KR20030047386A - 반도체 노광 장치 - Google Patents

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윤일훈
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Abstract

본 발명은 반도체 노광 장치를 공개한다. 그 장치는 솔레노이드 밸브 제어신호에 응답하여 솔레노이드 밸브를 열고 공기 흡입관을 통하여 흐르는 공기에 의해서 레티클을 흡착하고, 모터 구동 제어신호에 응답하여 레티클을 운반하는 캐리어, 캐리어에 의해서 운반되는 레티클이 놓여지는 레티클 스테이지, 공기 흡입관을 통하여 흐르는 공기를 감지하여 공기 감지 제어신호를 발생하는 공기 감지 센서, 및 모터 구동 인에이블 신호, 솔레노이드 밸브 제어신호, 및 공기 감지 제어신호가 발생되는 경우에 모터 구동 제어신호를 발생하는 제어부로 구성되어 있다. 따라서, 캐리어에 의해서 운반되는 레티클의 하부에 부착된 펠리클이 레티클 스테이지에 닿아 파손되는 현상을 방지할 수 있다.

Description

반도체 노광 장치{Semiconductor photolithography apparatus}
본 발명은 반도체 노광 장치에 관한 것으로, 특히 레티클(reticle)을 레티클 스테이지(reticle stage)까지 이동시에 펠리클(pellicle)의 파손을 방지할 수 있는반도체 노광 장치에 관한 것이다.
종래의 반도체 노광 장치는 레티클을 레티클 스테이지로 로딩하는 레티클 로더, 레티클을 이용하여 웨이퍼를 노광하는 스텝퍼, 및 레티클 로더와 스텝퍼의 동작을 제어하는 제어부로 구성되어 있다.
일반적으로, 레티클의 상하부는 먼지 등의 이물질이 레티클에 묻지 않도록 펠리클로 덮혀 있으며, 소정 개수의 레티클들은 레티클 케이스에 탑재되어 있다. 레티클 로더는 제어부의 제어하에 레티클 케이스에 탑재된 레티클을 캐리어(carrier)로 이동한다. 이때, 레티클 케이스로부터 이동된 레티클은 제어부의 제어하에 캐리어에 의해서 흡착된다. 캐리어는 공기에 의해서 레티클을 흡착하게 된다. 캐리어는 레티클을 스텝퍼의 레티클 스테이지로 이동한다.
그런데, 캐리어가 레티클을 레티클 스테이지로 이동하는 동안 레티클이 캐리어에서 탈락되는 경우가 발생하게 된다. 이 상태에서 캐리어가 레티클 스테이지로 레티클을 계속적으로 이동하게 되면 레티클의 하부에 덮힌 펠리클이 레티클 스테이지에 닿아 파손되는 경우가 발생한다.
이는 제어부가 캐리어의 동작을 인에이블한 후에 캐리어가 래티클을 제대로 흡착하고 있는지를 감시하지 않기 때문이다.
본 발명의 목적은 레티클이 캐리어에서 탈락된 경우에 레티클의 운반동작이 이루어지지 않도록 함으로써 펠리클의 파손을 방지할 수 있는 반도체 노광 장치를 제공하는데 있다.
이와같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 노광 장치는 솔레노이드 밸브 제어신호에 응답하여 솔레노이드 밸브를 열고 공기 흡입관을 통하여 흐르는 공기에 의해서 레티클을 흡착하고, 모터 구동 제어신호에 응답하여 레티클을 운반하는 캐리어, 상기 캐리어에 의해서 운반되는 레티클이 놓여지는 레티클 스테이지, 상기 공기 흡입관을 통하여 흐르는 공기를 감지하여 공기 감지 제어신호를 발생하는 공기 감지 센서, 및 모터 구동 인에이블 신호, 상기 솔레노이드 밸브 제어신호, 및 상기 공기 감지 제어신호가 발생되는 경우에 상기 모터 구동 제어신호를 발생하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.
도1은 종래의 반도체 노광 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 것이다.
도2는 본 발명의 반도체 노광 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 것이다.
도3은 도2에 나타낸 제어부의 제어신호(CX ENO) 발생회로의 실시예의 회로도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
100, 400; 제어부 200; 레티클 로더
300; 스텝퍼 210; 레티클 케이스
220; 캐리어 230; 운반 기구
310; 스텝 스테이지 320; 웨이퍼
330; 투영 렌즈 340; 레티클 스테이지
350; 조명 렌즈 360; 램프
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 반도체 노광 장치를 설명하기 전에 종래의 반도체 노광 장치를 설명하면 다음과 같다.
도1은 종래의 반도체 노광 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 것으로, 제어부(100), 레티클 로더(200), 및 스텝퍼(300)로 구성되어 있다.
도1에서, 레티클 로더(200)는 레티클 케이스(210), 캐리어(220), 및 래티클 운반기구(230)로 구성되고, 스텝퍼(300)는 스텝 스테이지(310), 웨이퍼(320), 투영 렌즈(330), 레티클 스테이지(340), 조명 렌즈(350), 및 램프(360)로 구성되어 있다.
도1에 나타낸 구성을 이용하여 종래의 반도체 노광 장치의 레티클 로더(200)의 레티클 로딩 동작을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 제어부(100)의 제어하에 레티클 운반기구(230)가 레티클을 레티클 케이스(210)에서 빼내어 캐리어(220)가 있는 곳까지 운반한다. 레티클이 캐리어(220)가 있는 곳까지 운반되면, 제어부(100)가 캐리어(220)의 솔레노이드 밸브(미도시)를 제어하기 위한 제어 신호(CX SOV)를 발생한다. 그러면, 캐리어(220)의 솔레노이드 밸브(미도시)가 열려 레티클 운반기구(230)에 로딩된 레티클을 공기로 흡착한다. 따라서, 캐리어(220)에 레티클이 흡착된다. 그리고, 제어부(100)는 캐리어(220)의 모터를 구동하기 위한 제어신호(CX EN)를 발생한다. 그러면, 캐리어(220)의 모터가 구동되어 레티클을 레티클 스테이지(340)로 운반한다.
그런데, 종래의 반도체 노광 장치는 캐리어(220)가 레티클을 레티클 스테이지(340)로 이동시에 레티클이 캐리어(220)에 완전하게 흡착되지 않고 탈락되는 문제가 발생하게 된다. 이 상태에서, 캐리어(220)가 계속해서 레티클 스테이지(340)로 이동하게 되면 레이클의 하부에 부착된 펠리클이 레티클 스테이지(340)에 닿아 파손되게 된다. 이는 캐리어(220)가 레티클을 흡착하고 있는 동안에만 캐리어(220)가 레티클을 운반하여야 하는데 흡착하고 있지 않는 동안에도 캐리어(220)가 레티클을 운반하기 때문이다.
도2는 본 발명의 반도체 노광 장치의 구성을 개략적으로 나타내는 것으로, 제어부(400), 레티클 로더(200), 및 스텝퍼(300)로 구성되고, 레티클 로더(200), 및 스텝퍼(300)의 구성은 도1에 나타낸 구성과 동일하다.
제어부(400)는 캐리어(220)의 모터를 구동하기 위한 제어신호(CX ENO)를 발생할 때, 캐리어(220)의 솔레노이드 밸브 제어신호(CX SOV)와 캐리어(220)의 공기 센싱 신호(CX SEN)를 입력하여 제어신호(CX ENO)를 발생한다.
도3은 도2에 나타낸 제어부의 제어신호(CX ENO) 발생회로의 실시예의 회로도로서, NAND게이트들(NA1, NA2), 및 NOR게이트(NOR)로 구성되어 있다.
도3에 나타낸 제어신호 발생회로의 동작을 설명하면 다음과 같다.
제어신호(CX EN)는 종래의 제어부(100)에서 발생되던 캐리어(220)의 모터를 구동하기 위한 제어신호로서, "하이"레벨이 되면 캐리어(220)의 모터를 구동하게 된다. 제어신호(CX SOV)는 종래의 제어부(100)에서 발생되던 캐리어(220)의 솔레노이브 밸브를 열기 위한 제어신호로서, "하이"레벨이 되면 캐리어(220)의 솔레노이드 밸브를 열게 된다. 그리고, 제어신호(CX SEN)는 공기 흡입관으로부터 센싱되는 제어신호로서, 공기가 제대로 흡입되고 있으면 "하이"레벨이 된다.
NAND게이트(NA1)는 "하이"레벨의 제어신호(CX EN)와 "하이"레벨의 제어신호(CX SOV)가 발생되면 "로우"레벨의 신호를 발생한다. NAND게이트(NA2)는 "하이"레벨의 제어신호(CX EN)와 "하이"레벨의 제어신호(CX SEN)가 발생되면 "로우"레벨의 신호를 발생한다. NOR게이트(NOR)는 "로우"레벨의 NAND게이트들(NA1, NA2)의 출력신호들이 발생되면 "하이"레벨의 제어신호(CX ENO)를 발생한다.
즉, 본 발명의 제어부는 종래의 제어부로부터 발생되던 제어신호(CX EN)를 캐리어(220)로 그대로 인가하는 것이 아니라, "하이"레벨의 제어신호(CX EN)가 발생되는 경우에 캐리어(220)의 솔레노이드 밸브를 제어하기 위한 제어신호(CX SOV)가 "하이"레벨이고, 공기 흡입관을 통하여 공기가 흡입되고 있는지를 감지하기 위한 제어신호(CX SEN)가 "하이"레벨인 경우에만 캐리어(220)를 이동하기 위한 모터를 구동하기 위한 제어신호(CX ENO)를 "하이"레벨로 하여 캐리어(220)를 캐리어 스테이지(340)로 운반하게 된다. 그러나, 캐리어(220)의 솔레노이드 밸브를 제어하기 위한 제어신호(CX SOV)가 "로우"레벨이거나, 공기 흡입관을 통하여 공기가 흡입되고 있는지를 감지하기 위한 제어신호(CX SEN)가 "로우"레벨인 경우에는 "하이"레벨의 제어신호(CX EN)가 발생되더라도 "로우"레벨의 제어신호(CX ENO)를 발생하여 캐리어(220)의 레티클 운반 동작을 정지하게 된다. 이에 따라, 캐리어(220)에 의해서 운반되던 레티클 하부의 페리클이 레티클 스테이지에 닿아 파손되는 것을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 본 발명의 반도체 노광 장치는 캐리어에 의해서 운반되는 레티클의 하부에 부착된 펠리클이 레티클 스테이지에 닿아 파손되는 현상을 방지할 수 있다.

Claims (1)

  1. 솔레노이드 밸브 제어신호에 응답하여 솔레노이드 밸브를 열고 공기 흡입관을 통하여 흐르는 공기에 의해서 레티클을 흡착하고, 모터 구동 제어신호에 응답하여 레티클을 운반하는 캐리어;
    상기 캐리어에 의해서 운반되는 레티클이 놓여지는 레티클 스테이지;
    상기 공기 흡입관을 통하여 흐르는 공기를 감지하여 공기 감지 제어신호를 발생하는 공기 감지 센서; 및
    모터 구동 인에이블 신호, 상기 솔레노이드 밸브 제어신호, 및 상기 공기 감지 제어신호가 발생되는 경우에 상기 모터 구동 제어신호를 발생하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 노광 장치.
KR1020010077863A 2001-12-10 2001-12-10 반도체 노광 장치 KR20030047386A (ko)

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