계단격자(4)를 다수 가지고, 단부(7)는 인접하는 회절면부(6)를 통과하는 광에 한쪽의 광의 파장의 정수배의 광로차를 부여하는 높이에 형성되고, 회절격자(2)는 회절면부(6)의 폭이 작게 형성되는 폭이 좁은 부(8)와 회절면부(6)의 폭이 크게 형성되는 폭이 넓은 부(9)로 이루어지고, 폭이 좁은 부(8)의 계단격자(4)는 폭이 넓은 부(9)의 계단격자(4)보다 단수를 적게 하여 이루어진다.

Description

회절광학소자{LIGHT DEFLECTING ELEMENT}

본 발명은 파장이 다른 2개의 광을 입사시켜, 한쪽의 광을 회절시키고, 다른쪽의 광을 회절시키지 않는 계단형상의 격자로 이루어지는 회절격자를 구비한 회절광학소자에 관한 것으로, 특히 제조가 용이하고 또한 높은 회절효율을 가지는 회절격자를 구비한 회절광학소자에 관한 것이다.

종래, CD 및 DVD의 2종의 매체로부터 신호를 판독하는 광픽업에서는, CD의 판독에 사용되는 파장 785 nm의 레이저광과, DVD의 판독에 사용되는 파장 655 nm의 레이저광을 판독의 대상으로 하고 있다. 이와 같은 광픽업에 있어서는, 2개의 파장(655 nm, 785 nm)의 레이저광을 발진하는 레이저 다이오드로부터의 광을 콜리메이터 렌즈로 평행광으로 하고, 집광렌즈로 CD 매체, DVD 매체의 신호면에 집광하여 조사하고, 이 매체신호면에서 변조된 반사광을 포토 다이오드상에 집광하여, 포토 다이오드로 입사된 광에너지를 전기에너지로 변환하여 전기신호를 얻도록 하고 있다.

그러나 CD와 DVD에서는 보호층의 두께가 다르기 때문에, DVD의 보호층의 두께에 맞추어 레이저의 초점이 맞도록 광학계를 구성하면, CD의 판독시에는 큰 구면수차가 발생하여, 신호의 판독을 할 수 없게 된다. 이 때문에, 종래의 광픽업에서는 콜리메이터 렌즈의 입사면에 회절격자를 형성하고 있다.

회절격자는, 콜리메이터 렌즈의 입사면에 계단형상의 계단격자를 다수 설치하여 이루어지고, 단차의 높이는, 인접하는 단차에 입사하는 광에, DVD의 판독에 사용하는 레이저광의 파장의 정수배의 광로차를 부여하도록 형성된다. 이에 의하여, DVD의 판독에 사용하는 레이저광의 광로차는, 파장의 정수배가 되기 때문에, 이 회절격자는 DVD의 판독에 사용하는 레이저광은 직진시키고, 보다 파장이 긴 CD의 판독에 사용하는 레이저광은 회절시킬 수 있다.

이 경우, CD의 판독에 사용하는 레이저광에 대해서는, 회절격자는 오목렌즈로서의 기능을 가지게 되고, CD의 판독에 사용하는 레이저광은 콜리메이터 렌즈로부터 발산광으로서 출사된다. 이와 같이 회절격자에 의하여 파장이 다른 2개의 레이저광 중, CD의 판독에 사용하는 레이저광만을 발산광으로 함으로써, CD 매체의 신호면에 초점을 맞추어 레이저광을 조사할 수 있다.

이와 같은 회절격자를 가진 광학소자는 수지재로 이루어지고, 금형을 사용한 사출성형에 의해 대량 생산된다. 이와 같이 금형을 사용한 사출성형에 의해 광학소자를 제조하는 경우에는, 금형에 미세한 가공을 정밀하게 행할 필요가 있어, 바이트를 사용한 절삭가공에 의하여 금형은 제작된다.

그러나 종래의 광픽업에 사용되는 회절격자를 가지는 광학소자는, 이하에 설명하는 과제를 가지고 있었다.

레이저광을 발산광으로 하기 위해서는, 광학소자의 바깥 둘레가 됨에 따라격자폭을 작게 하지 않으면 안된다. 또 회절효율을 높이기 위해서는, 회절격자의 계단형상으로 이루어지는 계단격자의 단수를 많게 하지 않으면 안된다. 그러나 단수를 많게 한 경우에는, 광학소자의 바깥 둘레부에 있어서의 계단격자의 최상단부를 형성하기 위한 금형의 가공이, 바이트로 가공할 수 있는 한계보다도 미세하게 된다. 한편, 금형을 바이트로 가공할 수 있도록 단수를 적게 하면, 회절효율은 저하한다.

예를 들면, 모든 계단격자를 6단으로 형성한 경우의 회절광학소자의 단면도를 도 5에 나타낸다. 도면 왼쪽 끝의 일점쇄선은 회절광학소자(1)의 중심선을 나타내고 있다. 회절광학소자(1)는 회절격자(2)를 가지고, 회절격자(2)는 6단의 계단형상으로 형성되어 이루어지는 계단격자(4)를 다수 가지고 있다. 그리고 계단격자(4)의 폭은, 바깥 둘레가 될수록 작아지고, 따라서 바깥 둘레부는 계단격자(4)의 폭이 작은 폭이 좁은 부(8)가 되고, 그 이외의 영역은 계단격자(4)의 폭이 큰 폭이 넓은 부(9)가 된다. 이 경우, 광학소자를 제조하기 위한 금형은, 폭이 좁은 부(8)에 대응하는 부분에 있어서 매우 미세하게 가공할 필요가 있고, 그것에 대응한 바이트를 제작하는 것은 곤란하다. 가령 바이트를 제작할 수 있었다고 하여도, 바이트의 강성이 부족하여, 금형을 소정의 정밀도로 가공하는 것은 곤란하다.

또 모든 계단격자를 5단으로 형성한 경우의 회절광학소자의 단면도를 도 6에 나타낸다. 도 5와 마찬가지로, 도면 왼쪽 끝의 일점쇄선은 회절광학소자(1)의 중심선을 나타내고 있다. 이 경우에는, 계단격자(4)는 6단으로 형성된 경우의 최상단에 상당하는 부분을 가지지 않기 때문에, 광학소자를 제조하기 위한 금형은, 폭이 좁은 부(8)에 대응하는 부분에 대해서도 가공할 수 있다. 그러나 단수를 줄임에 의하여, 회절효율은 6단의 경우에 비하여 저하한다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하도록 이루어진 것으로, 파장이 다른 2개의 광 중, 한쪽을 회절시키지 않고, 다른쪽을 회절시키는 회절격자를 가지는 회절광학소자에 있어서, 제조가 용이하고, 또한 회절효율이 높은 회절광학소자를 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1은 본 실시형태에 있어서의 회절광학소자를 모식적으로 나타낸 정면도,

도 2는 본 실시형태에 있어서의 회절광학소자의 단면을 모식적으로 나타낸 단면도,

도 3은 본 실시형태에 있어서의 회절광학소자에 있어서, 계단격자의 단차를 변화시킨 부분 주변의 단면을 모식적으로 나타낸 단면 확대도,

도 4는 본 실시형태에 있어서의 회절광학소자를 제조하기 위한 금형의 단면을 모식적으로 나타낸 단면도,

도 5는 계단격자를 모두 6단으로 형성한 경우의 회절광학소자의 단면을 모식적으로 나타낸 단면도,

도 6은 계단격자를 모두 5단으로 형성한 경우의 회절광학소자의 단면을 모식적으로 나타낸 단면도이다.

※ 도면의 주요 부분에 있어서의 부호의 설명

1 : 회절광학소자 2 : 회절격자

3 : 입사면 4 : 계단격자

5 : 상승면부 6 : 회절면부

7 : 단부 8 : 폭이 좁은 부

9 : 폭이 넓은 부 10 : 6단의 계단격자

11 : 5단의 계단격자 20 : 금형

21 : 계단홈

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명에 관한 회절광학소자는, 파장이 다른 2개의 광을 입사시켜, 한쪽의 광을 회절시키지 않고, 다른쪽의 광을 회절시키는 회절격자를 가지는 입사면을 구비한 회절광학소자에 있어서, 상기 회절격자는 입사방향을 따르는 상승면부와 그 상승면부로부터 돌출하여 가는 폭으로 형성된 회절면부로 이루어지는 단부를 소정 단수 구비한 계단격자를 다수 가지고, 상기 단부는 인접하는 회절면부를 통과하는 광에 한쪽의 광의 파장의 정수배의 광로차를 부여하는 높이에 형성되고, 상기 회절격자는 회절면부의 폭이 작게 형성되는 폭이 좁은 부와, 회절면부의 폭이 크게 형성되는 폭이 넓은 부로 이루어지고, 상기 폭이 좁은 부의 계단격자는 상기 폭이 넓은 부의 계단격자보다 단수를 적게 한 것을 특징으로 하여 구성되어 있다.

본 발명에 의하면, 회절격자에 있어서의 격자폭이 작은 부분의 계단격자는 단수가 적기 때문에, 회절광학소자를 제조하기 위한 금형의 가공에 있어서, 가공이곤란한 홈을 형성할 필요가 없다.

또 본 발명에 관한 회절광학소자는, 상기 폭이 좁은 부의 계단격자는, 상기 폭이 넓은 부의 계단격자보다 단수를 1단 적게 함과 동시에, 최상단의 상기 상승면부를 상기 폭이 넓은 부의 계단격자에 있어서 대응하는 상승면부보다도 낮게 하는 것을 특징으로 하여 구성되어 있다.

본 발명에 의하면, 회절격자에 있어서의 폭이 좁은 부의 계단격자는, 단수를 적게 하였음에도 불구하고, 회절효율의 저하를 억제할 수 있다.

또한 본 발명에 관한 회절광학소자는, 회절격자의 계단격자는 입사면에 있어서 동심원형상으로 형성된 것을 특징으로 하여 구성되어 있다.

본 발명에 의하면, 회절격자는 프레넬 렌즈로서 기능하여, 파장이 다른 2개의 입사광 중, 한쪽을 발산광으로 할 수 있다.

본 발명의 실시형태를 도면에 따라 상세하게 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 있어서의 회절광학소자를 모식적으로 나타낸 정면도이다. 또, 도 2는 본 실시형태에 있어서의 회절광학소자의 단면을 모식적으로 나타낸 단면도이다. 또한, 도 3은 본 실시형태에 있어서의 회절광학소자에 있어서, 계단격자의 단차를 변화시킨 부분 주변의 단면을 모식적으로 나타낸 단면 확대도이다.

본 실시형태에 있어서의 회절광학소자(1)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 대략 원형으로 형성되어 있고, 입사면(3)에는 계단형상으로 형성되어 이루어지는 계단격자(4)가 동심원형상으로 다수 설치되어, 회절격자(2)가 형성된다. 회절격자(2)는, 도 1의 굵은 선으로 나타내는 동심원형상으로 영역이 나뉘어져 있고, 영역마다 계단격자(4)의 피치가 다르다. 계단격자(4)의 피치는 바깥 둘레의 영역일 수록 작고, 따라서 바깥 둘레부에 있어서, 계단격자(4)는 가장 피치가 작게 형성되어 있다.

회절광학소자(1)의 입사면(3)에 설치되는 회절격자(2)의 계단격자(4)는, 도 2에 나타내는 바와 같은 계단형상으로 형성된다. 도 2는 회절격자(2)를 과장하여 표시한 모식도이다. 따라서, 회절격자(2)의 계단격자(4)는, 실제로는 도 2에 나타내는 것보다도 다수 설치된다. 또 도 2에 있어서는 윗쪽으로부터 광이 입사한다. 또한, 도 2의 왼쪽 끝의 일점쇄선은, 회절광학소자(1)의 중심선을 나타내고 있다.

계단격자(4)는 광의 입사방향을 따르는 상승면부(5)와, 이 상승면부(5)로부터 수직방향으로 돌출되어 가는 폭으로 형성된 회절면부(6)로 이루어지는 단부(7)를 소정 단수 구비하여 이루어지는 것이다. 본 실시형태에 있어서는, 회절면부(6)를 6개 또는 5개 가지는 단수로 형성되어 있다〔이하, 계단격자(4)의 단수는 회절면부(6)의 수를 말한다. 즉 이 경우는 6단 또는 5단이다.〕

여기서, 계단격자(4)의 상승면부(5)의 높이를 Δ라 하면, 통과하는 광에 광로차〔(n-1)Δ〕〔n은 회절광학소자(1)의 굴절율, 공기의 굴절율을 1이라 하였다〕를 부여하고, 이 광학적인 광로차를 DVD의 판독에 사용하는 레이저광의 파장인 655 nm의 정수배가 되도록 계단격자(4)의 단차를 설정하고 있다. 이에 의하여, 이 회절격자(2)는 DVD의 판독에 사용하는 파장 655 nm의 입사광은 직진시킨다. 그에 대하여 CD의 판독에 사용하는 파장 785 nm의 입사광은 회절시킬 수 있고, 즉 이 회절격자(2)는 CD의 판독에 사용하는 레이저광에 대해서는 오목렌즈의 기능을 가지게된다.

이와 같이, 회절격자(2)는 CD의 판독에 사용하는 레이저광에 대해서는, 소위 프레넬 렌즈로서 기능하기 때문에, 바깥 둘레가 될수록 계단격자(4)의 회절면부(6)의 폭을 작게 하는 필요가 있다. 계단격자(4)의 회절면부(6)의 폭이 큰 영역을 폭이 넓은 부(9)라고 하고, 바깥 둘레부에 있어서 계단격자(4)의 회절면부(6)의 폭이작은 영역을 폭이 좁은 부(8)라고 한다. 이 경우에 있어서, 폭이 넓은 부(9)의 계단격자(4)의 단수는 6단으로 형성된다. 한편, 폭이 좁은 부(8)에서는 계단격자(4)의 단수는 5단으로 형성된다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 회절격자(2)에 있어서 계단격자(4)의 단수가 6단으로 형성된 6단의 계단격자(10)에서는, 각각 밑으로부터 순서대로 단부(10a, 10b, 10c, 10d, 10e, 10f)의 각 회절면부(6)가 같은 폭으로 설치된다. 그것에 대하여, 회절격자(2)에 있어서 계단격자(4)의 단수가 5단으로 형성된 5단의 계단격자(11)에서는, 각각 밑으로부터 순서대로 단부(11a, 11b, 11c, 11d, 11e)가 설치된다. 여기서, 단부(11a, 11b, 11c, 11d)에 대해서는, 각 회절면부(6)는 같은 폭으로 설치된다. 한편, 최상단인 단부(11e)의 회절면부(6)는, 6단의 경우에 있어서의 최상단의 단부(10f)에 상당하는 단부(7)를 설치하지 않고 형성되어 있기 때문에, 다른 회절면부(6)의 2개분에 상당하는 폭을 가지고 있다.

또 폭이 좁은 부(8)에 있어서의 5단의 계단격자(11)에서는, 그 최상단인 단부(11e)의 높이를 다른 단부(11a, 11b, 11c, 11d)보다도 낮게 형성하고 있다. 이 때문에, 폭이 좁은 부(8)의 단부(11e)의 높이는, 폭이 넓은 부(9)의 단부(10e)보다도 약간 낮게 되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 단부(11e)의 높이를 다른 단부(7)의 높이에 비하여 50 nm 낮게 하고 있다.

계단형상으로 형성된 계단격자(4)는, CD의 판독에 사용하는 레이저광의 파장의 정수배와, 인접하는 회절면부(6)를 통과하는 광의 광로차와의 차의 깊이를 가지는 격자와 등가이다. 여기서, 5단의 계단격자(11)에 있어서의 최상단의 단부(11e)의 높이를, 다른 단부(7)에 비하여 낮게 하면, 그 차는 다른 단부(7)에 비하여 커진다. 즉, 5단의 계단격자(11)는, 6단의 경우에 비하여 최심부에 있어서 깊이가 얕은 격자와 등가이었던 것에 대하여, 5단의 계단격자(11)에 있어서의 최상단의 단부(11e)의 높이를 낮게 함으로써, 최심부에 있어서 더욱 깊은 격자와 등가가 되어, 6단의 경우에 근접하게 된다. 이에 의하여, 최상단의 단부(11e)의 높이를 다른 단부(7)와 동일한 높이로 형성한 경우에 비하여, CD의 판독에 사용하는 레이저광의 회절효율을 높게 할 수 있으므로, 계단격자(4)를 6단으로부터 5단으로 함으로써 회절효율의 저하를 억제할 수 있다.

이와 같이, 계단격자(4)를 5단으로 형성하는 영역, 즉 폭이 좁은 부(8)는 뒤에서 설명하는 회절광학소자(1)의 제조에 사용하는 금형(20)을 가공하는 경우에 있어서, 계단격자(4)를 형성할 때에 6단으로 가공할 수 없는 영역이다. 금형(20)을 가공하는 경우에, 가장 미세한 가공을 필요로 하는 것은 회절광학소자(1)의 계단격자(4)에 있어서의 최상단에 대응하는 부분이고, 또 계단격자(4)는 바깥 둘레일 수록 계단의 폭은 작게 형성된다. 이 때문에, 계단격자(4)를 5단으로 형성하는 영역, 즉 폭이 좁은 부(8)는, 회절광학소자(1)의 바깥 둘레부가 된다.

도 3에 나타내는 바와 같이, 폭이 넓은 부(9)의 계단격자(10)에 있어서는, 그 최상단인 6단째의 단부(10f)에 대응하는 금형(20)의 가공은 행할 수 있는 데 대하여, 폭이 좁은 부(8)의 계단격자(11)에 있어서는, 6단째의 단부에 대응하는 금형(20)의 가공은 곤란하다. 이 때문에, 폭이 좁은 부(8)의 계단격자(11)는 5단으로 하고, 그 최상단을 11e 로 하고 있다.

다음에, 본 실시형태에 관한 회절광학소자의 제조방법에 대하여 설명한다. 회절광학소자(1)는 수지재 등에 의해 형성할 수 있고, 이 경우에는 금형(20)을 사용한 사출성형에 의하여 대량 생산을 할 수 있다. 금형(20)은 초경재제이고, 도 4에 나타내는 바와 같이, 회절광학소자(1)를 반전한 형상이 되어, 바이트에 의한 절삭가공에 의하여 제조된다.

도 4에 나타내는 바와 같은 금형(20)을 가공하는 경우에, 계단격자(4)의 최상단을 형성하기 위한 계단홈(21)의 절삭가공에 있어서, 계단격자(4)의 단차를 6단으로 형성하려고 하면, 바이트에 의한 절삭가공의 한계보다도 가는 홈을 절삭하지 않으면 안되는 영역에서는, 그 계단홈(21)은 5단으로 형성된다. 계단홈(21)은, 제조하는 회절광학소자(1)에 대응하여, 바깥 둘레가 될 수록 그 폭이 작게 형성되므로, 금형(20)의 가공에 있어서는, 회절격자(2)의 폭이 좁은 부(8)를 형성하는 부분에 상당하는 바깥 둘레부분에, 계단홈(21)을 5단으로 형성하는 영역이 생긴다. 이와 같이 하여 중심에 가까운 부분의 계단홈(21a)은 6단이 되고, 바깥 둘레부의 계단홈(21b)은 5단이 된 금형(20)이 가공된다.

또, 5단으로 형성된 계단홈(21b)에 있어서, 그 가장 깊은 홈은회절광학소자(1)의 5단으로 형성된 계단격자(4)의 최상단의 단차를 낮게 하고 있는 것에 대응하여, 6단으로 형성된 계단홈(21a)의 5단째의 홈에 비하여 50 nm 얕게 가공된다. 이와 같은금형(20)을 사용하면, 상기한 바와 같은 폭이 좁은 부(8)의 계단격자(4)를 5단으로 하고, 폭이 넓은 부(9)의 계단격자(4)를 6단으로 하고, 또한 폭이 좁은 부(8)의 계단격자(4)의 최상단은 그것에 대응하는 폭이 넓은 부(9)의 계단격자(4)의 단부(7)에 비하여 50 nm 낮게 형성된 회절광학소자(1)를 제조할 수 있다.

이상, 실시형태에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 적용은 이 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 사상의 범위에 있어서 여러가지에 적용될 수 있는 것이다.

예를 들면, 본 실시형태에 있어서 폭이 좁은 부(8)에 있어서의 단부(7)의 단수는, 폭이 넓은 부(9)에 있어서의 단부(7)의 단수보다 1단 적게 하고 있으나, 2단내지 그 이상 적게 할 수도 있다. 또 폭이 좁은 부(8)에 있어서 단부(7)를 일정한 단수로 형성하는 것이 아니고, 영역으로 나누어 각각 다른 단수를 가지도록 하여도 좋다.

이상과 같이 본 발명에 의하면, 파장이 다른 2개의 광을 입사시켜, 한쪽의 광을 회절시키지 않고, 다른쪽의 광을 회절시키는 회절격자를 가지는 입사면을 구비한 회절광학소자에 있어서, 회절격자의 폭이 좁은 부의 계단격자는 폭이 넓은 부의 계단격자보다 단수를 적게 함으로써, 폭이 넓은 부에 대해서는 높은 회절효율을유지하면서, 회절광학소자를 제조하기 위한 금형의 가공에 있어서, 가공이 곤란한 홈을 형성할 필요가 없고, 따라서 제조가 용이하고 또한 회절효율이 높은 회절광학소자로 할 수 있다.

또 본 발명에 의하면, 폭이 좁은 부의 계단격자는, 폭이 넓은 부의 계단격자보다 단수를 1단 적게 하고, 최상단의 상승면부를 폭이 넓은 부의 계단격자에 있어서 대응하는 상승면부보다도 낮게 함으로써, 회절격자에 있어서의 격자폭이 작은 부분의 계단격자는, 단수를 적게 하였음에도 불구하고, 회절효율의 저하를 억제할 수 있어, 회절광학소자 전체로서의 회절효율의 저하를 억제할 수 있다.

또한 본 발명에 의하면, 회절격자의 계단격자는 입사면에 있어서 동심원형상으로 형성됨으로써, 회절격자는 프레넬 렌즈로서 기능하고, 파장이 다른 2개의 입사광 중, 한쪽을 발산광으로 할 수 있기 때문에, CD 및 DVD의 2종의 매체로부터 신호를 판독하는 광픽업에, 투과효율이 높은 광학소자로서 사용할 수 있다.

Claims (3)

1. 파장이 다른 2개의 광을 입사시켜, 한쪽의 광을 회절시키지 않고, 다른쪽의 광을 회절시키는 회절격자를 가지는 입사면을 구비한 회절광학소자에 있어서,

   상기 회절격자는 입사방향을 따르는 상승면부와 상기 상승면부로부터 돌출하여 가는 폭으로 형성된 회절면부로 이루어지는 단부를 소정 단수 구비한 계단격자를 다수가지고, 상기 단부는 인접하는 회절면부를 통과하는 광에 한쪽의 광의 파장의 정수배의 광로차를 부여하는 높이에 형성되고,

   상기 회절격자는 회절면부의 폭이 작게 형성되는 폭이 좁은 부와, 회절면부의 폭이 크게 형성되는 폭이 넓은 부로 이루어지고, 상기 폭이 좁은 부의 계단격자는 상기 폭이 넓은 부의 계단격자보다 단수를 적게 한 것을 특징으로 하는 회절광학소자.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 폭이 좁은 부의 계단격자는, 상기 폭이 넓은 부의 계단격자보다 단수를 1단 적게 함과 동시에, 최상단의 상기 상승면부를 상기 폭이 넓은 부의 계단격자에 있어서 대응하는 상승면부보다도 낮게 하는 것을 특징으로 하는 회절광학소자.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 회절격자의 계단격자는 상기 입사면에 있어서 동심원형상으로 형성된것을 특징으로 하는 회절광학소자.