KR20030042575A - Manufacturing apparatus utilizing tool arrays with various functions - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치에 관한 것으로서 평면과 곡면, 또는 그들의 조합으로 구성된 3차원 형상의 몸체에 가공물 표면을 공작, 증착, 변환, 및 검사 등의 기능을 갖는 기계유닛들을 배열 구성함으로써, 자동차 실린더의 보어(bore)면과 같은 개구면이나 정밀기계 부품의 내외측면, 또는 광학기기의 표면 등의 어떠한 3차원적 가공물 표면에서도 해당 작업을 수행할 수 있는 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치에 관한 것이다.The present invention relates to a machine tool device using an arrangement of work tool units. Machine units having functions such as machining, depositing, converting, and inspecting a workpiece surface on a three-dimensional shape body composed of a flat surface, a curved surface, or a combination thereof are provided. By arranging, an arrangement of work tool units capable of performing the corresponding work on any three-dimensional workpiece surface such as an opening surface such as a bore surface of an automobile cylinder, an inside and an outside surface of a precision mechanical component, or a surface of an optical device. It relates to a machine tool device using.
일반적으로 광학기기 표면이나 크게 굴곡이 진 곡면을 기계적으로 연마, 연삭 작업하기 위해서는 이들 곡면에 최적화된 상태로 공구 및 작업물을 회전시키거나, 공구를 곡면에 맞게 배치함으로써 작업을 수행하여야 한다.In general, in order to mechanically grind and grind the surface of an optical device or a curved surface that is largely curved, the work must be performed by rotating a tool and a workpiece or by arranging the tool according to the curved surface.
보통은 공구가 회전하는 회전축을 공전시키고, 작업물을 x, y, 및 z 축으로 이송하며 연마 및 연삭 작업을 수행하게 되나, 이를 위해서는 상기 공구의 회전축을 공진시키기 위하여 작업물보다 매우 큰 거대한 기계장치를 필요로 한다.Normally, the tool rotates around the axis of rotation, transfers the workpiece to the x, y, and z axes and performs grinding and grinding operations, but this is a huge machine that is much larger than the workpiece to resonate the axis of rotation of the tool. Needs a device.
한편, 상기한 방법과는 다르게, 여러 개의 작업요소를 배치함으로써, 연마 공구를 회전할 필요 없이 작업하는 경우도 있는데, 이는 도 1에서 도시하는 바와 같이, 회전하는 작업물(1) 위에 접촉하여 하측에 다수개의 연마 패드(3)가 부착되는 유동막(2)이 위치하고, 그 위에 에어 베어링(6)이 연결된 액츄에이터(5)가 브리지(8)에 삽입되어 구성되어, 상기 유동막(2)에 연결된 좌측의 선형모터(4a)와, 상기 브리지(8)의 좌우측에 연결된 선형모터(7)의 작동에 의하여, 상기 브리지(8)가 좌우로 이송되며 상기 연마 패드(3)에 의하여 작업물(1)을 연마하게 된다.On the other hand, unlike the above-described method, by arranging a plurality of work elements, there is a case in which the work without the need to rotate the abrasive tool, which is shown in Figure 1, the lower side in contact with the rotating workpiece (1) A fluid membrane 2 to which a plurality of polishing pads 3 are attached is located, and an actuator 5 to which an air bearing 6 is connected is inserted into the bridge 8, and the fluid membrane 2 is connected to the fluid membrane 2. By the operation of the linear motor 4a on the left side connected and the linear motor 7 connected to the left and right sides of the bridge 8, the bridge 8 is transferred from side to side and the workpiece ( 1) to be polished.
그러나 상기와 같은 종래의 연마장치에서는 유동막 위에 위치하여 이송되어 작업을 수행하는 각 액츄에이터 유닛들이 독립적으로 가공 작업을 수행할 능력이 없으며, 따라서 이 유닛들을 이송시키기 위한 큰 기계장치가 필요하고, 더욱이 작업물을 회전시키는 별도의 장치가 필요한 단점이 있다.However, in the conventional polishing apparatus as described above, each of the actuator units located on the fluidized film and transported to perform the work is not capable of performing the machining work independently, thus requiring a large mechanical device for transporting these units. The disadvantage is that a separate device for rotating the workpiece is required.
또한, 오직 연마 및 미세 연삭 작업만이 가능하며, 거친 연삭이나 기타 다른 작업은 수행할 수가 없고, 실린더의 내면과 같은 곡률이 큰 표면은 작업이 불가능한 문제점이 있었다.In addition, only grinding and fine grinding operations are possible, and rough grinding or other operations cannot be performed, and a large curvature surface such as an inner surface of a cylinder has a problem that cannot be performed.
본 발명은 상기의 결점을 해소하기 위한 것으로, 자동차 실린더의 보어(bore)면과 같은 개구면이나 정밀기계 부품의 내외측면, 또는 광학기기의 표면 등의 어떠한 3차원적 가공물 표면에서도 해당 작업을 수행할 수 있는 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치를 제공하고자 한다.The present invention is to solve the above-mentioned drawbacks, the operation is performed on any three-dimensional workpiece surface, such as the opening surface, such as the bore surface of the automobile cylinder, the inner and outer sides of the precision mechanical components, or the surface of the optical equipment To provide a machine tool device using an arrangement of work tool units that can be.
이러한 본 발명은 평면과 곡면, 또는 그들의 조합으로 구성된 3차원 형상의 몸체에 가공물 표면을 공작, 증착, 변환, 및 검사 등의 기능을 갖는 작업공구유닛들을 배열하여 구성함으로써 달성된다.This invention is achieved by arranging work tool units having functions such as work, deposition, conversion, and inspection on a workpiece surface in a three-dimensional body composed of a plane and a curved surface, or a combination thereof.
도 1은 종래의 광학기기 연마장치를 나타내는 측단면도,1 is a side cross-sectional view showing a conventional optical device polishing apparatus,
도 2는 본 발명의 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치의2 is a machine tool device using the arrangement of the work tool unit of the present invention.
제1실시예를 나타내는 개략 사시도,A schematic perspective view showing a first embodiment,
도 3은 본 발명의 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치의3 is a machine tool device using the arrangement of the work tool unit of the present invention.
제2실시예를 나타내는 개략 사시도,A schematic perspective view showing a second embodiment,
도 4는 본 발명의 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치의4 is a machine tool device using the arrangement of the work tool unit of the present invention.
제3실시예를 나타내는 개략 사시도.A schematic perspective view showing a third embodiment.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
10 : 몸체 11 : 회전축10 body 11 rotation axis
21 : 연삭기계유닛 22 : 연마기계유닛21: grinding machine unit 22: grinding machine unit
20 : 작업공구유닛20: work tool unit
본 발명의 실시예를 첨부 도면을 참고하여 상세히 설명하면 다음과 같다.An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명은 평면 또는 곡면 혹은 그들의 합성면을 갖는 어떠한 3차원적 몸체(10) 위에 다양한 작업기능을 가진 작업공구유닛(20)들을 배열하여 작업물을 독립적으로 또는 연속적으로 가공하는 것을 그 기술상의 특징으로 한다.The technical feature of the present invention is to arrange work tool units 20 having various work functions independently or continuously on any three-dimensional body 10 having a flat or curved surface or a composite surface thereof. It is done.
상기 몸체(10)의 형상으로는 원통형, 삼각, 사각 등의 다각기둥, 럭비공 형상, 원뿔, 삼각, 사각 등의 각뿔 형상 등 어떠한 형상으로 하여도 관계없고, 해당 작업의 성질에 따라 최적의 형상을 채택하면 된다.The shape of the body 10 may be any shape such as a polygonal column such as a cylinder, a triangle, a square, a rugby ball shape, a cone shape such as a cone, a triangle, a square, and the like, and an optimum shape according to the nature of the work. This can be adopted.
이하, 구체적인 실시예는 원통형 몸체, 또는 판형 몸체를 이용한 연마, 연삭 결합기능을 예로 들어 설명한다.Hereinafter, a specific embodiment will be described taking the grinding, grinding coupling function using a cylindrical body, or a plate-shaped body as an example.
도 2는 본 발명의 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치의 제1실시예를 나타내는 개략 사시도로서, 본 발명은, 중심부에 회전축(11)이 설치되며, 원통형으로 형성되는 몸체(10)와; 상기 몸체(10)의 일측단으로부터 원주 방향을 따라 바깥 방향을 향하여 일정 간격으로 적어도 한 열 이상 설치되는 작업공구유닛(20)으로 구성되어, 실린더 보어면과 같은 개구면(A)에 삽입되어 연마 및 연삭하도록 하는 것을 그 기술상의 특징으로 한다.Figure 2 is a schematic perspective view showing a first embodiment of a machine tool device using the arrangement of the work tool unit of the present invention, the present invention, the rotating shaft 11 is installed in the center, the body 10 and formed in a cylindrical shape; ; It consists of a work tool unit 20 is installed at least one row at a predetermined interval from the one end of the body 10 toward the outside in the circumferential direction, inserted into the opening surface (A), such as the cylinder bore surface and polished And grinding to be characterized by the technical features.
도 3은 본 발명의 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치의 제2실시예를 나타내는 개략 사시도로서, 내측이 비어있는 원통각 형상으로 형성되는 몸체(10)와; 상기 몸체(10)의 일측단으로부터 원주 방향을 따라 공구가 상기 몸체(10)의 내측 방향을 향하도록 일정 간격으로 적어도 한 열 이상 설치되는 작업공구유닛(20)으로 구성되어, 상기 몸체(10)의 내측에 작업물(B)을 삽입하여 회전시키면서 작업할 수 있도록 함을 그 기술상의 특징으로 한다.Figure 3 is a schematic perspective view showing a second embodiment of a machine tool device using the arrangement of the work tool unit of the present invention, the body 10 is formed in a hollow cylindrical shape of the inside; Consists of a work tool unit 20 is installed at least one row at a predetermined interval so that the tool is in the circumferential direction from one side end of the body 10 toward the inner direction of the body 10, the body 10 The technical feature is that the work (B) to be inserted into the inside of the work while rotating.
상기 도 2 및 도 3에서, 상기 작업공구유닛(20)은 일례로 연삭기계유닛(21)과, 상기 연삭기계유닛(21)에 이웃하여 상기 몸체(10)의 원주 방향을 따라 바깥 방향을 향하여 일정 간격으로 적어도 한 열 이상 설치되는 연마기계유닛(22)으로 구성함으로써, 해당 작업면을 이동하면서 연삭 작업과 연마 작업을 동시에 수행할 수 있도록 한다(몸체(10)를 따라 배열된 작은 원통은 모두 작업공구유닛(20)을 의미함.)2 and 3, the work tool unit 20 is, for example, adjacent to the grinding machine unit 21 and the grinding machine unit 21, and is directed outward along the circumferential direction of the body 10. Comprising the polishing machine unit 22 is installed at least one row at a predetermined interval, so that the grinding operation and the polishing operation can be performed at the same time while moving the work surface (all small cylinders arranged along the body 10 It means work tool unit 20.)
또한, 도 4는 본 발명의 작업공구유닛의 배열을 이용한 공작기계장치의 제3실시예를 나타내는 개략 사시도로서, 본 발명은, 중심부에 회전축(11)이 설치된 판형의 몸체(10)와; 상기 몸체(10)를 관통하여 상기 중심부에 대하여 원주방향 또는 상기 중심부로부터 방사상 패턴으로 적어도 한 열 이상 설치되는 작업공구유닛(20)으로 구성되어, 판형 또는 렌즈 및 거울형상의 완곡한 곡면을 가지는 물체(C) 등의 표면을 작업할 수 있도록 함을 그 기술상의 특징으로 한다.In addition, Figure 4 is a schematic perspective view showing a third embodiment of the machine tool device using the arrangement of the work tool unit of the present invention, the present invention includes a plate-shaped body 10 provided with a rotating shaft 11 in the center; An object having a curved surface formed in the form of a plate or a lens and a mirror, the work tool unit 20 being installed in at least one row in a radial pattern from the center in the circumferential direction or through the body 10. It is a technical feature to make it possible to work on surfaces such as (C).
한편, 상기 작업공구유닛(20)은 상기 몸체와 부착되는 부분에, 선형 액츄에이터(미도시)와, 상기 액츄에이터의 하측에 설치되며, 그 하부에 위치하는 작업물에 가하는 힘을 모니터하기 위한 로드 셀 또는 압전 동력계로 이루어지는 힘 센서(미도시)로 구성되어, 상기 몸체(10)에 대한 작업공구유닛(20)의 작업공구의 깊이를 조절 가능하도록 함으로써, 상기 제1실시예인 경우에는 작업하려는 개구면(A)의 크기가 작을 경우에는 상기 작업공구유닛(20)의 설치 깊이를 내측으로 조절하여 개구면(A)에 삽입한 후에, 다시 그 깊이를 조절하여 적정한 위치에서 작업을 행할 수 있다.On the other hand, the work tool unit 20 is a linear actuator (not shown) and the load cell for monitoring the force applied to the workpiece located below the actuator, the portion which is attached to the body, the actuator and not shown Or a force sensor (not shown) made of a piezoelectric dynamometer, so that the depth of the work tool of the work tool unit 20 with respect to the body 10 can be adjusted, so that the opening surface to be worked in the first embodiment When the size of (A) is small, the installation depth of the work tool unit 20 is adjusted inward and inserted into the opening surface A, and then the depth can be adjusted to perform work at an appropriate position.
상기 제2실시예의 경우에는 상기 몸체(10)의 내측에 삽입되어 작업되는 작업물(B)의 크기에 따라서 적정위치로 상기 작업공구유닛(20)의 설치 깊이를 조절하여 작업을 행하는 것이며, 제 3실시예의 경우에도 작업하려는 물체(C)의 표면의 형상에 따라서 적정위치로 작업공구유닛(20)의 깊이를 조절하여 작업할 수 있는 것이다.In the case of the second embodiment is to perform the operation by adjusting the installation depth of the work tool unit 20 to an appropriate position according to the size of the work (B) is inserted into the inside of the body (10), Even in the third embodiment, it is possible to work by adjusting the depth of the work tool unit 20 to an appropriate position according to the shape of the surface of the object (C) to be worked.
이하, 상기 도 2 내지 도 4를 참고하여 본 발명의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation and effects of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 4.
본 발명의 작업공구유닛(20)으로는 상기 연삭기계유닛(21) 및 연마기계유닛(22) 외에도, 공작기능, 증착기능, 변형, 변질기능, 또는 검사, 측정기능 등을 수행할 수 있는 가공도구유닛 중 어느 하나 또는 그 이상을 선택적으로 배열함으로써, 해당 공정을 연속적으로 수행할 수 있다.As the work tool unit 20 of the present invention, in addition to the grinding machine unit 21 and the grinding machine unit 22, a machining function which can perform a work function, a deposition function, a deformation, a deterioration function, an inspection, a measurement function, and the like. By selectively arranging any one or more of the tool units, the process can be carried out continuously.
즉, 일례로, 연삭기계유닛(21)과 연마기계유닛(22)을 이웃하여 배열하고, 그에 이웃하여 측정을 위한 검사기계유닛(미도시)을 배열하여 작업하는 경우에는, 연삭 작업 및 연마 작업이 이루어지고, 그 후에 작업한 공간을 측정하는 작업까지 연속적으로 이루어질 수 있는 것이며, 이는 상기한 공작기능, 증착기능, 변형, 변질기능, 또는 검사, 측정기능 등을 수행할 수 있는 가공도구유닛에도 그대로 적용될 수 있다.That is, for example, in the case where the grinding machine unit 21 and the grinding machine unit 22 are arranged adjacent to each other, and the inspection machine unit (not shown) for measurement is arranged adjacent thereto, the grinding operation and the grinding operation are performed. This can be done continuously after the work to measure the working space, which is also a machining tool unit capable of performing the above-described machining function, deposition function, deformation, deterioration function, inspection, measurement function, etc. It can be applied as is.
이하, 상기 도 2 내지 도 4에서 도시하는, 연삭기계유닛(21)과 연마기계유닛(22)을 배열하여 장착한 상태를 중심으로 각 실시예 별로, 본 발명의 작용 및 효과를 설명한다.Hereinafter, the operation and effect of the present invention will be described for each embodiment, with a focus on the state in which the grinding machine unit 21 and the grinding machine unit 22 are arranged and mounted as shown in FIGS. 2 to 4.
먼저, 도 2에서 도시하는 제1실시예의 경우에는 우선, 실린더 블록의 보어면과 같은 개구면(A)에 본 발명의 공작기계장치의 일측단을 삽입한다. 이때, 개구면(A)이 작을 경우에는 상기 작업공구유닛(20)을 내측(중심축 방향)으로 이동시켜 용이하게 삽입이 될 수 있도록 한다.First, in the case of the first embodiment shown in FIG. 2, one side end of the machine tool of the present invention is first inserted into an opening surface A such as a bore surface of a cylinder block. At this time, when the opening surface (A) is small to move the work tool unit 20 to the inside (center axis direction) to be easily inserted.
더욱이 개구면(A)의 크기가 깊이에 따라 변화된다 하더라도, 상기 액츄에이터를 작동하여 작업공구유닛(20)을 내외측으로 이동하여, 그 해당 작업면을 따라 작업할 수 있는 것이다.Furthermore, even if the size of the opening surface A changes with the depth, the actuator can be operated to move the work tool unit 20 inwards and outwards, and work along the corresponding working surface.
도 2에서는 일측단에 연삭기계유닛(21)이 3열 배치되고, 그에 이웃하여 연마기계유닛(22)이 2열 배치되어있는 상태를 도시하고 있다.In FIG. 2, three rows of grinding machine units 21 are arranged at one end, and two rows of grinding machine units 22 are adjacent to each other.
따라서, 상기 개구면(A)에 연삭기계유닛(21)이 삽입되면서 연삭 작업이 이루어지고, 이후에 연마기계유닛(22)이 잇따라 삽입되면서 상기 연삭 작업이 이루어진 표면에 연마 작업을 행하게 되는 것이다.Therefore, the grinding operation is performed while the grinding machine unit 21 is inserted into the opening surface A, and the grinding machine unit 22 is subsequently inserted to perform the grinding operation on the surface of the grinding operation.
다음, 제2실시예를 도시하는 도 3에서는 일측단에 연삭기계유닛(21)이 내측으로 3열 배치되고, 그에 이웃하여 연마기계유닛(22)이 3열 배치되어있는 상태를 도시하고 있다.3 shows a state in which three rows of grinding machine units 21 are arranged inward at one side end, and three rows of grinding machine units 22 are arranged adjacent thereto.
이 경우에는 먼저, 상기 연삭기계유닛(21)의 위치를 작업물(B)의 크기에 맞게 조절한 후에, 몸체(10)의 내측으로 작업물(B)을 삽입하며 작업을 진행하게 된다.In this case, first, after adjusting the position of the grinding machine unit 21 to the size of the work (B), the work (B) is inserted into the body 10 to proceed with the work.
즉, 먼저 상기 연삭기계유닛(21)에 의하여 연삭 작업이 수행되고, 상기 작업물(B)을 화살표 방향으로 보다 깊이 삽입하면서 연마기계유닛(22)에 의하여 연마 작업도 수행되게 되는 것이다.That is, the grinding operation is first performed by the grinding machine unit 21, and the polishing operation is also performed by the grinding machine unit 22 while inserting the workpiece B deeper in the direction of the arrow.
마지막으로 제3실시예를 도시하는 도 4의 경우에는 판형의 몸체(10)에 작업공구유닛(20)이 설치되어, 렌즈나 거울면 등의 광학기계 표면을 연삭 및 연마할 수 있으며, 반도체 웨이퍼의 표면 등 정밀한 연삭 및 연마가 필요한 표면을 작업할 수 있는 것이다.Finally, in the case of FIG. 4 showing the third embodiment, the work tool unit 20 is installed in the plate-shaped body 10 to grind and polish the surface of an optical machine such as a lens or a mirror surface, and a semiconductor wafer. Surfaces that require precise grinding and polishing can be worked on.
상기한 바와 같이, 액츄에이터와 힘 센서를 이용하여 해당 표면에 적합한 상태로 접촉하여 작업이 가능하므로 평면이 아닌 렌즈면과 같은 굽은 면도 작업이 가능하며, 곡률반경이 작은 크게 굽은 면도 자유롭게 작업이 가능한 것이다.As described above, it is possible to work by contacting the surface in a suitable state using the actuator and the force sensor, so that it is possible to perform a curved shaving such as a lens surface rather than a flat surface, and to perform a large curved shaving with a small curvature radius. .
이상과 같은 본 발명은 평면과 곡면, 또는 그들의 조합으로 구성된 3차원 형상의 몸체에 가공물 표면을 공작, 증착, 변환, 및 검사 등의 기능을 갖는 기계유닛들을 배열하여 구성함으로써, 자동차 실린더의 보어(bore)면과 같은 개구면이나 정밀기계 부품의 내외측면, 또는 광학기기의 표면 등의 어떠한 3차원적 가공물 표면에서도 해당 작업을 수행할 수 있는 효과가 있는 발명인 것이다.As described above, the present invention comprises a bore of an automobile cylinder by arranging a machined surface having functions such as machining, deposition, conversion, and inspection on a workpiece surface on a three-dimensional body composed of a flat surface, a curved surface, or a combination thereof. It is an invention that has the effect that the operation can be performed on any three-dimensional workpiece surface, such as the opening surface, such as bore) surface, the inner and outer surfaces of the precision mechanical components, or the surface of the optical equipment.
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