KR20030018975A - Fiber surface modificating apparatus and thereof method by using plasma in low temperature and pressure - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An apparatus and method for modifying the surface of a fiber by introducing gas on the fiber surface to be treated or coating a polymerizable monomer in vapor phase is provided. Therefore, the apparatus is simple in structure and easy to install, the method reduces the cost of production by use of microwave and pulse power. CONSTITUTION: The fiber surface modifying apparatus comprises: a vacuum chamber(1) connected to a connection path(1a); a constant speed motor(7) and clutch brake(21) each installed on an axis of a roller with a sample(6) to cause the sample to be wound or unwound on the roller; a magnetron(2) disposed in the longitudinal direction thereof on the periphery of the connection path; a quartz(17) and waveguide path(16) for uniformly guiding oscillated electromagnetic waves into the interior of the connection path; a power supply(3) for applying high voltage; a vacuum pump(5) installed on one side of the vacuum chamber; and a gas supply tank(8) and monomer storage tank(9) for pouring plasma atmospheric gas and a polymerizable monomer into the interior of the connection path.

Description

저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 장치 및 그 방법{FIBER SURFACE MODIFICATING APPARATUS AND THEREOF METHOD BY USING PLASMA IN LOW TEMPERATURE AND PRESSURE}FIBER SURFACE MODIFICATING APPARATUS AND THEREOF METHOD BY USING PLASMA IN LOW TEMPERATURE AND PRESSURE}

본 발명은 섬유원단을 진공상태에서 자동으로 속도 제어하여 대면적, 대용량처리가 가능하도록 함과 동시에 처리하고자 하는 섬유표면에 가스를 투입하거나 중합용 단량체를 기상(기체상태)으로 도포 처리하여 친수, 소수, 정전, 대전, 염색성, 방습성, 방수성 등에 맞게 섬유표면을 물리화학적으로 개질시키고 섬유제품에 기능성을 부여할 수 있도록 한 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 장치 및 그 방법에 관한 것이다.In the present invention, the fiber fabric is automatically controlled in a vacuum state to enable large area and large capacity treatment, and at the same time, gas is applied to the surface of the fiber to be treated, or a polymerization monomer is applied in a gaseous phase (gas state) to produce hydrophilic, The present invention relates to a fiber surface modification apparatus and method using low temperature and low pressure plasma to physically modify the surface of the fiber in accordance with hydrophobicity, static electricity, charging, dyeing, moisture resistance, waterproofness, and the like to impart functionality to the textile product.

최근의 생활수준 향상 및 기술발전은 섬유제품에 대한 소비자의 욕구를 더욱 다양화시키고 있다.Recent improvements in living standards and technological developments have further diversified consumer needs for textile products.

예컨대, 물이 묻지 않는 발수기능의 섬유제품, 먼지가 잘 붙지 않는 정전특성이 있는 섬유제품, 물을 잘 묻게 하는 흡수가공된 섬유제품, 향기를 발하는 방향가공된 섬유제품, 땀은 통과하고 빗물이 들어오지 않게 하는 투습방수가공된 섬유제품 등과 같은 것을 들 수 있다.For example, water-repellent textile products, water-resistant textile products that do not stick to dust, water-absorbed textile products that absorb water well, fragrance-oriented textile products, sweat passing through and rainwater And the like, which are made of moisture-permeable waterproof textile products which do not enter.

이러한 특성들을 내기 위해서는 통상 많은 양의 화학약품과 물을 사용하게 되므로 그에 따른 다량의 폐수와 유해가스를 유발하여 인체에 치명적인 피해를 주게 되고, 또한 이를 처리하기 위한 환경적 부담이 증대되게 된다.In order to produce these characteristics, a large amount of chemicals and water are usually used, thereby causing a large amount of wastewater and harmful gases, which may cause fatal damage to the human body, and also increase an environmental burden for treating them.

따라서, 폐수나 유해가스를 발생하지 않고 환경친화적인 다양한 섬유 표면개질 방법들이 요구되었으며, 일예로 RF플라즈마를 이용한 방법(국내특허출원 제1986-699호, 제1991-11576호, 일보공개특허 소59-223363호); 플라즈마 처리에 의한 단량체를 그라프트 공중합시키는 방법(국내특허출원 제1986-8905호); 화학적인 처리방법; 플라즈마 이온주입방법(국내특허출원 제1996-10740호) 및 대기압 코로나방전 처리하는 방법 등이 공개되어 있다.Therefore, various environmentally friendly fiber surface modification methods have been required without generating waste water or harmful gases, and for example, methods using RF plasma (Domestic Patent Application Nos. 1986-699, 1991-11576, and Ilbo Publication No. 59). -223363); Graft copolymerization of monomers by plasma treatment (Domestic Patent Application No. 1986-8905); Chemical treatment method; The plasma ion implantation method (Domestic Patent Application No. 1996-10740), the atmospheric pressure corona discharge treatment method, etc. are disclosed.

RF플라즈마를 이용한 방법은 진공챔버 내부에 일정한 간격을 둔 방전극(-)과 대향전극(+) 사이에 섬유를 넣고 가스를 투입하여 플라즈마를 발생시켜 섬유표면을 개질하는 방법으로서 처리물 크기에 따라 다르지만 일반적으로 고주파출력 100~300W, 주파수 13.56MHz, 압력 1~3 Torr, 처리시간 3~7분정도 소요된다.The method using RF plasma is a method of modifying the fiber surface by inserting fibers between the discharge electrodes (-) and the counter electrodes (+) at regular intervals inside the vacuum chamber and generating gas by injecting gas. Generally, high frequency output 100 ~ 300W, frequency 13.56MHz, pressure 1 ~ 3 Torr, processing time 3 ~ 7 minutes are required.

단량체 그라프트 공중합방법은 아크릴산이나 메타아크릴산, 아릴아민, 아릴알콜, 2-비닐피리딘, 4-비닐피리딘, 아크릴로니트릴 등을 도포하여 피처리물의 표면에다 비교적 우수한 박막을 형성시킬 수 있는 기술이며, 화학적 처리방법은 화학반응으로 섬유표면에 형성되는 관능기를 예측할 수 있는 장점을 가진다.Monomer graft copolymerization method is a technique that can form a relatively excellent thin film on the surface of the workpiece by applying acrylic acid, methacrylic acid, arylamine, aryl alcohol, 2-vinylpyridine, 4-vinylpyridine, acrylonitrile, Chemical treatment has the advantage of predicting the functional groups formed on the fiber surface by chemical reaction.

플라즈마 이온주입방법은 표면이하 깊은 층까지 개질시킬 수 있는 방법으로서 플라즈마 발생을 위한 RF전력은 200W 이며, 펄스-오프시전압 0V~1Kv, 펄스주파수 10Hz~500KHz가 인가될 때 시료와 접지체 사이에 형성되는 강한 전기장을 이용하는 방법이다.Plasma ion implantation is a method that can reform the sub-surface deep layer. The RF power for plasma generation is 200W, and when the pulse-off voltage 0V ~ 1Kv and pulse frequency 10Hz ~ 500KHz are applied, It is a method using a strong electric field formed.

대기압 코로나방전을 이용한 처리방법은 표면 처리하고자 하는 섬유를 롤방식 혹은 콘베이어 방식으로 회전 또는 이동시켜 설정된 처리조건(온도, 이동속도, 방전전력, 가스혼합비)을 입력하면 운용프로그램에 의해 모든 공정이 자동으로 이루어지도록 하고 대량처리시에도 균질한 섬유표면 개질효과를 얻을 수 있는 방법이다.Atmospheric pressure corona discharge treatment method is to rotate or move the fiber to be surface treated in a roll or conveyor method and input the set treatment conditions (temperature, moving speed, discharge power, gas mixture ratio) and all processes are automatically executed by the operating program. It is a method to achieve a homogeneous fiber surface modification effect even in the case of mass processing.

그러나, 이들 공개된 방법들은 다음과 같은 문제를 가진다.However, these published methods have the following problem.

섬유표면을 개질 강화하는 RF플라즈마 처리방법의 경우에는 진공상태의 밀폐된 공간에 일정한 간격을 둔 애노드와 캐소드의 전극구조 배치상에 어려움이 있고, 플라즈마 발생시 진공챔버 내부 부하의 임피던스 변동에 따른 출력단과 입력단의 반사를 줄이기 위한 임피던스 매칭박스가 요구되며, 진공챔버의 진공도, 저항, 표면적, 접지방식 등의 변화에 따라 임피던스의 변화가 심할경우 플라즈마가 안정적으로 발생하지 않고, 처리품에 손상을 입힐 수 있다는 문제가 있다.In the case of RF plasma treatment method for modifying and strengthening the fiber surface, it is difficult to arrange the electrode structure of anode and cathode at regular intervals in a closed space in a vacuum state. Impedance matching box is required to reduce the reflection of the input stage. Plasma does not occur stably if the impedance change is severe due to the change of vacuum degree, resistance, surface area, and grounding method of the vacuum chamber. There is a problem.

또한, 그라프트 공중합방법의 경우에는 교류 60Hz, RF 13.56MHz를 사용해야 하므로 상술한 바와 같이 전극구조의 배치가 복잡하고 입력단과 출력단의 반사 때문에 매칭박스가 요구되며, 플라즈마가 안정적이지 못해 처리품에 손상을 입힐 수 있고, 화학적 처리방법의 경우에는 처리 공정이 번거롭고 오염물질인 폐기액의 처리 문제를 유발하게 된다.In addition, in the graft copolymerization method, AC 60Hz and RF 13.56MHz should be used, so as described above, the arrangement of the electrode structure is complicated, and a matching box is required due to the reflection of the input and output terminals. In the case of a chemical treatment method, the treatment process is cumbersome and causes a problem of treating a waste liquid which is a contaminant.

뿐만 아니라, 플라즈마 이온주입에 의한 고분자 소재의 표면 개질 방법의 경우에는 RF 플라즈마와 펄스전압을 동시에 병행함으로써 매칭박스가 필요하고, 펄스전원을 따로 설계해야 하는 복잡한 구조가 되는 문제점이 있다.In addition, in the case of the surface modification method of the polymer material by plasma ion implantation, there is a problem that a matching box is required by simultaneously combining the RF plasma and the pulse voltage, and the pulse power source must be designed separately.

아울러, 대기압에서 코로나방전 처리하는 방법의 경우에는 개질층이 매우 얇아 처리후 시간에 따라 쉽게 열화되는 문제가 있고, 대기중의 습도 등 처리공정변수의 최적화가 어려운 단점이 있다.In addition, the method of corona discharge treatment at atmospheric pressure has a problem that the modified layer is very thin and easily deteriorates with time after treatment, and it is difficult to optimize processing process variables such as humidity in the atmosphere.

본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술이 갖는 제반 문제점을 감안하여 이를해결하고자 창안한 것으로, 롤러를 사용한 자동속도 조절기능을 갖는 수단을 통해 처리섬유를 연속적으로 이동시킴으로써 대면적, 대용량 연속처리가 가능하고 간편하고 균일한 방전효과를 얻을 수 있는 저온, 저압플라즈마를 이용하여 저온, 저압에서 섬유표면에 발수성 및 친수성, 방수, 대전, 정전, 염색성 등에 맞는 불활성기체 즉, 헬륨, 네온, 아르곤, 또는 질소, 산소, CF4가스 등을 선택하여 플라즈마 에칭효과에 의해 섬유표면에 미세한 요철을 형성시키는 물리적효과와 피처리 섬유표면에 형성된 관능기를 이용하여 표면개질하고 중합용 단량체를 기상으로 도입시켜 합성섬유를 중합시킬 수 있도록 한 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 장치 및 그 방법을 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and has been devised to solve this problem. A large area and large capacity continuous processing are possible by continuously moving the treated fiber through a means having an automatic speed control function using a roller. Inert gas suitable for water repellency and hydrophilicity, waterproof, charging, electrostatic, dyeing, etc. on the fiber surface at low temperature and low pressure by using low temperature and low pressure plasma that can achieve simple and uniform discharge effect, such as helium, neon, argon, or nitrogen The surface is modified using the physical effect of forming fine unevenness on the surface of the fiber by the plasma etching effect and the functional group formed on the surface of the fiber to be treated by selecting oxygen, CF 4 gas, etc. and introducing the monomer for polymerization into the gas phase. Disclosed is an apparatus and method for fiber surface modification using a low temperature and low pressure plasma capable of polymerization. There is a purpose in the title.

도 1은 본 발명에 따른 한 가능한 실시예를 보인 개략적인 구성블럭도,1 is a schematic block diagram showing one possible embodiment according to the present invention;

도 2는 도 1의 장치를 구성하는 텐션롤러를 도시한 요부확대도,FIG. 2 is an enlarged view illustrating main parts of a tension roller constituting the apparatus of FIG. 1; FIG.

도 3은 도 1의 장치를 구성하는 텐션롤러의 구동속도를 제어하기 위한 수단들을 보인 요부확대도,3 is an enlarged view illustrating main parts showing means for controlling a driving speed of a tension roller constituting the apparatus of FIG. 1;

도 4는 본 발명에 따른 다른 가능한 실시예를 보인 개략적인 구성블럭도,4 is a schematic block diagram showing another possible embodiment according to the present invention;

도 5 및 도 6은 도 4의 요부 확대도.5 and 6 are enlarged views of main parts of FIG. 4.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

1,1' : 진공챔버 1a : 연결통로1,1 ': vacuum chamber 1a: connecting passage

2 : 마그네트론 3 : 파워서플라이2: magnetron 3: power supply

4 : 도파관 5,5' : 진공펌프4: waveguide 5,5 ': vacuum pump

6,6' : 시료 7,26 : 정속모터6,6 ': Sample 7,26: constant speed motor

21,28 : 클러치브레이크 32 : 안내롤21,28: clutch brake 32: guide roll

42 : 전극봉 43 : 냉각파이프42: electrode 43: cooling pipe

본 발명의 상기한 목적은 연결통로에 의해 연결되고 내부가 중공된 아령형상의 진공챔버와; 상기 진공챔버 내부에 롤형태로 구비된 시료가 연결통로를 거쳐 일측에서 타측으로 이동되면서 권취/권해되도록 상기 시료가 권취된 롤의 축상에 각각 구비된 정속모터 및 클러치브레이크와; 상기 연결통로의 외주면에 그 길이방향을 따라 다수 배열된 마그네트론과; 상기 마그네트론과 연결되어 발진된 전자기파를 연결통로 내부로 균일하게 안내하는 퀄츠 및 도파로와; 상기 마그네트론과 연결되고 고전압을 인가하는 파워서플라이와; 상기 진공챔버의 일측에 설치된 진공펌프와; 상기 연결통로와 연결되고 연결통로 내부로 플라즈마 분위기가스 및 중합용 단량체를 주입할 수 있도록 그 인접측에 설치된 가스공급탱크 및 단량체저장탱크를포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 장치를 제공함에 의해 달성된다.The above object of the present invention and the dumbbell-shaped vacuum chamber connected by the connecting passage and the inside hollow; A constant speed motor and a clutch brake each provided on an axis of the roll on which the sample is wound so that the sample provided in a roll shape inside the vacuum chamber is wound / recommended while moving from one side to the other side through a connecting passage; A magnetron arranged in the longitudinal direction on the outer circumferential surface of the connection passage; Qualts and waveguides for uniformly guiding the electromagnetic wave oscillated in connection with the magnetron into the connection passage; A power supply connected to the magnetron and applying a high voltage; A vacuum pump installed at one side of the vacuum chamber; Fiber surface using a low-temperature low-pressure plasma, characterized in that it comprises a gas supply tank and a monomer storage tank connected to the connecting passage and installed in the adjacent side so as to inject the plasma atmosphere gas and the polymerization monomer into the connecting passage. By providing a reforming device.

또한, 본 발명의 상기한 목적은 진공챔버 내부에 롤형태의 시료를 장착시키는 단계와; 시료가 장착되면 진공펌프를 통해 정해진 진공도로 진공챔버를 진공시킨 후 단량체와 분위기가스 혹은 분위기가스 단독으로 진공챔버에 충전시키고 다시 충전전의 진공도로 재진공시키는 단계와; 진공이 완료되면 정속모터를 구동시켜 시료를 이송시키는 단계와; 시료 이송과 동시에 전압인가수단을 통해 마이크로웨이브나 펄스파워를 통해 저온,저압 플라즈마를 발생시켜 이송중인 시료의 표면을 개질시키는 단계와; 표면개질 처리된 시료를 권취하여 진공챔버로부터 탈착시키는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 방법을 제공함에 의해 달성된다.In addition, the above object of the present invention comprises the steps of mounting a sample in the form of a roll inside the vacuum chamber; When the sample is mounted, vacuuming the vacuum chamber to a predetermined vacuum through a vacuum pump, and then filling the vacuum chamber with monomer and atmosphere gas or atmosphere gas alone and re-vacuuming the vacuum chamber before charging again; Driving a constant speed motor to transfer a sample when the vacuum is completed; Modifying the surface of the sample being transferred by generating a low temperature and low pressure plasma through microwave or pulse power through a voltage application means at the same time as the sample transfer; It is achieved by providing a fiber surface modification method using a low temperature low pressure plasma, characterized in that it comprises the step of winding the surface-modified sample to desorb from the vacuum chamber.

본 발명은 밀폐된 공간을 진공상태로 만들고, 고밀도의 300MHz~30GHz대의 마이크로웨이브와 펄스전압 1kv~20kv, 펄스주파수 10Hz~600KHz, 펄스폭 1sec~60sec를 가변하는 펄스파워를 각각 이용하여 대용량, 대면적 처리가 가능한 롤러에 의한 섬유의 이송중에 가스투입에 따른 활성도가 높은 분자라디칼, 전자들의 플라즈마효과와 단량체의 중합에 의해 섬유표면을 개질하는 원리로 이용하였다.The present invention makes the enclosed space in a vacuum state, using a high-density 300MHz ~ 30GHz microwave, pulse voltage 1kv ~ 20kv, pulse frequency 10Hz ~ 600KHz, pulse width 1sec ~ 60sec variable pulse power, respectively, large capacity, large It was used as a principle to modify the surface of the fiber by the plasma effect of the high molecular radical, electron plasma effect and polymerization of monomer during the transfer of the fiber by the roller which can handle the area.

DC플라즈마와 RF플라즈마에 의해서는 거의 동일한 플라즈마 상태(Ne=108~1012cm-3)가 얻어지나, 마이크로웨이브를 이용한 플라즈마에 의해서는 월등히 높은 전자밀도(Ne=1011cm-3)가 얻어진다.Nearly the same plasma state (Ne = 10 8 ~ 10 12 cm -3 ) is obtained by DC plasma and RF plasma, but much higher electron density (Ne = 10 11 cm -3 ) is achieved by plasma using microwave. Obtained.

여기에서, 플라즈마란 전기적으로 중성인 기체에 외부에서 열 또는 전기적 에너지를 가해줌으로써 이온화한 상태라고 할 수 있는데, 이 가스는 전자, 광자, 이온화된 원자나 분자, 자유활성기 및 중성의 원자나 분자들로 구성되어 있으며 전체적으로는 전기적으로 중성상태로서 기체에 열에너지를 가하게 되면 개개의 원자나 분자들은 전자들과 양이온들로 해리가 되는 고체, 액체, 기체가 아닌 제4의 물질상태이다.Here, plasma is an ionized state by applying heat or electrical energy to an electrically neutral gas from the outside, which is electrons, photons, ionized atoms or molecules, free-active groups, and neutral atoms or molecules. It is composed of a totally electrically neutral state. When a thermal energy is applied to a gas, each atom or molecule is a fourth material state, not a solid, liquid, or gas, which is dissociated into electrons and cations.

플라즈마는 편의상 고온 또는 저온 플라즈마로 구분하는데 고온플라즈마의 대표적인 예는 태양을 들 수 있는데 이때 분자나 원자들은 높은 에너지를 가지고 있어 아크용접이나 세라믹코팅 등에 응용되고 있다.Plasma is classified as a high temperature or low temperature plasma for convenience. A representative example of high temperature plasma is the sun. At this time, molecules or atoms have high energy and are applied to arc welding or ceramic coating.

한편, 전기를 기체에 방전시킬 경우 질량이 가벼운 전자들에만 에너지가 전달되는 반면 무거운 이온이나 분자들에는 에너지가 전달되지 못하여 전자들을 제외한 가스들의 열에너지가 낮은 상태에서도 플라즈마가 발생하며 이를 저온플라즈마라 한다.On the other hand, when electricity is discharged to a gas, energy is transmitted only to electrons with light mass, but energy is not transferred to heavy ions or molecules, and plasma is generated even when the thermal energy of gases except electrons is low, which is called low temperature plasma. .

고밀도의 플라즈마 에너지를 기체에 조사하면 원자내의 자유전자가 플라즈마 에너지를 흡수해 높은 에너지레벨의 이온과 전자로 분리되며, 이온과 전자가 거의 같은 밀도로 높은 밀도를 유지하며 공존하는 플라즈마가 발생한다.When the high-density plasma energy is irradiated to the gas, free electrons in the atoms absorb the plasma energy and are separated into ions and electrons of high energy level, and ions and electrons maintain a high density at about the same density, and coexist plasma.

이러한 이온을 포함한 기체는 화학적으로 활성인 상태에 있기 때문에 고밀도 플라즈마 에너지에 의해 고분자화합물인 섬유표면에 물리, 화학적인 반응이 발생하는데 사용되는 혼합가스, 단량체에 따라 소수성의 섬유를 친수성으로 개질 할뿐만 아니라 염색시 산성염료에 의한 염색성을 증대시키고(심색효과), 양모직물의 경우세탁 수축력을 억제하는 결과를 가져온다.Since the gas containing these ions is in a chemically active state, hydrophobic fibers are hydrophilically modified depending on the mixed gas and monomers used to generate physical and chemical reactions on the surface of the polymer, which is a polymer compound, by high density plasma energy. Rather, it increases dyeability by acid dyes during dyeing (deep color effect), and in the case of wool fabrics, results in suppressing washing shrinkage.

예컨대, -OH 및 -COOH 그룹 등의 친수기나 라디칼반응이 섬유표면에 개질을 일으켜 흡수성을 증대시키고, 플루오르화 반응을 통해 방수, 소수성을 섬유표면에 형성시킨다.For example, hydrophilic groups or radical reactions, such as -OH and -COOH groups, modify the fiber surface to increase water absorption, and form water and hydrophobicity on the fiber surface through fluorination.

이러한 상태는 기체의 압력, 전장의 강도, 방전전류, 주파수 등에 따라서 크게 달라지고 뿐만 아니라 장치의 형태, 사용가스, 단량체 종류에 따라서도 달라진다.This state varies greatly depending on the pressure of the gas, the strength of the electric field, the discharge current, the frequency, and the like, as well as the type of device, the gas used, and the type of monomer.

이하에서는, 첨부도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명하기로 한다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명에 따른 한 가능한 실시예를 보인 개략적인 구성블럭도이다.1 is a schematic block diagram showing one possible embodiment according to the present invention.

도 1에 따르면, 내부가 중공되고 연결통로(1a)에 의해 긴밀히 연결된 아령형상의 진공챔버(1)가 구비된다.According to FIG. 1, a dumbbell-shaped vacuum chamber 1 is provided which is hollow inside and closely connected by a connecting passage 1a.

진공챔버(1)의 하측에는 진공펌프(5)가 설치되며, 상기 진공펌프(5)와 진공챔버(1)를 연결하는 배관상에는 진공밸브(11) 및 진공센서(13)가 설치되고, 특히 상기 진공밸브(11)의 양측에는 우회로인 배기밸브(12)가 설치된다.A vacuum pump 5 is installed below the vacuum chamber 1, and a vacuum valve 11 and a vacuum sensor 13 are installed on a pipe connecting the vacuum pump 5 and the vacuum chamber 1. On both sides of the vacuum valve 11, exhaust valves 12 are bypassed.

상기 진공챔버(1)의 내부에는 섬유와 같은 피처리물인 시료(6)가 롤형태로 권취되어 있으며, 시료(6)의 일단은 상기 연결통로(1a)를 거쳐 타측의 진공챔버 내부에 설치된 정속모터(7)에 의해 권취가능하게 배설된다.In the vacuum chamber 1, a sample 6, which is an object to be processed, such as a fiber, is wound in a roll shape, and one end of the sample 6 is installed in the vacuum chamber on the other side via the connecting passage 1a. It is disposed so as to be wound by the motor 7.

상기 정속모터(7)는 기어헤드가 없고, 높은 토크로 가동되며 컨트롤러에 의한 제어시스템을 구성할 수 있는 특성을 지닌 저속동기모터(EMPS MOTOR)가 바람직하다.The constant speed motor (7) is preferably a low-speed synchronous motor (EMPS MOTOR) that has no gear head, is operated at a high torque, and has the characteristics of constituting a control system by a controller.

이는, 저속동기모터의 경우 RPM에 따른 전압변화가 전혀 없는 것은 물론 부하의 가감에도 슬립현상 없이 정속도 운전이 가능하며, 변속운전시에도 토크가 다운되는 현상이 없는 장점을 갖기 때문이다.This is because, in the case of the low speed synchronous motor, there is no voltage change according to the RPM, and constant speed operation is possible without slip phenomenon even when the load is added or decreased, and there is no phenomenon that torque is not reduced even during the shift operation.

시료(6)가 풀려지도록 고정하는 진공챔버(1)내 시료(6) 지지롤의 축상에는 클러치블레이크(21)가 설치되고, 시료(6)가 풀려지는 인접위치에는 텐션감지센서(22)가 부가되어 권해되는 시료(6)의 텐션을 실시간으로 점검가능하게 구성된다.The clutch brake 21 is installed on the axis of the support roll of the sample 6 in the vacuum chamber 1 which fixes the sample 6 to be released, and the tension sensor 22 is disposed at an adjacent position where the sample 6 is released. The tension of the sample 6, which is added and recommended, can be checked in real time.

상기 시료(6)인 섬유에는 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에스테르, 나일론, 폴리스티렌, 폴리아미드, PET, 실크, 울, 면 및 그 교직물들이 포함된다.The fiber, which is the sample 6, includes polyethylene, polypropylene, polyester, nylon, polystyrene, polyamide, PET, silk, wool, cotton and their fabrics.

상기 클러치브레이크(21)는 컨트롤러(20)와 전기적으로 연결되며, 상기 컨트롤러(20)는 PLC인버터(15)와 연결되고, 상기 PLC인버터(15)는 정속모터(7)와 연결된다.The clutch brake 21 is electrically connected to the controller 20, the controller 20 is connected to the PLC inverter 15, and the PLC inverter 15 is connected to the constant speed motor 7.

연결통로(1a)의 내부 중심에는 그 길이방향을 따라 다수의 텐션롤러(18)가 설치되며, 그 외주면 양측에는 다수의 마그네트론(2)이 고정되고, 상기 마그네트론(2)에는 발진된 전자기파를 굴절없이 연결통로(1a) 내부로 전달해주기 위한 다수의 퀄츠(17) 및 도파로(16)가 연결설치된다.A plurality of tension rollers 18 are installed at the inner center of the connection passage 1a along the longitudinal direction thereof, and a plurality of magnetrons 2 are fixed to both sides of the outer circumferential surface thereof, and the electromagnetic waves are refracted by the magnetron 2. A plurality of quality 17 and the waveguide 16 for connecting to the connection passage (1a) without passing through is installed.

이들 마그네트론(2), 도파로(16) 및 퀄츠(17)는 도파관(4)에 결합된다.These magnetrons 2, waveguides 16 and quartz 17 are coupled to the waveguide 4.

특히, 상기 진공챔버(1)와 연결통로(1a)가 연결되는 부위에는 반사갓(23)을 설치하여 섬유 표면개질시 발생된 방전이 시료(6) 쪽으로 누설되지 않도록 하여 균일한 처리효과를 도모함이 바람직하다.In particular, a reflection shade 23 is installed at the portion where the vacuum chamber 1 and the connection passage 1a are connected to prevent the discharge generated during the fiber surface modification from leaking toward the sample 6, thereby achieving a uniform treatment effect. desirable.

상기 마그네트론(2) 각각은 파워서플라이(3)와 연결된다.Each of the magnetrons 2 is connected to a power supply 3.

상기 파워서플라이(3)는 1cm ~ 1m의 파장과, 300MHz~30GHz대의 주파수를 갖는 고밀도 고주파의 마이크로웨이브를 사용함이 바람직한 바, 이는 대용량, 대면적 처리를 위한 것이다.The power supply 3 is preferably a high density microwave having a wavelength of 1cm ~ 1m and a frequency of 300MHz ~ 30GHz band, which is for large capacity, large area processing.

한편, 상기 진공챔버(1)의 외부 일측에는 단량체저장탱크(9)와 가스공급탱크(8)가 설치된다.Meanwhile, a monomer storage tank 9 and a gas supply tank 8 are installed at one outer side of the vacuum chamber 1.

상기 단량체저장탱크(9)에는 단량체인 아크릴산, 메타아크릴산, 아크릴아민, 아크릴로니트릴, 헥사플로오르프로펜중에서 선택된 어느 하나가 저장되며, 가스공급탱크(8)에는 섬유표면에 소수성 및 친수성, 방수, 대전, 정전, 염색성 등에 맞는 불활성가스 즉, 헬륨, 네온, 아르곤이나 혹은 질소, 산소, CF4, NH3, SF6와 같은 분위기가스를 사용함이 바람직하다.The monomer storage tank (9) is any one selected from among the monomers acrylic acid, methacrylic acid, acrylamine, acrylonitrile, hexafluoropropene is stored, the gas supply tank (8) is hydrophobic, hydrophilic, waterproof on the fiber surface Inert gas suitable for charging, electrostatic, dyeing, etc., that is, helium, neon, argon or an atmosphere gas such as nitrogen, oxygen, CF 4 , NH 3 , SF 6 is preferably used.

이들 단량체저장탱크(9)와 가스공급탱크(8)는 연결배관(24)에 의해 주입구(19)와 연결되고, 상기 주입구(19)는 연결통로(1a)의 길이방향 중앙부에 배치된다.These monomer storage tank (9) and the gas supply tank (8) is connected to the inlet (19) by a connecting pipe 24, the inlet (19) is disposed in the longitudinal center portion of the connecting passage (1a).

상기 연결배관(24) 상에는 플로우메터(14)가 설치되며, 각 탱크(8,9)에는 주입밸브(10)가 구비된다.The flow meter 14 is installed on the connection pipe 24, and each tank 8, 9 is provided with an injection valve 10.

아울러, 상기 연결배관(24)은 가스공급탱크(8)와 주된 연결관계를 갖고 단량체저장탱크(9)와는 부수적인 연결관계를 갖는 바, 그 형식은 예컨대 벤츄리관과 같이 베르누이정리를 이용하여 공급되는 가스의 압력차에 의해 단량체가 흡입되어 공급되는 형태를 취하도록 설치함이 바람직하다.In addition, the connection pipe 24 has a main connection relationship with the gas supply tank 8 and a secondary connection relationship with the monomer storage tank 9, and the type thereof is supplied using Bernoulli theorem, such as a Venturi tube. It is preferable to install such that the monomer is sucked and supplied by the pressure difference of the gas.

상기 플로우메터(14)는 분위기가스와 단량체가 과도하게 공급되지 않고 일정한 양이 지속적으로 공급될 수 있도록 설치 제공된다. 이러한 플로우메터(14)는 통상 니들밸브와 유리관 내부에 액체 및 가스의 비중에 맞게 장입된 볼(BALL)의 작용에 의해 볼의 높낮이가 정량적으로 표시되는 유량계로서, 액체 및 기체를 정량적으로 제어하고자 할 때에 매우 유용한 유량조절기구이다.The flow meter 14 is provided to be installed so that a constant amount is continuously supplied without excessive gas and monomer supply. The flow meter 14 is a flow meter in which the height of the ball is quantitatively displayed by the action of a ball loaded in accordance with the specific gravity of the liquid and the gas inside the needle valve and the glass tube. This is a very useful flow control mechanism.

도 2는 본 발명의 장치를 구성하는 요부 확대도로서, 피처리물인 시료(6)가 정속모터(7)에 의해 권취 이송될 때 연결통로(1a) 내부에 설치된 다수의 안내수단들을 도시한 것이다.Fig. 2 is an enlarged view of a main part of the apparatus of the present invention, which shows a plurality of guide means installed inside the connecting passage 1a when the sample 6 to be processed is wound up by the constant speed motor 7. .

도시된 바에 따르면, 상술한 바와 같이 시료(6)를 일정텐션으로 유지시키면서 이송하기 위한 다수의 텐션롤러(18)가 설치되고, 상기 텐션롤러(18)를 따라 이송되는 시료(6)의 장력을 실시간으로 측정하여 이를 보정할 수 있도록 한 텐션감지센서(22)가 구비되며, 시료(6)가 이송되는 인접상측에는 발진된 고주파를 시료(6)의 표면으로 안내 유도하는 도파로(16)가 다수 배설된다.As shown, a plurality of tension rollers 18 for transporting the sample 6 while maintaining it at a constant tension are installed as described above, and the tension of the sample 6 transported along the tension roller 18 is increased. A tension sensor 22 is provided to measure and correct in real time, and a plurality of waveguides 16 guide the oscillated high frequency to the surface of the sample 6 on the adjacent upper side where the sample 6 is transported. Excreted

도 3은 본 발명 장치중의 하나인 텐션롤러(18)의 구동속도를 제어하기 위한 수단들을 도시한 것으로, 텐션감지센서(22)로부터 송출된 감지신호를 바탕으로 정속모터(7)의 구동은 직접제어하고, 클러치브레이크(21)의 작동은 컨트롤컨버터(20)를 통해 제어하도록 전기적인 신호체계를 구축한 PLC인버터(15)의 설치 및 제어과정을 개략적으로 보인 것이다.3 shows means for controlling the driving speed of the tension roller 18, which is one of the apparatuses of the present invention, and the driving of the constant speed motor 7 is based on the detection signal sent from the tension sensor 22. Direct control, the operation of the clutch brake 21 is a schematic of the installation and control process of the PLC inverter (15) having an electric signal system to control through the control converter (20).

이러한 구성으로 이루어진 본 발명은 다음과 같은 작동관계를 갖는다.The present invention made up of such a configuration has the following operational relationship.

먼저, 진공챔버(1) 내에 롤 형태로 시료(6)를 감고 진공펌프(5)를 가동한 다음 진공밸브(11)를 열어 진공도가 100mmTorr에 도달할 때까지 상기 진공펌프(5)를 가동시킨다.First, the sample 6 is wound into the vacuum chamber 1 in the form of a roll, the vacuum pump 5 is operated, and the vacuum valve 11 is opened to operate the vacuum pump 5 until the vacuum degree reaches 100 mmTorr. .

진공챔버(1) 내부의 진공도가 진공센서(13)에 의해 100mmTorr에 도달된 것으로 검출되면 가스공급탱크(8)의 주입밸브(10)를 열어 저장된 분위기가스가 진공챔버(1) 내부로 장입하여 진공도가 1 Torr에 도달될 때까지 주입시킨다.When it is detected that the degree of vacuum in the vacuum chamber 1 has reached 100 mmTorr by the vacuum sensor 13, the injection valve 10 of the gas supply tank 8 is opened, and the stored atmospheric gas is charged into the vacuum chamber 1. Inject until the vacuum reaches 1 Torr.

이때, 마그네트론(2)으로부터 발진된 전자파를 굴절없이 진공챔버(1) 내부로 전달해주는 도파로(16)와 퀄츠(17)와 연결되고, 도파관(4)에 부착된 상기 마그네트론(2)에 2000V 이상의 고전압을 인가해주는 파워서플라이(3)를 통해 진공챔버(1)의 상, 하에서 300MHz~30GHz대의 마이크로웨이브를 인가시킨다.At this time, the electromagnetic wave oscillated from the magnetron 2 is connected to the waveguide 16 and the quartz 17 for transmitting the inside of the vacuum chamber 1 without refracting, and the magnetron 2 attached to the waveguide 4 is 2000V or more. Microwaves in the 300MHz ~ 30GHz band is applied to the top and bottom of the vacuum chamber 1 through the power supply 3 for applying a high voltage.

동시에, PLC인버터(15)를 사용하여 정속모터(7)를 구동시켜 시료(6)를 서서히 감도록 한다.At the same time, the constant speed motor 7 is driven by using the PLC inverter 15 to gradually wind the sample 6.

섬유인 시료(6)의 권취동작이 수행될 때에 시료(6)의 엉킴과 장력조절을 위해 텐션감지센서(22)를 통해 적정 장력을 확인하게 된다.When the winding operation of the sample (6), which is a fiber, the appropriate tension is checked through the tension sensor (22) to control the entanglement and tension of the sample (6).

한편, 단량체저장탱크(9)에서는 베르누이원리에 의해 가스의 주입시 기체상태로 진공챔버(1)내에 공급되면서 시료(6)인 섬유 표면에 도포되게 된다.Meanwhile, in the monomer storage tank 9, the Bernoulli principle is applied to the surface of the fiber, which is the sample 6, while being supplied into the vacuum chamber 1 in a gaseous state when gas is injected.

이때, 시료(6)인 섬유의 처리폭은 1000~2000mm, 섬유 표면의 개질속도는 5~50 m/min, 마그네트론(2) 1개소에서 균일한 처리효과를 나타내는 영역은 40cm, 권취시 처리되는 섬유와 마그네트론(2)과의 거리는 15cm 정도를 유지함이 바람직하고, 플라즈마에 노출되는 섬유원단 길이가 2m 일때 개질속도가 5m/min인 경우에는 25초, 50m/min인 경우에는 3초간 플라즈마에 노출시키도록 함이 바람직하다.At this time, the processing width of the fiber (sample 6) is 1000 ~ 2000mm, the modification speed of the fiber surface is 5 ~ 50 m / min, the area showing a uniform treatment effect in one place of the magnetron (2) is 40cm, which is processed at the time of winding The distance between the fiber and the magnetron (2) is preferably maintained at about 15 cm, and when the fiber length exposed to the plasma is 2 m, the exposure rate is 25 seconds when the modification speed is 5 m / min, and 3 seconds when the 50 m / min is 50 m / min. It is preferable to make it.

상기 플라즈마는 저온,저압 플라즈마이다.The plasma is a low temperature, low pressure plasma.

상기와 같이 플라즈마 처리시간이 다른 이유는 플라즈마 처리후 섬유표면 개질효과를 안정적이고 균일하게 얻기 위한 것으로, 표면개질에 사용되는 섬유원단의 종류가 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 나일론, PET, 실크, 울, 면 등과 같이 다양하므로 각 섬유표면 특성인 표면에너지값이 달라 사용개질되는 섬유원단의 종류에 따라 친수, 소수, 발수, 정전특성 등을 나타내기 위해서는 그 특성에 맞게 서로 다른 플라즈마 처리시간이 요구되기 때문이다.The reason why the plasma treatment time is different as described above is to obtain a stable and uniform fiber surface modification effect after plasma treatment. The type of fiber fabric used for surface modification is polyethylene, polypropylene, nylon, PET, silk, wool, cotton. This is because the surface energy values, which are the characteristics of each fiber surface, are different, so that different plasma treatment times are required to show hydrophilicity, hydrophobicity, water repellency, and electrostatic properties depending on the type of fiber fabric being modified. .

특히, 시료(6)의 처리속도(이송)는 적정한 장력을 유지시키는 텐션감지센서(22)로부터 감지신호를 받은 PLC인버터(15)에서 정속모터(7)와 클러치브레이크(21)를 적절히 제어하여 시료(6)가 장착된 롤러를 일정속도, 예컨대 5~50m/min 처리속도로 유지시킬 수 있게 된다.In particular, the processing speed (feeding) of the sample 6 is controlled by the constant speed motor 7 and the clutch brake 21 in the PLC inverter 15 which receives the detection signal from the tension sensor 22 maintaining the proper tension. The roller on which the sample 6 is mounted can be maintained at a constant speed, for example, 5 to 50 m / min processing speed.

처리완료된 시료(6)는 진공챔버(1)로부터 탈착시킴으로써 섬유의 표면 개질작업이 종료된다.The finished sample 6 is detached from the vacuum chamber 1 to finish the surface modification of the fiber.

도 4는 본 발명에 따른 다른 가능한 실시예를 도시한 개략적인 구성 블럭도이고, 도 5는 도 4의 요부 확대도이며, 도 6은 본 발명의 다른 가능한 실시예에 따른 전극봉구조를 보인 개략적인 단면도이다.Figure 4 is a schematic block diagram showing another possible embodiment according to the present invention, Figure 5 is an enlarged view of the main portion of Figure 4, Figure 6 is a schematic view showing an electrode structure according to another possible embodiment of the present invention It is a cross section.

도 4 내지 도 6에 따르면, 밀폐된 대략 사각형상의 진공챔버(1')가 구비되고, 상기 진공챔버(1')에는 진공펌프(5'), 진공밸브(11'), 배기밸브(12') 및 진공센서(13')가 상술한 도 1의 경우와 동일한 구조로 설치된다.According to FIGS. 4 to 6, a sealed substantially rectangular vacuum chamber 1 ′ is provided, and the vacuum chamber 1 ′ includes a vacuum pump 5 ′, a vacuum valve 11 ′, and an exhaust valve 12 ′. ) And the vacuum sensor 13 'are installed in the same structure as in the case of FIG.

또한, 상기 진공챔버(1')에는 연결배관(24')에 의해 가스공급탱크(8')와 연결되는 바, 상기 연결배관(24') 상에는 상술한 바와 같은 플로우메터(14')가 설치된다.In addition, the vacuum chamber 1 'is connected to the gas supply tank 8' by a connection pipe 24 ', and the flow meter 14' as described above is installed on the connection pipe 24 '. do.

상기 가스공급탱크(8')에 저장되는 가스는 헬륨, 네온, 아르곤 등과 같은 불활성가스 내지 질소, 산소, CF4, NH3와 같은 가스들 중에서 선택된 어느 하나로 하여줌이 바람직하다.The gas stored in the gas supply tank 8 'is preferably one selected from inert gases such as helium, neon, argon, and other gases such as nitrogen, oxygen, CF 4 , and NH 3 .

이는, 상기 가스가 피처리물인 섬유의 표면에 소수성, 친수성, 방수, 대전, 정전, 염색성 등에 알맞기 때문이다.This is because the gas is suitable for hydrophobicity, hydrophilicity, waterproofing, charging, electrostatic, dyeing and the like on the surface of the fiber to be processed.

상기 진공챔버(1')의 내부에는 시료(6')가 롤형태로 구비되어 권취 및 권해 가능하도록 설치된다.Inside the vacuum chamber 1 ', a sample 6' is provided in the form of a roll so as to be wound and wound.

시료(6')가 권해되는 측에는 클러치브레이크(28)가 설치되며, 권취되는 측에는 정속모터(26)가 설치된다.The clutch brake 28 is provided on the side where the sample 6 'is recommended, and the constant speed motor 26 is provided on the side to be wound.

상기 정속모터(26) 및 클러치브레이크(28)는 PLC인버터(29)에 의해 구동제어되는 바, 특히 클러치브레이크(28)는 컨트롤컨버터(30)를 거쳐 PLC인버터(29)를 통해 제어되도록 함이 바람직하다.The constant speed motor 26 and the clutch brake 28 are driven and controlled by the PLC inverter 29, in particular the clutch brake 28 is to be controlled by the PLC inverter 29 via the control converter 30 desirable.

또한, 상기 정속모터(26)의 외측에는 텐션감지센서(25)를 부가설치하여 권취되는 시료(6')의 장력을 지속적으로 점검하여 정속모터(26)의 구동을 제어할 수 있도록 함이 바람직하다.In addition, it is preferable to control the driving of the constant speed motor 26 by continuously checking the tension of the sample 6 'to be wound by installing a tension sensor 25 on the outside of the constant speed motor 26. Do.

시료(6')가 권취되는 인접측에는 텐션롤러(27)가 설치되며, 상기 정속모터(26) 및 클러치브레이크(28)와 거리를 두고 떨어져 다수의 전극봉(42)이 설치되며, 상기 시료(6')가 상기 전극봉(42) 사이로 진행할 수 있도록 전극봉(42)의 양측 및 사이에는 다수의 안내롤(32)이 설치된다.A tension roller 27 is installed on an adjacent side where the sample 6 'is wound, and a plurality of electrode rods 42 are installed at a distance from the constant speed motor 26 and the clutch brake 28, and the sample 6 A plurality of guide rolls 32 are installed on both sides and between the electrodes 42 to allow ') to travel between the electrodes 42.

따라서, 상기 시료(6')는 클러치브레이크(28)가 설치된 롤에 초기 권취된 상태에서 다수의 전극봉(42)과 안내롤(32)들을 거쳐 텐션롤러(27)를 통해 장력조절되면서 정속모터(26)가 설치된 롤에 감기게 되며, 이러한 이송과정에서 플라즈마 처리에 의한 표면개질 작업이 수행되게 된다.Therefore, the specimen 6 'is tensioned through the tension roller 27 via the plurality of electrode rods 42 and the guide rolls 32 in the state of being initially wound on the roll on which the clutch brake 28 is installed. 26) is wound on the roll, the surface modification operation by the plasma treatment is performed in this transfer process.

특히, 상기 전극봉(42)은 애노드와 캐소드를 교대로 배치하고, 전극봉(42) 속으로는 냉각파이프(43)를 배치하여 냉각수가 흐르게 함으로써 섬유 시료 자체의 온도영향을 제거토록 함이 바람직하다.In particular, the electrode 42 is preferably arranged to alternate the anode and the cathode, the cooling pipe 43 is placed into the electrode 42 to allow the coolant to flow to remove the temperature influence of the fiber sample itself.

상기 전극봉(42)에는 전압을 인가하는 수단은 펄스전압 1kv~20kv, 펄스주파수 10Hz~600KHz, 펄스폭 1sec~60sec로 가변되는 펄스파워서플라이를 사용함이 바람직하다.As the means for applying a voltage to the electrode 42, it is preferable to use a pulsed power supply that varies in pulse voltage of 1kv to 20kv, pulse frequency of 10Hz to 600KHz, and pulse width of 1sec to 60sec.

펄스파워서플라이는 제너레이터(3')와 연결된 후 각 전극봉(42)과 연결설치된다.The pulsed power supply is connected to the generator 3 'and then connected to each electrode 42.

상기 파워서플라이는 RF플라즈마를 사용하지 않기 때문에 별도의 임피던스 매칭박스가 필요없어 안정적인 플라즈마를 획득할 수 있으며, 특히 펄스파워는 플라즈마에서 발생된 이온과 전자, 라디칼의 운동방향을 조절할 수 있는 장점이 있다.Since the power supply does not use an RF plasma, a separate plasma can be obtained without the need for a separate impedance matching box. In particular, the pulse power has the advantage of controlling the direction of movement of ions, electrons, and radicals generated in the plasma. .

또한, 플라즈마를 원활하게 유발시켜 표면개질키 위해 상기 전극봉(42) 사이에는 가스봉(31)을 배설하여 가스공급탱크(8')로부터 공급된 가스가 시료(6')의 인접위치까지 유도됨과 동시에 전극봉(42)과 최근접상태로 안내되도록 하여 진공챔버(1') 내부의 플라즈마 분위기를 최적상태로 유지하도록 함이 바람직하다.In addition, the gas rod 31 is disposed between the electrode rods 42 so as to smoothly induce plasma surface modification, and the gas supplied from the gas supply tank 8 'is guided to an adjacent position of the sample 6'. At the same time, it is preferable to guide the electrode 42 to the nearest state to maintain the plasma atmosphere inside the vacuum chamber 1 'in an optimal state.

이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 다른 가능한 실시예에 따른 섬유 표면 개질장치는 다음과 같이 작동된다.The fiber surface modification apparatus according to another possible embodiment of the present invention having such a configuration is operated as follows.

피처리물인 섬유 시료(6')를 권취 및 권해가능하게 도시와 같이 배치한 상태에서 진공펌프(5')를 가동하여 진공챔버(1') 내부의 진공도가 700mmTorr를 유지하도록 한다.The vacuum pump 5 'is operated in a state in which the fiber sample 6' to be processed is arranged as shown in the figure so as to be wound and recommended, so that the vacuum degree inside the vacuum chamber 1 'is maintained at 700 mmTorr.

이 상태에서, 가스공급탱크(8')에 저장된 헬륨, 네온, 아르곤 또는 질소, 산소, CF4, NH3와 같은 가스를 상기 진공챔버(1') 내부로 장입시킨다.In this state, gas such as helium, neon, argon or nitrogen, oxygen, CF 4 , NH 3 stored in the gas supply tank 8 'is charged into the vacuum chamber 1'.

이어, 다시 진공펌프(5')를 가동시켜 진공챔버(1') 내부의 진공도를 700mmTorr로 유지시킨 상태에서 전극봉(42)을 통해 펄스전압 1kv~20kv, 펄스주파수 10Hz~600KHz, 펄스폭 1sec~60sec로 가변되는 펄스파워를 인가하여 저온, 저압 플라즈마를 발생시키고 발생된 플라즈마를 정속도로 이동되는 시료(6')의 표면에 조사하여 섬유 표면을 개질하게 된다.Subsequently, the vacuum pump 5 'was again operated to maintain the vacuum degree inside the vacuum chamber 1' at 700 mmTorr, and the pulse voltage 1kv to 20kv, pulse frequency 10Hz to 600KHz, and pulse width 1sec ~ By applying a pulse power variable to 60sec to generate a low-temperature, low-pressure plasma and irradiating the generated plasma to the surface of the sample (6 ') moving at a constant speed to modify the fiber surface.

이때, 전극간 거리는 15cm, 플라즈마에 노출된 섬유길이는 8~10m, 플라즈마 처리시간은 처리속도가 5m/min 일때 100초의 처리시간을 갖고, 처리속도가 50m/min 일때 10초의 처리시간을 갖도록 함이 바람직하다.At this time, the distance between the electrodes is 15cm, the fiber length exposed to the plasma 8 ~ 10m, the plasma treatment time has a processing time of 100 seconds when the processing speed is 5m / min, and has a processing time of 10 seconds when the processing speed is 50m / min This is preferred.

처리가 완료된 시료(6')는 진공챔버(1')의 진공도를 해제시킴과 동시에 펄스파워를 오프시킨 상태에서 진공챔버(1')로부터 탈착시키게 된다.The sample 6 'which has been processed is released from the vacuum chamber 1' with the pulse power off while the vacuum degree of the vacuum chamber 1 'is released.

이하, 본 발명의 장치 및 방법을 사용한 실험예에 대해 설명한다.Hereinafter, experimental examples using the apparatus and method of the present invention will be described.

[실험예 1]Experimental Example 1

100% 폴리에틸렌 시료를 저온,저압하에서 산소, 아르곤을 투입하고 사용가스의 압력을 각각 400mTorr로 한 후 1 ~10GHz대의 마이크로웨이브중 2.45GHz의 마이크로웨이브를 발생시켜 처리하였다.The 100% polyethylene sample was treated with oxygen and argon under low temperature and low pressure, and the pressure of the used gas was 400 mTorr, respectively, to generate 2.45 GHz of microwaves in the microwave of 1 to 10 GHz.

하기한 표 1은 처리속도에 따른 접촉각 측정결과를 나타낸 것으로 처리속도가 늦을수록 접촉각이 낮았으며, 또한 처리속도가 증가한 시료도 친수, 흡수 특성향상이 있음을 확인하였다.Table 1 below shows the contact angle measurement results according to the treatment speed. As the treatment speed is slower, the contact angle is lower, and the samples with the increased treatment speed also have improved hydrophilicity and absorption characteristics.

구분division 사용가스Gas used 처리속도Processing speed 아르곤argon 산소Oxygen 처리전Before treatment 8080 8080 5m/min5 m / min 1616 88 25m/min25m / min 2525 1818 50m/min50 m / min 3838 3232

[실험예 2]Experimental Example 2

100%폴리스티렌 섬유에 CF4가스를 사용한 1GHz~10GHz 대의 마이크로웨이브 저온,저압 플라즈마를 행하였다. 사용가스의 압력은 400mTorr로 하였으며 2.45GHz의 마이크로웨이브를 발생시켜 처리하였다.Microwave low-temperature, low-pressure plasma at 1 GHz to 10 GHz using CF 4 gas was performed on 100% polystyrene fibers. The pressure of the used gas was 400 mTorr and was generated by generating a microwave of 2.45 GHz.

하기한 표 2는 처리속도에 따른 접촉각 측정결과를 나타낸 것으로, 시료 섬유 표면에 소수성막이 형성되어 접촉각이 증가됨을 알 수 있었다.Table 2 below shows the contact angle measurement results according to the treatment speed, and it was found that the contact angle was increased by forming a hydrophobic film on the surface of the sample fiber.

따라서, 섬유 표면 개질 강화 목적에 맞게 친수성, 소수성, 방수성, 방습성, 염색성을 각각 부여할 수 있음을 확인할 수 있었다.Therefore, it could be confirmed that hydrophilicity, hydrophobicity, waterproofness, moisture resistance, and dyeability can be imparted to the fiber surface modification reinforcement purpose.

처리속도Processing speed 사용가스(CF4)Gas Used (CF 4 ) 처리전Before treatment 7575 5m/min5 m / min 110110 25m/min25m / min 103103 50m/min50 m / min 9595

[실험예 3]Experimental Example 3

100% 폴리에스터 섬유를 진공챔버속에서 주파수 2.45GHz, 압력 0.3Torr 일때 처리속도 5m/min, 25m/min에 단량체인 헥사플루오르프로펜(HFP, CF3-CF3=CF2)으로 중합한 후 진공챔버에서 폴리에스터 섬유를 언로딩시켰다.100% polyester fiber was polymerized with hexafluoropropene (HFP, CF 3 -CF 3 = CF 2 ) as monomer at 5m / min and 25m / min at a frequency of 2.45 GHz and a pressure of 0.3 Torr in a vacuum chamber. The polyester fibers were unloaded in the vacuum chamber.

이어, 소수성 및 발수성을 테스트하기 위해 처리된 섬유를 100℃의 끊는물에 넣고 가열기로 7시간 처리한 후 120℃에서 30분 건조하고 폴리에스터 섬유직물에 물을 떨어뜨렸다.Subsequently, the treated fibers were tested in hydrothermal and water repellent water at 100 ° C. in boiling water, treated with a heater for 7 hours, dried at 120 ° C. for 30 minutes, and water was dropped onto the polyester fiber fabric.

그 결과 마이크로웨이브를 이용한 저온,저압 플라즈마 헥사플루오르프로펜 중합처리후의 발수 및 소수특성 조건을 나타낸 하기한 표 3에서와 같이 처리속도 5m/min, 25m/min에서 소수성과 발수성효과 그리고 우수한 내구성을 가짐을 확인할 수 있다.As a result, it has hydrophobicity and water repellency effect and excellent durability at 5m / min and 25m / min treatment speed as shown in Table 3 below, which shows the water repellency and hydrophobic characteristics conditions after low temperature and low pressure plasma hexafluoropropene polymerization using microwave. can confirm.

구분division 헥사플루오르프로펜(HFP, CF3-CF3=CF2)Hexafluoropropene (HFP, CF 3 -CF 3 = CF 2 ) 헥사플루오르프로펜(HFP, CF3-CF3=CF2)Hexafluoropropene (HFP, CF 3 -CF 3 = CF 2 ) 주파수frequency 2.45GHz2.45 GHz 2.45GHz2.45 GHz 압력pressure 0.30.3 0.30.3 처리속도Processing speed 5m/min5 m / min 25m/min25m / min 시료섬유Sample fiber 폴리에스터polyester 폴리에스터polyester 단량체주입진공도Monomer injection vacuum 1One 1One

[실험예 4]Experimental Example 4

100%의 나일론6 섬유를 각각 하기한 표 4의 조건에 따라 처리한 후 아크릴산으로 중합시켰다.100% of nylon 6 fibers were treated according to the conditions shown in Table 4, respectively, and then polymerized with acrylic acid.

처리를 끝낸 100%의 나일론6 섬유를 공기중에 노출시켜 그 친수성 및 염색특성을 조사한 결과 7일후까지도 20℃ 이내의 일정한 접촉각을 보여 종래 RF플라즈마, 코로나, 전자이온주입법에 의한 표면개질강화보다 대면적, 대용량에 탁월한 친수, 습수, 염색 특성 향상을 보이고 있음을 알 수 있었다.100% nylon 6 fiber after the treatment was exposed to air, and its hydrophilicity and dyeing characteristics were examined. As a result, it showed a constant contact angle within 20 ° C even after 7 days. Its surface area was enhanced by conventional RF plasma, corona, and electron ion implantation methods. It has been shown that it shows excellent hydrophilicity, moist water, and dyeing characteristics in a large capacity.

구분division 아크릴산Acrylic acid 아크릴산Acrylic acid 주파수frequency 2.45 GHz2.45 GHz 2.45 GHz2.45 GHz 압력pressure 0.4 Torr0.4 Torr 0.4 Torr0.4 Torr 처리속도Processing speed 5 m/min5 m / min 25 m/min25 m / min 시료섬유Sample fiber 나일론6Nylon 6 나일론6Nylon 6 플라즈마처리가스Plasma Treatment Gas 아르곤argon 아르곤argon 단량체주입진공도Monomer injection vacuum 10 Torr10 Torr 10 Torr10 Torr 단량체온도Monomer temperature 310 K310 K 310 K310 K

[실험예 5]Experimental Example 5

100% 폴리스티렌 시료에 각각 산소, 아르곤 가스를 투입하여, 저온, 저압플라즈마를 행하였다. 사용가스는 각각 500[sccm]씩 투입을 하였으며, 플라즈마 발생을 위한 펄스폭은 50sec, 펄스주파수는 200KHz로 하여 각각의 가스에 대하여 처리하였다.Oxygen and argon gas were put into 100% polystyrene samples, respectively, and low-temperature and low-pressure plasma were performed. 500 [sccm] was used for each of the used gases, and the pulse width for generating plasma was 50 sec and the pulse frequency was 200 KHz.

하기한 표 5는 처리속도와 각 가스에 따른 친수특성을 접촉각 측정으로 확인 하였다.Table 5 below confirmed the treatment speed and the hydrophilic characteristics of each gas by contact angle measurement.

처리속도Processing speed 처리전Before treatment 5m/min5 m / min 25m/min25m / min 50m/min50 m / min 산소Oxygen 8181 55 1111 1515 아르곤argon 8181 99 1616 2323

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 발명은 다음과 같은 효과를 제공한다.As described in detail above, the present invention provides the following effects.

첫째, 기존의 RF플라즈마 방식이 갖는 전극배치의 어려움과 부수적으로 요구되는 매칭박스를 설치하지 않아도 되므로 구조가 간단하고 설치가 용이한 장점을 가진다.First, the structure is simple and easy to install because it does not need to install the matching box that is required and additionally the difficulty of the electrode arrangement of the existing RF plasma method.

둘째, 무전극 방전형식인 마이크로웨이브와 펄스파워를 사용함으로써 제조단가를 낮출 수 있고 균일한 섬유표면 개질효과를 안정적으로 얻을 수 있다.Second, by using microwave and pulse power of the electrodeless discharge type, manufacturing cost can be lowered and uniform fiber surface modification effect can be obtained stably.

세째, 섬유의 연속처리가 가능하여 대용량, 대면적 처리에 적합하므로 산업용필터나 의료, 대기, 환경 등의 고기능성 섬유의 처리에 용이하다.Third, since the fiber can be processed continuously and is suitable for large-capacity and large-area processing, it is easy to process high-performance fibers such as industrial filters, medical care, air, and the environment.

Claims (9)

연결통로(1a)에 의해 연결되고 내부가 중공된 아령형상의 진공챔버(1)와;A dumbbell-shaped vacuum chamber 1 connected by a connecting passage 1a and hollowed therein; 상기 진공챔버(1) 내부에 롤형태로 구비된 시료(6)가 연결통로(1a)를 거쳐 일측에서 타측으로 이동되면서 권취/권해되도록 시료(6)가 구비된 롤의 축상에 각각 설치된 정속모터(7) 및 클러치브레이크(21)와;Constant speed motors are respectively provided on the shaft of the roll provided with the sample 6 so that the sample 6 provided in a roll form inside the vacuum chamber 1 moves from one side to the other side through the connecting passage 1a and is wound / reeled. (7) and the clutch brake 21; 상기 연결통로(1a)의 외주면에 그 길이방향을 따라 다수 배열된 마그네트론(2)과;Magnetrons 2 arranged in the longitudinal direction on the outer circumferential surface of the connection passage 1a; 상기 마그네트론(2)과 연결되며 발진된 전자기파를 연결통로(1a) 내부로 균일하게 안내하는 퀄츠(17) 및 도파로(16)와;A quality (17) and a waveguide (16) connected to the magnetron (2) to uniformly guide the oscillated electromagnetic waves into the connection passage (1a); 상기 마그네트론(2)과 연결되고 고전압을 인가하는 파워서플라이(3)와;A power supply (3) connected to the magnetron (2) and applying a high voltage; 상기 진공챔버(1)의 일측에 설치된 진공펌프(5)와;A vacuum pump 5 installed at one side of the vacuum chamber 1; 상기 연결통로(1a)와 연결되고 연결통로(1a) 내부로 플라즈마 분위기가스 및 중합용 단량체를 주입할 수 있도록 그 인접측에 설치된 가스공급탱크(8) 및 단량체저장탱크(9)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 장치.It comprises a gas supply tank (8) and a monomer storage tank (9) connected to the connecting passage (1a) and installed in the adjacent side so as to inject the plasma atmosphere gas and the polymerization monomer into the connecting passage (1a) Fiber surface modification apparatus using a low temperature low pressure plasma, characterized in that. 제1항에 있어서, 상기 연결통로(1a)와 진공챔버(1)가 연결되는 부위에는 전자기파의 누설을 방지하기 위한 반사갓(23)이 설치된 것을 특징으로 하는 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 장치.The fiber surface modification apparatus according to claim 1, wherein a reflection shade 23 is installed at a portion where the connection passage 1a and the vacuum chamber 1 are connected to each other to prevent leakage of electromagnetic waves. 제1항에 있어서, 상기 파워서플라이(3)는 300MHz~30GHz의 주파수영역과 1cm~1m의 파장을 가진 고밀도의 마이크로웨이브를 발진시키는 고주파 마이웨이브파워서플라이인 것을 특징으로 하는 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 장치.The fiber using the low temperature low pressure plasma according to claim 1, wherein the power supply 3 is a high frequency my wave power supply for oscillating a high density microwave having a frequency range of 300 MHz to 30 GHz and a wavelength of 1 cm to 1 m. Surface modification device. 제1항에 있어서, 상기 단량체저장탱크(9)에 저장되는 단량체는 아크릴산, 메타아크릴산, 아크릴아민, 헥사플로오르프로펜, 아크릴로니트릴 중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 장치.The fiber using the low temperature low pressure plasma according to claim 1, wherein the monomer stored in the monomer storage tank 9 is any one selected from acrylic acid, methacrylic acid, acrylamine, hexafluoropropene, and acrylonitrile. Surface modification device. 제1항에 있어서, 상기 가스공급탱크(8)에 저장되는 가스는 헬륨, 아르곤, 질소, 네온, 산소, CF4, SF6, NH3중에서 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 장치.The method of claim 1, wherein the gas stored in the gas supply tank 8 is any one selected from helium, argon, nitrogen, neon, oxygen, CF 4 , SF 6 , NH 3 . Fiber surface modification device. 내부가 중공된 사각형상의 진공챔버(1')와;A rectangular vacuum chamber 1 'hollow inside; 상기 진공챔버(1') 내부에 구비된 시료(6')를 권취/권해시키도록 시료(6')가 장착된 롤 축상에 고정된 정속모터(26) 및 클러치브레이크(28)와;A constant speed motor 26 and a clutch brake 28 fixed on a roll shaft on which the sample 6 'is mounted to wind / reel the sample 6' provided in the vacuum chamber 1 '; 상기 시료(6')가 일정장력을 받으면서 지그재그형태로 진행할 수 있도록 애노드와 캐소드전극이 교대로 배치된 다수의 전극봉(42)과;A plurality of electrode rods 42 in which an anode and a cathode are alternately arranged so that the sample 6 'may be progressed in a zigzag form while being subjected to a predetermined tension; 상기 전극봉(42)들의 각 외측에 고정된 다수의 안내롤(32)과;A plurality of guide rolls 32 fixed to each outside of the electrode rods 42; 상기 진공챔버(1')에 연결된 진공펌프(5')와;A vacuum pump 5 'connected to the vacuum chamber 1'; 상기 진공챔버(1') 내부의 분위가스를 공급하기 위해 그 인접위치에 설치되고 연결배관(24')에 의해 연결된 가스공급탱크(8')와;A gas supply tank 8 'installed at an adjacent position for supplying the sectional gas inside the vacuum chamber 1' and connected by a connection pipe 24 '; 상기 전극봉(42)과 연결되어 펄스파워를 인가시키는 펄스파워서플라이를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 장치.Fiber surface modification apparatus using a low-temperature low-pressure plasma, characterized in that it comprises a pulsed power supply connected to the electrode 42 to apply pulsed power. 제6항에 있어서, 상기 펄스파워서플라이를 통해 인가되는 펄스는 펄스전압 1kv~20kv, 펄스주파수 10Hz~600KHz, 펄스폭 1sec~60sec로 가변가능한 것을 특징으로 하는 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 장치.The fiber surface modification apparatus of claim 6, wherein the pulse applied through the pulse power supply is variable with a pulse voltage of 1kv to 20kv, a pulse frequency of 10Hz to 600KHz, and a pulse width of 1sec to 60sec. 제6항에 있어서, 상기 전극봉(42)에는 냉각수가 흐르는 다수의 냉각파이프(43)가 삽설된 것을 특징으로 하는 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 장치.The fiber surface modification apparatus according to claim 6, wherein a plurality of cooling pipes (43) through which cooling water flows are inserted into the electrode (42). 진공챔버(1,1') 내부에 롤형태의 시료(6,6')를 장착시키는 단계와;Mounting samples 6, 6 'in roll form inside the vacuum chamber 1, 1'; 시료(6,6')가 장착되면 진공펌프(5,5')를 통해 정해진 진공도로 진공챔버(1,1')를 진공시킨 후 단량체와 분위기가스 혹은 분위기가스 단독으로 진공챔버(1,1')에 충전시키고 다시 충전전의 진공도로 재진공시키는 단계와;When the samples 6 and 6 'are mounted, the vacuum chambers 1 and 1' are vacuumed to a predetermined vacuum through the vacuum pumps 5 and 5 ', and then the monomers and the atmosphere gas or the atmosphere gas alone are used to vacuum the chambers 1 and 1'. ') And re-vacuum back to vacuum prior to charging; 진공이 완료되면 정속모터(7,26)를 구동시켜 시료(6,6')를 이송시키는 단계와;When the vacuum is completed, driving the constant speed motors 7 and 26 to transfer the samples 6 and 6 '; 시료(6,6') 이송과 동시에 전압인가수단을 통해 마이크로웨이브나 펄스파워를 통해 저온,저압 플라즈마를 발생시켜 이송중인 시료(6,6')의 표면을 개질시키는 단계와;Modifying the surface of the sample (6,6 ') by transferring the sample (6,6') and generating a low-temperature, low-pressure plasma through microwave or pulse power through a voltage application means at the same time; 표면개질 처리된 시료(6,6')를 권취하여 진공챔버(1,1')로부터 탈착시키는 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 저온 저압 플라즈마를 이용한 섬유 표면개질 방법.A method of modifying a fiber surface using a low temperature low pressure plasma, comprising: winding a surface-treated sample (6, 6 ') and detaching it from a vacuum chamber (1,1').
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