KR20030087271A

KR20030087271A - Wafer Cutting Blade Jig

Info

Publication number: KR20030087271A
Application number: KR1020020025262A
Authority: KR
Inventors: 이형진; 권목근; 김철민; 한명섭; 조영일; 조연상
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2002-05-08
Filing date: 2002-05-08
Publication date: 2003-11-14

Abstract

PURPOSE: A jig for attaching/detaching a blade for cutting a wafer is provided to easily attach/detach the blade to/from a spindle, and to prevent the injury of a user. CONSTITUTION: A jig for attaching/detaching a blade for cutting a wafer is composed of at least two hooks(201) coupling the jig with a groove on a blade hub, a main body(204) coupled with the hooks, a front supporting unit(202) coupled with the main body and putting force on a spindle axially when the blade is coupled with the spindle, and a rear supporting unit(203) coupled with the front supporting unit. The rear supporting unit puts force to the spindle in a contrary direction when the blade is separated from the spindle.

Description

Desorption jig of wafer cutting blade {Wafer Cutting Blade Jig}

본 발명은 웨이퍼 커팅용 블레이드(Blade)의 탈착 지그(Jig)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 조립 다이싱(Dicing)공정에서 웨이퍼를 절단하는데 사용되는 블레이드를 스핀들(Spindle)이라는 구동 장치에서 탈착할때 적용되는 지그에 관한 것이다.The present invention relates to a detachment jig of a blade for cutting a wafer, and more particularly, a blade used to cut a wafer in a semiconductor assembly dicing process is detached from a driving device called a spindle. It is about the jig that is applied when

반도체 제조공정은 크게 페브리케이션(Febrication), 어셈블리(Assembly), 테스트(Test)로 구분된다. 페브리케이션 공정은 원자재 웨이퍼가 투입되어, 확산 사진 식각, 박막공정을 여러차례 반복하여 진행되면서 전기회로를 구성하여, 웨이퍼 상태에서 전기적으로 완전하게 동작되는 웨이퍼 상태의 반제품이 만들어지는 전 과정이다. 이렇게 페브리케이션 공정을 거쳐 웨이퍼위에 만들어진 각각의 칩이 양품인지 불량품인지 판정하는 전기적 특성 검사(EDS)를 거쳐 양품만을 선별하고 양품으로 선정된 웨이퍼상의 수많은 칩들을 각각의 칩으로 분리하기 위해 블레이드라는 다이아몬드 톱을 사용하여 웨이퍼의 절단선(Scribe line)을 따라 절단하는 공정을 수행하게 된다.The semiconductor manufacturing process is largely divided into fabrication, assembly, and test. The fabrication process is a whole process in which a raw material wafer is input, an electrical circuit is formed by repeating the diffusion photo etching and the thin film process several times, thereby producing a semi-finished product in a wafer state that is electrically operated completely in the wafer state. Through the bridging process, each chip made on the wafer undergoes an electrical property test (EDS) to determine whether the chip is a good or defective product, and then selects only the good and separates the numerous chips on the wafer selected as a good chip into each chip. A diamond saw is used to cut along the scribe line of the wafer.

도 1a는 스핀들 축에 결합된 블레이드의 측면도이다. 블레이드(102)는 허브(101)라는 알루미늄 재질로 이루어진 뭉치에 인조 다이아몬드와 니켈을 합금하여 만든 원형의 칼날을 부착하여 제작한 것으로 고속 회전축으로 사용되는 스핀들축(104)에 장착되어 웨이퍼를 일정한 크기로 절단하는 기능을 수행하며, 제작 특성상 사용 수명이 짧아 블레이드는 자주 교체되어 사용된다.1A is a side view of a blade coupled to a spindle axis. The blade 102 is manufactured by attaching a circular blade made of an alloy of artificial diamond and nickel to a bundle made of an aluminum material called a hub 101. The blade 102 is mounted on a spindle shaft 104 used as a high-speed rotating shaft, thereby making a wafer of a certain size. The blade is frequently replaced due to its short service life due to its manufacturing characteristics.

블레이드(102)와 블레이드 허브(101)는 일체로 붙어 있으며, 이하 설명의 편의상 칼날만을 의미할 때는 블레이드(102)로 블레이브(102)와 허브(101)의 결합을지칭할 때는 블레이드(101,102)라고 칭하기로 한다. 그런데, 스핀들 축(104)와 블레이드(101, 102)의 결합은 베이오네트메카니즘으로 탈착되는 것이 아니다. 즉 전구와 소켓의 결합과 같이 회전에 의해 탈착되는것이 아니다. 도 1b에서 알수 있듯이, 스핀들 축단부(103)의 단면은 사각형으로 되어, 블레이드(101,102)는 그대로 스핀들 축단부에 끼워지게 되어있다. 블레이드(101,102)와 스핀들 축단부(103)와의 결합이 헐겁게 되면, 블레이드 회전할 때, 스핀들 축단부(103)으로 부터 블레이드(101,102)가 이탈될 위험성이 존재하게 된다. 따라서 블레이드(101,102)와 스핀들 축단부(103)과의 간격은 거의 없도록 제작되어 단단히 결합하게 된다. 따라서 작은 크기의 블레이드(101,102)를 손으로 탈착하는 것 자체가 쉽지 않을 뿐만 아니라, 칼날에 의해 손가락 부상을 당하기도 한다. 또한 웨이퍼 절단에 사용되는 블레이드(102)는 칼날이 매우 얇고, 날카로와 약간의 외부 충격에도 쉽게 파손되는데, 손으로 빼내야 하는 경우, 무리하게 힘을가하게 되어 칼날이 파손되거나, 또한 블레이드가 비틀게 장착된 경우 잘 빠지지 않아 고가의 스핀들 구동장치를 손상시키는 문제도 발생한다.The blade 102 and the blade hub 101 are integrally attached, and for convenience of explanation, the blades 101 and 102 are referred to when the blade 102 and the blade 101 are referred to as the blade 102 when only the blade means. It will be called. However, the coupling between the spindle shaft 104 and the blades 101 and 102 is not removable by the bayonet mechanism. That is, it is not detached by rotation like the combination of the bulb and the socket. As can be seen in FIG. 1B, the cross section of the spindle shaft end 103 is rectangular, and the blades 101 and 102 are fitted to the spindle shaft end as it is. When the coupling between the blades 101 and 102 and the spindle shaft end 103 becomes loose, there is a risk that the blades 101 and 102 are separated from the spindle shaft end 103 when the blade rotates. Therefore, the gap between the blades 101 and 102 and the spindle shaft end 103 is manufactured to be tightly coupled. Therefore, detaching the small blades 101 and 102 by hand is not only easy, but also a finger injury is caused by the blade. In addition, the blade 102 used for cutting the wafer has a very thin blade and is easily broken by a sharp edge and a slight external impact. If it is to be pulled out by hand, the blade 102 is forcibly applied to break the blade or twist the blade. If mounted, it can be difficult to damage expensive spindle drives.

따라서, 본 발명의 목적은 보다 용이하게 블레이드를 탈착시킬 수 있고, 사용자의 부상을 방지하고자 하는데 있다.Therefore, an object of the present invention is to be able to detach the blade more easily, to prevent the injury of the user.

본 발명의 또다른 목적은 쉽게 파손되는 블레이드와 고가의 스핀들 구동장치의 손상을 방지하고자 하는데 있다.It is another object of the present invention to prevent damage to blades and expensive spindle drives that are easily broken.

도 1a는 스핀들 축에 결합된 블레이드의 측면도이고,1A is a side view of a blade coupled to a spindle axis,

도 1b는 블레이드의 평면도이고,1b is a plan view of the blade,

도 2는 본 발명의 실시예인 블레이드 탈착 지그의 측면도이고,2 is a side view of a blade detachment jig that is an embodiment of the present invention,

도 3은 도 2의 블레이드 탈착 지그가 도 1a의 블레이드에 결합된 상태는 도시하는 측면도이다.3 is a side view illustrating a state in which the blade detachment jig of FIG. 2 is coupled to the blade of FIG. 1A.

※ 도면의 주요부분에 대한 설명 ※※ Description of the main parts of the drawing ※

101 : 블레이드 허브 102 : 블레이드101: blade hub 102: blade

103 : 스핀들 축 단부 104 : 스핀들 축103: spindle axis end 104: spindle axis

201 : 갈고리 202 : 전방 지지부201: hook 202: anterior support

203 : 후방 지지부 204 : 몸체203: rear support 204: body

이러한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 손으로 직접 블레이드를 접촉하지 않고, 블레이드를 탈착할 수 있는 블레이드 탈착지그를 제공한다.In order to achieve this object, the present invention provides a blade detachment jig that can detach the blade without directly contacting the blade by hand.

본 발명은 블레이드 허브의 홈에 블레이드 탈착 지그를 결합시키기 위한 2 개 이상의 갈고리와, 일단에 갈고리들이 결합된 몸체와, 몸체의 다른 일단에 결합되고, 블레이드를 스핀들 축에 결합시 스핀들 축방향으로 힘을 가하기 위한 전방지지부 및 전방지지부와 결합되고, 블레이드를 스핀들 축으로 부터 이탈시 스핀들 축의 반대방향으로 힘을 가하기 위한 후방지지부를 포함하여 형성된 것을 특징으로 하는 블레이드 탈착지그를 제공한다.The present invention provides two or more hooks for joining a blade detachment jig to a groove of a blade hub, a body having hooks coupled at one end, and coupled to the other end of the body, and a force in the spindle axial direction when the blade is coupled to the spindle axis. It is coupled to the front support and the front support for applying a blade detachment jig characterized in that it comprises a rear support for forming a force in the opposite direction of the spindle axis when the blade is separated from the spindle axis.

또한 양호하게는 블레이드를 축방향으로 힘을 가하여 결합시, 작업자의 손을 지지하도록 상기 전방지지부는 상기 몸체의 단면보다 면적이 큰 면적의 판 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 블레이드 탈착지그를 제공한다.In addition, preferably, the front support portion is provided in the form of a plate having a larger area than the cross-section of the body so as to support the hand of the operator when applying the force in the axial direction to provide a blade detachment jig.

보다 양호하게는 후방지지부가 상기 전방지지부와 반대방향으로 갈수록 단면적이 점점 커져 측면에서 보면 사다리꼴 형상이 되도록 테이퍼지게 형성되어, 블레이드를 스핀들 축으로부터 분리시 사용자가 보다 용이하게 힘을 가하도록 한 것을 특징으로 하는 블레이드 탈착지그를 제공한다.More preferably, the rear support portion is tapered so that the cross-sectional area is gradually increased toward the opposite direction to the front support portion so as to have a trapezoidal shape when viewed from the side, so that the user can easily apply a force when the blade is separated from the spindle axis. A blade detachment jig is provided.

이하, 본 발명의 실시예를 도면을 참조로 설명하고자 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 2는 본 발명의 실시예인 블레이드 탈착 지그의 측면도이다. 본 발명에 의한 블레이드 탈착지그는 갈고리(201), 몸체(204), 전방지지부(202), 후방지지부(204)로 구성된다. 갈고리(201)는 도 1a의 블레이드 허브(101)의 홈에 밀착되도록 형성된다. 갈고리(201)는 최소한 2개 이상이어야 하며, 갯수가 많아질 수록 블레이드 허브(101)에 결합이 어려워지나, 보다 강하게 결합하게 된다. 몸체(204)의 일 측단이 블레이드 허브(103)에 밀착될수 있도록 갈고리의 길이를 제작하는 것이 좋다. 갈고리(101)는 몸체(204)의 일 측단에 결합되어 있다. 몸체(204)는 원통형 또는 다른 형태의 기둥모양으로도 제작이 가능하다. 몸체(202)의 반대 측단에는 전방지지부(202)가 결합된다. 전방지지부(202)는 원판형상을 갖게 제작되지만 다른 판상형태도 가능하다. 전방지지부(202)의 지름은 몸체의 그것보다 크게 제작된다. 그 이유는 다음과 같다. 작업자는 본 블레이드 탈착지그의 후방지지부(203)을 손으로 쥐고, 블레이드(101,102)를 탈착시키게 되는데, 블레이드(101,102)를 스핀들 축(104)에 고정시키고자 할때는 블레이드(101,102)를 강하게 스핀들 축(104)방향으로 밀어주어야 하고, 그 경우 전방지지부(202)가 후방지지부(203)을 쥐고 있는 손을 지지하게 되어, 미는 힘을 블레이드 탈착지그에 전달하게 된다. 만약 전방지지부(202)가 없는 경우에는 힘을 강하게 주면, 손과 몸체는 미끄러지게 되어 블레이드 탈착지그를 미는 힘을 온전히 블레이드(101,102)에 전달할 수 없게된다.2 is a side view of a blade detachment jig according to an embodiment of the present invention. Blade detachment jig according to the present invention is composed of a hook 201, the body 204, the front support 202, the rear support 204. The hook 201 is formed to closely contact the groove of the blade hub 101 of FIG. 1A. Hooks 201 should be at least two or more, the more the number is more difficult to bond to the blade hub 101, but more strongly coupled. It is good to manufacture the length of the hook so that one side end of the body 204 can be in close contact with the blade hub (103). The hook 101 is coupled to one side end of the body 204. The body 204 may be manufactured in a cylindrical or other columnar shape. Opposite side ends of the body 202 are coupled to the anterior support 202. The anterior support 202 is made to have a disc shape, but other plate forms are possible. The diameter of the anterior support 202 is made larger than that of the body. The reason for this is as follows. The operator grips the rear support part 203 of the blade detachment jig by hand and detaches the blades 101 and 102. When the blades 101 and 102 are fixed to the spindle shaft 104, the blades 101 and 102 are strongly fixed to the spindle shaft ( 104, the front support 202 supports the hand holding the rear support 203, the pushing force is transmitted to the blade detachment jig. If there is no anterior support 202, if the force is strongly applied, the hand and the body are slipped so that the force pushing the blade detachment jig cannot be transmitted to the blades 101 and 102 completely.

후방지지부(204)의 모양은 몸체에서 갈고리(201)이 결합쪽 측면과 반대방향으로 점점 반지름이 커지도록 테이퍼진 형상으로 만들어 주는것이 바람직하다. 블레이드(101,102)를 스핀들 축(104)로 부터 분리하고자 하는 경우, 당기는 방향으로 힘을 용이하게 전달시키기 위함이다. 만약 테이퍼진 형상으로 제작하지 아니하면 앞에서와 마찬가지로 몸체(204)를 잡고 있는 손이 미끄러지게 되므로 적절히 당기는 힘을 블레이드(101,102)에 전달할 수 없게된다. 만약 앞에서 설명한 전방지지부(202)와 같이 판상으로 제작하는 경우 당기는 힘을 블레이드(101,102)에 적절히 전달 할 수는 있으나, 이경우는 블레이드 탈착지그를 잡고 있는 팔과 전방지지부가 수직에 가까운 각도를 갖게되므로 동일한 힘을 블레이드(101,102)에 전달하고자 하면, 사용자가 보다 강한 힘을 주어야 하는 불편이 따르게 된다. 따라서 작업자의 팔과 블레이드(101,102)의 각도는 될 수 있는한 수평이 되도록 하는 것이 힘의 전달에 보다 유리하게 된다.The shape of the rear support portion 204 is preferably made to the tapered shape so that the hook 201 in the body gradually increases in radius in the opposite direction to the side of the coupling. When the blades 101 and 102 are to be separated from the spindle axis 104, the blades 101 and 102 are easily transferred in the pulling direction. If it is not manufactured in a tapered shape, the hand holding the body 204 is slid as in the front, so that a proper pulling force cannot be transmitted to the blades 101 and 102. If it is manufactured in the form of a plate like the front support 202 described above, the pulling force can be properly transmitted to the blades 101 and 102, but in this case, the arm holding the blade detachment jig and the front support have an angle close to the vertical. If the same force is to be transmitted to the blades 101 and 102, the user is inconvenient to give a stronger force. Thus, it is more advantageous for the transfer of force to make the angle of the operator's arm and the blades 101 and 102 as horizontal as possible.

도 3은 도 2의 블레이드 탈착 지그가 도 1a의 블레이드에 결합된 상태를 도시하는 측면도이다. 앞에서 설명한 바와 같이, 몸체(204)는 블레이드 허브(101)와 밀착되어 있다.3 is a side view illustrating a state in which the blade detachment jig of FIG. 2 is coupled to the blade of FIG. 1A. As described above, the body 204 is in close contact with the blade hub 101.

한편, 본 명세서와 도면에 개시된 발명의 실시예는 이해를 돕기 위해 특정 예를 예시한 것에 지나지 않으며, 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것이 아니다. 여기에 개시된 실시예 이외에도 본 발명의 기술적 사상에 바탕을 둔 다른 변화예들이 실시 가능하다는 것은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것이다.On the other hand, the embodiments of the invention disclosed in the specification and drawings are merely illustrative of specific examples for the purpose of understanding and are not intended to limit the scope of the invention. It is apparent to those skilled in the art that other variations based on the technical idea of the present invention can be carried out in addition to the embodiments disclosed herein.

본 발명에 의하면, 크기가 작은 블레이드를 스핀들에서 탈착시 사용자의 부상방지와 미세한 블레이드 날의 손상을 방지하고, 고가의 스핀들 구동장치를 손상시키는 문제점을 해결할 수 있다.According to the present invention, it is possible to solve the problem of preventing the injury of the user and the damage of the fine blade blade when the small blade is detached from the spindle, and damage the expensive spindle drive.

Claims

A blade detachment jig for detaching a blade from a spindle axis, the blade detachment jig comprising: two or more hooks for engaging the blade detachment jig to a groove of a blade hub;

A body to which the hooks are coupled at one end;

A front support coupled to the other end of the body and adapted to exert a force in the spindle axial direction upon coupling the blade to the spindle axis; And

And a rear support portion coupled to the front support portion and configured to apply a force in a direction opposite to the spindle axis when the blade is separated from the spindle axis.

2. The blade detachment jig according to claim 1, wherein the front support portion has a plate shape having an area larger than that of the cross section of the body to support the hand of the worker when the blade is applied by applying an axial force.

According to claim 1 or claim 2, wherein the rear support portion is formed in a tapered so that the cross-sectional area is gradually increased in the opposite direction to the front support portion in a trapezoidal shape when viewed from the side, the user more easily when separating the blade from the spindle axis Blade detachment jig characterized in that to apply a force.