KR20030075725A - 액정표시소자용 합착 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정표시소자의 제조 공정 중 기판간의 합착을 위한 합착 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 합착 기판의 각 부위 중 여타의 부위에 비해 충분한 가압이 이루어져야만 하는 특정 부위를 보다 큰 힘으로 가압할 수 있도록 한 액정표시소자용 합착 장치의 보조 가압 장치에 관한 것이다.

이를 위해 본 발명은 상부 스테이지 및 하부 스테이지를 가지는 진공 챔버 내에서 기판간 합착 공정이 수행되는 진공 합착 장치에 있어서, 각 스테이지 중 최소 어느 하나의 스테이지가 가지는 작업면에 수용부를 형성하고, 상기 수용부 내에는 기판간 합착 부위 중의 소정 부위를 가압하는 보조 가압 수단을 구비하여서 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치를 제공한다.

Description

액정표시소자용 합착 장치{bonding device for liquid crystal display}

본 발명은 제조 장비에 관한 것으로, 특히, 대면적의 액정표시소자에 유리한 액정 적하 방식을 적용한 액정표시소자의 제조 장비에 관한 것이다.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Lipuid Crystal Display Device), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 특징에 따른 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)을 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이 하는 텔레비전 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.

이와 같이 액정표시소자는 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어 졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 특징 및 장점과 배치되는 면이 많이 있다. 따라서, 액정표시소자가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고 품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.

상기와 같은 액정표시소자의 제조 방법으로는 한쪽의 기판상에 주입구가 형성되도록 밀봉제를 패턴 묘화하여 진공 중에서 기판을 접합한 후에 밀봉제의 주입구를 통해 액정을 주입하는 통상적인 액정 주입 방식과, 일본국 특개평11-089612 및 특개평 11-172903호 공보에서 제안된 액정을 적하한 기판과 다른 하나의 기판을 준비하고, 진공 중에서 상하의 기판을 근접시켜 접합하는 액정 적하 방식 등으로 크게 구분할 수 있다.

이 때, 상기한 각각의 방식 중 액정 적하 방식은 액정 주입 방식에 비해 많은 공정(예컨대, 액정 주입구의 형성, 액정의 주입, 액정 주입구의 밀봉 등을 위한 각각의 공정)을 단축하여 수행함에 따라 상기 추가되는 공정을 따른 각각의 장비를 더 필요로 하지 않는다는 장점을 가진다.

이에 최근에는 상기한 액정 적하 방식을 이용하기 위한 각종 장비의 연구가 이루어지고 있다.

도시한 도 1 및 도 2는 상기한 바와 같은 종래의 액정 적하 방식을 적용한 기판간 합착 장치를 나타내고 있다.

즉, 종래의 합착 장치는 외관을 이루는 프레임(10)과, 스테이지부(21,22)와,밀봉제 토출부(도시는 생략함) 및 액정 적하부(30)와, 챔버부(31,32)와, 챔버 이동수단 그리고, 스테이지 이동수단으로 크게 구성된다.

이 때, 상기 스테이지부는 상부 스테이지(21)와 하부 스테이지(22)로 각각 구분되고, 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)는 상기 프레임의 합착 공정이 이루어지는 위치의 측부에 장착되며, 상기 챔버부는 상부 챔버 유닛(31)과 하부 챔버 유닛(32)으로 각각 합체 가능하게 구분된다.

이와 함께, 상기 챔버 이동수단은 하부 챔버 유닛(32)를 상기 합착 공정이 이루어지는 위치 혹은, 밀봉제의 토출 및 액정의 적하가 이루어지는 위치에 선택적으로 이동시킬 수 있도록 구동하는 구동 모터(40)로 구성된다.

그리고, 상기 스테이지 이동수단은 샤프트(61)와, 하우징(62)과, 리니어 가이드(63)와, 모터(64)와, 볼나사(65) 및 너트 하우징(66)으로 이루어진다.

즉, 상부 스테이지(21)는 샤프트(61)에 의해 지지되고, 상기 샤프트(61)는 하우징(66)에 고정되며, 상기 하우징(66)은 프레임(67)에 대하여 리니어 가이드(63)로 설치되고, 그 상하 구동은 프레임(67) 상의 브라켓(68)에 고정된 모터(64)에 의하여 행하여 진다. 이 때 구동력의 전달은 볼나사(65)와 너트 하우징(66)으로 실행되도록 구성되고, 상기 너트 하우징(66)은 하중계(69)를 거쳐 하우징(66)과 이어진다.

이하, 상기한 종래의 합착 장치를 이용한 액정표시소자의 제조 과정을 그 공정 순서에 의거하여 보다 구체적으로 설명하면 하기와 같다.

우선, 상부 스테이지(21)에는 어느 하나의 기판(51)이 로딩된 상태로 부착고정되고, 하부 스테이지(22)에는 다른 하나의 기판(52)이 로딩된 상태로 부착 고정된다.

이 상태에서 상기 하부 스테이지(22)를 가지는 하부 챔버 유닛(32)는 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 1과 같이 밀봉제 도포 및 액정 적하를 위한 공정 위치 상으로 이동된다.

그리고, 상기 상태에서 밀봉제 토출부 및 액정 적하부(30)에 의한 밀봉제의 도포 및 액정 적하가 완료되면 다시 상기 챔버 이동수단(40)에 의해 도시한 도 2와 같이 기판간 합착을 위한 공정 위치 상으로 이동하게 된다.

이후, 챔버 이동수단(40)에 의한 각 챔버 유닛(31,32)간 합착이 이루어져 각 스테이지(21,22)가 위치된 공간이 밀폐되고, 별도의 진공 수단에 의해 상기 공간이 진공 상태를 이루게 된다.

그리고, 상기한 진공 상태에서 스테이지 이동수단(50)을 구성하는 모터(64)가 구동함에 따라 샤프트(61)가 하강하고, 이 샤프트(61)의 하강에 의해 상부 스테이지(21)가 하향 이동하면서 각 기판(51,52)간 합착을 수행하게 된다.

이 때, 하중계(69)는 로드셀(가압력센서)로 작용하고, 차차로 피드백된 신호를 기초로 모터(64)를 제어하여 합착에 필요한 가압력을 설정된 만큼만 부여하는 것이 가능하다.

그러나 전술한 바와 같은 종래의 합착 장치에 의한 합착 과정에 있어서, 통상 액정의 원활한 분산이 이루어진 상태를 이루지 못한 상태로써 그 합착이 진행됨에 따라 씨일재가 도포된 부위에 비해 상기 액정이 적하된 부위가 더욱 높은 상태를 이루게 되어 상기 씨일재가 도포된 부위와 상부 스테이지 간에는 도시한 도 3과 같이 소정 간격(S)이 발생되었다. 이에 씨일재가 도포된 부위의 원활한 합착이 진행되지 못하였던 문제점이 발생되었다.

즉, 각 스테이지는 기 설정된 힘을 전달하여 기판간의 합착을 수행하도록 이루어져 있고, 그 가압 수행시 로드셀을 이용하여 반사되어오는 힘을 센싱함으로써 계속적인 가압 여부를 결정함을 고려한다면, 상기 액정이 적하된 부위가 씨일재의 도포 부위에 비해 높은 상태를 이룸에 따라 상기 씨일재의 도포 부위가 충분히 가압되지 못하였음에도 불구하고, 로드셀은 합착이 완전히 이루어졌음으로 판독하게 되어 합착 공정을 완료하였기에 합착 불량에 따른 씨일재 도포 영역이 터지는 문제점이 발생되었던 것이다.

특히, 상기한 씨일재가 도포된 부위의 합착 불량이 발생될 경우 외부 공기의 유입으로 인해 제품 불량을 발생시키게 되는 큰 원인이 될 수 있음을 고려할 때 전술한 바와 같은 문제점은 시급히 해결되어야만 한다.

그러나 전술한 바와 같은 종래 기판간 합착 장치를 구성하는 상부 스테이지의 상향/하향 이동시키기 위한 구성은 오랜 기간 사용함으로써 위치 변동에 따른 상부 스테이지의 평탄도 오차가 발생됨에도 불구하고, 상기 오차를 보정하기 위한 별도의 구성이나 수단을 가지지 못하였기 때문에 상기 평탄도 오차 만큼의 합착 불량이 야기된 문제점을 가진다.

즉, 종래의 스테이지 이동장치는 단순히 상부 스테이지의 주변에만 2개의 축이 구성되어 있을 뿐 아니라 이 각각의 축은 모터의 구동력을 전달받아 양측이 균일한 힘으로 동일한 양만큼 상부 스테이지를 하향 이동시켜 주도록 구성되어 있음에 따라 초기 작업 수행 전 상부 스테이지의 평탄도 상태 즉, 기준을 셋팅하고자 할 경우 그 정확한 셋팅을 수행하기 어려웠고, 오랜 사용에 따른 구동부간 유격 등에 의해 틀려진 평탄도를 보정할 수 없었던 문제점이 있다.

또한, 필요에 의해 상부 스테이지의 특정 부위를 임의로 또는, 일시적으로 원하는 힘 만큼 추가적인 가압을 수행할 수 없었기 때문에 상부 스테이지의 특정 부위 마모가 발생되더라도 이에 따른 보상이 이루어지지 못하여 해당 부분에 대한 기판간의 합착 불량이 발생될 수도 있다.

또한, 종래에는 합착 장치의 계속적인 구동에 의해 각 스테이지(특히, 상부 스테이지)의 특정 부위 마모가 발생될 수 있지만 상기 각 스테이지의 특정 부위 마모에 따른 보상이 이루어지지 않았음에 따라 기판간의 합착 불량이 발생될 수 있었다.

즉, 어느 한 스테이지의 특정 부위 마모가 발생되었을 경우 여타의 부위와 편차가 발생되어 상기 마모가 발생된 부위는 각 기판간 합착이 원활히 이루어지지 못하였던 것이다.

특히, 씨일재가 도포된 부위는 한 쌍의 기판간 합착 후 틈새가 발생되기 쉬움을 고려할 때, 상기 부위에의 기판간 합착이 정확히 이루어져야 하지만, 종래에는 각 스테이지의 특정 부위 마모에 따른 보상이 이루어지지 않았기 때문에 합착 불량이 더욱 커질 수 밖에 없었던 문제점을 가지게 된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 합착 기판의 각 부위 중 여타의 부위에 비해 충분한 가압이 이루어져야만 하는 특정 부위를 보다 큰 힘으로 가압할 수 있도록 하여 합착 기판의 합착 불량을 미연에 방지할 수 있도록 한 액정표시소자용 합착 장치의 보조 가압 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

도 1 및 도 2 는 종래 액정표시소자의 제조 장비 중 합착 장치를 개략적으로 나타낸 구성도

도 3 은 종래 액정표시소자의 제조 공정 중 기판간 합착이 진행되는 상태의 요부 확대 단면도

도 4 는 본 발명의 보조 가압 수단이 장착된 진공 합착 장치를 나타낸 구성도

도 5 는 본 발명 제1실시예에 따른 보조 가압 수단의 장착 상태를 개략적으로 나타낸 요부 사시도

도 6 및 도 7은 본 발명의 구성을 이용한 기판간 합착이 이루어지는 상태를 나타낸 구성도

도 8 은 본 발명 제2실시예에 따른 보조 가압 수단의 장착 상태를 개략적으로 나타낸 평면도

도 9 는 본 발명 제3실시예에 따른 보조 가압 수단의 장착 상태를 개략적으로 나타낸 평면도

도 10 은 발명 제4실시예에 따른 보조 가압 수단의 장착 상태를 개략적으로 나타낸 평면도

도면의 주요 부분에 대한 부호 설명

100. 진공 챔버210. 상부 스테이지

220. 하부 스테이지400. 보조 가압 수단

410. 누름부

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면 각 스테이지 중 최소 어느 하나의 스테이지가 가지는 작업면에 수용부를 형성하고, 상기 수용부 내에는 기판간 합착 부위 중의 소정 부위를 가압하는 보조 가압 수단을 구비하여서 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치가 제공된다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도 4 내지 도 10을 참조하여 보다 상세히 설명하면 하기와 같다.

우선, 도시한 도 4 내지 도 7은 본 발명에 따른 액정표시소자의 합착 장치를 개략적으로 나타내고 있으며, 이를 통해 알 수 있듯이 본 발명의 합착 장치는 크게 진공 챔버(100)와, 스테이지부와, 스테이지 이동 장치 그리고, 보조 가압 수단(400)을 포함하여 구성됨이 제시된다.

상기에서 본 발명의 합착 장치를 구성하는 진공 챔버(100)는 그 내부가 선택적으로 진공 상태 혹은, 대기압 상태를 이루면서 각 기판(510,520)간 가압을 통한 합착 공정이 수행된다.

그리고, 본 발명의 합착 장치를 구성하는 스테이지부는 상기 진공 챔버(100)내부로 반입된 각 기판(510,520)을 상기 진공 챔버(100) 내의 해당 작업 위치에 고정시키는 역할을 수행한다.

이 때, 상기와 같은 스테이지부는 상기 진공 챔버(100) 내의 상측 공간과 하측 공간에 각각 대향 설치되는 상부 스테이지(210) 및 하부 스테이지(220)를 포함하여 구성된다.

그리고, 본 발명 합착 장치를 구성하는 스테이지 이동장치는 상부 스테이지(210)를 선택적으로 상하 이동시키도록 구동하는 이동축(310)을 가지고, 하부 스테이지(220)를 선택적으로 좌우 회전시키도록 구동하는 회전축(320)을 가지며, 진공 챔버(100)의 내측 또는 외측에 상기 각 스테이지(210,220)와 축결합된 상태로 상기한 각각의 축을 선택적으로 구동하기 위한 구동 모터(330,340)를 포함하여 구성된다.

그리고, 본 발명 합착 장치를 구성하는 보조 가압 수단(400)은 각 스테이지(210,220) 중 최소 어느 하나의 스테이지가 가지는 작업면으로부터 돌출하여 추가적인 가압이 필요시 되는 부위를 눌러주는 역할을 수행하며, 본 발명에서는 상부 스테이지(210)에 구비됨을 그 실시예로 한다. 물론 하부 스테이지(220)에 구비될 수도 있다.

이 때, 상기 상부 스테이지(210)의 작업 수행이 이루어지는 면(즉, 상부 스테이지의 저면)에는 상기 보조 가압 수단(400)의 선택적인 돌출이 가능하도록 수용부(211)를 요입 혹은, 관통 형성한다.

상기에서 추가적인 가압이 필요시 되는 부위라 함은 통상 각 기판(510,520)의 씨일재가 도포되는 부위 혹은, 더미 영역이 형성된 부위이며, 상기의 부위를 본 발명의 보조 가압 수단(400)이 눌러 줄 수 있도록 상부 스테이지(210)에 형성되는 수용부(211)는 대략 상기 씨일재가 도포되는 부위 혹은, 더미 영역이 형성된 부위를 따라 형성되도록 함을 제시한다.

물론, 본 발명의 보조 가압 수단(400) 역시 상기한 바와 같이 형성된 수용부(211)를 따라 구비되어 상기 수용부(211)로부터 선택적인 돌출이 가능하도록 하며, 도 5와 같이 상기 수용부(211)를 따라 일괄적인 가압력이 제공될 수 있도록 단일체로 형성함을 제1실시예로써 제시한다.

그리고, 상기와 같은 본 발명의 보조 가압 수단(400)은 누름부(410)와, 승강축(420) 그리고, 구동부(430)로 크게 구성됨을 제시한다.

이 때, 상기 누름부(410)는 상기 승강축의 승강에 따른 이동력을 전달받아 각 기판의 씨일재가 도포된 부위를 눌러주는 역할을 하며, 수용부(211)에 수용되어 선택적으로 상기 수용부(211)로부터 상향 혹은, 하향 이동한다.

상기에서 누름부(410)의 각 면 중 기판(510,520)과의 접촉이 이루어지는 면은 상기 기판(510,520)의 긁힘이 방지될 수 있는 테프론이나 피크와 같은 재질로 형성하거나, 상기의 재질을 코팅하여 형성한다.

또한, 상기 승강축(420)은 상기 수용부(211)를 관통하여 상기 누름부(410)와 연결되며, 구동부(430)의 구동력을 전달받아 상기 누름부(410)를 상하 이동시키는 역할을 수행한다.

또한, 상기 구동부(430)는 유공압 실린더나 모터 등 가압력을 제공할 수 있는 장치로 구성하여 각 스테이지(210,220)의 기판간 합착을 위한 가압력보다 큰 힘으로 누름부(410)를 승강시킬 수 있도록 하며, 상기 누름부의 전 부분이 원활한 힘을 전달받을 수 있도록 다수개로 구성한다.

이하, 전술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명 액정표시소자용 합착 장치의 보조 가압 수단(400)을 이용한 각 기판(510,520)간 보조 가압 과정에 대하여 개략적으로 설명하면 하기와 같다.

우선, 각 스테이지(210,220)에 각각의 기판(510,520)이 로딩된 상태에서 진공 챔버(100) 내부가 진공 상태를 이룸에 따라 그 합착을 위한 준비가 완료된다.

그리고, 상기한 상태에서 스테이지 이동 장치의 구동에 의해 상부 스테이지(210)가 하향 이동하게 되면, 각 스테이지(210,220)에 고정된 기판(510,520)간 합착이 수행된다.

이 과정이 진행되는 도중 본 발명에 따른 보조 가압 수단(400)은 도시한 도 6과 같이 별도의 제어를 받고 하향 이동하게 된다.

즉, 구동부(430)가 스테이지 이동 장치와는 별도의 제어받아 구동하면서 승강축(420)을 하향 이동시키게 되는 것이다.

이 때, 상기 상부 스테이지(210)의 수용부(211)에 수용되어 있던 보조 가압 수단(400)의 누름부(410)는 상기 승강축(420)과 함께 수용부(211)로부터 소정 높이만큼 돌출되어 상기 상부 스테이지(210)의 저면에 비해 하향 돌출된 상태를 이루게 된다.

이에 따라, 상기 누름부(410)에 대응하는 각 기판간 합착 부위는 여타의 부위에 비해 보다 큰 가압력을 전달받게 되어 보다 견고한 합착이 이루어짐으로써 해당 부위 즉, 씨일재가 도포된 부위의 합착 불량을 미연에 방지할 수 있게 된다.

그리고, 상기한 과정에 의한 기판간 합착이 완료되면 스테이지 이동 장치는 상부 스테이지(210)가 상향 이동되도록 구동함과 더불어 보조 가압 수단(400)을 구성하는 구동부(430)는 누름부(410)가 수용부(211)에 수용되도록 구동한다.

이 때, 상기 상부 스테이지(210)를 통해 제2기판(520)을 흡착하던 흡착력은 해제되어 상기 상부 스테이지(210)와 제2기판(520) 간은 서로 탈거된 상태를 이루고, 합착이 완료된 합착 기판은 하부 스테이지(220)에 고정된 상태를 이루게 된다. 이는 도시한 도 7에 도시된 바와 같다.

이에 따라, 스테이지 이동 장치에 의한 상부 스테이지(210)의 상향 이동시 상기 상부 스테이지(210) 및 누름부(410)만이 최초의 공정 위치로 복귀하게 된다.

이후, 진공 챔버(100) 내부의 벤트 과정 및 합착 완료된 합착 기판의 언로딩은 종래와 동일하게 이루어져도 상관 없음에 따라 그 구체적인 설명은 생략한다.

한편, 본 발명에 따른 보조 가압 수단(400)의 구성은 반드시 기판간 합착 과정에서만 사용되는 것은 아니다.

즉, 합착 공정이 완료된 후 필요에 따른 특정 부위의 추가적인 가압을 수행하도록 사용될 수도 있다.

뿐만 아니라, 본 발명에 따른 보조 가압 수단(400)은 도 8과 같이 각 셀이 이루는 영역의 씨일재 도포 부위를 각각 가압하도록 다수개로 형성할 수도 있고, 도 9와 같이 소정 개수의 셀이 가지는 씨일재 도포 부위를 하나의 공정 범위로 가지도록 다수의 보조 가압 수단으로 형성할 수도 있는 것이다.

상기한 구성의 경우, 추가적인 가압이 필요시 되는 특정 부위만을 선택적으로 가압하도록 제어할 수 있다는 장점을 가진다.

예컨대, 합착 장치의 오랜 사용에 의해 각 구동 부위의 동작 편차가 발생될 수 있음을 고려할 때 이의 보상 작업이 수행되도록 할 수도 있는 것이다.

즉, 합착 공정의 수행 전(혹은, 주기적으로) 각 스테이지(210,220)의 특정 부위 편차 여부를 확인하여 상기 특정 부위의 편차가 발생되었을 경우 이 편차를 보상해 주도록 해당 부위에 설치된 특정 보조 가압 수단(400)을 제어하여 상기 보조 가압 수단(400)의 누름부(410)가 편차에 따른 보상 힘 만큼 추가적으로 눌러줄 수 있도록 하는 것이다.

이 때, 상기 편차가 발생된 부위를 눌러주는 보조 가압 수단(400)의 구동부(430)는 여타 보조 가압 수단의 구동부에 비해 보다 큰 힘을 제공하여 누름부(410)를 하향 이동시킬 수 있도록 함으로써 전반적으로 균일하고 정확한 합착이 가능하다.

또한, 본 발명은 도 10과 같이 서로 다른 씨일재 도포 부위를 가지는 기판의 모델별로 상기 각 모델별 씨일재 도포 부위만을 가압할 수 있도록 구성할 수도 있다.

이는, 각 기판의 모델별 씨일재 도포 부위에 따른 형상에 대응하여 선택적인 돌출이 이루어지도록 보조 가압 수단(400)의 각 누름부(410)를 다수의 블럭으로 분할 형성하고, 이 각각의 블럭은 각각의 구동부(430) 및 승강축(420)에 의한 선택적인 승강이 이루어지도록 함으로써 가능하다.

또한, 도시는 하지 않았지만 본 발명의 보조 가압 수단은 상부 스테이지와 하나의 몸체를 이루도록 일체형으로 형성할 수도 있으며, 이의 경우 상기 보조 가압 수단을 가압하는 가압력은 상기 상부 스테이지를 구동하는 스테이지 이동 장치를 통해 제공될 수 있도록 구성할 수 있다.

물론, 보조 가압 수단이 돌출되는 부위인 상부 스테이지의 저면 상에 본 발명에 따른 보조 가압 수단의 형상을 돌출 형성하여 구성할 수도 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명 액정표시소자의 합착 장치에 따른 구성에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.

첫째, 본 발명은 씨일재가 도포된 부위를 여타의 부위에 비해 보다 큰 힘으로 가압할 수 있도록 함으로써 상기 씨일재가 도포된 부위의 합착 정도가 상승하게 되어 상기 부분에의 합착 불량을 미연에 방지할 수 있게 된 효과가 있다.

둘째, 본 발명은 합착 장치의 오랜 운전에 따라 각종 구동 부위(특히, 각 스테이지)의 특정 부위가 여타의 부위에 비해 편차를 발생하게 되었을 때 이 편차를 보상할 수 있게 되어 전체적으로 안정적인 합착 정도를 얻을 수 있게 된 효과가 있다.

셋째, 본 발명에 따른 보조 가압 수단을 항상 상부 스테이지 혹은, 하부 스테이지에 장착된 상태임에 따라 단순한 제어에 의해 선택적인 사용이 가능하다는 장점을 가진다.

넷째, 기판의 모델에 따라 보조 가압 수단을 교체할 수도 있기 때문에 모델별 대처가 용이한 효과가 있다.

Claims (11)

1. 상부 스테이지 및 하부 스테이지를 가지는 진공 챔버 내에서 기판간 합착 공정이 수행되는 진공 합착 장치에 있어서,

   각 스테이지 중 최소 어느 하나의 스테이지가 가지는 작업면에 수용부를 형성하고,

   상기 수용부 내에는 기판간 합착 부위 중의 소정 부위를 가압하는 보조 가압 수단을 구비하여서 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
2. 제 1 항에 있어서,

   보조 가압 수단은

   수용부로부터 돌출되도록 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
3. 제 2 항에 있어서,

   보조 가압 수단이 돌출되는 부위는

   각 기판의 씨일재가 도포된 영역과 대응하는 부위가 될 수 있도록 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   보조 가압 수단은

   다수개로 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   보조 가압 수단은

   어느 한 스테이지와 일체형으로 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
6. 제 1 항에 있어서,

   보조 가압 수단은

   기판상의 임의의 영역과 접촉하는 누름부와;

   상기 수용부를 관통하여 상기 누름부와 연결된 상태로써 상기 누름부를 상하 이동시키는 승강축과;

   상기 승강축에 연결되어 승강축이 승강하도록 구동하는 구동부:가 포함되어 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
7. 제 6 항에 있어서,

   누름부가 접촉되는 기판상의 임의의 영역은 씨일재가 형성된 부위가 될 수 있도록 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
8. 제 6 항에 있어서,

   누름부가 접촉되는 기판상의 임의의 영역은 더미 영역 부위가 될 수 있도록 구성됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
9. 제 6 항에 있어서,

   누름부의 각 면 중 기판과의 접촉이 이루어지는 면은

   상기 기판의 긁힘이 방지될 수 있는 재질로 형성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
10. 제 6 항에 있어서,

    구동부는

    유공압 실린더나 모터 등 가압력을 제공할 수 있는 장치로 구성함을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.
11. 제 1 항에 있어서,

    보조 가압 수단은

    상부 스테이지에 구비됨을 특징으로 하는 액정표시소자용 진공 합착 장치.