KR20240111047A - Chemical Filter - Google Patents

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KR20240111047A
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봉은상
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주식회사 아인스팩
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    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment

Abstract

케미칼 필터의 일 실시예는, 케미칼 유입구로 유입된 케미칼이 케미칼 배출구를 향하여 유동하는 공간이 내부에 형성된 본체; 상기 케미칼 유입구를 통해 유입된 케미칼에 포함된 불순물을 여과하고, 여과된 케미칼을 상기 케미칼 배출구를 향하여 배출되도록 하는 카트리지 필터; 및 상기 본체의 내부에 장착되며 상기 카트리지 필터가 삽입되어 지지되는 가이드 실린더를 포함한다.One embodiment of the chemical filter includes a main body formed inside a space through which chemicals flowing into the chemical inlet flow toward the chemical outlet; a cartridge filter that filters impurities contained in chemicals introduced through the chemical inlet and discharges the filtered chemicals toward the chemical outlet; and a guide cylinder mounted inside the main body and into which the cartridge filter is inserted and supported.

Description

케미칼 필터{Chemical Filter}Chemical Filter {Chemical Filter}

본 발명은 케미칼 필터에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 케미칼을 여과하는 카트리지 필터를 간편하고 신속하게 설치 또는 교체할 수 있는 구조로 이루어진 케미칼 필터에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical filter, and more specifically, to a chemical filter having a structure that allows the cartridge filter that filters chemicals to be easily and quickly installed or replaced.

일반적으로 디스플레이(LCD) 등과 같은 반도체 장치를 제조하는 설비에는 제조공정에 따라 다양한 종류의 케미칼(Chemical,약액)이 사용된다.In general, facilities that manufacture semiconductor devices such as displays (LCDs) use various types of chemicals depending on the manufacturing process.

이와 같은 케미칼에 포함된 불순물을 제거하거나, 반도체 공정 중 화학적 기계적 연마(CMP; Chemical Mechanical Polishing) 공정에 사용하는 슬러리(Slurry)를 공급전 필터링(Filtering)하기 위하여 별도의 필터(Filter)를 사용하게 된다. A separate filter is used to remove impurities contained in such chemicals or to filter the slurry used in the chemical mechanical polishing (CMP) process during the semiconductor process before supplying it. do.

소유량의 케미칼을 필터링하는 경우에는 하나의 필터만을 사용할 수 있으나, 대유량의 케미칼을 필터링하기 위해서는 다수개의 필터의 사용이 불가피하게 된다.When filtering a small flow rate of chemicals, only one filter can be used, but in order to filter a large flow rate of chemicals, the use of multiple filters is inevitable.

다수개의 필터를 사용하는 경우에는 공간 제약 등의 문제를 해결하기 위해 하나의 본체 내에 다수개의 카트리지 필터를 체결하여 사용하게 된다.When using multiple filters, multiple cartridge filters are connected to one main body to solve problems such as space limitations.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 종래 케미칼 필터(1)는, 본체(10)와, 그 내부에 체결되는 다수개의 카트리지 필터(20)와, 상기 다수개의 카트리지 필터(20)를 고정시켜 지지하기 위한 상부 플레이트(30)와 로드(40), 및 본체(10)의 개방된 상부를 개폐하는 뚜껑(50)을 포함하여 구성된다.Referring to FIGS. 1 to 3, a conventional chemical filter 1 includes a main body 10, a plurality of cartridge filters 20 fastened therein, and a structure for fixing and supporting the plurality of cartridge filters 20. It includes an upper plate 30, a rod 40, and a lid 50 that opens and closes the open upper part of the main body 10.

상기 본체(10)는, 원통형의 몸체부(11), 상기 몸체부(11)의 상부 일측에 형성된 케미칼 유입구(12), 상기 몸체부(11)의 상단에서 외측방향으로 소정 길이 연장되어 뚜껑(50)의 가장자리부가 안착되는 플랜지부(13), 상기 몸체부(11)의 하부를 막는 본체 바닥부(14), 상기 본체 바닥부(14)의 중앙에 형성된 케미칼 배출구(15), 상기 본체 바닥부(14)의 상측으로 상기 몸체부(11)의 하부에 횡방향으로 구비되어 카트리지 필터(20)의 하단부가 안착되는 하부 플레이트(16), 및 상기 본체(10)의 하단부에 원주방향으로 이격된 위치에 복수로 구비된 지지대(17)를 포함한다.The main body 10 includes a cylindrical body part 11, a chemical inlet 12 formed on one upper side of the body part 11, a predetermined length extending outward from the top of the body part 11, and a lid ( A flange portion 13 on which the edge portion of 50 is seated, a main body bottom 14 blocking the lower part of the body 11, a chemical outlet 15 formed in the center of the main body bottom 14, and a bottom of the main body. A lower plate 16 is provided laterally at the lower part of the body 11 above the part 14 and on which the lower end of the cartridge filter 20 is seated, and is spaced circumferentially from the lower end of the main body 10. It includes a plurality of supports (17) provided at each position.

상기 카트리지 필터(20)의 하단부와 상단부에는 카트리지 필터 하단 돌출부(21)와 카트리지 필터 상단 돌출부(22)가 형성되어 있다.A cartridge filter lower protrusion 21 and a cartridge filter upper protrusion 22 are formed at the lower and upper ends of the cartridge filter 20.

상기 카트리지 필터 하단 돌출부(21)는 하부 플레이트(16)에 형성된 카트리지 필터 하단 돌출부 체결구(16a)에 삽입되어 지지되고, 상기 카트리지 필터 상단 돌출부(22)는 상부 플레이트(30)에 형성된 카트리지 필터 상단 돌출부 체결구(31)에 삽입되어 지지된다.The cartridge filter lower protrusion 21 is inserted into and supported by the cartridge filter lower protrusion fastener 16a formed on the lower plate 16, and the cartridge filter upper protrusion 22 is attached to the upper plate 30. It is inserted into and supported by the protruding fastener 31.

상기 복수의 카트리지 필터(20)를 상부 플레이트(30)와 하부 플레이트(16) 사이에 견고하게 고정시켜 지지하기 위한 구성으로, 상기 로드(40)의 하단부(41)는 하부 플레이트(16)의 중앙에 형성된 로드 하단부 체결구(16b)에 삽입되어 지지되고, 상기 로드(40)의 상단부(42)는 상부 플레이트(30)의 중앙에 형성된 로드 상단부 관통홀(32)을 관통하여 상부 플레이트(30)의 상측으로 돌출되고, 상기 로드(40)의 상단부(42) 외주면에 형성된 나사부에는 스크류(43)가 나사결합된다.It is configured to firmly secure and support the plurality of cartridge filters 20 between the upper plate 30 and the lower plate 16, and the lower end 41 of the rod 40 is located at the center of the lower plate 16. It is supported by being inserted into the rod lower end fastener 16b formed in the rod 40, and the upper end 42 of the rod 40 penetrates the rod upper end through hole 32 formed in the center of the upper plate 30. It protrudes upward, and a screw 43 is screwed to the threaded portion formed on the outer peripheral surface of the upper end 42 of the rod 40.

이와 같은 종래의 케미칼 필터(1)의 경우, 카트리지 필터(20)를 본체(10)의 내부에 장착하기 위해서는 카트리지 필터(20)의 하단 돌출부(21)를 하부 플레이트(16)의 카트리지 필터 하단 돌출부 체결구(16a)에 맞추어 끼우고, 이와 동시에 로드(40)의 하단부(41)를 하부 플레이트(16)의 로드 하단부 체결구(16b)에 맞추어 끼운 후에, 카트리지 필터(20)의 상단 돌출부(22)를 상부 플레이트(30)의 카트리지 필터 상단 돌출부 체결구(31)에 맞추어 끼우고, 이와 동시에 로드(40)의 상단부(42)를 상부 플레이트(30)의 로드 상단부 관통홀(32)를 관통시켜 스크류(43)로 조여 나사결합하는 과정을 수작업에 의해 수행하게 된다.In the case of such a conventional chemical filter 1, in order to mount the cartridge filter 20 inside the main body 10, the lower protrusion 21 of the cartridge filter 20 must be connected to the lower protrusion of the cartridge filter 16 of the lower plate 16. After fitting it into the fastener 16a and at the same time fitting the lower end 41 of the rod 40 into the rod lower end fastener 16b of the lower plate 16, the upper protrusion 22 of the cartridge filter 20 ) is fitted into the cartridge filter upper protrusion fastener 31 of the upper plate 30, and at the same time, the upper end 42 of the rod 40 is penetrated through the rod upper end through hole 32 of the upper plate 30. The process of tightening and screwing together with the screw 43 is performed manually.

또한, 카트리지 필터(20)를 교체하는 경우에는 상기 카트리지 필터(20)를 체결하는 과정을 역순으로 수행한 후에 다시 새로운 카트리지 필터를 수작업에 의해체결하는 과정을 수행하게 된다.In addition, when replacing the cartridge filter 20, the process of fastening the cartridge filter 20 is performed in reverse order and then the process of fastening a new cartridge filter again by hand is performed.

이와 같이 종래의 케미칼 필터(1)는 복수의 카트리지 필터(20)를 본체(10)에 장착하거나 본체(10)로부터 분리하는 작업이 용이하지 않고 많은 시간이 소요될 뿐만 아니라 작업자의 수작업에 의해 수행되므로, 작업자가 인체에 유해한 케미칼에 직접 노출될 수 있는 위험에 따르고, 카트리지 필터(20)의 설치 및 교체 작업을 자동화하기 어려운 문제점이 있다.In this way, the conventional chemical filter 1 is not easy to mount or separate a plurality of cartridge filters 20 from the main body 10, takes a lot of time, and is performed manually by the operator. , there is a risk that workers may be directly exposed to chemicals harmful to the human body, and it is difficult to automate the installation and replacement of the cartridge filter 20.

케미칼 필터와 관련된 선행기술은 대한민국 등록특허 제10-0278179호에 공개되어 있다.Prior art related to chemical filters is disclosed in Republic of Korea Patent No. 10-0278179.

본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 카트리지 필터를 본체에 설치 또는 교체하는 작업을 간소화 할 수 있는 케미칼 필터를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention was developed to solve the above-mentioned problems, and its purpose is to provide a chemical filter that can simplify the task of installing or replacing a cartridge filter in the main body.

또한, 카트리지 필터를 고정시켜 지지하기 위한 구조를 간소화 할 수 있는 케미칼 필터를 제공하는데 있다.In addition, the aim is to provide a chemical filter that can simplify the structure for fixing and supporting the cartridge filter.

또한, 카트리지 필터를 본체에 설치 또는 교체하는 작업을 자동화 할 수 있는 케미칼 필터를 제공하는데 있다.In addition, the aim is to provide a chemical filter that can automate the task of installing or replacing a cartridge filter in the main body.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 케미칼 필터는, 케미칼 유입구로 유입된 케미칼이 케미칼 배출구를 향하여 유동하는 공간이 내부에 형성된 본체; 상기 케미칼 유입구를 통해 유입된 케미칼에 포함된 불순물을 여과하고, 여과된 케미칼을 상기 케미칼 배출구를 향하여 배출되도록 하는 카트리지 필터; 및 상기 본체의 내부에 장착되며 상기 카트리지 필터가 삽입되어 지지되는 가이드 실린더를 포함한다.The chemical filter of the present invention for realizing the above-described purpose includes a main body having a space formed therein in which chemicals flowing into the chemical inlet flow toward the chemical outlet; a cartridge filter that filters impurities contained in chemicals introduced through the chemical inlet and discharges the filtered chemicals toward the chemical outlet; and a guide cylinder mounted inside the main body and into which the cartridge filter is inserted and supported.

상기 카트리지 필터와 상기 가이드 실린더는 소정 간격을 두고 복수로 구비될 수 있다.The cartridge filter and the guide cylinder may be provided in plural numbers at predetermined intervals.

상기 가이드 실린더의 측면에는 케미칼이 횡방향으로 통과되는 다수개의 타공이 형성될 수 있다.A plurality of holes through which chemicals pass laterally may be formed on the side of the guide cylinder.

상기 본체의 하부에는 하부 플레이트가 횡방향으로 구비되고, 상기 가이드 실린더는 상기 하부 플레이트의 상면에 안착되어 지지될 수 있다.A lower plate is provided horizontally at the lower part of the main body, and the guide cylinder may be supported by being seated on the upper surface of the lower plate.

상기 카트리지 필터는 상기 가이드 실린더의 내측에 하방향으로 삽입되어 상기 하부 플레이트의 상면에 안착되어 지지될 수 있다.The cartridge filter may be inserted downward into the guide cylinder and may be seated and supported on the upper surface of the lower plate.

상기 가이드 실린더의 상하방향 길이는 상기 카트리지 필터의 상하방향 길이보다 짧게 형성되어, 상기 카트리지 필터가 상기 가이드 실린더에 삽입되면, 상기 카트리지 필터의 상부는 상기 가이드 실린더의 상단보다 상측으로 돌출되어 위치하도록 구성할 수 있다.The vertical length of the guide cylinder is shorter than the vertical length of the cartridge filter, so that when the cartridge filter is inserted into the guide cylinder, the upper part of the cartridge filter protrudes upward from the upper end of the guide cylinder. can do.

상기 가이드 실린더의 상부를 지지하며 상기 본체의 내측면에 지지되는 가이드 실린더 보강 플레이트를 더 포함하고, 상기 가이드 실린더 보강 플레이트에는 케미칼이 하방향으로 통과하는 다수개의 케미칼 통과홀이 형성될 수 있다.It further includes a guide cylinder reinforcement plate that supports the upper part of the guide cylinder and is supported on an inner surface of the main body, and a plurality of chemical passage holes through which chemicals pass downward may be formed in the guide cylinder reinforcement plate.

상기 가이드 실린더와 상기 가이드 실린더 보강 플레이트는 일체로 결합될 수 있다.The guide cylinder and the guide cylinder reinforcement plate may be integrally coupled.

상기 본체의 상부를 개폐하는 뚜껑을 더 포함하고, 상기 뚜껑의 저면과 상기 카트리지 필터의 상단 사이에는 상기 카트리지 필터를 상기 하부 플레이트를 향하는 하방향으로 가압하여 지지하기 위한 가압부재가 구비될 수 있다.It may further include a lid that opens and closes the upper part of the main body, and a pressing member may be provided between the bottom of the lid and the top of the cartridge filter to press and support the cartridge filter in a downward direction toward the lower plate.

상기 가압부재는 상기 카트리지 필터에 하방향의 탄성력을 작용하는 스프링 또는 벨로우즈로 이루어질 수 있다.The pressing member may be made of a spring or bellows that applies a downward elastic force to the cartridge filter.

상기 카트리지 필터의 상단부와 상기 가압부재의 하단부를 지지하며 상기 본체의 내측면에 지지되는 가압부재 지지플레이트를 더 포함할 수 있다.It supports the upper end of the cartridge filter and the lower end of the pressing member and may further include a pressing member support plate supported on the inner surface of the main body.

상기 가압부재는 상기 뚜껑 또는 상기 가압부재 지지플레이트에 일체로 결합될 수 있다.The pressing member may be integrally coupled to the lid or the pressing member support plate.

본 발명에 따른 케미칼 필터에 의하면, 카트리지 필터를 본체 내부에 구비된 가이드 실린더에 삽입하거나 가이드 실린더로부터 빼내는 작업만으로 카트리지 필터의 체결 및 분리가 가능하므로, 카트리지 필터의 설치 및 교체 작업을 간소화 할 수 있다. According to the chemical filter according to the present invention, the cartridge filter can be fastened and separated simply by inserting the cartridge filter into the guide cylinder provided inside the main body or removing it from the guide cylinder, thereby simplifying the installation and replacement work of the cartridge filter. .

또한, 카트리지 필터를 가이드 실린더에 삽입한 후 뚜껑을 닫게 되면, 가압부재에 의해 카트리지 필터가 하방향으로 가압되어 안정적으로 고정 지지될 수 있으므로, 카트리지 필터의 고정을 위한 별도의 체결수단을 사용하지 않더라도 카트리지 필터의 흔들림 및 이탈을 효과적으로 방지할 수 있다.In addition, when the cartridge filter is inserted into the guide cylinder and the lid is closed, the cartridge filter is pressed downward by the pressing member and can be stably fixed and supported, even if a separate fastening means is not used to fix the cartridge filter. It can effectively prevent shaking and separation of the cartridge filter.

또한, 카트리지 필터의 설치 및 교체 작업을 로봇을 이용한 자동화 된 방식으로 신속하게 수행할 수 있어 카트리지 필터의 설치 및 교체 작업에 소요되는 시간을 대폭 단축할 수 있으며, 작업자가 케미칼에 노출되는 위험요소를 제거할 수 있다.In addition, the installation and replacement of cartridge filters can be quickly performed in an automated manner using robots, significantly shortening the time required to install and replace cartridge filters, and reducing the risk of workers being exposed to chemicals. It can be removed.

도 1은 종래 케미칼 필터의 단면 사시도,
도 2는 종래 케미칼 필터의 분해 사시도,
도 3은 도 2에 도시된 본체의 평면도,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 케미칼 필터의 외관 사시도,
도 5는 도 4의 평면도,
도 6은 도 5의 A-A 선을 따르는 단면도,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미칼 필터의 분해 사시도,
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 케미칼 필터의 가이드 실린더에 카트리지 필터가 삽입된 모습을 나타낸 사시도,
도 9는 도 7에 도시된 본체의 평면도,
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 케미칼 필터의 단면도,
도 11은 본 발명에 따른 케미칼 필터의 가이드 실린더에 카트리지 필터가 체결되는 과정을 설명하기 위한 도면.1 is a cross-sectional perspective view of a conventional chemical filter;
Figure 2 is an exploded perspective view of a conventional chemical filter;
Figure 3 is a plan view of the main body shown in Figure 2;
4 is a perspective view of the exterior of a chemical filter according to an embodiment of the present invention;
Figure 5 is a plan view of Figure 4;
Figure 6 is a cross-sectional view along line AA of Figure 5;
7 is an exploded perspective view of a chemical filter according to an embodiment of the present invention;
Figure 8 is a perspective view showing a cartridge filter inserted into the guide cylinder of a chemical filter according to an embodiment of the present invention;
Figure 9 is a plan view of the main body shown in Figure 7;
10 is a cross-sectional view of a chemical filter according to another embodiment of the present invention;
Figure 11 is a diagram for explaining the process of fastening a cartridge filter to the guide cylinder of a chemical filter according to the present invention.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the structure and operation of a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings.

도 4 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 케미칼 필터(100)는, 케미칼 유입구(112)로 유입된 케미칼이 케미칼 배출구(115)를 향하여 유동하는 공간이 내부에 형성된 본체(110)와, 상기 케미칼 유입구(112)를 통해 유입된 케미칼에 포함된 불순물을 여과하고, 여과된 케미칼을 상기 케미칼 배출구(115)를 향하여 배출되도록 하는 카트리지 필터(120), 및 상기 본체(110)의 내부에 장착되며 상기 카트리지 필터(120)가 삽입되어 지지되는 가이드 실린더(130)를 포함한다.Referring to FIGS. 4 to 9, the chemical filter 100 according to an embodiment of the present invention has a main body (100) formed inside a space in which chemicals flowing into the chemical inlet 112 flow toward the chemical outlet 115. 110), a cartridge filter 120 that filters impurities contained in chemicals introduced through the chemical inlet 112 and discharges the filtered chemicals toward the chemical outlet 115, and the main body 110. It is mounted inside and includes a guide cylinder 130 into which the cartridge filter 120 is inserted and supported.

또한, 케미칼 필터(100)는, 상기 가이드 실린더(130)의 상부를 지지하며 상기 본체(110)의 내측면에 지지되는 가이드 실린더 보강 플레이트(140), 상기 카트리지 필터(120)의 상단부를 가압하여 지지하는 가압부재(170)와 이를 지지하기 위한 가압부재 지지플레이트(150), 및 상기 본체(110)의 상부를 개폐하며 상기 가압부재(170)의 상단이 고정 지지되는 뚜껑(160)을 포함한다.In addition, the chemical filter 100 supports the upper part of the guide cylinder 130 and presses the guide cylinder reinforcement plate 140, which is supported on the inner surface of the main body 110, and the upper end of the cartridge filter 120. It includes a supporting pressing member 170, a pressing member support plate 150 for supporting the same, and a lid 160 that opens and closes the upper part of the main body 110 and the upper end of the pressing member 170 is fixedly supported. .

상기 본체(110)는, 몸체부(111), 상기 몸체부(111)의 상부 일측에 형성된 케미칼 유입구(112), 상기 몸체부(111)의 상단에서 외측방향으로 소정 길이 연장되어 뚜껑(160)의 가장자리부가 안착되는 플랜지부(113), 상기 몸체부(111)의 하부를 막는 본체 바닥부(114), 상기 본체 바닥부(114)의 중앙에 형성된 케미칼 배출구(115), 상기 본체 바닥부(114)의 상측으로 상기 몸체부(111)의 하부에 횡방향으로 구비되어 카트리지 필터(120)의 하단부가 안착되는 하부 플레이트(116), 및 상기 본체(110)의 하단부에 원주방향으로 이격된 위치에 복수로 구비된 지지대(117)를 포함한다. The main body 110 includes a body 111, a chemical inlet 112 formed on one upper side of the body 111, and a lid 160 that extends outward from the top of the body 111 for a predetermined length. A flange portion 113 on which the edge portion of 114), a lower plate 116 provided laterally at the lower part of the body 111 on which the lower end of the cartridge filter 120 is seated, and a position spaced apart in the circumferential direction from the lower end of the main body 110. It includes a plurality of supports 117 provided.

본 실시예에서 상기 몸체부(111)는 원통형으로 이루어져 있으나, 그 형상은 원통형 이외의 형상으로 변형 실시될 수 있다. In this embodiment, the body portion 111 is formed in a cylindrical shape, but its shape may be modified to a shape other than the cylindrical shape.

상기 카트리지 필터(120)는 단수 또는 복수로 구비될 수 있으며, 본 실시예에서 상기 카트리지 필터(120)는 상하방향으로 길쭉한 원통형으로 이루어져 있으나, 그 형상은 원통형 이외에 다른 형상으로 변형 실시될 수 있다. The cartridge filter 120 may be provided singly or in plurality. In this embodiment, the cartridge filter 120 is formed in a cylindrical shape elongated in the vertical direction, but its shape may be modified into a shape other than the cylindrical shape.

상기 카트리지 필터(120)와 가이드 실린더(130)는 상기 본체(110)의 내부에 소정 간격을 두고 복수로 구비될 수 있다.The cartridge filter 120 and the guide cylinder 130 may be provided in plural numbers at predetermined intervals within the main body 110.

본 실시예에서 상기 카트리지 필터(120)와 가이드 실린더(130)는 원주방향으로 소정 간격을 두고 5개로 구비되어 있으나, 그 배치된 형태와 개수는 이와 달리 변형 실시될 수 있다.In this embodiment, the cartridge filter 120 and the guide cylinder 130 are provided in five pieces at predetermined intervals in the circumferential direction, but the arrangement shape and number may be modified differently.

상기 카트리지 필터(120)의 하단부와 상단부에는 카트리지 필터 하단 돌출부(121)와 카트리지 필터 상단 돌출부(122)가 형성되어 있다. A cartridge filter lower protrusion 121 and a cartridge filter upper protrusion 122 are formed at the lower and upper ends of the cartridge filter 120.

상기 하부 플레이트(116)에는 카트리지 필터 하단 돌출부(121)가 삽입되어 지지되며 여과된 케미칼이 하방향으로 통과하도록 관통된 카트리지 필터 하단 돌출부 체결구(116a; 도 9)가 형성되어 있다.The lower plate 116 is supported by the cartridge filter lower protrusion 121 and is formed with a penetrating cartridge filter lower protrusion fastener 116a (FIG. 9) to allow the filtered chemicals to pass downward.

상기 가이드 실린더(130)는 그 내부에 삽입되는 카트리지 필터(120)를 고정시켜 지지하기 위한 구성으로, 본 실시예에서는 원통형으로 이루어져 있으나, 카트리지 필터(120)의 형상이 원통형 이외의 형상으로 변형 실시될 경우에는 가이드 실린더(130)의 형상은 카트리지 필터(120)의 형상에 대응되는 형상으로 변형 실시될 수 있다.The guide cylinder 130 is configured to fix and support the cartridge filter 120 inserted therein. In this embodiment, it is made of a cylindrical shape, but the shape of the cartridge filter 120 is modified to a shape other than the cylindrical shape. In this case, the shape of the guide cylinder 130 may be modified to a shape corresponding to the shape of the cartridge filter 120.

상기 가이드 실린더(130)는 상기 하부 플레이트(116)의 상면에 안착되어 지지될 수 있으며, 하부 플레이트(116)의 상면에 일체형 구조로 장착될 수도 있다.The guide cylinder 130 may be seated and supported on the upper surface of the lower plate 116, and may be mounted on the upper surface of the lower plate 116 in an integrated structure.

상기 가이드 실린더(130)의 측면에는 케미칼이 횡방향으로 통과되는 다수개의 타공(131)이 형성되어 있어 가이드 실린더(130)의 내측에 수용되는 카트리지 필터(120)의 여과 면적을 충분히 확보할 수 있도록 한다.A plurality of perforations 131 through which chemicals pass laterally are formed on the side of the guide cylinder 130 to ensure sufficient filtration area of the cartridge filter 120 accommodated inside the guide cylinder 130. do.

도 6과 도 8을 참조하면, 상기 카트리지 필터(120)는 가이드 실린더(130)의 내측에 하방향으로 삽입되어 하부 플레이트(116)의 상면에 안착되어 지지된다.Referring to Figures 6 and 8, the cartridge filter 120 is inserted downward into the guide cylinder 130 and is seated and supported on the upper surface of the lower plate 116.

상기 가이드 실린더(130)의 상하방향 길이(H1)는 카트리지 필터(120)의 상하방향 길이(H2)보다 짧게 형성되어, 카트리지 필터(120)가 가이드 실린더(130)에 삽입되면, 카트리지 필터(120)의 상부(H3)는 가이드 실린더(130)의 상단보다 상측으로 돌출되어 위치하게 된다.The vertical length H1 of the guide cylinder 130 is shorter than the vertical length H2 of the cartridge filter 120, so that when the cartridge filter 120 is inserted into the guide cylinder 130, the cartridge filter 120 ) is positioned to protrude upward from the top of the guide cylinder 130.

이와 같은 구성에 의하면, 자동화장치인 로봇의 그립(Grip)(미도시됨)이 카트리지 필터(120)의 상부(H3)를 파지한 상태에서 카트리지 필터(120)를 이송시켜 가이드 실린더(130)의 내측으로 삽입하거나 가이드 실린더(130)의 외측으로 인출하기 위한 작업 공간을 확보할 수 있다.According to this configuration, the grip (not shown) of the robot, which is an automated device, transfers the cartridge filter 120 while holding the upper part (H3) of the cartridge filter 120, and moves the guide cylinder 130. A work space can be secured for inserting it inside or pulling it out to the outside of the guide cylinder 130.

상기 가이드 실린더 보강 플레이트(140)는 복수의 가이드 실린더(130)의 상부를 지지하기 위한 구성으로, 상기 복수의 가이드 실린더(130)가 관통하며 지지되는 복수의 가이드 실린더 관통홀(141)이 원주방향으로 이격된 위치에 형성되고, 케미칼이 하방향으로 통과하는 다수개의 케미칼 통과홀(142)이 형성되어 있으며, 가이드 실린더 보강 플레이트(140)의 외측면은 본체(110)의 몸체부(111)의 내측면에 접촉되어 지지될 수 있다.The guide cylinder reinforcement plate 140 is configured to support the upper portions of the plurality of guide cylinders 130, and the plurality of guide cylinder through-holes 141 through which the plurality of guide cylinders 130 pass and are supported are formed in the circumferential direction. are formed at positions spaced apart from each other, and a plurality of chemical passage holes 142 through which chemicals pass downward are formed, and the outer surface of the guide cylinder reinforcement plate 140 is formed in the body portion 111 of the main body 110. It can be supported by contacting the inner surface.

상기 가이드 실린더(130)와 가이드 실린더 보강 플레이트(140)는 일체로 결합될 수 있다.The guide cylinder 130 and the guide cylinder reinforcement plate 140 may be integrally coupled.

상기 가압부재(170)는, 상기 뚜껑(160)의 저면과 카트리지 필터(120)의 상단 사이에 구비되어 카트리지 필터(120)를 하부 플레이트(116)를 향하는 하방향으로 가압하여 지지함으로써, 카트리지 필터(120)가 케미칼의 유속 및 유압에 의해 흔들리거나 정위치에서 이탈되지 않도록 지지하는 기능을 한다.The pressing member 170 is provided between the bottom of the lid 160 and the top of the cartridge filter 120 to press and support the cartridge filter 120 in a downward direction toward the lower plate 116, thereby supporting the cartridge filter. (120) functions to support it so that it does not shake or deviate from its correct position due to the flow rate and hydraulic pressure of chemicals.

상기 가압부재(170)는, 도 6과 도 7에 도시된 일 실시예의 케미칼 필터(100)와 같이 카트리지 필터(120)에 하방향의 탄성력을 작용하는 스프링(170-1)으로 구성되거나, 도 10에 도시된 다른 실시예의 케미칼 필터(100-1)와 같이 카트리지 필터(120)에 하방향의 탄성력을 작용하는 벨로우즈(170-2)로 구성될 수 있다. 다만, 상기 가압부재(170)는 스프링(170-1) 또는 벨로우즈(170-2) 이외에도 카트리지 필터(120)의 상단부에 하방향의 탄성력을 작용할 수 있는 다양한 형태의 탄성체로 변형 실시될 수 있다.The pressing member 170 is composed of a spring 170-1 that exerts a downward elastic force on the cartridge filter 120, like the chemical filter 100 of an embodiment shown in FIGS. 6 and 7, or Like the chemical filter 100-1 of another embodiment shown in Figure 10, it may be composed of a bellows 170-2 that applies a downward elastic force to the cartridge filter 120. However, the pressing member 170 may be modified into various types of elastic bodies that can apply a downward elastic force to the upper end of the cartridge filter 120 in addition to the spring 170-1 or the bellows 170-2.

상기 가압부재(170)는 가압부재 지지플레이트(150)의 상면 또는 뚜껑(160)의 저면에 일체로 결합될 수 있다. 만일, 상기 가압부재(170)가 가압부재 지지플레이트(150)의 상면 또는 뚜껑(160)의 저면에 일체로 결합되어 있지 않다면, 가압부재(170)를 로봇이 별도로 분리 또는 결합해야 하지만, 실시예와 같이 가압부재(170)가 가압부재 지지플레이트(150)의 상면 또는 뚜껑(160)의 저면에 일체로 결합됨으로써 가압부재(170)를 별도로 분리 또는 결합할 필요 없이 로봇에 의한 자동화가 가능하다.The pressing member 170 may be integrally coupled to the upper surface of the pressing member support plate 150 or the lower surface of the lid 160. If the pressing member 170 is not integrally coupled to the upper surface of the pressing member support plate 150 or the lower surface of the lid 160, the pressing member 170 must be separated or combined separately by the robot. As the press member 170 is integrally coupled to the upper surface of the press member support plate 150 or the bottom surface of the lid 160, automation by a robot is possible without the need to separate or combine the press member 170.

상기 가압부재 지지플레이트(150)는 카트리지 필터(120)의 상단부와 가압부재(170)의 하단부를 함께 지지하기 위한 구성이며, 가압부재 지지플레이트(150)의 외측면은 본체(110)의 내측면에 접촉되어 지지될 수 있다.The pressing member support plate 150 is configured to support the upper end of the cartridge filter 120 and the lower end of the pressing member 170, and the outer surface of the pressing member support plate 150 is the inner surface of the main body 110. It can be supported by contact with .

상기 가압부재 지지플레이트(150)에는 카트리지 필터 상단 돌출부(122)가 삽입되어 지지됨과 동시에 가압부재(170)의 하단부가 삽입되어 지지되도록 복수의 가압부재 지지홀(151)이 형성되어 있다.The pressure member support plate 150 is formed with a plurality of pressure member support holes 151 so that the upper end protrusion 122 of the cartridge filter is inserted and supported, and at the same time, the lower end of the pressure member 170 is inserted and supported.

상기 뚜껑(160)의 저면에는 가압부재(170)의 상단부를 지지하기 위한 가압부재 지지돌출부(161)가 형성되어 있다.A pressing member support protrusion 161 is formed on the bottom of the lid 160 to support the upper end of the pressing member 170.

도 6을 참조하여 케미칼의 여과를 위한 유동 경로를 설명한다. 케미칼 유입구(112)를 통해 본체(110) 내부로 유입된 케미칼은 가이드 실린더 보강 플레이트(140)에 형성된 다수개의 케미칼 통과홀(142)을 통과하여 하방향으로 유동하고, 가이드 실린더(130)에 형성된 다수개의 타공(131)을 통과하여 가이드 실린더(130)의 내부에 수용된 카트리지 필터(120)를 통과하면서 불순물이 여과된 후 카트리지 필터(120) 내부로 유입되고, 상기 카트리지 필터(120)를 통과하며 불순물이 여과되어 정화된 케미칼은 하부 플레이트(116)에 형성된 카트리지 필터 하단 돌출부 체결구(116a)를 통과하여 케미칼 배출구(115)를 통해 배출된다.Referring to FIG. 6, the flow path for chemical filtration will be described. The chemicals flowing into the main body 110 through the chemical inlet 112 flow downward through the plurality of chemical passage holes 142 formed in the guide cylinder reinforcement plate 140, and are formed in the guide cylinder 130. Impurities are filtered as they pass through the plurality of perforations 131 and the cartridge filter 120 accommodated inside the guide cylinder 130, then flow into the cartridge filter 120 and pass through the cartridge filter 120. The chemical purified by filtering impurities passes through the cartridge filter lower protrusion fastener 116a formed on the lower plate 116 and is discharged through the chemical outlet 115.

도 11은 카트리지 필터(120)를 본체(110) 내부의 가이드 실린더(130)에 하방향으로 삽입하여 체결하거나, 가이드 실린더(130)에 삽입되어 있던 카트리지 필터(120)를 가이드 실린더(130)로부터 상방향으로 뽑아내어 분리하는 과정을 설명하기 위한 도면이다. 상기 복수의 필터(120)는 자동화장치인 로봇의 그립(Grip)(미도시됨)이 상기 카트리지 필터(120)의 상부(H3; 도 8)를 파지한 상태에서 카트리지 필터(120)를 이송시켜 가이드 실린더(130)의 내측으로 삽입하거나 가이드 실린더(130)의 외측으로 인출하는 작업을 자동으로 수행할 수 있다. 11 shows that the cartridge filter 120 is inserted downward into the guide cylinder 130 inside the main body 110 and fastened, or the cartridge filter 120 inserted into the guide cylinder 130 is pulled from the guide cylinder 130. This is a drawing to explain the process of pulling out and separating upward. The plurality of filters 120 are transported by transporting the cartridge filter 120 while the grip (not shown) of an automated robot holds the upper part (H3; FIG. 8) of the cartridge filter 120. The operation of inserting into the inside of the guide cylinder 130 or withdrawing from the outside of the guide cylinder 130 can be performed automatically.

이 경우 로봇의 그립(Grip)은 복수의 카트리지 필터(120)를 하나씩 파지하여 순차로 이송시키도록 구성하거나, 복수의 카트리지 필터(120) 전체를 동시에 파지하여 한 번의 동작으로 이송시키도록 구성할 수 있다.In this case, the robot's grip can be configured to grip a plurality of cartridge filters 120 one by one and transfer them sequentially, or can be configured to simultaneously grip all of the plurality of cartridge filters 120 and transport them in one motion. there is.

이와 같은 구성에 의하면, 카트리지 필터(120)의 설치 및 교체 작업을 로봇을 이용한 자동화 된 방식으로 신속하게 수행할 수 있어 카트리지 필터(120)의 설치 및 교체 작업에 소요되는 시간을 대폭 단축할 수 있어 반도체 제조 공정의 생산성을 향상시킬 수 있으며, 작업자가 케미칼에 노출되는 위험 상황의 발생을 방지할 수 있다.According to this configuration, the installation and replacement work of the cartridge filter 120 can be quickly performed in an automated manner using a robot, thereby significantly shortening the time required for the installation and replacement work of the cartridge filter 120. The productivity of the semiconductor manufacturing process can be improved and the occurrence of hazardous situations in which workers are exposed to chemicals can be prevented.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and obvious modifications can be made by those skilled in the art without departing from the technical spirit of the present invention as claimed in the claims. It is possible, and such modifications fall within the scope of the present invention.

1 : 케미칼 필터 10 : 본체
11 : 몸체부 12 : 케미칼 유입구
13 : 플랜지부 14 : 본체 바닥부
15 : 케미칼 배출구 16 : 하부 플레이트
16a : 카트리지 필터 하단 돌출부 체결구 16b : 로드 하단부 체결구
20 : 카트리지 필터 21 : 카트리지 필터 하단 돌출부
22 : 카트리지 필터 상단 돌출부 30 : 상부 플레이트
31 : 카트리지 필터 상단 돌출부 체결구 32 : 로드 상단부 관통홀
40 : 로드 41 : 로드 하단부
42 : 로드 상단부 43 : 스크류
100,100-1 : 케미칼 필터 110 : 본체
111 : 몸체부 112 : 케미칼 유입구
113 : 플랜지부 114 : 본체 바닥부
115 : 케미칼 배출구 116 : 하부 플레이트
116a : 카트리지 필터 하단 돌출부 체결구 117 : 지지대
120 : 카트리지 필터 121 : 카트리지 필터 하단 돌출부
122 : 카트리지 필터 상단 돌출부 130 : 가이드 실린더
131 : 타공 140 : 가이드 실린더 보강 플레이트
141 : 가이드 실린더 관통홀 142 : 케미칼 통과홀
150 : 가압부재 지지플레이트 151 : 가압부재 지지홀
160 : 뚜껑 161 : 가압부재 지지돌출부
170 : 가압부재 170-1 : 스프링
170-2 : 벨로우즈 1: Chemical filter 10: Body
11: body 12: chemical inlet
13: Flange part 14: Body bottom part
15: Chemical outlet 16: Lower plate
16a: Cartridge filter lower protrusion fastener 16b: Rod lower fastener
20: Cartridge filter 21: Cartridge filter bottom protrusion
22: cartridge filter upper protrusion 30: upper plate
31: Cartridge filter upper protrusion fastener 32: Rod upper through hole
40: Rod 41: Lower part of rod
42: upper part of rod 43: screw
100,100-1: Chemical filter 110: Body
111: body 112: chemical inlet
113: Flange portion 114: Body bottom portion
115: Chemical outlet 116: Lower plate
116a: cartridge filter bottom protrusion fastener 117: support
120: cartridge filter 121: cartridge filter bottom protrusion
122: Cartridge filter upper protrusion 130: Guide cylinder
131: perforation 140: guide cylinder reinforcement plate
141: Guide cylinder through hole 142: Chemical through hole
150: Pressure member support plate 151: Pressure member support hole
160: Lid 161: Pressure member support protrusion
170: Pressure member 170-1: Spring
170-2: Bellows

Claims (12)

케미칼 유입구로 유입된 케미칼이 케미칼 배출구를 향하여 유동하는 공간이 내부에 형성된 본체;
상기 케미칼 유입구를 통해 유입된 케미칼에 포함된 불순물을 여과하고, 여과된 케미칼을 상기 케미칼 배출구를 향하여 배출되도록 하는 카트리지 필터; 및
상기 본체의 내부에 장착되며 상기 카트리지 필터가 삽입되어 지지되는 가이드 실린더;
를 포함하는 케미칼 필터.a main body having a space formed therein in which chemicals flowing into the chemical inlet flow toward the chemical outlet;
a cartridge filter that filters impurities contained in chemicals introduced through the chemical inlet and discharges the filtered chemicals toward the chemical outlet; and
a guide cylinder mounted inside the main body and into which the cartridge filter is inserted and supported;
Chemical filter containing. 제1항에 있어서,
상기 카트리지 필터와 상기 가이드 실린더는 상기 본체의 내부에 소정 간격을 두고 복수로 구비된 것을 특징으로 하는 케미칼 필터.According to paragraph 1,
A chemical filter, characterized in that the cartridge filter and the guide cylinder are provided in plural numbers at predetermined intervals inside the main body. 제1항에 있어서,
상기 가이드 실린더의 측면에는 케미칼이 횡방향으로 통과되는 다수개의 타공이 형성된 것을 특징으로 하는 케미칼 필터.According to paragraph 1,
A chemical filter, characterized in that a plurality of perforations are formed on the side of the guide cylinder through which chemicals pass laterally. 제1항에 있어서,
상기 본체의 하부에는 하부 플레이트가 횡방향으로 구비되고,
상기 가이드 실린더는 상기 하부 플레이트의 상면에 안착되어 지지되는 것을 특징으로 하는 케미칼 필터.According to paragraph 1,
A lower plate is provided transversely at the lower part of the main body,
A chemical filter, characterized in that the guide cylinder is seated and supported on the upper surface of the lower plate. 제4항에 있어서,
상기 카트리지 필터는 상기 가이드 실린더의 내측에 하방향으로 삽입되어 상기 하부 플레이트의 상면에 안착되어 지지되는 것을 특징으로 하는 케미칼 필터.According to paragraph 4,
The cartridge filter is inserted downward into the guide cylinder and is seated and supported on the upper surface of the lower plate. 제5항에 있어서,
상기 가이드 실린더의 상하방향 길이는 상기 카트리지 필터의 상하방향 길이보다 짧게 형성되어, 상기 카트리지 필터가 상기 가이드 실린더에 삽입되면, 상기 카트리지 필터의 상부는 상기 가이드 실린더의 상단보다 상측으로 돌출되어 위치하는 것을 특징으로 하는 케미칼 필터.According to clause 5,
The vertical length of the guide cylinder is shorter than the vertical length of the cartridge filter, so that when the cartridge filter is inserted into the guide cylinder, the upper part of the cartridge filter protrudes upward from the upper end of the guide cylinder. Characterized by chemical filter. 제4항에 있어서,
상기 가이드 실린더의 상부를 지지하며 상기 본체의 내측면에 지지되는 가이드 실린더 보강 플레이트를 더 포함하고,
상기 가이드 실린더 보강 플레이트에는 케미칼이 하방향으로 통과하는 다수개의 케미칼 통과홀이 형성된 것을 특징으로 하는 케미칼 필터.According to paragraph 4,
Supporting the upper part of the guide cylinder and further comprising a guide cylinder reinforcement plate supported on the inner surface of the main body,
A chemical filter, characterized in that the guide cylinder reinforcement plate is formed with a plurality of chemical passage holes through which chemicals pass downward. 제7항에 있어서,
상기 가이드 실린더와 상기 가이드 실린더 보강 플레이트는 일체로 결합된 것을 특징으로 하는 케미칼 필터.In clause 7,
A chemical filter, characterized in that the guide cylinder and the guide cylinder reinforcement plate are integrally combined. 제4항에 있어서,
상기 본체의 상부를 개폐하는 뚜껑을 더 포함하고,
상기 뚜껑의 저면과 상기 카트리지 필터의 상단 사이에는 상기 카트리지 필터를 상기 하부 플레이트를 향하는 하방향으로 가압하여 지지하기 위한 가압부재가 구비된 것을 특징으로 하는 케미칼 필터.According to paragraph 4,
It further includes a lid that opens and closes the upper part of the main body,
A chemical filter, characterized in that a pressing member is provided between the bottom of the lid and the top of the cartridge filter to press and support the cartridge filter in a downward direction toward the lower plate. 제9항에 있어서,
상기 가압부재는 상기 카트리지 필터에 하방향의 탄성력을 작용하는 스프링 또는 벨로우즈로 이루어진 것을 특징으로 하는 케미칼 필터.According to clause 9,
A chemical filter, wherein the pressing member is made of a spring or bellows that exerts a downward elastic force on the cartridge filter. 제9항에 있어서,
상기 카트리지 필터의 상단부와 상기 가압부재의 하단부를 지지하며 상기 본체의 내측면에 지지되는 가압부재 지지플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 케미칼 필터.According to clause 9,
A chemical filter supporting the upper end of the cartridge filter and the lower end of the pressing member and further comprising a pressing member support plate supported on the inner surface of the main body. 제11항에 있어서,
상기 가압부재는 상기 뚜껑 또는 상기 가압부재 지지플레이트에 일체로 결합된 것을 특징으로 하는 케미칼 필터.According to clause 11,
A chemical filter, wherein the pressing member is integrally coupled to the lid or the pressing member support plate.
KR1020230002652A 2023-01-09 Chemical Filter KR20240111047A (en)

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