KR200371159Y1

KR200371159Y1 - Jig of Sensor for Counting Apparatus of wafer

Info

Publication number: KR200371159Y1
Application number: KR20-2004-0027909U
Authority: KR
Inventors: 김원기
Original assignee: 김원기
Priority date: 2004-10-01
Filing date: 2004-10-01
Publication date: 2004-12-24

Abstract

본 고안은 센서의 각도 및 위치를 자유롭게 설정할 수 있도록 하고 동시에 센서가 외부의 진동에 영향을 받지 않도록 고정시켜줌에 따라 유닛단위로 연속 이동하는 웨이퍼를 에러 없이 정확하게 카운팅 할 수 있도록 지지하는 웨이퍼 수량 확인장치용 센서의 지그에 관한 것이다.The present invention freely sets the angle and position of the sensor, and at the same time, it fixes the sensor so as not to be influenced by external vibrations, so that the wafer quantity checking device supports to accurately count the wafers continuously moving in units without errors. It relates to the jig of the sensor.

상기 본 고안은 설비 내에서 카세트(2)에 담긴 상태로 이동하는 웨이퍼의 수량을 카운팅하기 위해 카세트 상측에 배치된 센서(5)를 감싸는 하우징(30)과; 상기 하우징(30) 상단에 결합되어 상기 하우징(30)에 삽입된 센서(5)를 좌/우측으로 각도를 변경할 수 있도록 하여 센서(5)가 웨이퍼의 센터에 정확하게 위치 설정될 수 있도록 하기 위한 힌지고정부(20)와; 상기 힌지고정부(20)가 길이방향을 따라 선택적으로 위치 설정할 수 있고 동시에 힌지고정부(20)를 지지하기 위해 소정 간격으로 다수의 장공(21)이 형성된 고정바(10)로 구성되는 것을 특징으로 한다.The present invention includes a housing (30) surrounding the sensor (5) disposed on the cassette for counting the number of wafers moving in the cassette (2) in the installation; Hind for coupling the upper end of the housing 30 to change the angle of the sensor 5 inserted into the housing 30 to the left / right so that the sensor 5 can be accurately positioned at the center of the wafer. A high government (20); The hinge portion 20 can be selectively positioned along the longitudinal direction and at the same time is composed of a fixed bar 10 formed with a plurality of long holes 21 at predetermined intervals to support the hinge portion 20. It is done.

Description

Jig of Sensor for Counting Apparatus of wafer}

본 고안은 웨이퍼 수량 확인장치용 센서의 지그에 관한 것으로, 특히 센서의 각도 및 위치를 자유롭게 설정할 수 있도록 하고 동시에 센서가 외부의 진동에 영향을 받지 않도록 고정시켜줌에 따라 유닛단위로 연속 이동하는 웨이퍼를 에러 없이 정확하게 카운팅 할 수 있도록 지지하는 웨이퍼 수량 확인장치용 센서의 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a jig of a sensor for a wafer quantity checking device. In particular, the angle and position of the sensor can be set freely, and at the same time, the wafer is fixed so that the sensor is not affected by external vibration, and thus the wafer continuously moves in units. The present invention relates to a jig of a sensor for a wafer quantity checking device that supports accurate counting without errors.

또한, 본 고안은 웨이퍼 카운팅 에러 발생 시 마다 발생하는 작업적 및 시간적인 손실을 최소화하고 이로 인해 발생하는 경비를 줄임으로써 원가 절감에 기여할 수 있다.In addition, the present invention can contribute to cost savings by minimizing the operational and time loss occurring every time a wafer counting error occurs and reducing the expenses incurred.

일반적으로 웨이퍼 수량 확인장치는 카세트에 담겨져 이동하는 웨이퍼(wafer)의 수량을 정확히 파악하여 웨이퍼의 수량 및 생산량을 합리적으로 관리할 수 있는 것으로, 설비 내부에서 이동하는 카세트에 일정 개수로 담겨져 이동하는 카세트 상측으로 웨이퍼의 수량을 자동으로 체크하기 위한 사각형의 센서를 구비하고 있다.In general, the wafer quantity checking device can rationally manage the quantity and output of wafers by accurately grasping the quantity of wafers moved in a cassette. On the upper side, a rectangular sensor for automatically checking the number of wafers is provided.

그런데, 도 1과 같이 핸들러 상측부(1)에 고정된 종래의 수량 확인장치(3)는 센서(5)가 대략 1mm의 두께로 이루어진 얇은 샤프트(7)에 브라켓(9)을 통해 각도 조절이 불가능한 상태로 고정되어 있기 때문에, 상기 샤프트(9)가 설비 내측에서 발생하는 진동에 의해 쉽게 흔들리게 되며 상기 센서(5)는 이러한 진동에 의해 작업시간이 경과하면서 초기에 정확하게 설정해 놓았던 센싱각도가 조금씩 변경되었다.However, in the conventional quantity checking device 3 fixed to the upper portion 1 of the handler as shown in FIG. 1, the angle adjustment is possible through the bracket 9 on the thin shaft 7 having the sensor 5 having a thickness of approximately 1 mm. Since it is fixed in an impossible state, the shaft 9 is easily shaken by the vibration generated inside the facility, and the sensor 5 gradually senses the sensing angle that is initially set correctly as the working time elapses due to the vibration. Changed.

이에 따라, 상기 센서(5)는 민감한 센싱각도 즉, 센서(5) 하측을 이동하는 웨이퍼에 대하여 센터를 향해 초기 설정된 각도가 조금이라도 벗어나게 되면 수량 체크 시 에러가 발생하게 된다. 즉, 카세트(2)에 담긴 웨이퍼의 수량은 10개인데 설정 각도를 벗어난 상태의 센서를 통해 감지되는 웨이퍼는 8개 혹은 9개로 감지됨에 따라 정확한 수량 체크가 이루어지지 못하여 이로 인해 생산관리 측면에서 허점이 발생하는 문제점이 있었다.Accordingly, the sensor 5 generates an error when checking the quantity of the sensitive sensing angle, that is, a slight deviation from the initial angle set toward the center with respect to the wafer moving below the sensor 5. That is, the number of wafers contained in the cassette 2 is 10, but 8 or 9 wafers detected by the sensor outside the set angle are not detected. Therefore, an exact quantity check cannot be performed. There was a problem that occurred.

따라서 작업 현장에서는 이와 같은 문제로 인해 센서(5)를 통과한 웨이퍼에 대하여 작업자가 카세트(2)에 담긴 웨이퍼의 정확한 수량 체크를 위해 수작업으로 웨이퍼 박스를 개폐 후 재차 확인해야 하기 때문에 매우 비효율적인 것은 물론 나아가 생산성 및 작업성을 크게 저하시키게 되는 문제점이 있었다.Therefore, the work site is very inefficient because the operator has to manually open and close the wafer box again and again to check the exact quantity of the wafer contained in the cassette 2 for the wafer passed through the sensor 5 due to such a problem. Of course, there was also a problem that greatly reduces the productivity and workability.

본 고안은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 센서의 각도 및 위치를 자유롭게 설정할 수 있도록 하고 동시에 센서가 외부의 진동에 영향을 받지 않도록 고정시켜줌에 따라 유닛단위로 연속 이동하는 웨이퍼를 에러 없이 정확하게 카운팅 할 수 있도록 지지하는 웨이퍼 수량 확인장치용 센서의 지그를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and its purpose is to freely set the angle and position of the sensor and at the same time to fix the sensor so as not to be affected by external vibrations, the wafer continuously moves in units. To provide a jig for a sensor for checking the number of wafers that can be accurately counted without.

본 고안의 다른 목적은 지그의 금속재로 이루어진 고정바에 아노다이징(anodizing) 처리를 하여 고정바의 부식을 방지하고, 아울러 하우징 및 힌지고정부를 폴리카보네이트 재질로 형성하여 지그를 이루는 각 부품으로부터 박피되거나 떨어져 나오는 조각들로 인해 센서 하측에서 이동하고 있는 웨이퍼가 손상 또는 오염되는 것을 방지할 수 있는 웨이퍼 수량 확인장치용 센서의 지그를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to prevent the corrosion of the fixing bar by anodizing the fixing bar made of the metal material of the jig, and also to form the housing and the hinge portion of the polycarbonate material to peel off or separate from each component of the jig It is to provide a jig of a sensor for a wafer quantity checking device that can prevent the wafers from being damaged or contaminated due to the pieces coming out from the sensor.

도 1은 종래의 웨이퍼 수량 확인장치를 나타내는 도면,1 is a view showing a conventional wafer quantity checking device,

도 2는 본 고안에 따른 웨이퍼 수량 확인장치용 센서의 지그를 나타내는 사시도,2 is a perspective view showing a jig of a sensor for a wafer quantity checking device according to the present invention;

도 3은 본 고안에 따른 웨이퍼 수량 확인장치용 센서의 지그를 나타내는 측면도,3 is a side view showing a jig of a sensor for a wafer quantity checking device according to the present invention;

도 4는 본 고안에 따른 지그에 삽입된 센서의 위치를 미세 설정하는 상태를 나타내는 일부 확대도이다.Figure 4 is a partially enlarged view showing a state of finely setting the position of the sensor inserted into the jig according to the present invention.

*도면 내 주요부분에 대한 부호 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

5: 센서 10: 고정바5: sensor 10: fixed bar

11: 장공 20: 힌지고정부11: Jang 20: Hingogo Government

21: 상측부재 23: 하측부재21: upper member 23: lower member

25: 각도조절볼트 27, 39: 고정볼트25: angle adjusting bolt 27, 39: fixing bolt

30: 하우징 30a: 하우징 전면부30: housing 30a: housing front part

30b: 하우징 후면부 31: 패널30b: housing rear part 31: panel

36a,36b,37a,37b: 푸시볼트 38: 관통구멍36a, 36b, 37a, 37b: Push bolt 38: Through hole

상기한 목적을 달성하기 위하여, 본 고안은 설비 내에서 카세트에 담긴 상태로 이동하는 웨이퍼의 수량을 카운팅하기 위해 카세트 상측에 배치된 센서를 감싸는 하우징과; 상기 하우징 상단에 결합되어 상기 하우징에 삽입된 센서를 좌/우측으로 각도를 변경할 수 있도록 하여 센서가 웨이퍼의 센터에 정확하게 위치 설정될 수 있도록 하기 위한 힌지고정부와; 상기 힌지고정부가 길이방향을 따라 선택적으로 위치 설정할 수 있고 동시에 힌지고정부를 지지하기 위해 소정 간격으로 다수의 장공이 형성된 고정바로 구성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수량 확인장치용 센서의 지그를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a housing surrounding the sensor disposed on the cassette for counting the number of wafers moving in the cassette in the facility; A hinge portion coupled to an upper end of the housing so that the sensor inserted into the housing can be angled left / right so that the sensor can be accurately positioned at the center of the wafer; The hinge portion can be selectively positioned along the longitudinal direction and at the same time provides a jig of a sensor for a wafer quantity checking device, characterized in that it is composed of a fixed bar formed with a plurality of long holes at predetermined intervals to support the hinge portion.

이 경우, 상기 힌지고정부는 상기 고정바에 결합되는 상측부재와, 상기 하우징 상단에 결합되는 하측부재와, 상기 상/하측부재를 힌지 결합시키고 동시에 상/하측부재가 상호 소정각도로 설정시킬 수 있는 각도조절볼트로 이루어진다.In this case, the hinge portion is the angle that the upper member coupled to the fixing bar, the lower member coupled to the upper end of the housing, the upper and lower members are hinged and at the same time the upper and lower members can be set at a predetermined angle to each other It consists of adjusting bolts.

더욱이, 상기 하우징은 내측에 삽입된 센서를 하우징 외부에서 정밀하게 위치 설정하기 위해, 하우징 외부에서 센서를 푸시할 수 있도록 하우징을 관통한 상태로 하우징의 좌/우측면에 대각선방향으로 각각 대응 배치된 2쌍의 푸시볼트를 구비한다.Moreover, the housings are arranged to correspond to the left and right sides of the housing diagonally, respectively, while penetrating the housing so that the sensor can be pushed out of the housing to precisely position the sensor inserted inside the housing. It has a pair of push bolts.

또한, 상기 고정바는 표면에 아노다이징 처리되고, 상기 힌지고정부의 상/하측부재는 아크릴로 이루어지며, 상기 하우징은 투명하게 형성된 폴리카보네이트로 이루어짐에 따라 지그 사용 중 부식으로 인해 각 부품으로부터 떨어지는 조각으로 인해 웨이퍼가 손상 또는 오염되는 것을 방지할 수 있다.In addition, the fixing bar is anodized on the surface, the upper and lower members of the hinge portion is made of acrylic, the housing is made of a transparent polycarbonate formed as a piece falling from each part due to corrosion during use of the jig This can prevent damage or contamination of the wafer.

따라서 상기한 본 고안에 있어서는 센서의 각도 및 위치를 자유롭게 설정할 수 있도록 지지함에 따라 센서가 웨이퍼의 센터를 정확하게 향하도록 설정할 수 있으므로, 이동하는 웨이퍼의 수량을 정확히 파악하여 합리적 관리를 통해 생산성 증대를 도모할 수 있으며 동시에 불필요한 웨이퍼 박스를 개봉을 방지하므로 웨이퍼가 오염되는 것을 사전에 방지할 수 있다.Therefore, according to the present invention, the sensor can be set to face the center of the wafer precisely by supporting the sensor so that the angle and position of the sensor can be set freely. Therefore, by accurately grasping the quantity of the moving wafer, it is possible to increase productivity through rational management. At the same time, unnecessary wafer boxes are prevented from opening, thus preventing wafer contamination.

(실시예)(Example)

상기 본 고안에 따른 웨이퍼 수량 확인장치용 센서의 지그를 도면을 참고하여 설명하면 다음과 같다.If described with reference to the jig of the sensor for a wafer quantity confirmation device according to the present invention as follows.

첨부된 도 2는 본 고안에 따른 웨이퍼 수량 확인장치용 센서의 지그를 나타내는 사시도이고, 도 3은 본 고안에 따른 웨이퍼 수량 확인장치용 센서의 지그를 나타내는 측면도이고, 도 4는 본 고안에 따른 지그에 삽입된 센서의 위치를 미세 설정하는 상태를 나타내는 일부 확대도이다.2 is a perspective view showing a jig of a sensor for a wafer quantity checking device according to the present invention, Figure 3 is a side view showing a jig of the sensor for a wafer quantity checking device according to the present invention, Figure 4 is a jig according to the present invention It is a partially enlarged view which shows the state which sets the position of the sensor inserted in the microscopically.

이하, 웨이퍼 수량 확인장치용 센서를 지지하기 위한 본 고안에 따른 지그는 크게 나누어 도 2와 같이 핸들러 상측에 배치되는 고정바(10)와, 센서(5)의 외부를 감싸도록 다수의 패널(31)이 다수의 고정볼트(39)를 통해 결합되어 이루어진 하우징(20)과, 상기 고정바(10) 및 하우징(20) 사이에 배치되어 하우징(20)을 고정바(10)에 고정시킴과 동시에 상기 하우징(20)을 상단을 중심으로 하단이 전/후방으로 선회시켜 하우징(20) 내에 삽입된 센서(5)의 각도를 임의로 변경 설정하기 위한 힌지고정부(30)로 구성되어 있다.Hereinafter, a jig according to the present invention for supporting a sensor for a wafer quantity checking device is largely divided into a fixed bar 10 disposed above the handler as shown in FIG. 2, and a plurality of panels 31 to surround the outside of the sensor 5. ) Is disposed between the housing 20 and the fixing bar 10 and the housing 20 formed by coupling through a plurality of fixing bolts 39 to fix the housing 20 to the fixing bar 10 and at the same time The lower end of the housing 20 is pivoted forward / rear with respect to the upper end, and the hinge 20 is configured to arbitrarily change and set the angle of the sensor 5 inserted into the housing 20.

상기 고정바(10)는 표면에 산화 피막이 형성되도록 아노다이징 처리하여 부식으로 인해 고정바로부터 떨어져 나온 조각이 센서(5) 하측에서 이동하고 있는 웨이퍼 위로 떨어져 웨이퍼가 손상 또는 오염되는 것을 방지할 수 있다.The fixing bar 10 may be anodized so that an oxide film is formed on the surface, thereby preventing the wafer from being damaged or contaminated by the pieces falling from the fixing bar due to corrosion falling onto the wafer moving under the sensor 5.

또한, 상기 고정바(10)는 상기 힌지고정부(20)가 길이방향을 따라 선택적으로 위치 설정할 수 있도록 소정 간격으로 다수의 장공(11)이 형성되어 있으며, 고정바(10)의 두께를 5mm로 두껍게 형성하여 고정바(10)의 흔들림을 방지함에 따라 하단에 고정된 하우징(10)으로 진동이 전달되는 것을 차단한다.In addition, the fixing bar 10 is formed with a plurality of long holes 11 at predetermined intervals so that the hinge portion 20 can be selectively positioned along the longitudinal direction, the thickness of the fixing bar 10 is 5mm By forming a thick to prevent the shaking of the fixing bar 10 to prevent the vibration is transmitted to the housing 10 fixed to the bottom.

따라서 하우징(10) 내의 센서(5)의 초기 웨이퍼 센싱각도를 설비 작동 후에도 변형되지 않도록 유지하여 센서(5)의 웨이퍼 카운팅 에러를 방지하고 아울러 이러한 에러에 의해 발생하는 작업적 및 시간적인 손실을 최소화함은 물론 경비를 줄임으로써 원가 절감에 기여할 수 있다.Therefore, the initial wafer sensing angle of the sensor 5 in the housing 10 is maintained so as not to be deformed even after the equipment operation, thereby preventing the wafer counting error of the sensor 5 and minimizing the operational and time loss caused by such an error. Of course, it can also help reduce costs by reducing expenses.

한편, 상기 힌지고정부(20)는 도 3과 같이 상기 고정바(10)에 고정볼트(27)에 의해 결합되는 상측부재(21)가 형성되고, 상기 하우징(30) 상단에 고정 결합되는 하측부재(23)를 구비하며, 상기 아크릴로 이루어진 상/하측부재(21, 23)는 각도조절볼트(25)에 의해 상호 힌지 결합되어 있다.On the other hand, the hinge portion 20 is formed in the upper member 21 is coupled to the fixing bar 10 by the fixing bolt 27, as shown in Figure 3, the lower side fixedly coupled to the housing 30 A member 23 is provided, and the upper and lower members 21 and 23 made of acrylic are hinged to each other by an angle adjusting bolt 25.

이 경우, 상기 각도조절볼트(25)는 상기 하측부재(23)를 소정각도로 자유롭게 변경 설정하여 하측부재(23)에 결합된 상기 하우징(30)의 각도를 컨트롤 할 수있고, 이에 따라 하우징(30)에 삽입된 센서(5)는 전/후방향으로 적절히 각도를 변경하여 센서(5)가 웨이퍼의 센터에 정확하게 위치 설정될 수 있도록 간단하게 조작할 수 있다.In this case, the angle adjusting bolt 25 may freely change the lower member 23 at a predetermined angle and control the angle of the housing 30 coupled to the lower member 23, and thus the housing ( The sensor 5 inserted in 30 can be simply manipulated so that the sensor 5 can be accurately positioned at the center of the wafer by appropriately changing the angle in the front and rear directions.

또한, 상기 하우징(30)은 도 4와 같이 하우징(30)의 관통구멍(38)을 각각 관통한 상태로 하우징(30)의 전/후면부(30a, 30b)에 대각선방향으로 각각 대응 배치된 2쌍의 푸시볼트(36a,36b; 37a,37b)를 구비하고 있으며, 이러한 상기 푸시볼트(36a,36b; 37a,37b)를 통해 하우징 내측에 삽입된 센서(5)를 하우징(30) 외부에서 하우징의 전후면의 상하방향에서 조금씩 푸시하여 웨이퍼에 대한 센싱각도를 정밀하게 위치 설정할 수 있다.In addition, as shown in FIG. 4, the housing 30 corresponds to the front / rear portions 30a and 30b of the housing 30 in a diagonal direction, respectively, through the through holes 38 of the housing 30, respectively. A pair of push bolts 36a, 36b; 37a, 37b are provided, and the sensor 5 inserted into the housing through the push bolts 36a, 36b; 37a, 37b is housed outside the housing 30. The sensing angle with respect to the wafer can be precisely positioned by pushing little by little in the vertical direction of the front and rear surfaces of the wafer.

더욱이 상기 하우징(30)은 유리처럼 투명하면서도 내취성을 갖는 폴리카보네이트로 이루어져 센서(5)의 이동 상태를 육안으로 확인하면서 상기 푸시볼트(36a,36b; 37a,37b)를 이용하여 센서(5)의 위치를 설정할 수 있어 더욱 정밀한 설정을 가능하게 할 수 있다.Furthermore, the housing 30 is made of polycarbonate that is transparent and odor resistant like glass, and visually confirms the movement state of the sensor 5 by using the push bolts 36a, 36b; 37a, 37b. The position of can be set, which enables more precise setting.

따라서 본 고안에 따른 지그를 적용함에 따라 웨이퍼 수량을 에러 없이 정확히 파악하여 현실에 맞는 합리적 관리를 통해 생산성을 증대시킬 수 있으며, 아울러 불필요한 웨이퍼 박스의 개봉작업을 제거하여 박스 개봉 시 박스 내부로 불순물이 침투하여 웨이퍼가 오염되는 요인을 사전에 차단할 수 있다.Therefore, by applying the jig according to the present invention, it is possible to increase the productivity through the rational management according to the reality by accurately grasping the number of wafers without any errors, and also to remove the unnecessary work of opening the wafer box and to remove impurities into the box when opening the box. It is possible to proactively block the contamination of the wafer due to penetration.

상기한 본 고안에 있어서는 센서의 각도 및 위치를 자유롭게 설정할 수 있도록 지지함에 따라 센서가 웨이퍼의 센터를 정확하게 향하도록 설정할 수 있으므로,이동하는 웨이퍼의 수량을 정확히 파악하여 합리적 관리를 통해 생산성 증대를 도모할 수 있으며 동시에 불필요한 웨이퍼 박스를 개봉을 방지하므로 웨이퍼가 오염되는 것을 사전에 방지할 수 있는 이점이 있다.In the present invention described above, the sensor can be set to face the center of the wafer precisely by supporting the sensor so that the angle and position of the sensor can be set freely. Therefore, the quantity of the wafer to be moved can be accurately identified and the productivity can be increased through rational management. At the same time, there is an advantage that the wafer can be prevented from being contaminated in advance by preventing the opening of an unnecessary wafer box.

또한, 웨이퍼 카운팅 에러 발생 시 마다 발생하는 작업적 및 시간적인 손실을 최소화하고 이로 인해 발생하는 경비를 줄임으로써 원가 절감에 기여할 수 있다.In addition, it is possible to contribute to cost savings by minimizing the operational and time loss occurring every time a wafer counting error occurs and by reducing the expenses incurred.

이상에서는 본 고안을 특정의 바람직한 실시예를 예를 들어 도시하고 설명하였으나, 본 고안은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며 본 고안의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변경과 수정이 가능할 것이다.In the above, the present invention has been illustrated and described with reference to specific preferred embodiments, but the present invention is not limited to the above-described embodiments and the general knowledge in the technical field to which the present invention belongs without departing from the spirit of the present invention. Various changes and modifications will be possible by those who have the same.

Claims

A housing 30 surrounding the sensor 5 disposed above the cassette for counting the quantity of wafers moving in the cassette 2 in the facility;

Hind for coupling the upper end of the housing 30 to change the angle of the sensor 5 inserted into the housing 30 to the left / right so that the sensor 5 can be accurately positioned at the center of the wafer. A high government (20);

The hinge portion 20 can be selectively positioned along the longitudinal direction and at the same time is composed of a fixed bar 10 formed with a plurality of long holes 21 at predetermined intervals to support the hinge portion 20. Jig of sensor for wafer quantity checking device.

According to claim 1, The hinge portion 20 is the upper member and 21, which is coupled to the fixing bar 10,

The lower member 23 coupled to the upper end of the housing 30 and the upper / lower members 21 and 23 are hinged, and at the same time, the upper / lower members 21 and 23 are set to be fixed at a predetermined angle to each other. Jig of the sensor for wafer quantity confirmation device, characterized in that consisting of an angle adjustment bolt (25).

The housing (30) of claim 1, wherein the housing (30) is configured to push the sensor (5) out of the housing (30) to precisely position the sensor (5) inserted inside the housing (30). Wafer quantity checking device, characterized in that it is provided with two pairs of push bolts (36a, 36b; 37a, 37b) correspondingly disposed in the diagonal direction on the left and right sides of the housing (30) while penetrating the (30). Jig of the sensor.

The jig of claim 1, wherein the fixing bar is anodized on a surface thereof.

The jig of claim 1, wherein the upper and lower members (21, 23) of the hinge portion (20) are made of acrylic.

The jig of claim 1, wherein the housing (30) is made of transparent polycarbonate.