KR20030082381A - 폴리머 오엘이디 디스플레이, 디스플레이 및 이 방법에사용되는 기질과 같은 디스플레이 제조 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본　발명은　적어도　하나의　센서의　도움으로　각각의　에리어（area)의　위치를　기질위에서　측정하고，이렇게　측정된　위치를　기본으로　하여　프린트헤드가정확한　위치에서　액체의　양을　공급하는　것을　컨트롤하는　것을　특징으로　하는，기질　위에　예를　들면　릴리프　매트릭스　스트럭춰(matrix structure in refief)와　같은　스트럭춰가　부여되고，이　스트럭춰는　다수의　에리어의　경계를　구분하고，여기에서　잉크젯프린트헤드의　도움으로　기본적으로　각각의　에리어에　액체량이　침착되는　기질을　포함하는　디스플레이　제조방법에　관한　것이다．본　발명은또한　본　발명의　방법을　수행하는　장치，본　방법에　사용되는　기질　및　본　발명의　방법으로　얻어진　디스플레이에　관한　것이다．

Description

폴리머 오엘이디 디스플레이, 디스플레이 및 이 방법에 사용되는 기질과 같은 디스플레이 제조 방법 및 장치{Method and apparatus for manufacturing a display, such as, for instance, a polymer OLED display, a display and a substrate for use in the method}

본 발명은 예를 들면, 기질 위에 릴리프 매트릭스 스트럭취（a matrix structure in relief)와　같은　기질이　부여되고，이　스트럭춰는　다수의　에리어（area)（여기에서는　잉크젯　프린트헤드의　도움으로　일정량의　액체가　기본적으로　각각의　에리어위에　침착된다）를　포함하는　폴리머　유기　광방출　다이오드（a polymer organic light emitting diode : OLED)와　같은　디스플레이를 제조하는　방법에　관한　것이다．

본　발명은　또한　그러한　방법을　수행하는　장치에　관한　것이며，이　장치는　그　위에　기질을　배치하는　테이블，원하는　시간에　액체를　공급하는 잉크젯프린트헤드 및　기질에　프린트헤드를　배치하는　디스플레이스먼트　어셈블리가　구비되어　있다．

그　자체가　공지인　기질은　인디움　틴　옥사이드（ITO)나　또는　다른　투명한　도전성　물질로　만들어진　두께　약　100nm를　가지는　선상(line-shaped)　및　평행하는　투명한　도체가　구비된　투명한　유리　플레이트를　포함한다．도체에　수직으로　곁에　선상，평행하게　절연성　새도우　스트럭춰가　약１－２μm의　두께로설치되어　있다．

이렇게　하여　새도우　스트럭춰들　및　도체　패스들　사이에　에리어들이 약５　내지　400μm이　길이와　폭으로　형성되어　있다．임의로，투명한　도체패스들의위　및　새도우　스트럭춰들　아래에는　두께　약　0.5　내지　５μm의완충층을　형성시킬　수도　있으며，전술한　에리어들내에는　홈들이　형성될　수도　있다．홈들은　전술한　도체의　깊이까지　다다를　수　있어，다섯　면에　싸인　홈이　형성된다．기질로부터　폴리머　OLED를　제조하기　위하여는，각각의　에리어를　폴리머　도체（PDOT)와　유기　전자발광　미디엄（electroluminescence mdium:PPV)으로　채워진다．모노크롬　디스플레이에서는　싱글타잎의　PPV가　모든에리어들에　침착된다.　칼러　디스플레이는　다른　칼러의　빛（예를　들면　적색，녹색　및　청색　PPV)를　방출하는여러　타입의　PPV을　포함한다．디스플레이가　제조되는　기질의　에리어들을　충진하는　공지의　방법과　장치에서는　그위에　기질이　정확하게　위치하는　테이블과　상대적으로　움직이는　잉크젯프린트헤드로　만들어졌다．테이블은　전자자（electronic ruler)가　설치되어　테이블과　관련된　프린트헤드의　위치가　알려진다．실제로는，예를　들면　기질중의　온도변화，테이블위에　기질의　부정확한　배치　및　테이블　및／또는　프린트헤드의　운송시스템에서의　기계적인　부정확성과　같은　여러　방해　영향인자들의영향 하에서는，프린트헤드에　의하여　전달될　액체가　충분한　정확도（길이와　폭의　１／10　및 １／1000의　정확도가　요구된다．）로　기질위의에리어중에　침착되지　않는다．기질의　에리어중의　하나라도　예를　들면　Pdot，적색，녹색또는　청색　PPV와　같은　액체로　적절하게　충진되지　않는다면，디스플레이는　버려져야　한다．그러므로，기질의　각각의　에리어는　액체로　정확하게　충진되는　것이　대단히　중요하다．특히，기질들이　큰　때에는　기질에서의　온도변화，테이블위의　기질의　부정확한　배치　및　운송　시스템에서의　기계적인　부정확성등과　같은　방해요인들　때문에　기본적인　결함의　기회가　있다．현재까지，매우　정확한　운송계와　매우　안정한　테이블을　사용하여　이들의　문제점을차단하려는　시도가　있어왔다．그러나，실제로는　이러한　조치들은　전술한　문제점을　해결하는데불충분하였다．

본　발명의　목적은　에리어들중에　침착되는　액체가　온도변화，테이블위의　기질의　부정확한　배치　및　운송　시스템　또는　프린트헤드에서의　기계적인　부정확성과　같은　방해　요인들에　의한　방해를　받지　않고　각각의　에리어내에　정확하게　침착되는　방법에　의한　방법과　장치를　제공하는　것이다．

도 １은　거기에　돌출된　잉크젯　프린트헤드를　가지는　기질의　평면도의 약도이고,

도 ２ 내지 도 4는 가능한 프린트헤드 디자인의 다수의 변형에의 평면도의 약도이다.

이러한　목적을　위하여　본　발명에　의하여　본　명세서의　전문에　기술된　타입의　방법은　적어도　하나의　센서의　도움으로　각각의　에리어의　위치를　결정하기　위하여　기질위에서　특정을　행하고，이렇게　결정된　위치를　근거로　하여　프린트헤드를　정확한　장소에서　액체의　양을　공급하도록　조절하는　것을　특징으로　한다．본　발명의　상기에　기술된　형태의　장치는　적어도하나의　센서와，적어도　하나의　센서에　의하여　공급된　시그날들을　처리하고，설비장치의　설치를　컨트롤하고，적어도　하나의　센서에　의하여　생성된　시그날들에　의거하여　프린트헤드에　의한　액체의　공급　타이밍을　조절하는　컨트롤로　이루어지는　것을　특징으로　한다．대부분의　경우에　있어서，이　센서는　에리어들의　변들（도전체의　변　또는　새도우　스트럭춰의　변）위에　시그날을　주는　센서이다．이들　전환들은　적용에　충분히　높은　정확도로　이　센서에　의하여　관찰된다．다른　경우에　있어서센서는　에리어들내에서　그　위치를　결정할　수　있는　형태의　것일　수도　있다．　

본　발명의　방법과　장치는　에리어들의　위치를　결정하는　릴리프　스트럭춰 위에서　더욱　정교한　특정을　포함하기　때문에，에리어들이　위치하고　따라서　액체의　량을　공급하기　위하여　작동하는　프린트헤드가　어느　때에도　높은　정확도로　컨트롤　할　수　있는　것이　알려졌다．기질내에서　온도　변화로　인하여　스트럭춰가　통상의　환경하에서　기대되는　형상과는　다른　형상을가지는　때에도，그러한　다른　형상은　적어도　하나의　센서에　의하여　관찰되고，액체의　공급이　프린트헤드의　컨트롤에　의하여　시간이　조절되어，에리어내의　정확한　위치에서　액체가　침착된다．이러한　보정은　기질이　테이블위에서　불완전한　배열에　위치하거나또는　플레이가　운송 시스템 중에　생길　때에도　또한　작동한다．

스트럭춰는　또한　특히　그　목적을　위한　기질위에　주어진　레퍼런스　스트럭춰일　수도　있음을　주목해야　한다．이　경우에는　이　레퍼런스　스트럭춰는　매우　국소적으로　주어질　뿐만　아니라，예를　들면　기능적　스트럭춰의변을　따르거나，또는　기능적　스트럭춰 내에　있는　바와　같은　기능적　스트럭춰의　길이와　폭　전체에　기본적으로　연장되어，레퍼런스　스트럭춰가　정확하게　관련될　수도　있고　또한　기능적　스트럭춰　내에　기본적으로　관련될　수도　있다．이　목적을　위하여　기능적　스트럭춰는　예를들면　스트럭춰내부에　인코더　마킹（encoder marking)을　포함하는　센서들의　도움으로　관찰하여　임의로　최적화할　수도　있다．

따라서，본　발명은　또한　센서　관찰용으로　최적화된　그러한　기능적　스트럭춰를　가지는　기질에　관한　것이다．

더욱이，본　발명은　패시브　폴리머　OLED　디스플레이의　전술한　공지의 기질뿐만　아니라，예를　들면，상호　가깝게　밀집되도록　위치된　더　많은　도체　및완전한　전자적　회로가　에리어내에　위치된　액티브　매트릭스　폴리머　OLED　디스플레이에도　적용할　수가　있다．이들　더욱　복잡한　스트럭춰들은　센서들의　수단에　의하여　위치의　관찰에　사용될　수　있으며，이　관찰에의하여　액체의　전달의타이밍과　위치를　조절할　수　있다．

본　발명의　방법　및　장치에　의하여　적어도　하나의　센서는　프린트헤드에단단히　고정되어　위치하고　있기　때문에，이동가능하게　배열된　프린트헤드의　경우에도　적어도　하나의　센서는　프린트헤드의　각각의　운동에　따른다．

더욱이，본　발명의　방법　및　장치에　의하여，설비　장치가　기질과　관하여주　운동방향으로　배치되어　있을　때에，두　제１센서들이　운동의　주방향과　관련하여　스트럭춰의　스큐（skew)를　결정하도록　설계되어　있는　경우　및　컨트롤이프린트헤드에　의하여　액체의　운송의　타이밍에　맞추어　배열되어도，결정된　스큐가　보정되는　이점이　있다．바람직하게는　두　제１센서　쌍이，하나의　센서가　프린트헤드의　제１면에서　새도우　스트럭춰를　관찰할　수있고，센서　쌍의　하나의　다른　센서는　프린트헤드의　제２의　반대편위의　새도우　스트럭춰를　관찰할　수　있도록　서로　떨어져서　위치한다．특별하게는，프린트헤드가　서로　정렬된　다수의노즐들이　구비되어　있을　때，두　센서들을　가지는　스트럭춰의　스큐를　결정하고，그에　따라，노즐들이　액체를　공급할　시간을　컨트롤하는　것이，이러한　방법으로　노즐들의　줄과　관련하여　기질의　스큐가　보정되기　때문에　특히　중요하다．

필수적으로，스큐는　두　센서들의　트리거　시그날들 사이의　시간편차에　의하여　결정된다．이들　트리거　시그날들은　센서가　새도우　스트럭춰의　플랭크를　통과할　때에　생성된다．

본　발명에　의하여　또한，적어도　하나의　제２센서가　운동의　주방향에 수직으로　뻗어진　교차방향에서　스트럭춰의　위치를　관찰하고，한편，설비배치는　프린트헤드나　또는　테이블의　하나의　배치에　의한　기질과　교차방향으로 배치되고，컨트롤은　적어도　하나의　제２센서에　의하여　관찰된　바와　같이　스트럭춰의　위치에　따라서　교차방향에　배치를　컨트롤하도록　디자인된다．이 제２센서는　예를들면，기질위에서　도체　패스（ITO　도체）의　위치를　관찰할 수　있다．임의로，두　제２센서는，하나는　도체　패스방향，그리고　다른　하나는　두　도체　패스사이로　위치하도록　배치될　수　있으며，두　센서들　사이의시그날　차이는　다른　시그날　상수를　유지하게　위한　교차방향에서　테이블이나　또는　프린트헤드를　배치하는　액튜에이터（actuator)를　컨트롤하는데　사용된다．

당연히，본　발명에　의하여　도체패스의　전이를　감지하는　제１센서　및 새도우　스트럭춰에　관련된　프린트헤드의　교차방향의　위치를　측정하는　제２센서로９０도　운동의　주방향을　회전시키는　것이　가능하다．

본　발명에　의하여　또한　프린트헤드의　각각의　노즐에，그　각각의　노즐에해당하는　제３의　센서를　노즐에　의하여　공급된　액체의　특성을　결정할　목적으로　배치된다．이들　특성은　예를　들면，공급된　액체의　색상，양，층두께　및／또는　위치를　알　수　있다．각각의　노즐에　해당하는　제３의　센서에　의하여　생성된　시그날들에　의하여　각각의　노즐의　액체의　공급을　조절하도록　설계하는　것이　컨트롤하는데　바람직하다．이들　시그날들은　다음에 액체의　양과　액체의　공급시간에　영향을　준다．　

본　발명에　의하여　또한，센서들의　적어도　하나는　CD-ROM 드라이브나　또는　DVD　드라이브에　사용되는　광학　피크업　유니트（optical pick unit)로서 설계될　수　있다．광학　측정　원리 이외에도，예를　들면　캐파시티브　및　마그네틱　원리와　같은　다른　원리에도　센서들을　이용할　수　있다．에리어들의　다른　특성，예를　들면　스트럭춰　두께，반사，흡수，캐파시티，유도　또는　자기장（와전류：eddy currents)과　같이　그　위치결정에　사용될　수　있다．　

본　발명은　또한　본　발명에　의한　장치를　이용하여　본　발명의　방법에　의하여　얻어진　디스플레이；및　전술한　에리어를　정의하고，인접까지　연장되거나또는　그　사이의　스트럭춰로　제공된　기질을　제공하는　것이다．

본　발명은　다음의　도면으로　나타낸　예시적　태양에　의하여　더욱　상세히설명된다．

도１은　거기에　돌출된　잉크젯　프린트헤드를　가지는　기질의　평면도의 약도이고，

도２　내지　４는　가능한　프린트헤드　디자인의　다수의　변형예의　평면도의약도이다．

도１은　그　기질(１) 위에　각각　선형　융기된　선형 새도우　스트럭춰(２)를 가지는　기질의　평면도의　약도를　보여주는　것이다．기질위에는　또한　도체패스(３)이　설치되어　있고，이　도체　패스는　새도우　스트럭춰(２)와　함께　에리어들(４)를　바운딩하는　매트릭스　스트럭춰를　형성한다．여기에　Pdot와　같은　액체　및　그리고　적색，녹색　또는　청색　PPV가　침착된다．그　목적으로，다수의　노즐들(６)을 가지는　잉크젯　프린트헤드(５)를　포함한다．잉크젯 프린트헤드에　고정되게　연결된　다수의　센서들　(７)，(７‘)．(８)．(８’)　및 (９)가　설치되어　있다．제１센서들　(７)，(７‘)는　서로　떨어져　위치하여하나의　센서(７)은　프린트헤드(５)의　제１면에　인접하여　위치하고，다른　센서　(７’)은　프린트헤드(５)의반대편에　제２센서에　인접하여　위치한다．이렇게　하여　프린트헤드의　작동　에리어에서　스큐가　관찰될　수　있다．또한　이들　두　제１센서들　(７)，(７‘)은　기질의　두　반대편 위에　위치하도록　프린트헤드(５)와　연결되도록　하는　것도　가능하다．이렇게　하여　기질만의　스큐니스（skewness)가　관찰될　수　있다．센서들 (７)，(７’)은　예를　들면　CD또는　DVD　드라이브에서　사용되는　광학　픽업　유니트로서　설계될　수도　있다．센서들(７)，(７‘)은　센서들(７)，(７‘)이　버섯형스트럭춰(２)의　플랭크 (flank)를　통과할　때，시그날을　생성한다．이러한　센서들 (７)，(７‘)로，플랭크들의의　위치를　0.1　내지　10μm의　정밀도로　관찰될　수　있다．　

제２센서들　(８)，(８‘)중，하나는　도체　패스(３)을　향하여　있고，다른　것은　두　도체　패스(３)사이로　향하여　있다．두　제２센서들　(８)，(８’)사이의시그날의　차이에　근거하여，교차　배열　컨트롤(10)이　액튜에이터(11)의　작동을　통하여　기질(１)에　관련된　잉크젯 프린트헤드(５)의　교차　위치를　컨트롤한다．이　액튜에이터(11)은　기질(１)위에　위치한　프린트헤드(５)나　또는　테이블을　연결한다. 각　노즐(６)에는　제３센서(９)가　프린트헤드　 (５)위에　설치되어　있다．이들　제３센서들(９)의　도움으로　예를　들면，공급된　액체량의　양，색상　및／또는　위치가　측정된다．제1센서들　(７)，(７‘)　및　제３센서들(９)로부터　나오는　시그날들로부터，컨트롤(12)는　잉크젯　프린트헤드　노즐들(６)을　컨트롤하는　시그날들의　딜레이　타임　및　진폭들（amplitudes)을　계산한다．이들　시그날들은버퍼(13)에서　저장되고　제１센서들　(７’)의　하나로부터의　트리거　시그날(14)에따라서　다음에　노즐들(6)에　전달된다．이러한　밀폐된　루프　컨트롤로　기질(１) 위로의　액체의　대단히　정확한 공급이　달성된다．여기에서는　프린트헤드(５)가　예를　들면　기질(１)의　실비또는　프린트헤드(５)의　설비를　통하여　일정한　스피드　V로　기질(１)을　넘어서　이동되는　것도　가능하다．더욱이，프린트헤드(５)와관련하여　수회　기질(１)을　이동시켜서　여러　패스들에서　에리어들(４)를　채우는것도　가능하다．이러한　멀티패스　동작은　비교적　간단한　프린트헤드(５)의　사용으로　가능한　것이다．이러한　멀티페스　동작은　공지의　방법으로는　적합하지　않다．왜냐하면　온도의　변화의　영향하에서는　작동동작이　너무　오래　걸리고，그　형상에　변화를　가져와　액체의　부정확한　침착으로　이어지기　때문이다．이러한 문제는　본　발명에　의하여　액체의　공급을　조절하고，기질의　스트럭춰 위에서 측정이　행해지기　때문에　가능하다．본　발명의　장점은　에를　들면　기존의 256개의노즐들을　가지는　복잡한　헤드보다　훨씬　실패할　확률이　낮은　비교적　간단한　프린트헤드를　가지기　때문이다．따라서，본　발명은　단일　패스에서　Pdot 및　PPV또는　PPV의　여러　칼라들을　침착시키는　복합　잉크젯　프린트헤드를　제공하는　장치에　사용될　수　있다．

프린트헤드들의　예들은　도２　내지　도４에　예시되어　있다．도２는　단일　노즐(６)，제２센서의　기능을　부가적으로　가지는　단일　제１센서　및　단일　제３센서(９)를　가지는　프린트헤드(５)의　평면도이다．

도３은　운동방향으로　보여주는　노즐들(６)이　서로　뒷라인에　정렬되어단일패스에　다른　액체들을　연속적으로　공급되도록　된　프린트헤드의　평면도를　보여준다．

도４는　도　제１센서들(７)，(７‘)이　프린트헤드(５)의　주　프레임　파트(15)위에　설치되고，각각의　노즐(６)이　서브　프레임(16)에서　이동　가능하도록　설치되는　메인　프레임　파트(15)에　정렬된　복합　프린트헤드(5)의　평면도를　보여준다．각각의　경우에　서브프레임(16)과　연결된　것은　제１센서(８)과　제３센서(９)이다．

본　발명은　앞에　기술된　실시예적　태양에만　한정된　것이　아니며，청구항에　정의된　바와　같이　여러　변형이　가능한　것이　명백하다．이리하여，본　발명은　센서들의　단일　센서　또는　두　타입의　센서들로　제공된　여러　변형을　포함한다．또한　본　발명의　방법은　어떠한　폴리머나　또는　유기물질을　함유하지　않은　액체나　예를　들면　E-잉크　디스플레이들과　같은　것에도적용할　수　있다．

Claims (18)

1. 적어도　하나의　센서의　도움으로　각각의　에리어（area)의　위치를　기질위에서　측정하고，　이렇게　측정된　위치를　기본으로　하여　프린트헤드가　정확한　위치에서　액체의　양을　공급하는　것을　컨트롤하는　것을　특징으로　하는，기질　위에　예를　들면　릴리프　매트릭스　스트럭춰(matrix structure in refief)와　같은스트럭춰가　부여되고，이　스트럭춰는　다수의　에리어의　경계를　구분하고，여기에서　잉크젯프린트헤드의　도움으로　기본적으로　각각의　에리어에　액체량이　침착되는　기질을　포함하는　디스플레이　제조방법．
2. 제１항에　있어서，적어도　하나의　센서가　릴리프　스트럭춰（structure provided in relief)위에　또는　인접하여　뻗어　있는　스트럭춰，또는　에리어－구분　스트럭춰 사이에서　측정을　행하는　방법．
3. 제１항　또는　２항에　있어서，프린트헤드에　서로　인접하게　배열된　다수의노즐들이　배치되어，다수의　에리어들이　기본적으로　동시에　충진되게하고，두개의제１센서들이　배치되어，이로　인하여　스트럭춰의　스큐（skew)가 결정되고，그에　따라서，노즐들의　작동시간이　조절되어　프린트헤드에　상대적인　스큐가　보정되는방법．
4. 앞의　청구항의　어느　하나에　있어서，프린트헤드가　기질에　관련된　운동의특히　주방향에　배치되고，적어도　하나의　센서가，운동의　주방향에　수직으로　뻗어　있고，교차방향에서　스트럭춰의　위치를　관찰할　수　있도록　배치되고，한편　프린트헤드는　프린트헤드나　또는　테이블의　배치에　의하여　기질에　상대적으로　교차방향에　배치될　수　있고，교차방향으로의　배치는　전술한　적어도　하나의　제２센서에　의하여　관찰된　스트럭춰의　위치를　기본으로하여　조절되는　방법．
5. 앞의　청구항의　어느　하나에　있어서，제３센서가　예를들면　에리어내 에이미　침착된　액체의　색상，침착위치，양　및／또는　층의　두께와　같은　특성을　측정하도록　배치된　방법．

   　
6. 제５항에　있어서，관찰된　특성에　기준하여　프린트헤드에　의하여　공급되는액체의　양　및／또는　공급시간이　조절되는　방법．
7. 위에　기질을　위치하게　하는　테이블，원하는　시간에　액체를　공급하는잉크젯　프린트헤드，및　기질과　관련하여　프린트헤드를　배치하는　디스플레이스먼트　어셈블리로　구성되고，스트럭춰를　관찰하는　적어도　하나의　센서，적어도　하나의센서에　의하여　제공된　시그날들을　분석하고，디스플레이스먼트 어셈블리의　배치를　조절하고，적어도　하나의　센서에　의하여　제공된　시그날을　기준으로　하여　프린트헤드에　의한　액체의　공급의　시간을　조절하는　컨트롤을　함을　특징으로　하는　장치．
8. 제７항에　있어서，적어도　하나의　센서의　위치가　프린트헤드에　고정된 장치．
9. 제７항　또는　８항에　있어서，디스플레이스먼트　어셈블리를　운동의　주방향으로　기질의　프린트헤드를　배치하고，두개의　제１센서들을　운동의　주방향으로　스트럭춰의　스큐를　결정하도록　배치하고，컨트롤은　프린트헤드에　의한　액체의　공급의　시간을　조절하도록　배열하여　결정된　스큐가　보정되도록　한　장치．
10. 제９항에　있어서，적어도　하나의　제２센서가　운동의　주방향에　수직으로　뻗어　있는　교차방향으로　스트럭춰의　위치를　컨트롤하도록　배치하고，디스플레이스먼트　어셈블리는　프린트헤드가　프린트헤드　또는　테이블의　배치에 의하여　기질에　교차방향으로　배치되고，컨트롤은　전술한　적어도　하나의　제２센서에　의하여　관찰된　스트럭춰의　위치를　근거로　교차방향으로　배치되도록　컨트롤하도록　배열된　장치．
11. 제７ 내지　１０항에　있어서，프린트헤드의　각각의　노즐에　관하여，각각의노즐에　상응하는　제３센서가　노즐에　의하여　공급된　액체의　특성을　결정하도록제공된　장치．

    　
12. 제　11항에　있어서，관찰되는　특성의　적어도　하나가　공급된　액체의　색상，양，층의　두께　및／또는　위치인　장치．
13. 제 11항 또는　12항에　있어서，컨트롤이　각각의　노즐에　상응하는　제３센서에　의하여　제공된　시그날들을　기준으로　하여　각각의　노즐의　액체의　공급을　조절하도록　배치된　장치．
14. 앞의　청구항의　어느　하나의　항에　있어서，센서들의　적어도　하나가 CD-ROM, 또는　DVD드라이브에　사용되는　광학　피크업　유니트인　장치．
15. 앞의　청구항의　어느　하나의　항에　있어서，센서들중　적어도　하나의　센서가　높은　위치　정밀도를　가지는　캐퍼시티브　또는　와류전류　센서인　장치．
16. 청구항　７　내지　１５의　어느　하나의　장치를　이용하여　청구항　１　내지６의　어느　하나의　방법의　도움으로　얻어진　디스플레이．
17. 전술한　에리어로　정의되고，에리어－구분　스트럭춰 가까이　또는　그　사이에　뻗은　레퍼런스　스트럭춰가　제공된　청구항１　내지　６의　어느항의　방법에　사용되는　기질．
18. 제1７항에　있어서，레퍼런스　스트럭춰가　에리어－구분　스트럭춰 위　또는 그 안에　조합되어서　센서　관찰을　위한　에리어－구분을　최적을　하도록　한 기질．