KR20030089295A - 항온수 자동공급장치가 마련된 포토 스피너 설비 - Google Patents

Abstract

본 발명은 항온수 자동공급장치가 마련된 포토 스피너 설비에 관한 것으로서, 공급라인을 매개로 항온수공급원과 연결되어 항온수를 공급받아 저장하는 저장통과; 상기 저장통에 수용된 항온수의 수위를 감지하도록 상기 저장통에 설치된 복수의 수위감지센서와; 상기 수위감지센서의 신호에 따라 상기 공급라인의 유로를 개폐시키는 밸브와; 상기 저장통에 수용된 항온수를 스피너설비로 공급하는 펌핑모터와; 상기 수위감지센서의 신호를 받고, 상기 밸브의 개폐동작을 제어함과 아울러 상기 펌핑모터의 동작을 제어하는 제어부를 포함한다.

상술한 바와 같이 구성하여 작업자가 항온수 공급을 번거롭게 행할 필요가 없으며, 또한, 저장통에 항온수가 충분히 보충되지 못하여 펌핑모터에 부하를 발생시켜 파손되는 문제점을 해소시킬 수 있다.

Description

항온수 자동공급장치가 마련된 포토 스피너 설비{PHOTO SPINNER EQUIPMENT HAVING COOLING WATER AUTOMATIC SUPPLYING APPARATUS}

본 발명은 포토 스피너(Photo-Spinner) 설비에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 항온수를 자동으로 공급하는 항온수 자동공급장치가 마련된 포토 스피너 설비에 관한 것이다.

반도체 디바이스의 제조공정에 있어서, 예컨대 웨이퍼 등의 기판 표면에 대하여 포토리소그래피 공정이 행하여지고 있다. 포토리소그래피 공정은 웨이퍼 표면에 레지스트액을 도포 한 후에 소정의 패턴을 노광하고 그 후에 현상 처리하는 일련의 처리가 실시된다.

이러한 도포현상처리에 있어서, 이상과 같은 레지스트도포, 노광, 현상처리 후에는 필요에 따라 웨이퍼를 가열하는 처리가 행하여지고, 그 후에 고온이 된 웨이퍼를 냉각하는 처리가 행하여진다.

가열처리는 가열대와 냉각대가 구비된 가열처리장치로 행하여진다.

가열대는 그 상면에 웨이퍼를 올려놓고 그 내부에 내장된 히터의 발열에 의해 웨이퍼를 가열 처리한다.

한편, 상기 냉각대는 대략 사각형의 평판 형상을 이루어 상기 가열대로부터 가열 처리된 웨이퍼를 받아들일 수 있도록 구성되며, 그 내부에는 항온수공급장치(예컨대, 항온수저장통, 펌핑모터 등)에 의해 항온수를 공급받아 순환시키는 순환로가 형성된다.

상기 항온수는 웨이퍼에 형성된 포토레지스트막의 온도를 소정의 온도로 유지시키기 위한 목적으로 사용하게 된다.

그러나, 종래에는 상기 항온수를 수용하는 항온수저장통에 항온수를 수동으로 공급하도록 구성됨에 따라 그 공급작업이 번거롭다는 문제점이 있다.

또한, 항온수저장통에 충분한 항온수를 공급하지 못하였을 경우에는 펌핑모터에 부하가 발생되어 고가의 모터가 파손되는 문제점을 갖는다.

따라서, 본 발명은 상술한 문제점을 해소시키기 위하여 안출 된 것으로서, 본 발명의 목적은 항온수공급을 자동으로 이루어지도록 함에 따라 그 공급동작을 간편하게 함과 아울러 펌핑모터에 부하가 발생되어 파손되는 문제점을 해소시키는 항온수 자동공급장치가 마련된 포토 스피너 설비를 제공하는 데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 공급라인을 매개로 항온수공급원과 연결되어 항온수를 공급받아 저장하는 저장통과; 상기 항온수의 수위를 감지하도록 상기 저장통에 설치된 복수의 수위감지센서와; 상기 수위감지센서의 신호에 따라 상기 공급라인의 유로를 개폐시키는 밸브와; 상기 저장통에 수용된 항온수를 스피너설비로 공급하는 펌핑모터와; 상기 수위감지센서의 신호를 받고, 상기 밸브의 개폐동작을 제어함과 아울러 상기 펌핑모터의 동작을 제어하는 제어부를 포함한다.

상기 수위감지센서는 하이, 미들, 로우의 3개의 센서로 구성된다.

상기 저장통에는 항온수의 오버플로우 상태를 감지하는 오버플로우감지센서가 추가로 마련되고; 상기 공급라인에는 상기 오버플로우감지센서에 의해 오버플로우 상태 감지 시 상기 공급라인의 유로를 차단시키는 오버플로우방지밸브가 추가로 마련된다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 의한 포토스피너 설비의 항온수 자동공급장치의 구성을 개략적으로 도시한 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 항온수공급원10 : 항온수자동공급장치

12 : 저장통13(13a,13b,13c) : 수위감지센서

14 : 밸브15 : 펌핑모터

17 : 제어부18 : 오버플로우감지센서

19 : 오버플로우방지밸브20 : 스피너설비

이하, 첨부된 도면 도 1을 참조로 하여 본 발명의 일 실시 예에 의한 구성 및 작용에 대해서 좀더 자세히 설명한다.

상기 도면에 도시된 바와 같이 항온수자동공급장치(10)는 항온수공급원(1)과공급라인(11)을 매개로 연결되어 항온수를 공급받아 저장하는 저장통(12)과, 상기 저장통(12)의 일측에 설치되어 상기 저장통(12) 내부에 수용된 항온수의 수위를 감지하는 수위감지센서(13)와, 상기 공급라인(11)에 설치되어 유로를 개폐시키는 밸브(14)와, 상기 저장통(12)에 수용된 항온수를 스피너설비의 냉각대(20)로 펌핑시키는 펌핑모터(15)와, 상기 항온수자동공급장치(10)의 동작을 제어하는 제어부(17)로 구성된다.

상기 수위감지센서(13)는 하이(HIGH : 13a), 미들(MIDDLE : 13b), 로우(LOW : 13c)의 3개의 센서로 구성된다.

상기 저장통(12)의 상부 일측에는 항온수의 오버플로우(OVER FLOW) 상태를 감지하는 오버플로우감지센서(18)가 설치되고, 상기 공급라인(11)에는 상기 오버플로우감지센서(18)에 의해 오버플로우 상태가 감지되면 동작되어 유로를 차단하는 오버플로우방지밸브(19)가 추가로 설치된다.

상기 오버플로우방지밸브(19)는 초기에는 오픈된 상태를 유지하여 유로를 개방된 상태로 유지시키다가 이상상태가 발생하여 오버플로우 상태에 이를 경우 동작되어 유로를 차단시키도록 동작된다.

다음은 상술한 바와 같이 구성된 본 발명의 일 실시 예에 의한 항온수자동공급장치(10)의 동작원리에 대해서 설명한다.

먼저, 펌핑모터(15)의 펌핑동작에 의해 저장통(12)에 수용된 항온수가 스피너설비의 냉각대(20)로 공급된다.

그와 같은 동작을 연속적으로 실시하다 보면, 상기 저장통(12)에 수용된 항온수가 배출되어 저수위 상태에 이르게 되고, 이를 로우수위감지센서(13c)가 감지한다.

그 감지된 신호를 제어부(17)로 전달하면, 상기 제어부(17)에서는 밸브(14)에 신호를 전달하여 유로를 개방한다.

그 개방된 공급라인(11)을 통해 항온수공급원(1)으로부터 항온수가 흘러 저장통(11)의 내부로 공급된다.

이때, 상기 공급라인(11)상에 설치된 오버플로우방지밸브(19)는 개방된 상태로 되어 항온수의 흐름을 방해하지 않는다.

상기와 같이 항온수가 지속적으로 공급되면 미들수위감지센서(13b) 또는 하이수위감지센서(13a)가 그 수위를 감지하여 역시 제어부(17)로 신호를 전달한다.

그 신호를 전달받은 제어부(17)에서는 다시 밸브(14)에 신호를 전달하여 공급라인(11)의 유로를 차단하도록 명령한다.

상기와 같은 일련의 과정을 반복적으로 행하면서, 저장통(12)의 내부에 항온수를 항상 소정의 수위로 유지시키게 된다.

한편, 상기 하이, 미들감지센서(13a,13b)에 오동작이 발생하여 저장통(12)에 항온수가 넘치게 될 경우 이를 오버플로우감지센서(18)가 감지하여 제어부(17)로 신호를 전달한다.

그러면, 제어부(17)에서는 오픈 상태로 있던 오버플로우밸브(19)에 신호를 전달하여 공급라인(11)의 유로를 차단하도록 명령함으로써 항온수공급원(1)으로부터 더 이상 항온수가 공급되지 않도록 한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 항온수 공급을 자동으로 이루어지도록 구현함에 따라 작업자가 항온수 공급을 번거롭게 행할 필요가 없으며, 또한, 저장통에 항온수가 충분히 보충되지 못하여 펌핑모터에 부하가 가중되어 파손되는 문제점을 해소시킬 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며 후술하는 특허청구범위 뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

Claims (3)

1. 공급라인을 매개로 항온수공급원과 연결되어 항온수를 공급받아 저장하는 저장통;

   상기 저장통에 수용된 항온수의 수위를 감지하도록 상기 저장통에 설치된 복수의 수위감지센서;

   상기 수위감지센서의 신호에 따라 상기 공급라인의 유로를 개폐시키는 밸브;

   상기 저장통에 수용된 항온수를 스피너설비로 공급하는 펌핑모터;

   상기 수위감지센서의 신호를 받고, 상기 밸브의 개폐동작을 제어함과 아울러 상기 펌핑모터의 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 항온수 자동공급장치가 마련된 포토 스피너 설비.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 수위감지센서는 하이, 미들, 로우의 3개의 센서로 구성된 것을 특징으로 하는 항온수 자동공급장치가 마련된 포토 스피너 설비.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 저장통에는 항온수의 오버플로우 상태를 감지하는 오버플로우감지센서가 추가로 마련되고;

   상기 공급라인에는 상기 오버플로우감지센서에 의해 오버플로우 상태 감지시 상기 공급라인의 유로를 차단시키는 오버플로우방지밸브가 추가로 마련된 것을 특징으로 하는 항온수 자동공급장치가 마련된 포토 스피너 설비.