KR20100024925A

KR20100024925A - Fluid control apparatus

Info

Publication number: KR20100024925A
Application number: KR20097025031A
Authority: KR
Inventors: 와타루 오카세; 슈지 모리야; 도모히로 나카타; 츠토무 시노하라; 미치오 야마지
Original assignee: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤; 가부시키가이샤 후지킨
Priority date: 2007-05-31
Filing date: 2008-05-26
Publication date: 2010-03-08
Also published as: CN101680561A; TW200916678A; US20100096031A1; TWI432663B; JP5150628B2; CN101680561B; WO2008149702A1; US8434522B2; JPWO2008149702A1

Abstract

Provided is a fluid control apparatus having a reduced number of part items and improved assembly operation efficiency. A pressure display (4), which has relatively high frequency of being removed, is connected to a base block (5) at the lower section with a male screw member (17) from above. An open/close valve (6), which has relatively low frequency of being removed, has an integrally arranged block-like main body (6a) at the lower section. The main body (6a) of the open/close valve (6) is connected to the base block (5) with a male screw member (18) from the front-rear direction.

Description

Fluid control device {FLUID CONTROL APPARATUS}

본 발명은, 반도체 제조 장치 등에 사용되는 유체 제어 장치에 관한 것으로서, 특히, 복수의 유체 제어 기기가 집적화되어 형성되는 유체 제어 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluid control device for use in semiconductor manufacturing apparatuses and the like, and more particularly, to a fluid control device in which a plurality of fluid control devices are integrated.

반도체 제조 장치에서 사용되는 유체 제어 장치에 있어서는, 복수의 유체 제어 기기가 직렬형으로 배치되어 파이프나 조인트를 통하지 않고 접속됨으로써 형성된 복수의 라인을 베이스 부재 상에 병렬형으로 설치한다고 하는 집적화가 진행되고 있고, 특허 문헌 1에는, 그러한 유체 제어 장치로서, 하단층이 되는 복수의 블록형 조인트 부재가 수나사 부재에 의해 베이스 부재에 부착되며, 인접한 조인트 부재에 걸치도록 상단층이 되는 복수의 유체 제어 기기가 부착되어 있는 것이 개시되어 있다.In the fluid control apparatus used in the semiconductor manufacturing apparatus, integration is performed in which a plurality of lines formed by connecting a plurality of fluid control devices in series and connected without passing through pipes or joints are installed on a base member in parallel. In Patent Document 1, as a fluid control device, a plurality of block-like joint members serving as lower layers are attached to a base member by male screw members, and a plurality of fluid control apparatuses serving as upper layers so as to span adjacent joint members. It is disclosed that it is attached.

특허 문헌 1 : 일본 특허 공개 평성 제10-227368호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-227368

(발명의 개시)(Initiation of invention)

(발명이 해결하고자 하는 과제)(Tasks to be solved by the invention)

상기 특허 문헌 1의 유체 제어 장치에서는, 종래의 것에 비하여 장치의 점유 공간의 감소 및 통로의 볼륨의 감소가 가능해진다고 하는 이점을 갖고 있지만, 부품 개수가 많아 인접한 조인트 부재에 걸치도록 유체 제어 기기를 부착할 때의 위치 결정에 시간이 걸린다고 하는 문제가 있어 더욱 더 개량이 요구되고 있다.The fluid control device of Patent Document 1 has the advantage that the space occupied by the device and the volume of the passage can be reduced as compared with the conventional one, but the fluid control device is attached so as to cover the adjacent joint member due to the large number of parts. There is a problem that it takes a long time to determine the positioning, and further improvement is required.

본 발명의 목적은, 부품 개수 삭감 및 조립 작업 효율의 향상이 도모된 유체 제어 장치를 제공하는 것에 있다.An object of the present invention is to provide a fluid control device which is capable of reducing the number of parts and improving the assembling work efficiency.

(과제를 해결하기 위한 수단)(Means to solve the task)

본 발명에 따른 유체 제어 장치는, 복수 종류의 유체 제어 기기와, 유체 제어 기기를 지지하는 베이스 블록과, 유체 통로끼리가 접합된 부분에 있어서의 시일성을 확보하기 위한 시일 수단을 구비하고 있는 유체 제어 장치에 있어서, 복수 종류의 유체 제어 기기 중 적어도 하나는, 하면으로 개구된 통로가 형성된 접속 블록부를 가지며 또한 그 하측에 배치된 1 또는 복수의 베이스 블록에 상측으로부터의 수나사 부재에 의해 결합된 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기로 되어 있고, 복수 종류의 유체 제어 기기 이외의 것은, 본체 하면이 폐쇄되고 또한 베이스 블록이 하측으로 배치되어 있지 않은 무베이스 블록 유체 제어 기기로 되어 있으며, 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기의 하측에 배치된 베이스 블록과 무베이스 블록 유체 제어 기기의 본체가 그 하면끼리가 동일면이 되도록 전후 방향으로부터의 수나사 부재에 의해 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 것이다.A fluid control device according to the present invention includes a fluid having a plurality of types of fluid control devices, a base block for supporting the fluid control device, and sealing means for securing sealability at portions where the fluid passages are joined. In the control apparatus, at least one of the plural kinds of fluid control devices has a connection block portion with a passage opening to a lower surface thereof and a base coupled to the one or a plurality of base blocks arranged below by a male screw member from above. A fluid control device with a block is attached, and other than a plurality of types of fluid control devices is a non-base block fluid control device in which the lower surface of the main body is closed and the base block is not disposed downward, and the base block is attached. Of base block and baseless block fluid control device disposed underneath the fluid control device It is characterized in that the lower surfaces are coupled by male screw members from the front-rear direction so that the lower surfaces thereof become the same surface.

이 명세서에 있어서, 상하는 도 1 및 도 3의 상하를 말하고, 전후 방향은 도 1 및 도 3의 좌우 방향을 말하는 것으로 하지만, 이 상하 및 전후는 편의적인 것으로서, 유체 제어 장치는 도 1 및 도 3의 상하의 상태로 수평면에 부착되는 것 이외에, 상하가 반대로 되어 수평면에 부착되거나, 수직면에 부착되거나 하는 경우가 있다.In this specification, the upper and lower sides refer to the upper and lower sides of FIGS. 1 and 3, and the front and rear directions refer to the left and right directions of FIGS. 1 and 3, but the upper and lower sides and the front and rear sides are convenient, and the fluid control apparatus is illustrated in FIGS. 1 and 3. In addition to being attached to the horizontal surface in the upper and lower states of, the upper and lower sides may be reversed and attached to the horizontal surface or attached to the vertical surface.

복수 종류의 유체 제어 기기는, 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기나 무베이스 블록 유체 제어 기기 중 어느 하나가 된다. 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기는, 본체와 베이스 블록이 분리 가능하고, 베이스 블록이 부착되어 있지 않은 상태에서 유체 제어 기기 단품으로서 취급하는 것이 가능하며, 베이스 블록이 부착된 조립품으로서 취급하는 것도 가능하다. 무베이스 블록 유체 제어 기기는, 베이스 블록을 갖고 있지 않기 때문에, 항상, 유체 제어 기기 단품으로서 취급된다. 따라서, 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기의 하측에 있는 베이스 블록과 무베이스 블록 유체 제어 기기의 본체가 전후 방향으로부터의 수나사 부재에 의해 결합되어 있는 상태에 있어서, 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기의 유체 제어기는 단독으로 상측으로부터 꺼내는 것이 가능하고, 무베이스 블록 유체 제어 기기는 단독으로 상측으로부터 꺼내는 것이 불가능하게 되어 있다.The plural types of fluid control devices are either fluid control devices with base blocks or base block fluid control devices. The fluid control device with the base block is detachable from the main body and the base block, and can be handled as a single fluid control device without the base block attached, and can also be treated as an assembly with the base block attached. Do. Since the base block fluid control device does not have a base block, it is always treated as a fluid control device only. Therefore, in the state where the base block below the fluid control device with the base block and the main body of the base block-free fluid control device are coupled by the male screw member from the front-rear direction, the fluid control device with the base block is attached. The fluid controller can be taken out from the top alone, and the base block fluid control device can not be taken out from the top alone.

복수 종류의 유체 제어 기기 모두를 무베이스 블록 유체 제어 기기로 하여 이들을 전후 방향으로부터의 수나사 부재에 의해 결합한 경우, 상측으로부터의 수나사 부재가 불필요하게 되어 조립 작업 효율의 점에서 유리해진다. 그러나, 복수 종류의 유체 제어 기기에는, 빈번하게 점검이나 교환이 필요한 것(제거의 빈도가 높은 것)이 포함되어 있기 때문에, 1개만의 유체 제어 기기를 제거하는 경우에도, 전후 방향으로부터의 수나사 부재를 풀어 전체를 분해할 필요가 있어 메인터넌스성의 점에서 불리해진다. 본 발명의 유체 제어 장치에 따르면, 단독으로 상측으로부터 꺼낼 수 있는 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기를 상대적으로 제거 빈도가 높은 유체 제어 기기로 함으로써 메인터넌스성을 향상시키고, 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기의 베이스 블록과 무베이스 블록 유체 제어 기기를 전후 방향으로부터의 수나사 부재에 의해 결합함으로써, 조립의 용이성도 확보할 수 있다.When all of the plural types of fluid control devices are used as non-base block fluid control devices and these are joined by male screw members from the front and rear directions, the male screw member from the upper side becomes unnecessary, which is advantageous in terms of assembling work efficiency. However, since a plurality of types of fluid control devices include those requiring frequent inspection and replacement (high frequency of removal), even when only one fluid control device is removed, the male screw member from the front-rear direction is removed. It is necessary to disassemble and disassemble the whole, which is disadvantageous in terms of maintenance. According to the fluid control device of the present invention, the fluid control device with the base block which can be taken out from the upper side alone is a fluid control device having a relatively high frequency of removal, thereby improving maintenance and improving the fluid control device with the base block attached thereto. By assembling the base block and the base block-free fluid control device by the male screw member from the front-rear direction, ease of assembly can also be ensured.

베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기는, 하나의 유체 제어 기기가 하나의 베이스 블록에만 부착되는 경우가 있고, 또한, 하나의 유체 제어 기기가 2개의 베이스 블록에 걸치도록 부착되는 경우가 있다.In a fluid control device to which a base block is attached, one fluid control device may be attached to only one base block, and one fluid control device may be attached to span two base blocks.

무베이스 블록 유체 제어 기기의 본체는, 베이스 블록과 동일한 레벨이 되기 때문에, 그 본체를 자신의 액츄에이터 부분을 지지하는 부분과 이것에 일체로 형성된 돌출 부분으로 구성하고, 돌출 부분을 베이스 블록으로서 사용할 수 있다.Since the main body of the base block fluid control device is at the same level as the base block, the main body is composed of a part supporting its own actuator part and a protruding portion formed integrally therewith, and the protruding portion can be used as the base block. have.

예컨대, 개폐 밸브(유체 통로의 차단·개방만을 행하는 밸브)는 일종의 유체 제어 기기이지만, 유체 제어 장치를 구성하는 기기 중에서 상대적으로 쉽게 고장나지 않아 메인터넌스의 필요가 적다. 이것에 비하여, 압력 조정기, 필터, 압력 표시기 및 유량 조정기는, 상대적으로 점검이나 교환의 빈도가 높은 것으로 되어 있다. 그래서, 본 발명에서는, 유체 제어 장치에서 사용되고 있는 각종 유체 제어 기기에 대해서, 그 제거의 빈도에 착안하여 이들을 조립할 때의 결합 방법이 2종류가 된다. 개폐 밸브보다도 제거의 빈도가 높은 유체 제어 기기로서는, 압력 조정기(또는 감압 밸브), 압력 표시기 및 유량 조정기(또는 매스 플로우 컨트롤러) 등이 있다.For example, an on-off valve (a valve for performing only the blocking and opening of a fluid passage) is a kind of fluid control device, but it is relatively easy to fail among the devices constituting the fluid control device, so there is little need for maintenance. On the other hand, the pressure regulator, the filter, the pressure indicator, and the flow regulator have relatively high frequency of inspection and replacement. Therefore, in the present invention, there are two types of coupling methods for assembling the various fluid control devices used in the fluid control device by paying attention to the frequency of their removal. Examples of fluid control devices having a higher frequency of removal than on / off valves include pressure regulators (or pressure reducing valves), pressure indicators, flow regulators (or mass flow controllers), and the like.

베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기, 즉 제거의 빈도가 상대적으로 높은 유체 제어 기기는, 상측으로부터의 수나사 부재에 의해 하측에 있는 베이스 블록에 결합되어 있기 때문에, 이 수나사 부재를 풂으로써, 유체 제어 기기 단독으로 상측으로 꺼낼 수 있다. 무베이스 블록 유체 제어 기기, 즉 제거의 빈도가 상대적으로 낮은 유체 제어 기기는, 일체로 설치된 본체가 전후 방향으로부터의 수나사 부재에 의해 베이스 블록에 결합되어 있기 때문에, 전후 방향으로부터의 수나사를 풀어서 전체를 분해하지 않는 한, 이것을 제거할 수는 없는 것으로 되어 있다. 이 결과, 제거의 빈도가 높은 유체 제어 기기에 대해서는, 단독으로 상측으로부터 꺼낼 수 있는 것으로 함으로써 그 메인터넌스성을 높일 수 있고, 제거의 빈도가 낮은 유체 제어 기기에 대해서는, 메인터넌스성을 상대적으로 저하시키지만, 별도의 부재로서의 베이스 블록을 사용하지 않음으로써, 부품수의 저감이 가능하며, 조립도 용이해져, 유체 제어 장치 전체적으로 종래보다 높은 레벨로 메인터넌스성과 조립성을 양립시킬 수 있다.The fluid control device with the base block, that is, the fluid control device having a relatively high frequency of removal, is coupled to the base block on the lower side by the male screw member from the upper side, and thus the fluid control device is removed by removing the male screw member. It can be taken out upward by itself. In the base block fluid control device, that is, the fluid control device having a relatively low frequency of removal, the body integrally installed is coupled to the base block by the male screw member from the front-rear direction, so that the entire body is loosened by loosening the male screw from the front-rear direction. Unless it disassembles, this cannot be removed. As a result, the maintenance property can be improved by taking out the fluid control apparatus with high frequency of removal independently from the upper side, and maintainability relatively with respect to the fluid control apparatus with low frequency of removal, By not using the base block as a separate member, the number of parts can be reduced, the assembling becomes easy, and both the maintenance and the assemblability can be achieved at a higher level than the conventional fluid control apparatus as a whole.

또한, 상기에 있어서, 개폐 밸브보다도 제거의 빈도가 높은 유체 제어 기기로서, 압력 조정기(또는 감압 밸브), 압력 표시기 및 유량 조정기(또는 매스 플로우 컨트롤러)를 예시하였지만, 이들 유체 제어 기기 중 몇 개를 무베이스 블록 유체 제어 기기로 하여도 좋고, 또한, 복수의 개폐 밸브 중의 소정의 것(예컨대, 고장 빈도가 높은 위치에 배치되는 것, 부식되기 쉬운 위치에 배치되는 것 등)을 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기로 하여도 물론 좋다. 또한, 유체 제어 기기에는, 유체 통로가 형성된 통로 블록이 포함되고, 이러한 통로 블록은, 제거의 빈도가 낮은 유체 제어 기기로서 취급된다.In addition, in the above, although the pressure regulator (or pressure reducing valve), the pressure indicator, and the flow regulator (or mass flow controller) were illustrated as a fluid control apparatus which has a frequency of removal more than an on-off valve, some of these fluid control instruments were mentioned. A base block fluid control device may be used, and any one of a plurality of on / off valves (for example, a location having a high frequency of failure, a location that is prone to corrosion, etc.) may be attached. Of course, the fluid control device may be used. The fluid control device also includes a passage block in which a fluid passage is formed, and the passage block is treated as a fluid control device with a low frequency of removal.

각 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기는, 수나사 부재에 의해 하나의 베이스 블록에만 부착되어 있고, 이에 따라, 베이스 블록이 부착된 상태에서 단품으로의 취급이 가능하게 되어 있는 경우가 있다. 이와 같이 하면, 조립의 작업 효율의 점에서 유리해진다.The fluid control device to which each base block is attached is attached only to one base block by the male screw member, and, as a result, it may be possible to handle the unit separately in a state where the base block is attached. This is advantageous in terms of work efficiency of assembly.

또한, 적어도 하나의 무베이스 블록 유체 제어 기기의 본체에, 인접한 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기의 일부를 지지하는 돌출 블록부가 형성되는 경우가 있다. 이와 같이 하면, 부품수 저감 및 시일 개소 저감에 유리한 것이 된다.In addition, there may be a case where a protruding block portion for supporting a part of the fluid control device to which the adjacent base block is attached is formed in the body of the at least one base block fluid control device. By doing in this way, it becomes advantageous for reduction of a number of components and a reduction of a seal point.

베이스 블록의 유체 통로 형상 및 무베이스 블록 유체 제어 기기의 본체의 유체 통로 형상은, 인접한 베이스 블록의 유체 통로 형상 및 무베이스 블록 유체 제어 기기 본체의 유체 통로 형상에 따라 적절하게 변경된다. 예컨대, 베이스 블록의 유체 통로 형상 및 무베이스 블록 유체 제어 기기 본체의 유체 통로 형상은 L자형으로 되는 경우가 있고, 또한, 무베이스 블록 유체 제어 기기의 본체에는 V자형 및 L자형의 통로가 하나씩 형성되는 경우가 있다.The fluid passage shape of the base block and the fluid passage shape of the body of the base block fluid control device are appropriately changed in accordance with the fluid passage shape of the adjacent base block and the fluid passage shape of the base block fluid control device body. For example, the fluid passage shape of the base block and the fluid passage shape of the base block fluid control device main body may be L-shaped, and the V-shaped and L shape passages may be formed in the main body of the base block fluid control device. It may become.

무베이스 블록 유체 제어기의 본체, 베이스 블록 및 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기의 접속 블록부는, 모두 직방체형의 블록 내부에 적어도 하나의 유체 통로가 형성된 것으로서, 이하에서는, 이들을 총칭하여 「통로 블록」이라고 부르는 경우가 있다. 「통로 블록」은, 단독으로 사용되는 경우, 베이스 블록이 되고, 무베이스 블록 유체 제어 기기에 일체로 설치되어 있는 경우, 본체가 되며, 베이스 블록이 부착된 유체 제어 기기에 일체로 설치되어 있는 경우, 접속 블록부가 된다. 베이스 블록 및 무베이스 블록 유체 제어 기기 본체의 유체 통로는, 상측 및 전후로 개구되고 그 하면이 폐쇄된 것으로 되고, 접속 블록부는, 상하로 개구되고 그 전후면은 폐쇄된 것으로 된다. 접속 블록부와 베이스 블록이 일체화된 것이 무베이스 블록 유체 제어 기기의 본체에 대응하고 있고, 이 일체화에 의해 필요한 부품수의 저감이 도모되고 있다.The base block of the base block fluid controller, the base block, and the connection block portion of the fluid control device to which the base block is attached are all formed with at least one fluid passage in a rectangular block. Hereinafter, these are collectively referred to as "path block". Sometimes called. When the passage block is used alone, it becomes a base block, when it is integrally installed in a base block fluid control device, and becomes a main body, and when it is integrally installed in a fluid control device with a base block. , The connection block portion. The fluid passages of the base block and the base block fluid control device main body are opened upwards and forwards and backwards thereof, and the bottom surface thereof is closed, and the connection block portion opens upwards and downwards, and the front and rear surfaces thereof are closed. The integration of the connection block portion and the base block corresponds to the main body of the base block fluid control device, and the integration reduces the number of parts required.

시일 수단은, 각 통로 블록 사이에 개재된 가스켓과, 각 통로 블록의 접합면에 형성된 환상 가스켓 누름 돌기를 갖고 있고, 환상 가스켓 누름 돌기에 의해 가스켓이 변형됨으로써 시일성을 확보하게 된다. 가스켓 누름 돌기는, 통로 블록의 기준면(접합면에 형성된 오목부의 저면)에 축 방향 외측으로 돌출되어 형성된다. 오목부는, 기준면으로부터는 축 방향 외측으로 돌출되도록 이루어져 있고, 가스켓에 밀착되어 시일에 기여한다. 가스켓은, 스테인리스강, 니켈 합금 등으로 원환형(구멍이 형성된 원판형)으로 형성된 것이 바람직하다.The sealing means has a gasket interposed between each passage block and an annular gasket pressing protrusion formed on the joining surface of each passage block, and the sealing is secured by deforming the gasket by the annular gasket pressing protrusion. The gasket pressing projection is formed to protrude outward in the axial direction to the reference surface of the passage block (the bottom face of the recess formed in the joining surface). The concave portion is configured to protrude outward from the reference plane and is in close contact with the gasket to contribute to the seal. The gasket is preferably formed in an annular shape (a disc shape with holes) made of stainless steel, nickel alloy or the like.

수나사 부재는, 스테인리스강제(SUS304, SUS316 등)가 바람직하고, 통로 블록도 스테인리스강제(SUS304, SUS316 등)가 바람직하다.The male screw member is preferably stainless steel (SUS304, SUS316, etc.), and the passage block is preferably stainless steel (SUS304, SUS316, etc.).

(발명의 효과)(Effects of the Invention)

본 발명의 유체 제어 장치에 따르면, 상대적으로 제거의 빈도가 높은 유체 제어 기기와 제거의 빈도가 낮은 유체 제어 기기를 구별하여, 제거의 빈도가 높은 유체 제어 기기에 대해서는, 베이스 블록이 부착된 것으로 하여, 이것을 단독으로 상측으로 꺼낼 수 있게 하고, 제거의 빈도가 낮은 유체 제어 기기에 대해서는, 별도의 부재로서의 베이스 블록을 사용하지 않음으로써, 부품수의 저감이 가능하며, 조립도 용이해지고, 유체 제어 장치 전체적으로 종래보다 높은 레벨로 메인터넌스성과 조립성을 양립시킬 수 있다.According to the fluid control device of the present invention, a fluid control device having a relatively high frequency of removal and a fluid control device having a low frequency of removal are distinguished and a base block is attached to a fluid control device having a high frequency of removal. By using the base block as a separate member, it is possible to reduce the number of parts and to assemble the fluid control device. Overall, maintenance and assembly can be achieved at a higher level than the prior art.

도 1은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태를 도시한 종단면도이다.1 is a longitudinal sectional view showing a first embodiment of a fluid control device according to the present invention.

도 2는 도 1의 평면도이다.2 is a plan view of FIG. 1.

도 3은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시형태를 도시한 종단면도이다.3 is a longitudinal sectional view showing a second embodiment of a fluid control device according to the present invention.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉<Explanation of symbols for main parts of drawing>

1 : 유체 제어 장치 2 : 감압 밸브(제1 유체 제어 기기)1 fluid control device 2 pressure reducing valve (first fluid control device)

3, 5, 9, 10 : 베이스 블록 4 : 압력 표시기(제2 유체 제어 기기)3, 5, 9, 10: base block 4: pressure indicator (second fluid control device)

6, 7, 12 : 개폐 밸브 6a, 7a, 12a : 본체6, 7, 12: on-off valve 6a, 7a, 12a: main body

6b, 7b, 12b : 본체 6c, 7c, 12c : 돌출 블록부6b, 7b, 12b: main body 6c, 7c, 12c: protruding block portion

11 : 유량 조정기(제3 유체 제어 기기)11: flow regulator (third fluid control device)

17 : 상측으로부터의 수나사 부재17: Male thread member from the upper side

18 : 전후 방향으로부터의 수나사 부재18: Male thread member from the front-back direction

20 : 시일부(시일 수단) 33, 34 : 베이스 블록20: seal part (seal means) 33, 34: base block

(발명을 실시하기 위한 최적의 형태)(Optimal form for carrying out the invention)

본 발명의 실시형태를, 이하 도면을 참조하여 설명한다.Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제1 실시형태의 일부를 나타내고 있다.1 and 2 show a part of a first embodiment of a fluid control device according to the present invention.

이 유체 제어 장치(1)는, 반도체 제조 장치 등에 있어서 이용되는 것으로, 하단에 접속 블록부(2a)를 갖고 있는 감압 밸브(제1 유체 제어 기기)(2)와, 감압 밸브(2)를 지지하는 제1 베이스 블록(3)과, 감압 밸브(2)의 출구측(도면의 우측)에 인접하여 배치되고 하단에 접속 블록부(4a)를 갖고 있는 압력 표시기(제2 유체 제어 기기)(4)와, 압력 표시기(4)를 지지하는 제2 베이스 블록(5)과, 압력 표시기(4)의 출구측에 인접하여 배치되고 하측으로 베이스 블록(3, 5)과 동일한 레벨에 있는 본체(6a)가 일체로 형성된 제1 개폐 밸브(6)와, 제1 개폐 밸브(6)의 출구측에 인접하여 배치되고 제1 개폐 밸브(6)의 본체(6a)와 동일한 레벨에 있는 본체(7a)가 일체로 형성된 제2 개폐 밸브(7)와, 제2 개폐 밸브(7)의 본체(7a)의 출구측에 인접하여 배치된 제3 베이스 블록(9)과, 제3 베이스 블록(9)의 출구측에 소정 간격을 두고 대향형으로 배치된 제4 베이스 블록(10)과, 입구측(도면의 좌측) 및 출구측에 접속 블록부(11a, 11b)를 갖고 있고, 입구측 접속 블록부(11a)가 제3 베이스 블록(9)에, 출구측 접속 블록부(11b)가 제4 베이스 블록(10)에 각각 지지됨으로써 제3 및 제4 베이스 블록(9, 10)에 걸쳐 지지된 유량 조정기(제3 유체 제어 기기)(11)와, 제4 베이스 블록(10)의 출구측에 인접하여 배치되어 제4 베이스 블록(10)과 동일한 레벨에 있는 본체(12a)가 일체로 형성된 제3 개폐 밸브(12)를 구비하고 있다.This fluid control apparatus 1 is used in a semiconductor manufacturing apparatus etc., and supports the pressure reduction valve (1st fluid control apparatus) 2 and the pressure reduction valve 2 which have the connection block part 2a at the lower end. A pressure indicator (second fluid control device) 4 disposed adjacent to the first base block 3 and the outlet side (right side of the drawing) of the pressure reducing valve 2 and having a connection block portion 4a at the lower end thereof. ), The second base block 5 supporting the pressure indicator 4, and the main body 6a disposed adjacent to the outlet side of the pressure indicator 4 and at the same level as the base blocks 3 and 5 below. ) Is integrally formed with the first open / close valve 6 and the main body 7a disposed adjacent to the outlet side of the first open / close valve 6 and at the same level as the main body 6a of the first open / close valve 6. Is formed integrally with the second open / close valve 7, the third base block 9 disposed adjacent to the outlet side of the main body 7a of the second open / close valve 7, and the third base block ( The fourth base block 10 which is arranged in the opposite side at a predetermined interval on the outlet side of 9), and the connection block portions 11a and 11b on the inlet side (left side of the drawing) and the outlet side, and the inlet side connection The block portion 11a is supported by the third base block 9 and the outlet side connecting block portion 11b is supported by the fourth base block 10, respectively, so as to be supported over the third and fourth base blocks 9 and 10. The flow rate regulator (third fluid control device) 11 and the main body 12a which are disposed adjacent to the outlet side of the fourth base block 10 and at the same level as the fourth base block 10 are integrally formed. The third open / close valve 12 is provided.

상기에 있어서, 감압 밸브(제1 유체 제어 기기)(2), 압력 표시기(제2 유체 제어 기기)(4) 및 유량 조정기(제3 유체 제어 기기)(11)는 제거의 빈도가 상대적으로 높은 유체 제어 기기로서 취급되고 있어, 베이스 블록(3, 5, 9, 10)이 부착된 유체 제어 기기라고 되어 있다. 또한, 각 개폐 밸브(6, 7, 12)는 제거의 빈도가 상 대적으로 낮은 유체 제어 기기로서 취급되고 있어, 무베이스 블록 유체 제어 기기라고 되어 있다.In the above, the pressure reducing valve (first fluid control device) 2, the pressure indicator (second fluid control device) 4, and the flow regulator (third fluid control device) 11 have a relatively high frequency of removal. It is handled as a fluid control device, and is referred to as a fluid control device with base blocks 3, 5, 9, and 10 attached thereto. Moreover, each open / close valve 6, 7, 12 is handled as a fluid control device with relatively low frequency of removal, and is called a base block fluid control device.

제1 베이스 블록(3)에는 프로세스 가스를 감압 밸브(2)에 공급하기 위한 프로세스 가스 도입용 조인트(14)가 접속되어 있다. 제2 개폐 밸브(7)의 본체(7a)에는 퍼지 가스를 제2 개폐 밸브(7)에 공급하는 퍼지 가스 도입용 조인트(15)가 접속되어 있다. 제3 개폐 밸브(12)의 본체(12a)에는 프로세스 가스 및 퍼지 가스를 제3 개폐 밸브(12)로부터 배출하는 프로세스 가스 및 퍼지 가스 배출용 조인트(16)가 접속되어 있다.The first base block 3 is connected with a process gas introduction joint 14 for supplying process gas to the pressure reducing valve 2. A purge gas introduction joint 15 for supplying purge gas to the second on-off valve 7 is connected to the main body 7a of the second on-off valve 7. The main body 12a of the third open / close valve 12 is connected to a process gas and purge gas discharge joint 16 for discharging the process gas and the purge gas from the third open / close valve 12.

각 부품(2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 11, 12)의 조립시에는 상측으로부터의 수나사 부재(17)뿐만 아니라, 전후 방향(입구와 출구를 연결하는 방향으로서, 도면의 좌우 방향)으로부터의 수나사 부재(18)도 사용되고 있고, 또한, 통로 블록으로서의 각 베이스 블록(3, 5, 9, 10), 각 개폐 밸브(6, 7, 12)의 본체(6a, 7a, 12a) 및 각 유체 제어 기기(2, 4, 11)의 접속 블록부(2a, 4a, 11a, 11b)는 시일부(시일 수단)(20)를 통해 접합되어 있다. 각 베이스 블록(3, 5, 9, 10) 및 각 개폐 밸브(6, 7, 12)의 본체(6a, 7a, 12a) 내에 형성되어 있는 유체 통로는, 일단이 상측으로, 타단이 전후 어느 한쪽으로 개구되는 L자형을 기본으로 하고 있고, 각 베이스 블록(3, 5, 9, 10) 및 각 개폐 밸브(6, 7, 12)의 본체(6a, 7a, 12a) 사이의 접합부의 모두 5곳에는 전부 시일부(20)가 설치되어 있다.When assembling each of the parts 2, 3, 4, 5, 6, 7, 9, 10, 11, 12, not only the male screw member 17 from the upper side, but also the front-rear direction (as a direction connecting the inlet and the outlet, The male screw member 18 from the left-right direction of the figure is also used, and the main body 6a, 7a of each base block 3, 5, 9, 10 as each passage block, and each opening / closing valve 6, 7, 12 is shown. 12a and the connection block portions 2a, 4a, 11a, 11b of the fluid control devices 2, 4, 11 are joined via a seal portion (sealing means) 20. One end of the fluid passage formed in each of the base blocks 3, 5, 9, 10 and the main bodies 6a, 7a, 12a of the on / off valves 6, 7, 12 has an upper end and the other end is either before or after. It is based on the L-shape which is opened by the main body, and is connected to all five junctions between the base blocks 3, 5, 9, 10 and the main bodies 6a, 7a, 12a of each open / close valve 6, 7, 12. The seal part 20 is provided in all.

감압 밸브(2) 및 압력 표시기(4)(제1 및 제2 유체 제어 기기)와 이것에 대응하는 베이스 블록(3, 5)은 전후로 소정 간격을 둔 2곳에서 그 유체 통로(23, 24)끼 리가 접속되어 있고, 이것에 대응하여 감압 밸브(2) 및 압력 표시기(4)와 베이스 블록(3, 5) 사이에는 각각 전후로 소정 간격을 두고 2개의 시일부(20)가 설치되어 있다.The pressure reducing valve 2 and the pressure indicator 4 (first and second fluid control devices) and the corresponding base blocks 3 and 5 have their fluid passages 23 and 24 at two spaced intervals back and forth. The two seal parts 20 are provided between the pressure reducing valve 2, the pressure indicator 4, and the base blocks 3, 5 at predetermined intervals, respectively, before and after correspondingly.

상기한 유체 제어 장치(1)에 있어서, 감압 밸브(2), 압력 표시기(4) 및 유량 조정기(11) 등의 유체 제어 기기는, 상측으로부터의 수나사 부재(17)에 의해 하측에 있는 베이스 블록(3, 5, 9, 10)에 결합되어 있고, 이 수나사 부재(17)를 풂으로써, 유체 제어 기기(2, 4, 11) 단독으로 상측으로 꺼낼 수 있다. 각 개폐 밸브(6, 7, 12)는 일체로 설치된 본체(6a, 7a, 12a)가 전후 방향으로부터의 수나사 부재(18)에 의해 베이스 블록(3, 5, 9, 10)에 결합되어 있기 때문에, 유체 제어 기기(2, 4, 11)를 부착한 상태에서 이것을 제거하는 것은 불가능한 것으로 되어 있다. 이 결과, 개폐 밸브(6, 7, 12)를 단독으로 교환할 필요가 있는 경우에는, 유체 제어 장치(1) 전체를 분해할 필요가 있게 되어 그 수고가 커지지만, 개폐 밸브(6, 7, 12)는 감압 밸브(2), 압력 표시기(4) 및 유량 조정기(11) 등의 유체 제어 기기에 비하여 메인터넌스를 행하는 빈도는 적어서 좋고, 이들 유체 제어 기기(2, 4, 11)의 보수 점검시에 동시에 보수 점검을 행해 두면, 그 이외에 메인터넌스가 필요하게 되는 경우는 거의 없는 기기로 되어 있다.In the fluid control device 1 described above, the fluid control device such as the pressure reducing valve 2, the pressure indicator 4, and the flow regulator 11 is provided with a base block positioned below by the male screw member 17 from the upper side. (3, 5, 9, 10), and by removing this male screw member 17, the fluid control devices 2, 4, 11 can be taken out upwards alone. Since each of the opening and closing valves 6, 7, 12 is integrally provided with the base blocks 3, 5, 9, and 10 by the main body 6a, 7a, and 12a, which are integrally provided with the male screw member 18 from the front-rear direction. It is impossible to remove this in the state where the fluid control devices 2, 4, 11 are attached. As a result, when it is necessary to replace the on-off valves 6, 7, 12 independently, it is necessary to disassemble the whole fluid control apparatus 1, and the effort becomes large, but the on-off valves 6, 7, 12 are required. 12 may be less frequently maintained than the fluid control devices such as the pressure reducing valve 2, the pressure indicator 4, and the flow regulator 11, and at the time of maintenance inspection of these fluid control devices 2, 4, 11; If maintenance is performed at the same time, maintenance is required in other cases.

이렇게 해서, 이 유체 제어 장치(1)에 따르면, 교환의 빈도가 높은 유체 제어 기기(2, 4, 11)에 대해서는, 단독으로 상측으로부터 꺼낼 수 있는 것으로 함으로써 그 메인터넌스성을 높일 수 있고, 개폐 밸브(6, 7, 12)에 대해서는, 실질적으로 메인터넌스성을 저하시키지 않고 별도의 부재로서의 베이스 블록(3, 5, 9, 10) 을 사용하지 않음으로써, 부품수의 저감이 가능하며, 조립도 용이해지고, 유체 제어 장치(1) 전체적으로 종래보다 높은 레벨로 메인터넌스성과 조립성을 양립시킬 수 있다.In this way, according to the fluid control apparatus 1, the fluid control apparatuses 2, 4, and 11 with a high frequency of exchange can be taken out from the upper side alone, so that the maintainability can be improved, and the open / close valve Regarding (6, 7, 12), the number of parts can be reduced and assembly is easy by not using the base blocks 3, 5, 9, and 10 as separate members without substantially deteriorating maintenance. As a result, the whole of the fluid control apparatus 1 can maintain both maintainability and assemblability at a level higher than that of the related art.

도 3은 본 발명에 따른 유체 제어 장치의 제2 실시형태의 일부를 나타내고 있다.3 shows a part of a second embodiment of a fluid control device according to the present invention.

이 유체 제어 장치(1)는, 하단에 접속 블록부(2a)를 갖고 있는 감압 밸브(제1 유체 제어 기기)(2)와, 감압 밸브(2)의 절반부(도면의 좌측 절반부)를 지지하는 제1 베이스 블록(33)과, 감압 밸브(2)의 출구측(도면의 우측)에 인접하여 배치되고 하단에 접속 블록부(4a)를 갖고 있는 압력 표시기(제2 유체 제어 기기)(4)와, 한쪽 절반부(도면의 좌측 절반부)에서 감압 밸브(2)를, 다른 쪽 절반부(도면의 우측 절반부)에서 압력 표시기(4)를 지지하는 제2 베이스 블록(34)과, 압력 표시기(4)의 출구측에 인접하여 배치되고 하측에 베이스 블록(33, 34)과 동일한 레벨에 있는 본체(6b)가 일체로 형성되어 본체(6b)의 좌측 돌출 블록부(6c)에 의해 압력 표시기(4)의 우측 절반부를 지지하는 제1 개폐 밸브(6)와, 제1 개폐 밸브(6)의 출구측에 인접하여 배치되고 제1 개폐 밸브(6)의 본체(6b)와 동일한 레벨에 있는 본체(7b)가 일체로 형성되어 본체(7b)의 우측 돌출 블록부(7c)에 의해 유량 조정기(11)의 입구측 접속 블록부(11a)를 지지하는 제2 개폐 밸브(7)와, 제2 및 제3 개폐 밸브(7, 12)의 본체(7b, 12b)에 걸쳐 지지된 유량 조정기(제3 유체 제어 기기)(11)와, 유량 조정기(11)의 출구측에 인접하여 배치되고 하측에 베이스 블록(33, 34)과 동일한 레벨에 있는 본체(12b)가 일체로 형성되어 본체(12b)의 좌측 돌출 블록부(12c)에 의해 유량 조정기(11)를 지지하는 제3 개폐 밸브(12)를 구비하고 있다.The fluid control device 1 includes a pressure reducing valve (first fluid control device) 2 having a connection block portion 2a at its lower end, and a half portion (left half of the drawing) of the pressure reducing valve 2. A pressure indicator (second fluid control device) disposed adjacent to the first base block 33 to support and the outlet side (right side in the drawing) of the pressure reducing valve 2 and having a connection block portion 4a at the lower end ( 4) a second base block 34 supporting the pressure reducing valve 2 in one half (left half of the drawing) and the pressure indicator 4 in the other half (right half of the drawing); , The main body 6b disposed adjacent to the outlet side of the pressure indicator 4 and at the same level as the base blocks 33 and 34 is formed integrally with the left protruding block portion 6c of the main body 6b. The first on-off valve 6 supporting the right half of the pressure indicator 4 and the main body 6b of the first on-off valve 6 disposed adjacent to the outlet side of the first on-off valve 6. The second opening / closing valve 7 which integrally forms the main body 7b at the same level and supports the inlet side connection block 11a of the flow rate regulator 11 by the right projecting block 7c of the main body 7b. ), The flow regulator (third fluid control device) 11 supported over the main bodies 7b and 12b of the second and third on-off valves 7 and 12, and the outlet side of the flow regulator 11 And a body 12b at the same level as the base blocks 33 and 34 is integrally formed at the lower side to support the flow regulator 11 by the left protruding block portion 12c of the body 12b. The on-off valve 12 is provided.

이 실시형태에 있어서는, 각 유체 제어 기기(2, 4, 11) 및 각 개폐 밸브(6, 7, 12)의 액츄에이터 부분은 제1 실시형태와 동일하게 되어 있고, 베이스 블록(33, 34) 및 각 개폐 밸브(6, 7, 12)의 본체(6b, 7b, 12b)가 변경되어 있다.In this embodiment, the actuator portions of the respective fluid control devices 2, 4, 11 and the on / off valves 6, 7, 12 are the same as in the first embodiment, and the base blocks 33, 34 and The main bodies 6b, 7b, 12b of each open / close valve 6, 7, 12 are changed.

이 실시형태를 도 1에 도시된 제1 실시형태와 비교하면, 각 개폐 밸브(6, 7, 12)의 본체(6b, 7b, 12b)에 돌출 블록부(6c, 7c, 12c)가 형성되어 있고, 압력 표시기(4)의 우측 절반부가 제1 개폐 밸브(6)의 좌측 돌출 블록부(6c)에 의해, 유량 조정기(11)의 입구측 접속 블록부(11a)가 제2 개폐 밸브(7)의 우측 돌출 블록부(7c)에 의해, 유량 조정기(11)의 출구측 접속 블록부(11b)가 제3 개폐 밸브(12)의 좌측 돌출 블록부(12c)에 의해 각각 지지되어 있다. 또한, 제1 실시형태의 것에서는, L자형이 기본 통로 형상으로 되어 있었던 데 반하여, 제2 베이스 블록(34)에 형성되어 있는 유체 통로는 상측에 2개의 개구를 갖는 U자형으로 되어 있고, 또한, 각 개폐 밸브(6, 7, 12)의 본체(6b, 7b, 12b)에는 상측에 2개의 개구를 갖는 V자형 통로와, 일단이 상측으로 개구되고, 타단이 전후 어느 한쪽으로 개구되는 L자형 통로가 각각 형성되어 있다.Comparing this embodiment with the first embodiment shown in FIG. 1, the protruding block portions 6c, 7c, 12c are formed in the main bodies 6b, 7b, 12b of the on / off valves 6, 7, 12. In addition, the right half of the pressure indicator 4 is connected to the inlet side connecting block 11a of the flow rate regulator 11 by the left protruding block portion 6c of the first opening / closing valve 6. The outlet side connection block portion 11b of the flow regulator 11 is supported by the left protrusion block portion 12c of the third open / close valve 12, respectively, by the right protrusion block portion 7c of FIG. In addition, in the first embodiment, the L-shape has a basic passage shape, whereas the fluid passage formed in the second base block 34 has a U-shape having two openings on the upper side. The main bodies 6b, 7b, and 12b of the on / off valves 6, 7, and 12b each have a V-shaped passage having two openings at an upper side thereof, and an L-shaped opening at one end thereof at an upper side thereof, and the other end opening at either the front or the rear thereof. Passages are formed respectively.

이에 따라, 제2 실시형태의 유체 제어 장치(1)에 따르면, 제1 실시형태에 있어서 유량 조정기(11)를 지지하는 데 사용되고 있던 제3 및 제4 베이스 블록(9, 10)이 생략되어 베이스 블록(33, 34)의 수가 4개에서 2개로 감소하고 있고, 각 베이스 블록(33, 34) 및 각 개폐 밸브(6, 7, 12)의 본체(6b, 7b, 12b) 사이의 접합부 에서 사용되는 시일부(20)의 수가 5곳에서 1곳으로 감소하고 있다.Accordingly, according to the fluid control apparatus 1 of the second embodiment, the third and fourth base blocks 9 and 10 which are used to support the flow regulator 11 in the first embodiment are omitted, and the base The number of blocks 33, 34 is decreasing from four to two, and is used at the junction between the base blocks 33, 34 and the main body 6b, 7b, 12b of each open / close valve 6, 7, 12. The number of seal portions 20 to be reduced from five to one.

제2 실시형태의 유체 제어 장치(1)에 따르면, 제1 실시형태의 것과 마찬가지로, 교환의 빈도가 높은 유체 제어 기기(2, 4, 11)에 대해서는, 단독으로 상측으로부터 꺼낼 수 있는 것으로 함으로써 그 메인터넌스성을 높일 수 있고, 개폐 밸브(6, 7, 12)에 대해서는, 실질적으로 메인터넌스성을 저하시키지 않고, 별도의 부재로서의 베이스 블록(33, 34)을 사용하지 않음으로써, 부품수의 저감이 가능하며, 조립도 용이해지고, 유체 제어 장치(1) 전체적으로 종래보다 높은 레벨로 메인터넌스성과 조립성을 양립시킬 수 있다.According to the fluid control device 1 of the second embodiment, similarly to the first embodiment, the fluid control devices 2, 4, 11 having a high frequency of exchange can be taken out from the upper side alone. Maintainability can be improved, and for the opening / closing valves 6, 7, 12, the maintenance of a maintenance part is not carried out substantially, and the base block 33, 34 as a separate member is not used, and the number of parts can be reduced. It is possible to assemble and to facilitate the assembly, and the maintenance and assembly property can be achieved at a level higher than that of the conventional fluid control apparatus 1 as a whole.

부품 개수 삭감 및 조립 작업 효율의 향상이 도모되기 때문에, 반도체 제조 장치 등에 사용되는 유체 제어 장치에 적용함으로써, 반도체 제조 장치 등의 성능향상에 기여할 수 있다.Since the reduction of the number of parts and the improvement of the assembly work efficiency can be achieved, it can contribute to the performance improvement of a semiconductor manufacturing apparatus etc. by applying to the fluid control apparatus used for a semiconductor manufacturing apparatus etc.

Claims

A fluid control device comprising a plurality of fluid control devices, a base block for supporting the fluid control device, and sealing means for securing sealability at portions where the fluid passages are joined.

One or more of the plural kinds of fluid control devices have a connection block portion provided with a passage opening to the lower surface, and a fluid having a base block coupled to the one or a plurality of base blocks disposed below by a male screw member from an upper side thereof. It is a control device, and other than a plurality of types of fluid control devices is a non-base block fluid control device in which the lower surface of the main body is closed and the base block is not disposed downward. And a main body of the base block and the base block-free fluid control device arranged on the lower side are joined by male screw members from the front-rear direction so that the lower surfaces thereof are flush with each other.

The method of claim 1,

The base block fluid control device is an on-off valve, and the fluid control device with the base block attached is any one of a pressure regulator, a filter, a pressure indicator, and a flow regulator.

The method of claim 1,

The fluid control device to which the base block is attached is attached to only one base block by the male screw member from the upper side, whereby the fluid control device can be handled separately as the base block is attached. .

The method of claim 1,

And a protruding block portion supporting a portion of the fluid control device to which the adjacent base block is attached to the body of the one or more base block fluid control devices.