KR20030043124A - Fixing equipment of chemical-filter using semiconductor device manufacturing equipment - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체소자 제조설비의 케미컬필터 고정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체소자 제조 과정에서 사용되는 케미컬 필터의 교체가 안정적이고도 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 반도체소자 제조설비의 케미컬필터 고정장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical filter fixing device of a semiconductor device manufacturing facility, and more particularly to a chemical filter fixing device of a semiconductor device manufacturing facility to enable a stable and easy replacement of the chemical filter used in the semiconductor device manufacturing process. It is about.
통상 반도체소자는 웨이퍼 상에 사진, 식각, 확산, 화학기상증착, 이온주입, 금속증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적인 수행에 의해 제조되고, 이러한 반도체소자의 제조공정은 소정 케미컬을 공급하여 이들 케미컬이 웨이퍼 상에서 반응토록 하는 공정이 일반적이다.In general, semiconductor devices are fabricated by selective and repetitive processes such as photolithography, etching, diffusion, chemical vapor deposition, ion implantation, metal deposition, etc. on a wafer. It is common to cause a reaction on this wafer.
이때 사용되는 케미컬은 충분히 순수한 상태로 공급될 것이 요구되며, 케미컬 내부에 파티클 등의 각종 이물질이 함유되어 있을 경우 웨이퍼를 오염시키는 등 각종 형태의 공정 불량을 유발하게 된다.In this case, the chemical used is required to be supplied in a pure enough state, and when various foreign substances such as particles are contained in the chemical, it causes various types of process defects such as contaminating the wafer.
이에 따라 반도체소자 제조공정에 케미컬을 공급하기 위한 케미컬 공급라인 상에는 유도 공급되는 케미컬 내에 함유된 각종 이물질을 필터링 하기 위한 케미컬 필터가 설치된다.Accordingly, a chemical filter is installed on the chemical supply line for supplying the chemical to the semiconductor device manufacturing process to filter various foreign substances contained in the chemical to be inductively supplied.
상술한 케미컬 필터는, 통상 내부가 구획된 원통 형상으로 내부에 적어도 하나 이상의 필터가 구비된 것으로서 케미컬 필터 고정장치에 고정 설치되어 양측 단부에 각각 연결되는 연결관을 통해 유동하는 케미컬로부터 각종 이물질을 필터링 하는 기능을 수행하게 된다.The above-described chemical filter is a cylindrical shape in which the inside is divided, and at least one filter is provided therein, and is fixed to the chemical filter fixing device and filters various foreign substances from the chemical flowing through the connecting pipes respectively connected to both ends. To perform the function.
여기서, 상술한 케미컬 필터는 계속적인 사용으로 필터에 많은 이물질이 쌓이는 등에 의해 케미컬의 유동 또는 필터의 기능이 저하되고, 이러한 관계로 인해 일정 주기를 정하여 교체하여 사용하게 된다.Here, the above-described chemical filter is deteriorated in the flow of the chemical or the function of the filter due to the accumulation of a large number of foreign substances in the filter by continuous use, due to this relationship is to use a predetermined period to replace.
이러한 케미컬 필터의 교체 작업에 따른 케미컬 필터 고정장치의 종래 기술 구성에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 살펴보기로 한다.The prior art configuration of the chemical filter fixing device according to the replacement of the chemical filter will be described with reference to the accompanying drawings.
종래의 케미컬 필터 고정장치(10)의 구성은, 도 1에 도시된 바와 같이, 수직하게 세워진 형상으로 프레임(12)이 설치되고, 이 프레임(12)의 상부와 하부의 양측 부위에는 체결홀이 형성되어 있다. 또한, 프레임(12)의 일면에는 케미컬 필터(C)의 측부 둘레의 소정 부위를 감싸는 형상으로 프레임(12)과 함께 고리 형상을 이루는 밴드(14)가 케미컬 필터(C)의 상부와 하부 즉, 프레임(12) 상에 형성된 체결홀이 형성된 위치에 대응하게 되고, 이들 밴드(14) 각각의 양측 단부에는 상술한 체결홀과 동일한 관통홀이 형성된다. 이렇게 형성된 밴드(14)는 케미컬 필터(C)의 측부 소정 부위를 감싸는 형상으로 프레임(12)에 근접 위치되고, 상술한 체결홀과 관통홀을 통해 볼트(16)가 관통하여 그 상대측으로부터 너트(18)와 체결됨으로써 케미컬 필터(C)를 프레임(12)에 가압하여 고정하게 된다.In the configuration of the conventional chemical filter fixing device 10, as shown in Figure 1, the frame 12 is installed in a vertically erect shape, the fastening holes are provided on both sides of the upper and lower portions of the frame 12 Formed. In addition, on one surface of the frame 12, the band 14 forming an annular shape together with the frame 12 in a shape surrounding a predetermined portion around the side of the chemical filter C, that is, the upper and lower portions of the chemical filter C, Corresponding to the position where the fastening holes formed on the frame 12 are formed, the same through holes as the above-mentioned fastening holes are formed at both ends of each of these bands 14. The band 14 formed as described above is positioned close to the frame 12 in a shape surrounding the predetermined portion of the side of the chemical filter C, and the bolt 16 penetrates through the above-described fastening hole and through hole, and the nut ( 18, the chemical filter C is fixed to the frame 12 by being fastened to the frame 12.
여기서, 상술한 케미컬 필터(C)의 고정은, 프레임(12)과 밴드(14)에 대한 볼트(16)와 너트(18)의 나사 결합에 의한 것으로서, 이에 따른 교체 과정을 살펴보면, 어느 하나의 작업자는 케미컬 필터(C)를 받쳐 지지하는 상태에서 다른 작업자가 프레임(12)에 대하여 상측에 위치된 밴드(14)의 고정을 해체하고, 이어 하측에 위치된 밴드(14)를 동일한 방법으로 해체하게 됨으로써 이루어지고, 그 설치에 있어서도 역순에 의해 이루어진다.Here, the fixing of the above-described chemical filter (C) is due to the screw coupling of the bolt 16 and the nut 18 to the frame 12 and the band 14, looking at the replacement process according to this, The worker disassembles the band 14 located on the upper side with respect to the frame 12 while the worker supports and supports the chemical filter C, and then disassembles the band 14 located on the lower side in the same manner. It is done by doing so, and also in the reverse order also in the installation.
그러나, 상술한 바와 같이, 케미컬 필터는 그 사용에 따라 일정 주기로 교체가 요구되지만 이 교체 작업 과정에서 이인 일조에 의한 노동력이 소요될 뿐 아니라 한 작업자는 그 설치 및 분해가 이루어지기까지 계속적으로 무거운 케미컬 필터를 받쳐 지지해야하는 노동력과 번거로움이 있게 된다.However, as described above, the chemical filter is required to be replaced at regular intervals according to its use, but not only does the labor of two days work in this replacement process, but also a heavy chemical filter continues until the worker installs and disassembles it. There is labor and hassle to support.
또한, 케미컬 필터를 지지하는 작업자의 실수에 의해 케미컬 필터는 고정된 위치로부터 낙하될 수 있으며, 이때 케미컬 필터의 손상 또는 파손이 있을 경우 내부에 수용되는 각종 유독성 케미컬이 외부로 유출되고, 이것은 제조설비를 포함한 주변 환경의 오염과 손상, 파손을 유발할 뿐 아니라 작업자의 안전을 위협하게 된다.In addition, a chemical filter may fall from a fixed position due to an operator's mistake in supporting the chemical filter. At this time, when the chemical filter is damaged or damaged, various toxic chemicals contained therein are leaked to the outside, which is a manufacturing facility. Not only does it cause pollution, damage and damage to the surrounding environment, but it also threatens worker safety.
그리고, 케미컬 필터를 고정하는 밴드는 외부의 충격 등에 의해 볼트와 너트의 나사 풀림 작용에 의해 그 고정력이 느슨해 질 수 있고, 이 경우 케미컬 필터의 이탈과 이에 따라 케미컬 필터 하부에 연결되는 연결관까지 손상 및 파손될 우려가 있을 뿐 아니라 상술한 바와 같이, 제조설비를 포함한 주위의 환경을 오염시키거나 손상과 파손 등의 위험이 있게 된다.In addition, the band fixing the chemical filter may be loosened due to the screw loosening action of the bolt and nut due to external impact, etc. In this case, the separation of the chemical filter and thus the connection to the lower part of the chemical filter may be damaged. And as well as the risk of breakage, as described above, there is a risk of contaminating the surrounding environment including the manufacturing equipment, or damage and breakage.
본 발명의 목적은, 상술한 종래 기술에 따른 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 반도체소자 제조 과정에서 사용되는 케미컬 필터의 설치 및 분해 작업이 일인에 의해 안정적이고도 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 반도체소자 제조설비의 케미컬 필터 고정장치를 제공함에 있다.An object of the present invention is to solve the problems according to the prior art described above, the installation and disassembly operation of the chemical filter used in the semiconductor device manufacturing process of the semiconductor device manufacturing equipment to be made stable and easy by one person The present invention provides a chemical filter fixing device.
도 1은 종래의 케미컬 필터 고정장치의 구성 및 이들 구성의 결합 관계와 사용 관계를 설명하기 위한 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view illustrating a structure of a conventional chemical filter fixing device, a coupling relationship and a use relationship of these configurations.
도 2는 도 1의 설치 구성을 개략적으로 나타낸 평면도이다.FIG. 2 is a plan view schematically showing the installation configuration of FIG. 1. FIG.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 필터 고정장치의 구성 및 이들 구성의 결합 관계와 사용 관계를 설명하기 위해 개략적으로 나타낸 사시도이다.3 is a perspective view schematically showing the configuration of the chemical filter fixing device according to an embodiment of the present invention, and the coupling relationship and use relationship of these configurations.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선을 기준하여 지지플레이트와 고정플레이트의 결합 관계를 개략적으로 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view schematically illustrating a coupling relationship between a support plate and a fixed plate with reference to line IV-IV of FIG. 3.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10, 20: 고정장치 12, 22: 프레임10, 20: fixing device 12, 22: frame
14: 밴드 16, 40: 볼트14: band 16, 40: bolt
18, 42: 너트 24: 받침플레이트18, 42: nut 24: support plate
26: 자리홀 28: 고정플레이트26: seat hole 28: fixed plate
30: 자리홈 32: 체결홀30: seat groove 32: fastening hole
34: 지지플레이트 36: 지지홈34: support plate 36: support groove
38: 관통홀38: through hole
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체소자 제조설비의 케미컬 필터 고정장치의 특징적 구성은, 프레임과; 상기 프레임에 고정 설치되고, 중심 부위에 상측으로부터 케미컬 필터의 하측 부위가 소정 깊이 삽입되어 안착 지지되게 자리홀이 형성된 받침플레이트와; 상기 받침플레이트에 대향하는 상기 프레임 상측에 고정 설치되고, 일측 부위에 케미컬 필터의 측부가 끼워지게 위치됨을 안내 지지하는 자리홈이 형성된 고정플레이트; 및 상기 자리홈의 개방된 방향으로 케미컬 필터의 유동이 없도록 측부를 지지하도록 상기 고정플레이트에 체결수단으로 고정되는 지지플레이트를 포함한 구성으로 이루어진다.Characteristic configuration of the chemical filter fixing device of the semiconductor device manufacturing apparatus according to the present invention for achieving the above object, the frame; A support plate fixed to the frame and formed with a seat hole in which a lower portion of the chemical filter is inserted into a central portion from a top portion to a predetermined depth; A fixing plate fixedly installed on an upper side of the frame opposite to the support plate, and having a seat groove formed at one side thereof to guide the side of the chemical filter to be fitted; And a support plate fixed to the fixing plate by a fastening means so as to support the side so that there is no flow of the chemical filter in the open direction of the seat groove.
또한, 상기 지지플레이트는 상기 고정플레이트의 자리홈에 대향하여 케미컬 필터의 측부를 상·하측으로 교차하여 감싸는 형상의 지지홈이 형성된 형상으로 구성될 수 있고, 상기 고정플레이트에 대한 지지플레이트의 고정은 상기 고정플레이트의 가장자리 부위에 장방형의 체결홀이 형성되고, 상기 체결홀에 대응하게 되는 상기 지지플레이트 상에는 관통홀이 형성되어 상기 체결홀과 관통홀을 통해 상기체결수단이 상·하측으로 관통하여 고정플레이트와 지지플레이트를 상호 밀착되게 함과 동시에 상호 미끄러짐이 없도록 가압 고정토록 설치되어 이루어질 수 있다.In addition, the support plate may be configured to have a shape formed in the support groove of the shape that is wrapped to cross the side of the chemical filter to the upper and lower sides facing the seat groove of the fixed plate, the fixing of the support plate to the fixed plate A rectangular fastening hole is formed at an edge of the fixing plate, and a through hole is formed on the support plate corresponding to the fastening hole, and the fastening means penetrates upward and downward through the fastening hole and the through hole. At the same time, the plate and the support plate may be in close contact with each other, and may be installed to be pressurized and fixed so that there is no slip.
그리고, 상기 체결수단은 상기 체결홀과 관통홀의 상·하측으로 적어도 하나 이상의 볼트와 너트가 관통하여 나사 결합으로 고정토록 구성될 수 있는 것이다.In addition, the fastening means may be configured so that at least one bolt and nut penetrates to the upper and lower sides of the fastening hole and the through hole to be fixed by screwing.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체소자 제조설비의 케미컬 필터 고정장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a chemical filter fixing device of a semiconductor device manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미컬 필터 고정장치의 구성 및 이들 구성의 결합 관계와 사용 관계를 설명하기 위해 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ선을 기준하여 지지플레이트와 고정플레이트의 결합 관계를 개략적으로 도시한 단면도로서, 종래와 동일한 부분에 대하여 동일한 부호를 부여하고, 그에 따른 상세한 설명은 생략하기로 한다.3 is a perspective view schematically showing the configuration of the chemical filter fixing device according to an embodiment of the present invention, the coupling relationship and the use relationship of these configurations, Figure 4 is supported based on line IV-IV of FIG. As a cross-sectional view schematically showing the coupling relationship between the plate and the fixing plate, the same reference numerals are given to the same parts as in the prior art, and detailed description thereof will be omitted.
본 발명에 따른 반도체소자 제조설비의 케미컬 필터 고정장치(20)의 구성은, 도 3에 도시된 바와 같이, 제조설비의 소정 위치에 수직하게 세워지는 판 형상의 프레임(22)이 설치되고, 이 프레임(22)의 일면 하측 부위에는 소정 두께를 갖는 판 형상으로 수평한 상태를 이루며 중심 부위에 상측으로부터 케미컬 필터(C)의 하측 부위가 소정 깊이 삽입되어 지지될 수 있는 자리홀(26)이 형성된 받침플레이트(24)가 용접 또는 별도의 고정수단(도시 안됨) 등을 이용하는 통상의 방법으로 고정 설치된다.In the configuration of the chemical filter fixing device 20 of the semiconductor device manufacturing equipment according to the present invention, as shown in Figure 3, a plate-shaped frame 22 that is perpendicular to the predetermined position of the manufacturing equipment is provided, A lower portion of one surface of the frame 22 is formed in a horizontal state in a plate shape having a predetermined thickness, and a seat hole 26 is formed in the center portion to support the lower portion of the chemical filter C from a predetermined depth. The support plate 24 is fixedly installed by a conventional method using welding or a separate fixing means (not shown).
또한, 받침플레이트(24)에 대향하는 프레임(22)의 상측 부위에는 소정 두께를 이루는 판 형상으로 프레임(22)의 표면에 대향하는 방향 또는 그 표면과 나란한방향으로 상술한 자리홀(26)에 지지되는 케미컬 필터(C)의 측부가 기울어진 상태에서 끼워지게 삽입될 수 있는 자리홈(30)이 형성된 고정플레이트(28)가 고정 설치된다.In addition, the upper portion of the frame 22 opposite to the support plate 24 has a plate shape having a predetermined thickness in a direction opposite to the surface of the frame 22 or in the direction parallel to the surface of the seat hole 26 described above. A fixing plate 28 having a seat groove 30 that can be inserted to be inserted in a tilted state is fixedly installed.
그리고, 상술한 고정플레이트(28)에는 자리홈(30)의 개방된 부위를 통해 끼워지게 위치되는 케미컬 필터(C)의 측부를 그 끼워지는 방향 즉, 자리홈(30)의 개방된 방향으로부터 유동이 없도록 측부를 지지하게 지지플레이트(34)가 고정플레이트(28)에 체결수단(40, 42)으로 고정되는 구성으로 이루어진다.Then, the above-mentioned fixing plate 28 flows from the side in which the side of the chemical filter (C) positioned to be fitted through the open portion of the seat groove (30), that is, the open direction of the seat groove (30). The support plate 34 is configured to be fixed to the fixing plate 28 by the fastening means 40 and 42 so as not to support the side.
여기서, 상술한 지지플레이트(34)는 고정플레이트(28)의 자리홈(30)에 대향하여 케미컬 필터(C)의 측부를 상·하측으로 교차하여 감싸는 형상의 지지홈(36)이 형성된 형상을 이루고, 이것은 단순히 상술한 자리홈(30)에 케미컬 필터(C)가 끼워진 상태를 유지토록 자리홈(30)의 개방된 부위를 차단하는 형상의 것이면 가능한 것이다.Here, the support plate 34 described above has a shape in which the support grooves 36 are formed to cross and cover the side portions of the chemical filter C upward and downward to face the seat grooves 30 of the fixed plate 28. This can be achieved by simply blocking the open portion of the seat groove 30 so as to maintain the state where the chemical filter C is fitted into the seat groove 30 described above.
또한, 자리홈(30)을 포함한 지지플레이트(34)는 케미컬 필터(C)의 측부 형상에 대응하여 그 중심 부위가 자리홈(30)의 폭 방향으로 이격되거나 근접되게 위치 이동이 가능한 분리된 형상으로 형성될 수도 있는 것이다.In addition, the support plate 34 including the seat groove 30 has a separate shape that can be moved in position so that the center portion thereof is spaced apart or close to the width direction of the seat groove 30 corresponding to the side shape of the chemical filter (C) It may be formed as.
한편, 고정플레이트(28)에 대한 지지플레이트(34)의 고정은, 고정플레이트(28)의 가장자리 부위에 장방형의 체결홀(32)이 더 형성되고, 이 체결홀(32)에 대응하게 되는 지지플레이트(34) 상에 관통홀(38)이 더 형성되어 체결홀(32)과 관통홀(38)을 통해 체결수단(40, 42) 즉, 도 3 또는 도 4에 도시된 바와 같이, 이들이 교차하여 관통하는 부위를 통해 볼트(40)와 너트(42)를 상·하측으로 관통시켜 나사 결합시킴으로써 고정플레이트(28)에 대한 지지플레이트(34)가 미끄러짐이 없도록 밀착되게 가압 고정이 이루어지게 된다.On the other hand, the fixing of the support plate 34 to the fixing plate 28, the rectangular fastening hole 32 is further formed in the edge portion of the fixing plate 28, the support that corresponds to the fastening hole 32 A through hole 38 is further formed on the plate 34 so that the fastening means 32 and the through hole 38 intersect the fastening means 40, 42, that is, as shown in FIG. 3 or 4. By screwing the bolt 40 and the nut 42 through the upper portion and the lower portion through the portion to penetrate, the support plate 34 with respect to the fixing plate 28 is fixed by pressure so as not to slip.
여기서, 체결수단의 다른 구성으로 도면으로 표현되지 않았으나, 지지플레이트의 형상을 지지홈의 개방된 부위의 양측 또는 측부 소정 부위를 연장된 형상으로 형성하고, 고정플레이트의 상면과 하면에 근접하는 프레임 상에 지지플레이트의 연장된 부위가 소정 깊이 끼워지게 하고, 이에 더하여 프레임으로부터 이격된 고정플레이트의 측부에 고정플레이트의 표면으로부터 지지플레이트가 들뜨는 것을 제한하도록 하는 훅 형상의 것을 연장되게 형성하며, 고정플레이트 또는 지지플레이트 상에 너트홀(도시 안됨)을 형성하여 너트홀에 볼트를 관통하게 결합함으로써 지지플레이트의 슬라이딩 위치 이동을 제한하도록 구성될 수도 있는 것이다.Here, although not shown in the drawings by the other configuration of the fastening means, the shape of the support plate is formed on both sides of the open portion of the support groove or a predetermined portion of the side portion in an extended shape, the upper and lower surface of the frame close to the fixing plate A hook-shaped thing extending from the surface of the fixing plate to the side of the fixing plate spaced apart from the frame so that the extended portion of the support plate is inserted to a predetermined depth, and extending from the fixed plate or It may be configured to limit the sliding position movement of the support plate by forming a nut hole (not shown) on the support plate to couple through the bolt to the nut hole.
그리고, 이러한 고정 관계는, 상술한 체결홀(32)과 관통홀(38)에 대응하여 테이퍼진 형상의 핀(도시 안됨)을 끼우도록 하고, 이 핀의 이탈을 방지하도록 함으로써 이루어질 수도 있는 것이며, 이 밖에도 다양한 형태의 고정력을 사용하는 것은 본 발명의 특허 청구범위에 속함은 당연한 것이다.In addition, such a fixing relationship may be achieved by fitting a tapered pin (not shown) corresponding to the fastening hole 32 and the through hole 38 described above, and preventing the pin from being separated. In addition, it is obvious that the use of various types of fixing force belongs to the claims of the present invention.
이러한 구성 관계에 따르면, 일인 작업자는 받침플레이트(24) 상의 자리홀(26)에 케미컬 필터(C)를 지지되게 위치시키고, 이어 케미컬 필터(C)를 상측에 설치되는 고정플레이트(28)의 자리홈(30)에 끼우도록 하며, 이후 지지플레이트(34)를 체결부재(40, 42)로 체결 고정토록 함으로써 그 설치가 이루어지게 되고, 그 분리 과정은 역순에 의해 용이하게 이루어지게 된다.According to this configuration relationship, a single worker positions the chemical filter C to be supported in the seat hole 26 on the support plate 24, and then seats the fixed plate 28 on which the chemical filter C is installed. To be inserted into the groove 30, and then the support plate 34 is fastened and fixed by the fastening members 40 and 42, the installation is made, the separation process is easily made by the reverse order.
따라서, 본 발명에 의하면, 작업자는 체결수단을 조절하여 지지플레이트를 고정플레이트로부터 분리하고, 이때 받침플레이트에 지지되는 케미컬 필터를 자리홈의 개방된 부위를 통해 기울여 분리하고, 그 설치는 역순으로 시행됨에 따라 일인의 작업자에 의해 교체가 안정적이고 용이하게 이루어짐으로써 작업자의 노동력과 작업시간이 단축되는 등의 효과가 있게 된다.Therefore, according to the present invention, the operator adjusts the fastening means to separate the support plate from the fixed plate, and at this time, the chemical filter supported on the support plate is separated by tilting through the open portion of the seat groove, the installation is performed in the reverse order As a result, the replacement of the worker by one worker is made stable and easy, thereby reducing the labor and working time of the worker.
본 발명은 구체적인 실시예에 대해서만 상세히 설명하였지만 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 변형이나 변경할 수 있음은 본 발명이 속하는 분야의 당업자에게는 명백한 것이며, 그러한 변형이나 변경은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 할 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to specific embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that modifications and variations can be made within the scope of the technical idea of the present invention, and such modifications or changes belong to the claims of the present invention. something to do.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020010074136A KR20030043124A (en) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | Fixing equipment of chemical-filter using semiconductor device manufacturing equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020010074136A KR20030043124A (en) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | Fixing equipment of chemical-filter using semiconductor device manufacturing equipment |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20030043124A true KR20030043124A (en) | 2003-06-02 |
Family
ID=29571541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020010074136A KR20030043124A (en) | 2001-11-27 | 2001-11-27 | Fixing equipment of chemical-filter using semiconductor device manufacturing equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20030043124A (en) |
-
2001
- 2001-11-27 KR KR1020010074136A patent/KR20030043124A/en not_active Application Discontinuation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |