KR20030017806A - 크라이오스탓 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 크라이오스탓에 관한 것으로, 냉체가 삽입되는 냉체용기부를 진공으로 감싸는 제 1 진공용기 하우징과; 상기 제 1 진공용기 하우징과 동일한 진공이 유지되도록, 상기 제 1 진공용기 하우징을 삽입하여 체결된 제 2 진공용기 하우징과; 상기 냉체용기부의 하부에 연결되어 시료를 안치할 수 있는 시료홀더와; 상기 시료를 안치하기 위하여 상기 제 2 진공용기 하우징에 형성된 개구와; 상기 개구를 개폐할 수 있고, 시료를 관찰하기 위한 투명창부재와; 상기 시료홀더와 연결되고, 상기 제 2 진공용기 하우징의 저면 내측에 안치된 단열부재와; 상기 제 1, 2 진공용기 하우징 내부의 공기를 배출하고, 외부로부터 상기 제 1, 2 진공용기 하우징 내부로 열의 유입을 방지하기 위하여 상기 제 2 진공용기 하우징에 형성된 진공배기구와; 상기 제 1 진공용기 하우징 또는 제 2 진공용기 하우징에 형성된 적어도 하나 이상의 오링 락킹홈들과; 상기 오링 락킹홈들에 삽입되고, 상기 제 1 진공용기 하우징과 제 2 진공용기 하우징의 사이에서 외부 공기의 유입을 방지하여 진공상태를 유지시켜주는 적어도 하나 이상의 오링들로 구성되어 있다.
따라서, 본 발명은 2개의 진공용기 하우징과 이를 체결하는 오링구조 및 시료홀더의 단열부재로 인하여 시료의 드리프트없이 서브마이크로 영역을 장시간 관찰 및 측정할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 크라이오스탓(Cryostat)에 관한 것으로, 보다 상세하게는 시료의위치가 변경되지 않아 장시간 정밀하게 시료의 마이크로 이하의 영역을 측정 가능한 크라이오스탓에 관한 것이다.
종래의 저온의 냉체로 시료를 냉각시켜 시료를 측정할 수 있는 크라이오스탓은 액체로 된 냉체가 시료의 측정시간이 지나면서 기화되어 최초 담겨진 냉체의 양이 줄어들면, 크라이오스탓을 이루고 있는 용기의 하우징이 열적으로 팽창하기 때문에, 냉각되고 있는 시료의 위치가 최초의 위치에서 벗어나 드리프트되어, 광학적으로 시료를 관측할 경우에는 시료의 광축이 변화되어 정밀한 실험이 불가능하였다.
이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 액체 냉체의 양의 변화에 의해 용기가 열적으로 팽창을 하여도 냉체에 의해 냉각하고 있는 시료의 위치가 드리프트하지 않아서 장시간 동안 정밀한 측정을할 수 있는 크라이오스탓을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 크라이오스탓은 냉체가 삽입되는 냉체용기부를 진공으로 감싸는 제 1 진공용기 하우징과;
상기 제 1 진공용기 하우징과 동일한 진공이 유지되도록, 상기 제 1 진공용기 하우징을 삽입하여 체결된 제 2 진공용기 하우징과;
상기 냉체용기부의 하부에 연결되어 시료를 안치할 수 있는 시료홀더와;
상기 시료를 안치하기 위하여 상기 제 2 진공용기 하우징에 형성된 개구와;
상기 개구를 개폐할 수 있고, 시료를 관찰하기 위한 투명창부재와;
상기 시료홀더와 연결되고, 상기 제 2 진공용기 하우징의 저면 내측에 안치된 단열부재와;
상기 제 1, 2 진공용기 하우징 내부의 공기를 배출하고, 외부로부터 상기 제 1, 2 진공용기 하우징 내부로 열의 유입을 방지하기 위하여 상기 제 2 진공용기 하우징에 형성된 진공배기구와;
상기 제 1 진공용기 하우징 또는 제 2 진공용기 하우징에 형성된 적어도 하나 이상의 오링 락킹홈들과;
상기 오링 락킹홈들에 삽입되고, 상기 제 1 진공용기 하우징과 제 2 진공용기 하우징의 사이에서 외부 공기의 유입을 방지하여 진공상태를 유지시켜주는 적어도 하나 이상의 오링들로 이루어짐을 특징으로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 크라이오스탓의 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 제 1 실시예에 따라 오링이 체결되는 상태의 단면도이다.
도 3a와 3b는 본 발명에 따른 제 2 의 실시예에 따라 오링이 체결되는 상태의 단면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10, 40 : 제 1, 2 진공용기 하우징 11 : 냉체용기부
12 : 냉체 13 : 시료홀더
14 : 전선 20,21 : 제 1, 2 오링
22,23 : 제 1, 2 오링 락킹홈 41 : 진공배기구
42 : 단열부재 50 : 투명창부재
100 : 시료
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명에 따른 크라이오스탓의 단면도로서, 냉체(12)가 삽입되는 냉체용기부(11)를 진공으로 감싸는 제 1 진공용기 하우징(10)과; 상기 제 1 진공용기 하우징(10)과 동일한 진공이 유지되도록, 상기 제 1 진공용기 하우징(10)을 삽입하여 체결된 제 2 진공용기 하우징(40)과; 상기 냉체용기부(11)의 하부에 연결되어 시료(100)를 안치할 수 있는 시료홀더(13)와; 상기 시료(100)를 안치하기 위하여 상기 제 2 진공용기 하우징(40)에 형성된 개구(15)와; 상기 개구(15)를 개폐할 수 있고, 시료(100)를 관찰하기 위한 투명창부재(50)와; 상기 시료홀더(13)와 연결되고, 상기 제 2 진공용기 하우징(40)의 저면 내측에 안치된 단열부재(42)와; 상기 제 1, 2 진공용기 하우징(10,40) 내부의 공기를 배출하고, 외부로부터 상기 제 1, 2 진공용기 하우징(10,40) 내부로 열의 유입을 방지하기 위하여 상기 제 2 진공용기 하우징(40)에 형성된 진공배기구(41)와; 상기 제 1 진공용기 하우징(10)에 형성된 제 1, 2 오링 락킹홈들(22,23)과; 상기 제 1, 2 오링 락킹홈들(22,23)에 삽입되고, 상기 제 1 진공용기 하우징(10)과 제 2 진공용기 하우징(40)의 사이에서 외부 공기의 유입을 방지하여 진공상태를 유지시켜 주는 제 1, 2 오링들(20,21)로 구성되어 있다.
이와 같이 구성된 본 발명의 크라이오스탓은 투명창부재(50)를 열어서, 개구(15)를 통하여 측정하고자하는 시료(100)를 시료홀더(13)에 안치시킨후, 투명창부재(50)를 닫는다.
그리고, 냉체용기부(11)에 액체의 냉체(12)를 삽입하여, 상기 시료(100)가 냉체(12)에 의해 냉각되는 것을 관찰하고 측정한다.
상기 제 1 진공용기 하우징(10)은 상기 제 2 진공용기 하우징(40)에 삽입되어 동일한 진공이 유지되며, 상기 제 1 진공용기 하우징(10)에는 제 1, 2 오링 락킹홈들(22,23)이 형성되어 있고, 상기 제 1, 2 오링 락킹홈들(22,23)에는 제 1, 2 오링들(20,21)이 삽입되어 있어 상기 제 1 진공용기 하우징(10)과 제 2 진공용기 하우징(40)의 사이에서 외부 공기의 유입을 방지하여 진공상태를 유지시켜 주게된다. 상기 제 1 진공용기 하우징(10)은 상기 냉체용기부(11)의 냉체(12)의 양이 줄어들면서 열적인 팽창을 하게 되는데, 이때 상기 제 1, 2 오링들(20,21)은 상기 제2 진공용기 하우징(40)의 면을 따라 이동하게된다.
그런 반면에, 냉체용기부(11)와 연결된 시료홀더(13)의 시료(100)는 상기 제 1 진공용기 하우징(10)의 열적변화에 영향을 받지 않도록 상기 시료홀더(13)가 상기 제 2 진공용기 하우징(40)의 저면에 고정된 단열부재(42)와 연결되어 있어서, 최초의 시료홀더(13) 위치에 고정되어서 장시간의 측정도 가능하고, 광축에 의존하는 광학적인 측정도 가능하게 된다.
그리고, 상기 제 2 진공용기 하우징(40)의 측부에는 진공배기구(41)가 형성되어 있어서, 상기 제 1, 2 진공용기 하우징(10,40) 내부의 공기를 배출함과 동시에 외부로부터 상기 제 1, 2 진공용기 하우징(10,40) 내부로 열의 유입을 방지하게된다.
한편, 전극과 연결된 상기 전선(14)을 상기 시료홀더(13)의 시료(100)에 연결하여 상기 시료(100)에 전류를 흘리면 시료의 전기적인 측정도 가능하게 된다.
도 2는 본 발명에 따른 제 1 실시예에 따라 오링이 체결되는 상태의 단면도로서, 상기 제 1 진공용기 하우징(10)에는 제 1, 2 오링들(20,21)이 삽입되어 있는 제 1, 2 오링 락킹홈들(22,23)이 형성되어 있으며, 상기 제 1 진공용기 하우징(10)은 상기 제 2 진공용기 하우징(40)에 삽입되면서, 진공상태의 기밀을 더욱 견고히 할 수 있다. 그리고, 상기 제 1, 2 오링 락킹홈들(22,23)은 상기 제 1, 2 진공용기 하우징(10,40) 중 어느 한 곳에 형성되어도 무방하며, 상기 제 2 진공용기 하우징(40)이 상기 제 1 진공용기 하우징(10)에 삽입되어도 된다.
상기의 오링은 탄성체로 형성하는 것이 바람직하며, 고무재질의 탄성체가 가장 바람직하다.
도 3a와 3b는 본 발명에 따른 제 2 의 실시예에 따라 오링이 체결되는 상태의 단면도로서, 상기 제 1 진공용기 하우징(10)에는 제 1, 2 오링들(20,21)이 삽입되어 있는 제 1, 2 오링 락킹홈들(22,23)이 형성되어 있으며, 상기 제 1, 2 오링 락킹홈들(22,23)과 대응되도록 상기 제 2 진공용기 하우징(40)에는 상기 제 1, 2 오링들(22,23)을 수용할 수 있는 슬라이드홈(30)이 형성되어 있으며, 상기 슬라이드홈의 상측과 하측과 상기 오링들의 상,하부면의 사이에는 공차들(d1,d2)이 형성되어 상기 냉체용기부(11)와 일체로 형성된 상기 제 1 진공용기 하우징(10)의 열적 변화로 인한 수축 및 팽창에 대하여 원활한 유동을 함으로서, 시료에는 영향을 주지 않게 된다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명의 크라이오스탓은 2개의 진공용기 하우징과 이를 체결하는 오링구조 및 시료홀더의 단열부재로 인하여 시료를 장시간 관찰 및 측정할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 구체적인 예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (4)
- 냉체가 삽입되는 냉체용기부를 진공으로 감싸는 제 1 진공용기 하우징과;상기 제 1 진공용기 하우징과 동일한 진공이 유지되도록, 상기 제 1 진공용기 하우징을 삽입하여 체결된 제 2 진공용기 하우징과;상기 냉체용기부의 하부에 연결되어 시료를 안치할 수 있는 시료홀더와;상기 시료를 안치하기 위하여 상기 제 2 진공용기 하우징에 형성된 개구와;상기 개구를 개폐할 수 있고, 시료를 관찰하기 위한 투명창부재와;상기 시료홀더와 연결되고, 상기 제 2 진공용기 하우징의 저면 내측에 안치된 단열부재와;상기 제 1, 2 진공용기 하우징 내부의 공기를 배출하고, 외부로부터 상기 제 1, 2 진공용기 하우징 내부로 열의 유입을 방지하기 위하여 상기 제 2 진공용기 하우징에 형성된 진공배기구와;상기 제 1 진공용기 하우징 또는 제 2 진공용기 하우징에 형성된 적어도 하나 이상의 오링 락킹홈들과;상기 오링 락킹홈들에 삽입되고, 상기 제 1 진공용기 하우징과 제 2 진공용기 하우징의 사이에서 외부 공기의 유입을 방지하여 진공상태를 유지시켜주는 적어도 하나 이상의 오링들로 이루어진 것을 특징으로 하는 크라이오스탓.
- 제 1항에 있어서, 상기 오링 락킹홈들과 대응되도록 상기 제 1 진공용기 하우징 또는 제 2 진공용기 하우징에는 상기 오링들을 수용할 수 있는 슬라이드홈이 형성되어 있으며, 상기 제 1 진공용기 하우징의 열적변화에 상기 오링들이 유동될 수 있도록 상기 슬라이드홈의 상측과 하측과 상기 오링들의 상,하부면의 사이에는 공차들(d1,d2)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 크라이오스탓.
- 제 1항에 있어서, 상기 시료홀더에는 외부의 전원공급부와 연결되어 시료에 전류를 흐르게 하여 전기적인 측정을 할 수 있도록 전선이 배선되어 있는 것을 특징으로 하는 크라이오스탓.
- 제 1항에 있어서, 상기 오링은 탄성체인 것을 특징으로 하는 크라이오스탓.
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|---|---|---|---|---|
| CN109068895A (zh) * | 2016-03-13 | 2018-12-21 | 福乐士吉科有限公司 | 真空容器、系统和方法 |
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2001
- 2001-08-23 KR KR1020010050837A patent/KR20030017806A/ko not_active Application Discontinuation
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| CN109068895B (zh) * | 2016-03-13 | 2021-10-01 | 福乐士吉科有限公司 | 真空容器、系统和方法 |
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