KR20030016053A - a thin film transistor array panel having a structure for preventing light leakage - Google Patents

a thin film transistor array panel having a structure for preventing light leakage Download PDF

Info

Publication number
KR20030016053A
KR20030016053A KR1020010049965A KR20010049965A KR20030016053A KR 20030016053 A KR20030016053 A KR 20030016053A KR 1020010049965 A KR1020010049965 A KR 1020010049965A KR 20010049965 A KR20010049965 A KR 20010049965A KR 20030016053 A KR20030016053 A KR 20030016053A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
semiconductor layer
gate
electrode
data line
line
Prior art date
Application number
KR1020010049965A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100759977B1 (en
Inventor
송장근
Original Assignee
삼성전자주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성전자주식회사 filed Critical 삼성전자주식회사
Priority to KR1020010049965A priority Critical patent/KR100759977B1/en
Publication of KR20030016053A publication Critical patent/KR20030016053A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100759977B1 publication Critical patent/KR100759977B1/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/136286Wiring, e.g. gate line, drain line
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1343Electrodes
    • G02F1/134309Electrodes characterised by their geometrical arrangement
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof  ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772Field effect transistors
    • H01L29/78Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
    • H01L29/786Thin film transistors, i.e. transistors with a channel being at least partly a thin film
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/12Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode
    • G02F2201/123Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 electrode pixel

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)

Abstract

PURPOSE: A thin film transistor substrate with the structure of preventing light loss is provided to reduce light loss caused by influence of data line potential by forming shielding semiconductor layers on wires adjacent to data lines. CONSTITUTION: A thin film transistor substrate with the structure of preventing light loss includes an insulating substrate; a plurality of gate wires having gate lines(20) and gate electrodes; a plurality of maintenance wires including maintenance capacity lines(30) parallel to the gate lines and a plurality of maintenance electrodes(31,34); a gate insulating film formed on the gate lines and the maintenance wires; a channel part semiconductor layer(50) formed on the gate insulating film; shielding semiconductor layers(51,54) formed on the gate insulating film and overlapped with the part of the maintenance electrodes; a plurality of data wires including data lines(70) crossing the gate lines, source electrodes(71) spread over the channel part semiconductor layer, drain electrodes(72) facing the source electrodes spread over the channel part semiconductor layer; a protective layer covering the data wires and having contact holes exposing the drain electrodes; and pixel electrodes(90) formed in pixel areas and connected with the drain electrodes through the contact holes(81).

Description

빛샘 방지 구조를 가지는 박막 트랜지스터 기판{a thin film transistor array panel having a structure for preventing light leakage}A thin film transistor array panel having a structure for preventing light leakage

본 발명은 액정 표시 장치 및 그에 사용되는 기판에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device and a substrate used therein.

액정 표시 장치는 일반적으로 공통 전극과 컬러 필터(color filter) 등이 형성되어 있는 상부 기판과 박막 트랜지스터와 화소 전극 등이 형성되어 있는 하부 기판 사이에 액정 물질을 주입해 놓고 화소 전극과 공통 전극에 서로 다른 전위를 인가함으로써 전계를 형성하여 액정 분자들의 배열을 변경시키고, 이를 통해 빛의 투과율을 조절함으로써 화상을 표현하는 장치이다.In general, a liquid crystal display device injects a liquid crystal material between an upper substrate on which a common electrode, a color filter, and the like are formed, and a lower substrate on which a thin film transistor and a pixel electrode are formed. By applying a different potential to form an electric field to change the arrangement of the liquid crystal molecules, and through this to control the light transmittance is a device that represents the image.

그런데 액정 표시 장치가 우수한 화질을 가지기 위해서는 각 화소의 빛 투과량이 입력된 화상 신호에 의하여 정확하게 조절될 수 있어야 한다. 이를 위하여는 각 화소 전극과 공통 전극 사이에서 형성되는 전계가 주변의 영향을 받지 않고 개별적으로 조정될 수 있어야 한다. 그러나 화소 전극이 형성되어 있는 하부 기판에는 화상 신호를 공급하는 데이터선과 주사 신호를 공급하는 게이트선이 형성되어 있으며 이들 배선을 통하여 계속적으로 신호가 흐른다. 이들 배선을 타고 흐르는 전기 신호는 그 주변의 전계에 영향을 미친다. 이로 인하여 액정 분자의 배열이 변경되고 결국 원치 않는 빛의 투과가 발생하게 되며 이러한 현상을 빛샘이라고 한다. 이러한 빛샘을 방지하기 위하여 화소 영역의 경계를 블랙 매트릭스로 가리는 등의 방안을 마련하고 있으나 배선과 블랙 매트릭스 사이에서의 다중 반사로 인하여 여전히 빛샘이 존재한다.However, in order for the liquid crystal display to have excellent image quality, the light transmission amount of each pixel must be accurately controlled by the input image signal. For this purpose, the electric field formed between each pixel electrode and the common electrode should be individually adjustable without being influenced by the surroundings. However, a data line for supplying an image signal and a gate line for supplying a scan signal are formed on the lower substrate on which the pixel electrode is formed, and the signal continuously flows through these wirings. Electrical signals flowing through these wires affect the electric field around them. As a result, the arrangement of the liquid crystal molecules is changed and unwanted transmission of light occurs. This phenomenon is called light leakage. In order to prevent such light leakage, a method of covering the boundary of the pixel region with a black matrix is provided, but light leakage still exists due to multiple reflections between the wiring and the black matrix.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 액정 표시 장치의 빛샘을 저감하는 것이다.An object of the present invention is to reduce the light leakage of the liquid crystal display device.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고,1 is a layout view of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 박막 트랜지스터 기판과 색 필터 기판을 결합하여 이루어진 액정 표시 장치의 단면도로써 도 1의 II-II'선에 대한 단면도이고,FIG. 2 is a cross-sectional view of the liquid crystal display device formed by combining the thin film transistor substrate and the color filter substrate of FIG. 1, and is a cross-sectional view taken along the line II-II ′ of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치에서 빛샘이 감소되는 원리를 설명하기 위한 도면이고,3 is a view for explaining a principle of reducing light leakage in the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 빛샘이 발생한 경우와 발생하지 않은 경우의 1계조에서의 각도에 따른 투과율 곡선을 나타내는 그래프이고,4 is a graph showing transmittance curves according to angles in one gradation with and without light leakage;

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치와 종래의 기술에 따른 액정 표시 장치의 각도에 따른 빛의 반사율을 비교한 그래프이고,FIG. 5 is a graph comparing reflectivity of light according to angles of a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention and a liquid crystal display according to the related art.

도 6은 도 5의 그래프를 종래의 기술에 따른 액정 표시 장치의 빛의 반사율을 기준(100%)으로 정규화한 그래프이고,FIG. 6 is a graph in which the graph of FIG. 5 is normalized based on a reflectance of light of a liquid crystal display according to the related art (100%).

도 7a는 액정 표시 장치의 패널 내부와 외부에서의 광 경로의 각도 변화를 나타내는 개념도이고,7A is a conceptual diagram illustrating an angle change of an optical path inside and outside a panel of a liquid crystal display device;

도 7b는 패널 외부에서의 광 경로 각도에 대응하는 패널 내부에서의 광 경로각도를 나타내는 그래프이고,7B is a graph showing an optical path angle inside the panel corresponding to the optical path angle outside the panel;

도 8a, 도 9a 및 도 10a는 도 1에 나타낸 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 과정을 공정 순서에 따라 나타낸 도면이고,8A, 9A, and 10A are views illustrating a process of manufacturing the thin film transistor substrate for the liquid crystal display device illustrated in FIG. 1, according to a process sequence;

도 8b, 도 9b 및 도 10b는 각각 도 8a의 VIIIb-VIIIb'선, 도 9a의 IXb-IXb'선 및 도 10a의 Xb-Xb'선에 대한 단면도이고,8B, 9B and 10B are cross sectional views taken along line VIIIb-VIIIb 'of FIG. 8A, line IXb-IXb' of FIG. 9A, and line Xb-Xb 'of FIG. 10A, respectively.

도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고,11 is a layout view of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고,12 is a layout view of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a third exemplary embodiment of the present invention.

도 13은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치용 색 필터 기판의 배치도이고,13 is a layout view of a color filter substrate for a liquid crystal display according to a third embodiment of the present invention;

도 14는 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도로써 블랙 매트릭스와 색필터 선을 생략하고 도시한 것이고,14 is a layout view of a liquid crystal display according to a third exemplary embodiment of the present invention, in which a black matrix and color filter lines are omitted.

도 15는 XV-XV'선에 대한 단면도이고,15 is a sectional view taken along line XV-XV ',

도 16은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치에서 빛샘이 감소되는 원리를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 16 is a diagram for describing a principle of reducing light leakage in the liquid crystal display according to the third exemplary embodiment of the present invention.

이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 차광용 반도체층을 데이터선 주위에 배치한다.In order to solve this problem, in the present invention, the light shielding semiconductor layer is disposed around the data line.

구체적으로는, 절연 기판, 상기 기판 위에 가로 방향으로 형성되어 있는 게이트선과 상기 게이트선의 일부인 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선, 상기 게이트선과 나란한 유지 용량선과 상기 유지 용량선의 가지 형태로 형성되어 있는 다수의 유지 전극을 포함하는 유지 배선, 상기 게이트선 및 상기 유지 배선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막, 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 채널부 반도체층, 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있으며 상기 유지 전극 중 일부와 중첩되어 있는 차광용 반도체층, 상기 게이트선과 교차하고 있는 데이터선, 상기 데이터선에 연결되어 있으며 상기 채널부 반도체층 위에 걸쳐있는 소스 전극 및 상기 소스 전극에 대향하고 있고 상기 채널부 반도체층 위에 걸쳐 있는 드레인 전극을 포함하는 데이터 배선, 상기 데이터 배선을 덮고 있으며 상기 드레인 전극을 노출시키는 접촉구를 가지는 보호막, 상기 게이트선과 상기 데이터선이 교차하여 이루는 화소 영역 내에 형성되어 있으며 상기 드레인 전극과 상기 접촉구를 통하여 연결되어 있는 화소 전극을 포함하고, 상기 차광용 반도체층과 중첩하는 유지 전극은 상기 데이터선과 나란하게 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판을 마련한다.Specifically, a plurality of holdings formed in the form of an insulating substrate, a gate wiring including a gate line formed on the substrate in a horizontal direction and a gate electrode which is a part of the gate line, and a storage capacitor line parallel to the gate line and a branch of the storage capacitor line. A storage wiring including an electrode, a gate insulating film formed on the gate line and the storage wiring, a channel portion semiconductor layer formed on the gate insulating film, and a light shielding layer formed on the gate insulating film and overlapping with some of the storage electrodes A semiconductor layer, a data line intersecting the gate line, a source electrode connected to the data line and over the channel portion semiconductor layer, and a drain electrode facing the source electrode and over the channel portion semiconductor layer. Data wiring, said A protective film covering a data line and having a contact hole for exposing the drain electrode, and a pixel electrode formed in a pixel region where the gate line and the data line cross each other and connected through the drain electrode and the contact hole; And a storage electrode overlapping the light blocking semiconductor layer to form a thin film transistor substrate formed in parallel with the data line.

이 때, 상기 차광용 반도체층은 상기 데이터선을 중심으로 하여 양측에 배치되어 있는 상기 유지 전극의 상부에 각각 배치되어 있을 수 있고, 상기 차광용 반도체층은 상기 데이터선 하부로부터 그 양측에 배치되어 있는 상기 유지 전극의 상부에까지 걸쳐 형성되어 있을 수 있으며, 상기 화소 전극은 수 개의 소부분으로 이루어져 있고, 상기 소부분을 상기 유지 전극을 덮고 있는 제1류와 상기 유지 전극을 덮고 있지 않은 제2류로 구분할 때, 상기 차광용 반도체층은 상기 제2류와 인접하고 있는 것이 바람직하다. 또한, 상기 유지 전극은 굴절되어 있어서 세로 부분과 가로 부분을 가지며, 상기 차광용 반도체층은 상기 유지 전극의 세로 부분과 중첩되어 있는 것이 바람직하고, 상기 데이터선과 적어도 일부가 중첩되어 있으며, 상기 데이터선을 따라 세로 방향으로 형성되어 있고, 상기 유지 전극의 세로 부분과 소정의 거리를 유지할 수 있도록 굴절되어 있는 데이터선부 반도체층을 더 포함할 수 있다.In this case, the light blocking semiconductor layers may be disposed on upper portions of the sustain electrodes disposed on both sides of the data line, and the light blocking semiconductor layers may be disposed on both sides from below the data lines. It may be formed over the upper portion of the sustain electrode, wherein the pixel electrode is composed of several small portions, the small portion is a first flow that covers the sustain electrode and a second flow that does not cover the sustain electrode In order to distinguish, it is preferable that the said light shielding semiconductor layer is adjacent to the said 2nd class. The sustain electrode may be refracted to have a vertical portion and a horizontal portion, and the light blocking semiconductor layer may overlap the vertical portion of the sustain electrode, and at least a portion of the data line may overlap the data line. The semiconductor device may further include a data line semiconductor layer formed in a vertical direction and refracted to maintain a predetermined distance from the vertical portion of the sustain electrode.

그러면 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치에 대하여 설명한다.Next, a liquid crystal display according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고, 도 2는 도 1의 박막 트랜지스터 기판과 색 필터 기판을 결합하여 이루어진 액정 표시 장치의 단면도로써 도 1의 II-II'선에 대한 단면도이다.FIG. 1 is a layout view of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the liquid crystal display formed by combining the thin film transistor substrate and the color filter substrate of FIG. 1. A cross-sectional view of the -II 'line.

본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치는 블랙 매트릭스(110), 색필터(120) 및 공통 전극(130) 등이 형성되어 있는 상부 기판(100), 박막 트랜지스터와 화소 전극(91) 등이 형성되어 있는 하부 기판(10) 및 상부 기판(100)과 하부 기판(10) 사이에 주입되어 있는 액정 물질(200)로 이루어진다.The liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention includes an upper substrate 100, a thin film transistor, a pixel electrode 91, etc., on which a black matrix 110, a color filter 120, a common electrode 130, and the like are formed. The lower substrate 10 and the liquid crystal material 200 injected between the upper substrate 100 and the lower substrate 10 are formed.

먼저, 하부 기판(10)에 대하여 좀 더 상세히 설명한다.First, the lower substrate 10 will be described in more detail.

유리 등의 투명한 절연 기판(10) 위에 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선 (20)이 형성되어 있고, 게이트선과 나란하게 유지 용량선(30)이 형성되어 있다.게이트선(20)에는 게이트 전극이(21) 돌기의 형태로 형성되어 있고, 유지 용량선 (30)에는 제1 및 제2 유지 전극(31, 34)이 가지의 형태로 연결되어 있다. 제1 유지 전극(31)과 제2 유지 전극(34)은 유지 용량선(30)에 직접 연결되어 세로 방향으로 형성되어 있고, 이들 두 유지 전극(31, 34)은 유지 전극 연결부(35)에 의하여 서로 연결되어 있다. 유지 전극 연결부(35)는 후술하는 데이터선(70)을 가로지르는 형태로 형성되어 있다. 게이트 배선(20, 21)과 유지 용량 배선(30, 31, 34, 35) 위에는 게이트 절연막(40)이 형성되어 있고, 게이트 전극(21) 상부의 게이트 절연막(40) 위에는 비정질 규소로 이루어진 채널부 반도체층(50)이 형성되어 있다. 또, 제1 및 제2 유지 전극(31, 34) 상부의 게이트 절연막(40) 위에는 차광용 반도체층(51, 54)이 제1 및 제2 유지 전극(31, 34)을 따라 세로로 길게 형성되어 있다. 채널부 반도체층(50)의 위에는 인 등의 N형 불순물로 고농도로 도핑된 비정질 규소로 이루어진 접촉층(61, 62)이 형성되어 있다. 양쪽 접촉층(61, 62)의 위에는 각각 소스 전극(71)과 드레인 전극(72)이 형성되어 있고, 소스 전극(71)은 게이트 절연막(40) 위에 세로 방향으로 뻗어 있는 데이터선(70)에 연결되어 있다. 데이터 배선(70, 71, 72)의 위에는 드레인 전극(72)을 노출시키는 접촉구(81)를 가지는 보호막(80)이 형성되어 있고, 보호막(80)의 위에는 접촉구(81)를 통하여 드레인 전극 (72)과 연결되어 있는 화소 전극(90)이 형성되어 있다. 화소 전극(90)은 ITO (indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 등의 투명한 도전 물질로 이루어진다.A gate line 20 extending in the horizontal direction is formed on a transparent insulating substrate 10 such as glass, and a storage capacitor line 30 is formed in parallel with the gate line. 21) It is formed in the form of a projection, and the first and second storage electrodes 31 and 34 are connected to the storage capacitor line 30 in the form of a branch. The first storage electrode 31 and the second storage electrode 34 are directly connected to the storage capacitor line 30 and are formed in the vertical direction. These two storage electrodes 31 and 34 are connected to the storage electrode connection part 35. Are connected to each other. The storage electrode connection part 35 is formed to cross the data line 70, which will be described later. A gate insulating film 40 is formed on the gate wirings 20 and 21 and the storage capacitor wirings 30, 31, 34, and 35, and a channel part made of amorphous silicon on the gate insulating film 40 above the gate electrode 21. The semiconductor layer 50 is formed. In addition, the light blocking semiconductor layers 51 and 54 are formed along the first and second storage electrodes 31 and 34 to extend vertically on the gate insulating layer 40 on the first and second storage electrodes 31 and 34. It is. Contact layers 61 and 62 made of amorphous silicon doped at high concentration with N-type impurities such as phosphorous are formed on the channel portion semiconductor layer 50. A source electrode 71 and a drain electrode 72 are formed on both contact layers 61 and 62, respectively, and the source electrode 71 is formed on the data line 70 extending in the vertical direction on the gate insulating film 40. It is connected. A passivation film 80 having a contact hole 81 exposing the drain electrode 72 is formed on the data lines 70, 71, and 72, and a drain electrode is formed on the passivation film 80 through the contact hole 81. The pixel electrode 90 connected to the 72 is formed. The pixel electrode 90 is made of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).

이상과 같이, 제1 및 제2 유지 전극(31, 34) 위에 차광용 반도체층(31, 34)을 형성해 두면, 데이터선(70) 주변에서 데이터선(70) 전위의 영향으로 인하여 발생하는 빛샘을 저감할 수 있다. 빛샘이 저감되는 이유에 대하여는 후술한다.As described above, when the light blocking semiconductor layers 31 and 34 are formed on the first and second sustain electrodes 31 and 34, light leakage caused by the influence of the potential of the data line 70 around the data line 70 is generated. Can be reduced. The reason why light leakage is reduced will be described later.

상부 기판(100)에 대하여 좀 더 상세히 설명한다.The upper substrate 100 will be described in more detail.

유리 등으로 이루어진 투명한 기판(100) 위에 크롬과 산화크롬의 이중층으로 이루어진 블랙 매트릭스(110)가 형성되어 있어서 화소 영역을 정의하고 있다. 각 화소 영역에는 적, 녹, 청색의 색필터(120)가 형성되어 있고, 색필터(120)의 위에는 투명한 도전체로 이루어진 공통 전극(130)이 기판(100) 전면에 형성되어 있다.A black matrix 110 formed of a double layer of chromium and chromium oxide is formed on a transparent substrate 100 made of glass or the like to define a pixel region. Red, green, and blue color filters 120 are formed in each pixel area, and a common electrode 130 made of a transparent conductor is formed on the entire surface of the substrate 100 on the color filters 120.

그러면 본 발명에 의하여 빛샘이 감소되는 원리를 설명한다.The principle of light leakage is reduced by the present invention.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치에서 빛샘이 감소되는 원리를 설명하기 위하여 도 2의 데이터선(70) 주변을 개념화하여 나타낸 도면이다.FIG. 3 is a diagram conceptually illustrating a periphery of the data line 70 of FIG. 2 to explain a principle of reducing light leakage in the liquid crystal display according to the first exemplary embodiment of the present invention.

먼저, 빛샘의 발생 원인을 살펴본다.First, look at the causes of light leakage.

모든 화소 행에 대하여 화상 신호를 순차적으로 공급해야 하므로 데이터선 (70)에는 계속적으로 화상 신호 전압이 인가된다. 그런데 이 화상 신호 전압으로 인하여 데이터선(70) 주변의 액정 분자의 배열이 변화하고, 액정층(200)을 통과하는 빛의 편광 방향이 변화하게 된다. 편광 방향이 변화한 빛은 그대로 통과할 경우 편광판에 의하여 차단되지 않고 액정 표시 장치의 화면을 통하여 방출되어 화질에 영향을 주게된다. 이러한 빛을 차단하기 위하여 블랙 매트릭스(110)를 데이터선(70) 주변을 덮도록 형성해 둔다. 그런데 블랙 매트릭스(110)에 의하여 빛의 일부가 반사되는 것이 문제이다. 도 3에서 차광용 반도체층(54)이 없다고 가정하면,θ2의 각도로 입사한 빛의 일부가 블랙 매트릭스(110)에 의하여 반사되고, 다시 제2 유지 전극(34)에 의하여 반사되어 블랙 매트릭스(110)로 가려지지 않은 부분을 통하여 방출된다.Since the image signals must be sequentially supplied to all the pixel rows, the image signal voltage is continuously applied to the data line 70. However, due to the image signal voltage, the arrangement of liquid crystal molecules around the data line 70 is changed, and the polarization direction of light passing through the liquid crystal layer 200 is changed. When the light with the changed polarization direction is passed as it is, it is not blocked by the polarizing plate and is emitted through the screen of the liquid crystal display device to affect the image quality. In order to block such light, the black matrix 110 is formed to cover the periphery of the data line 70. However, a problem is that some of the light is reflected by the black matrix 110. Assuming that there is no light shielding semiconductor layer 54 in FIG. 3, a part of the light incident at an angle of θ 2 is reflected by the black matrix 110, and then reflected by the second storage electrode 34, and thus the black matrix. Emitted through the portion not covered by 110.

그러나 도 3과 같이 차광용 반도체층(54)을 형성해 두면 블랙 매트릭스(110)에 의하여 빛이 일부가 반사되더라고 반도체층(54)이 이를 흡수하여 차단하게 된다. 반도체층(54)은 금속 박막인 유지 전극(34)에 비하여 빛의 반사율이 낮고 입사하는 대부분의 빛을 흡수하기 때문이다.However, when the light blocking semiconductor layer 54 is formed as shown in FIG. 3, even though some light is reflected by the black matrix 110, the semiconductor layer 54 absorbs and blocks the light. This is because the semiconductor layer 54 has a lower reflectance of light and absorbs most of incident light than the sustain electrode 34 which is a metal thin film.

도 3에서, θ1의 각도로 입사하는 빛은 차광용 반도체층(54)이 있더라도 블랙 매트릭스(110)로 가려지지 않은 부분을 통하여 방출될 수 있으나, 이러한 각도로 입사하는 빛은 거의 없어서 빛샘에 크게 기여하지 않으므로 문제시되지 않는다.In FIG. 3, light incident at an angle of θ 1 may be emitted through a portion that is not obscured by the black matrix 110 even though the light blocking semiconductor layer 54 is present. It does not matter much because it does not contribute much.

도 4는 빛샘이 발생한 경우와 발생하지 않은 경우의 1계조에서의 각도에 따른 투과율 곡선을 나타내는 그래프이다.4 is a graph showing transmittance curves according to angles in one gradation when light leakage occurs and when no light leakage occurs.

도 4를 보면, 빛샘이 있는 경우 1과 2 모두 한쪽 측면각에서만 빛샘이 나타나고 있다. 이는 박막 트랜지스터 기판 제작 과정에서 발생한 노광 마스크의 오정렬 때문에 빛샘이 한쪽으로만 치우친 것이다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 빛샘이 심하게 발생한 경우에는 투과율이 약 20~30% 수준으로 나타난다. 이 정도의 투과율은 보는 사람이 충분히 인지할 수 있는 정도이다. 사람이 인지하지 못하는 수준은 약 5% 미만이다. 따라서, 도 4에서와 같은, 심한 수준의 빛샘은 1/5 이하로 감소시킬 필요가 있다. 또, 빛샘이 심하게 나타나는 각도는 20°에서 50°임을 알수 있다.Referring to FIG. 4, when there are light leakages, light leakages appear only at one side angle. This is due to misalignment of the exposure mask generated during the thin film transistor substrate fabrication, so that light leakage is biased to one side. As shown in FIG. 4, when light leakage occurs severely, the transmittance is about 20-30%. This degree of transmittance is a degree which a viewer can fully recognize. Human perception is less than about 5%. Therefore, severe levels of light leakage, as in FIG. 4, need to be reduced to less than 1/5. In addition, it can be seen that the angle of light leakage is severe from 20 ° to 50 °.

도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치와 종래의 기술에 따른 액정 표시 장치의 각도에 따른 빛의 반사율을 비교한 그래프이고, 도 6은 도 5의 그래프를 종래의 기술에 따른 액정 표시 장치의 빛의 반사율을 기준(100%)으로 정규화한 그래프이다. 도 5와 도 6에서 측정 장비의 한계로 인하여 입사 각도가 25°이상인 부분에서만 측정하였다. 그러나 측정된 값을 바탕으로 25°이하의 부분도 추정이 가능하다.FIG. 5 is a graph comparing reflectivity of light according to angles of a liquid crystal display according to a first exemplary embodiment of the present invention and a liquid crystal display according to the related art, and FIG. 6 illustrates the graph of FIG. 5 according to the prior art. It is a graph normalized by the reference (100%) of the light reflectance of a liquid crystal display device. In FIG. 5 and FIG. 6, the measurement was performed only at a portion having an incidence angle of 25 ° or more due to limitations of the measuring equipment. However, based on the measured values, parts below 25 ° can be estimated.

도 5를 보면, 측정한 모든 각도에서 차광용 반도체층이 없는 경우(종래 기술)에 비하여 차광용 반도체층이 있는 경우(본 발명의 제1 실시예)가 빛의 반사율이 현저히 낮음을 알 수 있다. 도 6을 보면, 차광용 반도체층이 있는 경우(본 발명의 제1 실시예)의 빛의 반사율이 차광용 반도체층이 없는 경우(종래 기술)의 반사율의 약 30%에서 40% 정도임을 알 수 있다. 각도가 증가함에 따라 반사율의 비가 증가하는 것은 보호막과 반도체층의 계면에서의 반사가 증가하기 때문이다.5, it can be seen that the light reflectance is significantly lower in the case where there is a light shielding semiconductor layer (first embodiment of the present invention) compared to the case where there is no light shielding semiconductor layer at all measured angles (prior art). . 6, it can be seen that the reflectance of light in the case of the light shielding semiconductor layer (first embodiment of the present invention) is about 30% to 40% of the reflectance in the case of the absence of the light shielding semiconductor layer (prior art). have. The ratio of the reflectance increases as the angle increases because the reflection at the interface between the protective film and the semiconductor layer increases.

도 7a는 액정 표시 장치의 패널 내부와 외부에서의 광 경로의 각도 변화를 나타내는 개념도이고, 도 7b는 패널 외부에서의 광 경로 각도에 대응하는 패널 내부에서의 광 경로 각도를 나타내는 그래프이다.FIG. 7A is a conceptual diagram illustrating an angle change of an optical path inside and outside a panel of a liquid crystal display, and FIG. 7B is a graph illustrating an optical path angle inside a panel corresponding to an optical path angle outside the panel.

도 7a에 나타낸 바와 같이, 광 경로 각도는 스넬의 법칙에 의하여 굴절되기 때문에 액정 패널의 외부와 내부에서 달라진다. 그런데 도 4에서 알 수 있는 바와 같이, 액정 패널의 외부에서 볼 때 빛샘이 문제되는 각도는 약 20°에서 50°사이이다. 이 각도를 액정 패널 내부에서의 각도로 환산하면 약 13°에서 31°사이가된다(도 7b 참조). 이 범위는 도 6에서 네모 박스로 둘러싸인 부분이다. 도 6을 보면 이 범위 내에서는 차광용 반도체층이 있는 경우(본 발명의 제1 실시예)의 빛의 반사율이 차광용 반도체층이 없는 경우(종래 기술)의 반사율의 30% 내외로 감소된다. 따라서 유지 전극(31, 34) 위에 반도체층(51, 54)을 적용함으로써 25% 수준이던 빛샘을 약 7~8% 수준으로 감소시킬 수 있다.As shown in Fig. 7A, the optical path angle is different from outside and inside of the liquid crystal panel because it is refracted by Snell's law. However, as can be seen in Figure 4, the angle of light leakage problem when viewed from the outside of the liquid crystal panel is between about 20 ° to 50 °. When this angle is converted into an angle inside the liquid crystal panel, it is between about 13 ° and 31 ° (see FIG. 7B). This range is the part surrounded by the square box in FIG. 6, within this range, the reflectance of light in the case of the light shielding semiconductor layer (first embodiment of the present invention) is reduced to around 30% of the reflectivity in the case of the absence of the light shielding semiconductor layer (prior art). Therefore, by applying the semiconductor layers 51 and 54 on the sustain electrodes 31 and 34, the light leakage, which is 25%, can be reduced to about 7-8%.

그러면 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정 표시 장치를 제조하는 방법에 대하여 설명한다.Next, a method of manufacturing the liquid crystal display device according to the first embodiment of the present invention will be described.

먼저, 박막 트랜지스터 기판(하부 기판)을 제조하는 방법에 대하여 설명한다.First, a method of manufacturing a thin film transistor substrate (lower substrate) will be described.

도 8a, 도 9a 및 도 10a는 도 1에 나타낸 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 제조하는 과정을 공정 순서에 따라 나타낸 도면이고, 도 8b, 도 9b 및 도 10b는 각각 도 8a의 VIIIb-VIIIb'선, 도 9a의 IXb-IXb'선 및 도 10a의 Xb-Xb'선에 대한 단면도이다.8A, 9A, and 10A are views illustrating a process of manufacturing the thin film transistor substrate for the liquid crystal display device shown in FIG. 1, according to a process sequence, and FIGS. 8B, 9B, and 10B are VIIIb-VIIIb ′ of FIG. 8A, respectively. It is sectional drawing about the line, the IXb-IXb 'line of FIG. 9A, and the Xb-Xb' line of FIG. 10A.

우선, 도 8a 및 도 8b에 나타낸 바와 같이, 절연 기판(10) 위에 게이트 금속층을 적층하고 사진 식각하여 게이트 배선(20, 21) 및 유지 전극 배선(30, 31, 34, 35)을 형성한다. 이 때, 게이트 금속층은 크롬 등의 물리 화학적 특성이 우수한 물질과 알루미늄 등의 도전성이 우수한 물질의 이중층으로 형성하는 것이 바람직하다.First, as shown in FIGS. 8A and 8B, the gate metal layers are stacked and photo-etched on the insulating substrate 10 to form the gate wirings 20 and 21 and the sustain electrode wirings 30, 31, 34, and 35. At this time, the gate metal layer is preferably formed of a double layer of a material having excellent physicochemical properties such as chromium and a material having excellent conductivity such as aluminum.

다음, 도 9a 및 도 9b에 나타낸 바와 같이, 게이트 배선(20, 21) 및 유지 전극 배선(30, 31, 34, 35) 위에 질화 규소, 비정질 규소, N형 불순물로 도핑된 비정질 규소를 차례로 증착하여 게이트 절연막(40), 반도체층(50, 51, 54) 및 접촉층 (60)을 형성하고, 반도체층(50, 51, 54) 및 접촉층(60)을 함께 사진 식각하여 채널부 반도체층(50)과 차광용 반도체층(51, 54) 및 이들 위의 접촉층(60)을 패터닝한다.Next, as shown in FIGS. 9A and 9B, the silicon nitride, amorphous silicon, and amorphous silicon doped with N-type impurities are sequentially deposited on the gate wirings 20 and 21 and the sustain electrode wirings 30, 31, 34, and 35. To form the gate insulating film 40, the semiconductor layers 50, 51, 54 and the contact layer 60, and photo-etch the semiconductor layers 50, 51, 54 and the contact layer 60 together to form a channel portion semiconductor layer. 50 and the light shielding semiconductor layers 51 and 54 and the contact layer 60 thereon are patterned.

도 10a 및 도 10b에 나타낸 바와 같이, 데이터 금속층을 적층하고 사진 식각하여 데이터 배선(70, 71, 72)을 형성한다. 이 때, 데이터 금속층은 크롬 등의 물리 화학적 특성이 우수한 물질과 알루미늄 등의 도전성이 우수한 물질의 이중층으로 형성하는 것이 바람직하다. 이어서, 데이터 배선(70, 71, 72)을 식각 차단층으로 하여 노출되어 있는 접촉층(60)을 식각하여 채널부 반도체층(50) 상부에서는 양쪽으로 분리된 접촉층(61, 62)을 형성하고 차광용 반도체층(51, 54) 상부에서는 접촉층(60)을 모두 제거한다.As shown in FIGS. 10A and 10B, data metal layers are stacked and photo-etched to form data wires 70, 71, and 72. At this time, the data metal layer is preferably formed of a double layer of a material having excellent physicochemical properties such as chromium and a material having excellent conductivity such as aluminum. Subsequently, the exposed contact layer 60 is etched using the data wires 70, 71, and 72 as an etch stop layer to form contact layers 61 and 62 separated on both sides of the channel portion semiconductor layer 50. In addition, all of the contact layers 60 are removed from the light blocking semiconductor layers 51 and 54.

다음, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 데이터 배선(70, 71, 72) 위에 질화 규소 등을 증착하거나 유기막을 도포하여 보호막(80)을 형성하고, 보호막(80)을 사진 식각하여 드레인 전극(72)을 노출시키는 접촉구(81)를 형성한다. 이어서, ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium tin oxide) 등의 투명 도전 물질을 증착하고 사진 식각하여 드레인 전극(72)과 연결되는 화소 전극(90)을 형성한다.Next, as shown in FIGS. 1 and 2, a silicon nitride or the like is deposited on the data lines 70, 71, and 72, or an organic layer is coated to form a passivation layer 80, and the passivation layer 80 is photo-etched to drain electrodes. The contact hole 81 exposing the 72 is formed. Subsequently, a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium tin oxide (IZO) is deposited and photo-etched to form a pixel electrode 90 connected to the drain electrode 72.

색필터 기판(상부 기판)을 제조하는 방법은 종래의 색필터 기판의 제조 방법과 동일하다. 즉, 절연 기판(100) 위에 크롬을 증착하고 사진 식각하여 블랙 매트릭스(110)를 형성하고, 각 색상의 안료가 포함된 감광성 유기 물질을 도포, 노광, 현상하는 과정을 되풀이하여 적, 녹, 청색의 색필터(120)를 형성한다. 이어서, 색필터(120)위에 ITO 또는 IZO 등의 투명 도전 물질을 증착하여 공통 전극(130)을 형성한다. 여기서 블랙 매트릭스(110)는 크롬과 산화크롬의 이중층으로 형성하거나 유기 물질로 형성하여 광 반사를 더 한층 저감시킬 수도 있다. 그러나 블랙 매트릭스(110)를 이중층으로 형성하는 경우에는 공정이 추가되어야 하고 유기 물질은 가격이 비싸기 때문에 원가 상승의 요인이 된다. 따라서 본 발명에서와 같이 차광용 반도체층을 두는 경우에는 굳이 적용하지 않아도 무방하다.The method of manufacturing a color filter substrate (upper substrate) is the same as the manufacturing method of a conventional color filter substrate. That is, the black matrix 110 is formed by depositing and photo-etching chromium on the insulating substrate 100, and the process of repeatedly applying, exposing and developing photosensitive organic materials including pigments of each color to red, green, and blue. Color filter 120 is formed. Subsequently, a transparent conductive material such as ITO or IZO is deposited on the color filter 120 to form the common electrode 130. The black matrix 110 may be formed of a double layer of chromium and chromium oxide or may be formed of an organic material to further reduce light reflection. However, when the black matrix 110 is formed as a double layer, a process must be added, and since organic materials are expensive, the cost increases. Therefore, when the light shielding semiconductor layer is provided as in the present invention, it does not need to be applied.

본 발명의 제2 실시예에 대하여 설명한다.A second embodiment of the present invention will be described.

도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 배치도이다.11 is a layout view of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a second exemplary embodiment of the present invention.

제2 실시예는 데이터선이 단차로 인하여 단선되는 것을 방지하거나 기생 용량을 감소시키는 등의 목적을 위하여 데이터선의 아래에 반도체층을 남기는 경우에 있어서, 차광용 반도체층이 데이터선 하부의 반도체층과 붙는 것을 방지하기 위하여 마련된 것이다.In the second embodiment, in the case where the semiconductor layer is left under the data line for the purpose of preventing the data line from being disconnected due to a step or reducing the parasitic capacitance, the light shielding semiconductor layer is formed from the semiconductor layer under the data line. It is designed to prevent sticking.

유리 등의 투명한 절연 기판(10) 위에 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선 (20)이 형성되어 있고, 게이트선과 나란하게 유지 용량선(30)이 형성되어 있다. 게이트선(20)에는 게이트 전극이(21) 돌기의 형태로 형성되어 있고, 유지 용량선 (30)에는 유지 전극(36, 37, 38, 32, 33)이 가지의 형태로 연결되어 있다. 유지 전극(36, 37, 38, 32, 33)은 유지 용량선(30)에 직접 연결되어 세로 방향으로 형성되어 있는 제1 세로부(36), 제1 세로부(36)에 연결되어 있고 가로 방향으로 형성되어 있는 제1 가로부(32), 제1 가로부(32)에 연결되어 있고 세로 방향으로 형성되어있는 제2 세로부(36), 제2 세로부(36)에 연결되어 있고 가로 방향으로 형성되어 있는 제2 가로부(33) 및 제2 가로부(33)에 연결되어 있고 세로 방향으로 형성되어 있는 제3 세로부(36)로 이루어져 있다. 게이트 배선(20, 21)과 유지 용량 배선(30, 32, 33, 36, 37, 38)의 위에는 게이트 절연막(40)이 형성되어 있고, 게이트 전극(21) 상부의 게이트 절연막(40) 위에는 비정질 규소로 이루어진 채널부 반도체층(50)이 형성되어 있다. 또, 제1 내지 제3 유지 전극(36, 37, 38) 상부의 게이트 절연막(40) 위에는 차광용 반도체층(55, 56, 57)이 각각 제1 내지 제3 유지 전극(36, 37, 38)을 따라 세로로 길게 형성되어 있다. 또 채널부 반도체층(50)과 연결되어 있는 데이터선부 반도체층(58)이 세로 방향으로 길게 뻗어 있다. 여기서, 데이터선부 반도체층(58)은 차광용 반도체층(55, 56, 57)과 일정한 거리를 유지하기 위하여 부분적으로 굴절되어 있다. 반도체층(50) 및 데이터선부 반도체층 (58)의 위에는 인 등의 N형 불순물로 고농도로 도핑된 비정질 규소로 이루어진 접촉층(도시하지 않음)이 형성되어 있다. 접촉층의 위에는 각각 소스 전극(71)과 드레인 전극(72)이 형성되어 있고, 소스 전극(71)은 세로 방향으로 뻗어 있는 데이터선(70)에 연결되어 있다. 데이터선(70)은 데이터선부 반도체층(58) 위에 형성되어 있는 접촉층 위에 형성되어 있다. 데이터 배선(70, 71, 72)의 위에는 드레인 전극(72)을 노출시키는 접촉구(81)를 가지는 보호막(80)이 형성되어 있고, 보호막 (80)의 위에는 접촉구(81)를 통하여 드레인 전극(72)과 연결되어 있는 화소 전극 (90)이 형성되어 있다. 화소 전극(90)은 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 등의 투명한 도전 물질로 이루어진다.A gate line 20 extending in the horizontal direction is formed on a transparent insulating substrate 10 such as glass, and a storage capacitor line 30 is formed in parallel with the gate line. The gate electrode 20 is formed in the form of a protrusion of the gate electrode 21, and the storage electrodes 36, 37, 38, 32, and 33 are connected to the storage capacitor line 30 in the form of a branch. The storage electrodes 36, 37, 38, 32, and 33 are connected to the first vertical portion 36 and the first vertical portion 36, which are directly connected to the storage capacitor line 30 and formed in the vertical direction, and are horizontal. Is connected to the first horizontal portion 32, the first horizontal portion 32 formed in the direction, and is connected to the second vertical portion 36 and the second vertical portion 36 formed in the longitudinal direction, It consists of the 2nd horizontal part 33 formed in the direction, and the 3rd vertical part 36 connected to the 2nd horizontal part 33, and formed in the vertical direction. A gate insulating film 40 is formed on the gate wirings 20 and 21 and the storage capacitor wirings 30, 32, 33, 36, 37, and 38, and on the gate insulating film 40 above the gate electrode 21. The channel portion semiconductor layer 50 made of silicon is formed. In addition, on the gate insulating layer 40 on the first to third storage electrodes 36, 37, and 38, the light blocking semiconductor layers 55, 56, and 57 are respectively formed on the first to third storage electrodes 36, 37, and 38. It is formed long vertically along). In addition, the data line semiconductor layer 58 connected to the channel semiconductor layer 50 extends in the longitudinal direction. Here, the data line semiconductor layer 58 is partially refracted to maintain a constant distance from the light shielding semiconductor layers 55, 56, and 57. On the semiconductor layer 50 and the data line semiconductor layer 58, a contact layer (not shown) made of amorphous silicon heavily doped with N-type impurities such as phosphorous is formed. The source electrode 71 and the drain electrode 72 are formed on the contact layer, respectively, and the source electrode 71 is connected to the data line 70 extending in the vertical direction. The data line 70 is formed on the contact layer formed on the data line semiconductor layer 58. A passivation film 80 having a contact hole 81 exposing the drain electrode 72 is formed on the data lines 70, 71, and 72, and a drain electrode is formed on the passivation film 80 through the contact hole 81. The pixel electrode 90 connected with the 72 is formed. The pixel electrode 90 is made of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).

이와 같이 차광용 반도체층(55, 56, 57)을 형성해 두면, 데이터선(70) 주변에서 데이터선(70) 전위의 영향으로 인하여 발생하는 빛샘을 저감할 수 있고, 차광용 반도체층(55, 56, 57)이 데이터선부 반도체층(58)과 연결되는 것을 방지할 수 있다.When the light blocking semiconductor layers 55, 56, 57 are formed in this manner, light leakage caused by the influence of the potential of the data line 70 around the data line 70 can be reduced, and the light blocking semiconductor layers 55, 56 and 57 can be prevented from being connected to the data line semiconductor layer 58.

본 발명의 제3 실시예에 대하여 설명한다.A third embodiment of the present invention will be described.

도 12는 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판의 배치도이고, 도 13은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치용 색필터 기판의 배치도이고, 도 14는 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 배치도로써 블랙 매트릭스와 색필터 선을 생략하고 도시한 것이고, 도 15는 XV-XV'선에 대한 단면도이다.12 is a layout view of a thin film transistor substrate for a liquid crystal display according to a third embodiment of the present invention, FIG. 13 is a layout view of a color filter substrate for a liquid crystal display according to a third embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 15 is a cross-sectional view of the liquid crystal display according to the third exemplary embodiment, omitting the black matrix and the color filter lines, and FIG. 15.

먼저, 도 12와 도 15를 참고로 하여 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 박막 트랜지스터 기판에 대하여 설명한다.First, the thin film transistor substrate of the liquid crystal display according to the third embodiment will be described with reference to FIGS. 12 and 15.

유리 등의 투명한 절연 기판(10) 위에 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선 (20)이 형성되어 있고, 게이트선(20)과 나란하게 유지 용량선(30)이 형성되어 있다. 게이트선(20)에는 게이트 전극이(21) 돌기의 형태로 형성되어 있고, 유지 용량선(30)에는 제1 내지 제4 유지 전극(31, 32, 33, 34)이 가지의 형태로 연결되어 있다. 제1 유지 전극(31)은 유지 용량선(30)에 직접 연결되어 세로 방향으로 형성 있고, 제2 유지 전극(32)과 제3 유지 전극(33)은 각각 제1 유지 전극(31)에 연결되어 가로 방향으로 뻗어 있다. 제4 유지 전극(34)은 제2 및 제3 유지 전극(32, 33)에 연결되어 세로 방향으로 뻗어 있다. 또 이웃하는 화소의 제1 유지 전극(31)과제4 유지 전극(34)은 제1 및 제2 유지 전극 연결부(35, 36)에 의하여 서로 연결되어 있다. 게이트 배선(20, 21)과 유지 용량 배선(30, 31, 32, 33, 34, 35, 36) 위에는 게이트 절연막(40)이 형성되어 있다. 게이트 전극(21) 상부의 게이트 절연막(40) 위에는 비정질 규소로 이루어진 채널부 반도체층(50)이 형성되어 있고, 이웃하는 두 화소의 제1 유지 전극(31)과 제4 유지 전극(34)의 사이에는 이들 두 유지 전극(31, 34)의 일부와 중첩되도록 차광용 반도체층(52)이 형성되어 있다. 반도체층(50, 52)의 위에는 인 등의 N형 불순물로 고농도로 도핑된 비정질 규소로 이루어진 접촉층(61, 62, 63)이 형성되어 있다. 접촉층(61, 62, 63)의 위에는 각각 소스 전극(71)과 드레인 전극(72) 및 데이터선(70)이 형성되어 있고, 소스 전극 (71)은 세로 방향으로 뻗어 있는 데이터선(70)에 연결되어 있다. 데이터 배선(70, 71, 72)의 위에는 드레인 전극(72)을 노출시키는 접촉구(81)를 가지는 보호막(80)이 형성되어 있고, 보호막(80)의 위에는 접촉구(81)를 통하여 드레인 전극(72)과 연결되어 있는 화소 전극(90)이 형성되어 있다. 화소 전극(90)은 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 등의 투명한 도전 물질로 이루어진다.The gate line 20 extending in the horizontal direction is formed on the transparent insulating substrate 10 such as glass, and the storage capacitor line 30 is formed in parallel with the gate line 20. The gate electrode 20 is formed in the form of a protrusion of the gate electrode 21, and the first to fourth storage electrodes 31, 32, 33, and 34 are connected to the storage capacitor line 30 in the form of a branch. have. The first storage electrode 31 is directly connected to the storage capacitor line 30 and formed in the vertical direction, and the second storage electrode 32 and the third storage electrode 33 are connected to the first storage electrode 31, respectively. Are stretched in the horizontal direction. The fourth storage electrode 34 is connected to the second and third storage electrodes 32 and 33 and extends in the vertical direction. In addition, the first storage electrode 31 and the fourth storage electrode 34 of neighboring pixels are connected to each other by the first and second storage electrode connectors 35 and 36. The gate insulating film 40 is formed on the gate wirings 20 and 21 and the storage capacitor wirings 30, 31, 32, 33, 34, 35, and 36. The channel portion semiconductor layer 50 made of amorphous silicon is formed on the gate insulating layer 40 on the gate electrode 21, and the first storage electrode 31 and the fourth storage electrode 34 of two neighboring pixels are formed. A light shielding semiconductor layer 52 is formed between the two sustain electrodes 31 and 34 so as to overlap with each other. On the semiconductor layers 50 and 52, contact layers 61, 62 and 63 made of amorphous silicon doped at high concentration with N-type impurities such as phosphorus are formed. The source electrode 71, the drain electrode 72, and the data line 70 are formed on the contact layers 61, 62, and 63, respectively, and the source electrode 71 extends in the vertical direction. Is connected to. A passivation film 80 having a contact hole 81 exposing the drain electrode 72 is formed on the data lines 70, 71, and 72, and a drain electrode is formed on the passivation film 80 through the contact hole 81. The pixel electrode 90 connected to the 72 is formed. The pixel electrode 90 is made of a transparent conductive material such as indium tin oxide (ITO) or indium zinc oxide (IZO).

이 때, 화소 전극(90)은 제1 내지 제3 소부분(91, 92, 93)으로 분리되어 있으며 이들 소부분은 연결부(94, 95)를 통하여 서로 연결되어 되어 있다. 제1 소부분(91)은 두 게이트선(20)과 두 데이터선(70)의 교차에 의하여 정의되는 화소 영역의 하반면에 네 모서리가 잘려나간(이하 "모따기"라 한다.) 직사각형 모양으로 형성되어 있고, 접촉구(81)를 통하여 드레인 전극(72)과 직접 연결되어 있다. 제2 및 제3 소부분(92, 93)은 화소 영역의 상반면에 역시 네 모서리가 잘려나간 직사각형 모양으로 형성되어 있다. 제2 소부분(92)은 제1 소부분(91)과 제1 연결부(94)를 통하여 연결되어 있고, 제3 소부분(93)은 제2 소부분(92)과 제2 연결부(95)를 통하여 연결되어 있다. 이 때, 제1 소부분(91)과 제2 소부분(92)의 사이에는 제2 유지 전극(32)이 위치하고 제2 소부분(92)과 제3 소부분(93)의 사이에는 제3 유지 전극(33)이 위치하며, 제1 유지 전극(31)과 제4 유지 전극(34)은 화소 전극(90)과 데이터선(70) 사이에 위치한다. 제1 소부분(91)은 데이터선과 나란한 변이 게이트선과 나란한 변에 비하여 길고, 제2 소부분과 제3 소부분은 데이터선과 나란한 변이 게이트선과 나란한 변에 비하여 짧다. 이 때, 제2 및 제3 소부분(92, 93)은 제1 및 제4 유지 전극(31, 34)과 중첩되나 제1 소부분(91)은 제1 및 제4 유지 전극(31, 34)과 중첩되지 않는다. 또, 유지 용량선(30)은 게이트선(20)과 제3 소부분(93) 사이에 위치한다. 이 때, 유지 용량 배선(30, 31, 32, 33, 34, 35, 36)에는 후술하는 색필터 기판의 공통 전극 전위가 인가되는 것이 보통이다.In this case, the pixel electrode 90 is separated into first to third small portions 91, 92, and 93, and these small portions are connected to each other through the connecting portions 94 and 95. The first small portion 91 has a rectangular shape in which four corners are cut out (hereinafter referred to as "chamfering") at the lower half of the pixel area defined by the intersection of the two gate lines 20 and the two data lines 70. It is formed and is directly connected to the drain electrode 72 through the contact hole 81. The second and third small portions 92 and 93 are formed in a rectangular shape with four corners cut out on the upper half of the pixel region. The second small portion 92 is connected via the first small portion 91 and the first connecting portion 94, and the third small portion 93 is the second small portion 92 and the second connecting portion 95. Connected via In this case, the second storage electrode 32 is positioned between the first small portion 91 and the second small portion 92, and the third small portion 92 is disposed between the second small portion 92 and the third small portion 93. The storage electrode 33 is positioned, and the first storage electrode 31 and the fourth storage electrode 34 are positioned between the pixel electrode 90 and the data line 70. The first small portion 91 is longer than the side parallel to the data line and the side parallel to the gate line, and the second small portion and the third small portion is shorter than the side parallel to the data line and the side parallel to the gate line. In this case, the second and third small portions 92 and 93 overlap the first and fourth storage electrodes 31 and 34, but the first small portion 91 is the first and fourth storage electrodes 31 and 34. Do not overlap with). The storage capacitor line 30 is positioned between the gate line 20 and the third small portion 93. At this time, the common electrode potential of the color filter substrate which will be described later is usually applied to the storage capacitor wirings 30, 31, 32, 33, 34, 35, and 36.

이상과 같이, 데이터선과 화소 전극 사이 및 게이트선과 화소 전극 사이에 공통 전위가 인가되는 유지 용량선이나 유지 전극을 배치하면 데이터선 전위와 게이트선 전위가 화소 영역의 전계에 미치는 영향을 유지 용량선과 유지 전극이 차단하여 안정된 도메인을 형성할 수 있다.As described above, when the storage capacitor line or the storage electrode to which the common potential is applied between the data line and the pixel electrode and between the gate line and the pixel electrode is disposed, the influence of the data line potential and the gate line potential on the electric field of the pixel region is maintained. The electrodes may be blocked to form stable domains.

다음, 도 13과 도 15를 참고로 하여, 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치의 색필터 기판에 대하여 설명한다.Next, the color filter substrate of the liquid crystal display according to the third exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 13 and 15.

유리 등으로 이루어진 투명한 기판(100) 위에 크롬으로 이루어진 블랙 매트릭스(110)가 형성되어 있어서 화소 영역을 정의하고 있다. 각 화소 영역에는 색필터(120)가 형성되어 있고, 색필터(120)의 위에는 유기 절연 물질로 이루어진 오버코트막(140)이 형성되어 있으며, 오버코트막(140) 위에는 투명한 도전체로 이루어진 공통 전극(130)이 기판(100) 전면에 형성되어 있다. 이 때, 공통 전극(130)은 제1 내지 제3 개구부(410, 420, 430)를 가지고 있다. 제1 개구부(410)는 화소 영역의 하반부를 좌우로 양분하고 있고, 제2 개구부(420)와 제3 개구부(430)는 화소 영역의 상반부를 3분하고 있다. 각 개구부(410, 420, 430)의 양끝 부분은 점점 확장되어 이등변 삼각형 모양을 이루고 있다.A black matrix 110 made of chromium is formed on the transparent substrate 100 made of glass or the like to define the pixel region. A color filter 120 is formed in each pixel area, an overcoat layer 140 made of an organic insulating material is formed on the color filter 120, and a common electrode 130 made of a transparent conductor on the overcoat layer 140. ) Is formed on the entire surface of the substrate 100. In this case, the common electrode 130 has first to third openings 410, 420, and 430. The first opening 410 divides the lower half of the pixel area from side to side, and the second opening 420 and the third opening 430 divide the upper half of the pixel area into three parts. Both ends of each of the openings 410, 420, and 430 gradually expand to form an isosceles triangle.

위에서 블랙 매트릭스는 크롬과 산화크롬의 이중층으로 형성하거나 유기 물질로 형성할 수도 있다.In the above, the black matrix may be formed of a bilayer of chromium and chromium oxide or may be formed of an organic material.

그러면, 도 14와 도 15를 참고로 하여, 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치에 대하여 설명한다.Next, a liquid crystal display according to a third exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 14 and 15.

도 12의 박막 트랜지스터 기판과 도 13의 색필터 기판을 정렬하여 결합하고, 두 기판 사이에 액정 물질을 주입하여 수직으로 배향하며, 두 개의 편광판을 두 기판의 외부에 그 편광축이 서로 직교하도록 배치하면 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치가 마련된다. 두 기판을 정렬하면 박막 트랜지스터 기판의 화소 전극(90)의 각 소부분(91, 92, 93)과 색필터 기판의 공통 전극(400)에 형성되어 있는 개구부(410, 420, 430)가 중첩하여 화소 영역을 다수의 도메인으로 분할한다. 이 때, 화소전극(90)의 각 소부분(91, 92, 93)은 두 개의 장변과 두 개의 단면으로 이루어지며, 각 소부분의 장변은 데이터선(70) 또는 게이트선(20)과 나란하고, 편광판의 편광축과는 45°를 이룬다. 여기서, 데이터선(70)이나 게이트선(20)과 인접하여 화소전극의 각 소부분(91, 92, 93)의 장변이 위치하고 있는 경우에는 데이터선(70)과 장변 사이 및 게이트선(20)과 장변 사이에 유지 용량선(30)이나 유지 전극(31, 32, 33, 34)이 배치된다. 이 때, 유지 용량선(30)이나 유지 전극(31, 32, 33, 34)은 화소 전극(90)과 일부 중첩될 수 있다. 즉, 유지 용량선(30)이나 유지 전극(31, 32, 33, 34)은 도메인의 장변에 걸쳐있을 수 있다. 한편, 화소 전극의 각 소부분(91, 92, 93)의 단변 주변에는 유지 용량배선(30, 31, 32, 33, 34)이 배치되지 않거나, 배치되어 있는 경우에는 화소 전극(90)에 의하여 완전히 덮이거나 또는 화소 전극(90)으로부터 3㎛ 이상 멀리 떨어져 있다.When the thin film transistor substrate of FIG. 12 and the color filter substrate of FIG. 13 are aligned and combined, a liquid crystal material is injected between the two substrates to align vertically, and the two polarizing plates are disposed outside the two substrates such that their polarization axes are perpendicular to each other. A liquid crystal display device according to a third embodiment is provided. When the two substrates are aligned, the small portions 91, 92, and 93 of the pixel electrode 90 of the thin film transistor substrate and the openings 410, 420, and 430 formed in the common electrode 400 of the color filter substrate overlap with each other. The pixel region is divided into a plurality of domains. In this case, each of the small portions 91, 92, and 93 of the pixel electrode 90 has two long sides and two cross sections, and the long sides of each of the small portions are parallel to the data line 70 or the gate line 20. And it forms 45 degrees with the polarization axis of a polarizing plate. Here, when the long side of each of the small portions 91, 92, 93 of the pixel electrode is positioned adjacent to the data line 70 or the gate line 20, between the data line 70 and the long side and the gate line 20. The storage capacitor line 30 and the storage electrodes 31, 32, 33, and 34 are disposed between the long side and the long side. In this case, the storage capacitor line 30 or the storage electrodes 31, 32, 33, and 34 may partially overlap the pixel electrode 90. That is, the storage capacitor line 30 and the storage electrodes 31, 32, 33, and 34 may extend over the long side of the domain. On the other hand, the storage capacitor wirings 30, 31, 32, 33, and 34 are not arranged around the short sides of the small portions 91, 92, and 93 of the pixel electrode, or the pixel electrodes 90 are disposed when the storage capacitor wirings 30, 31, 32, 33, 34 are arranged. Completely covered or at least 3 μm away from the pixel electrode 90.

이상과 같이 데이터선 및 게이트선과 화소전극 소부분의 장변의 사이에 공통 전위가 인가되는 유지 배선을 배치하면 데이터선 전위와 게이트선 전위가 도메인 내부의 전계에 미치는 영향을 유지 배선이 차단함과 동시에 유지 배선에 인가되는 공통 전위가 도메인 내부의 프린지 필드(액정이 기울어지는 방향을 제어하기 위하여 의도적으로 형성하는 기울어진 전기장)를 강화하는 역할을 하여 안정된 도메인을 형성할 수 있다. 또, 화소 전극 소부분의 단변 주변에는 유지 용량선이나 유지 전극을 배치하지 않거나, 화소 전극으로 하여금 유지 배선을 덮거나(유지 배선이 도메인의 내부에 위치한다.) 또는 3㎛ 이상 멀리 떨어지도록 배치하여 유지 배선에 인가되는 공통 전위가 도메인 내부의 전계에 영향을 미치는 것을 방지한다. 이는 화소 전극 소부분의 장변 쪽에서와 달리 단변 쪽에서는 유지 배선의 공통 전위는 도메인 내부의 프린지 필드를 흩트리는 방향으로 작용하기 때문이다.As described above, by arranging the sustain wiring to which the common potential is applied between the data line and the gate line and the long side of the pixel electrode, the sustain wiring is blocked while maintaining the effect of the data line potential and the gate line potential on the electric field inside the domain. The common potential applied to the sustain wiring serves to strengthen the fringe field (an inclined electric field intentionally formed to control the direction in which the liquid crystal is inclined) to form a stable domain. In addition, the storage capacitor line or the storage electrode is not disposed around the short side of the small portion of the pixel electrode, or the pixel electrode is disposed so as to cover the storage wiring (the holding wiring is located inside the domain) or to be spaced 3 m or more away. This prevents the common potential applied to the sustain wiring from affecting the electric field inside the domain. This is because, on the short side, unlike the long side of the small portion of the pixel electrode, the common potential of the sustain wiring acts to disperse the fringe field inside the domain.

또, 차광용 반도체층(52)을 둠으로써 데이터선(70) 주변에서 데이터선(70)전위의 영향으로 인하여 발생하는 빛샘을 저감할 수 있다. 이에 대하여 도 16을 참고로 하여 설명한다.In addition, by providing the light shielding semiconductor layer 52, light leakage caused by the influence of the data line 70 potential around the data line 70 can be reduced. This will be described with reference to FIG. 16.

도 16은 본 발명의 제3 실시예에 따른 액정 표시 장치에서 빛샘이 감소되는 원리를 설명하기 위한 도면이다.FIG. 16 is a diagram for describing a principle of reducing light leakage in the liquid crystal display according to the third exemplary embodiment of the present invention.

도 16을 보면, θ1또는 θ2어느 각도로 입사하더라고 데이터선(70) 주변에서 빛샘을 유발할 수 있는 빛은 차광용 반도체층(52)을 한번 통과하게 되어 있다. 차광용 반도체층(52)을 통과하는 과정에서 상당량의 빛이 흡수되어 차단된다. 따라서 빛샘이 감소한다.Referring to FIG. 16, light incident to light at the angle θ 1 or θ 2 may cause light leakage around the data line 70 to pass through the light blocking semiconductor layer 52 once. In the process of passing through the light shielding semiconductor layer 52, a considerable amount of light is absorbed and blocked. Therefore, light leakage is reduced.

이상에서는 비록, 이 발명의 가장 실제적이며 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 이 발명은 위에서 개시된 실시예에 한정되는 것은 아니다. 이 발명의 범위는 후술되는 특허 청구 범위 내에 속하는 다양한 변형 및 등가물들도 포함한다.In the above, although described with reference to the most practical and preferred embodiment of the present invention, the present invention is not limited to the embodiment disclosed above. It is intended that the scope of the invention include various modifications and equivalents falling within the scope of the following claims.

데이터선과 인접한 배선의 상부에 차광용 반도체층을 형성해 둠으로써 데이터선 전위의 영향으로 인한 빛샘을 저감할 수 있다.By forming the light shielding semiconductor layer on the wiring adjacent to the data line, light leakage due to the influence of the data line potential can be reduced.

Claims (6)

절연 기판,Insulation board, 상기 기판 위에 가로 방향으로 형성되어 있는 게이트선과 상기 게이트선의 일부인 게이트 전극을 포함하는 게이트 배선,A gate wiring including a gate line formed on the substrate in a horizontal direction and a gate electrode which is a part of the gate line; 상기 게이트선과 나란한 유지 용량선과 상기 유지 용량선의 가지 형태로 형성되어 있는 다수의 유지 전극을 포함하는 유지 배선,A storage wiring including a plurality of storage electrodes formed in the form of a branch of the storage capacitor line parallel to the gate line and the storage capacitor line; 상기 게이트선 및 상기 유지 배선 위에 형성되어 있는 게이트 절연막,A gate insulating film formed over the gate line and the sustain wiring; 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있는 채널부 반도체층,A channel portion semiconductor layer formed on the gate insulating layer; 상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있으며 상기 유지 전극 중 일부와 중첩되어 있는 차광용 반도체층,A light blocking semiconductor layer formed on the gate insulating layer and overlapping with a portion of the sustain electrode; 상기 게이트선과 교차하고 있는 데이터선, 상기 데이터선에 연결되어 있으며 상기 채널부 반도체층 위에 걸쳐있는 소스 전극 및 상기 소스 전극에 대향하고 있고 상기 채널부 반도체층 위에 걸쳐 있는 드레인 전극을 포함하는 데이터 배선,A data line including a data line intersecting the gate line, a source electrode connected to the data line, and a drain electrode on the channel portion semiconductor layer, and a drain electrode facing the source electrode and on the channel portion semiconductor layer; 상기 데이터 배선을 덮고 있으며 상기 드레인 전극을 노출시키는 접촉구를 가지는 보호막,A protective film covering the data line and having a contact hole exposing the drain electrode, 상기 게이트선과 상기 데이터선이 교차하여 이루는 화소 영역 내에 형성되어 있으며 상기 드레인 전극과 상기 접촉구를 통하여 연결되어 있는 화소 전극A pixel electrode formed in the pixel area where the gate line and the data line cross each other and connected through the drain electrode and the contact hole; 을 포함하고, 상기 차광용 반도체층과 중첩하는 유지 전극은 상기 데이터선과 나란하게 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판.And a sustain electrode overlapping the light blocking semiconductor layer, the thin film transistor substrate being formed in parallel with the data line. 제1항에서,In claim 1, 상기 차광용 반도체층은 상기 데이터선을 중심으로 하여 양측에 배치되어 있는 상기 유지 전극의 상부에 각각 배치되어 있는 박막 트랜지스터 기판.The light blocking semiconductor layer is disposed on an upper portion of the sustain electrode disposed on both sides of the data line. 제1항에서,In claim 1, 상기 차광용 반도체층은 상기 데이터선 하부로부터 그 양측에 배치되어 있는 상기 유지 전극의 상부에까지 걸쳐 형성되어 있는 박막 트랜지스터 기판.The light blocking semiconductor layer is formed from a lower portion of the data line to an upper portion of the sustain electrode disposed on both sides thereof. 제3항에서,In claim 3, 상기 화소 전극은 수 개의 소부분으로 이루어져 있고, 상기 소부분을 상기 유지 전극을 덮고 있는 제1류와 상기 유지 전극을 덮고 있지 않은 제2류로 구분할 때, 상기 차광용 반도체층은 상기 제2류와 인접하고 있는 박막 트랜지스터 기판.The pixel electrode is composed of several small portions, and when the small portions are divided into a first class covering the sustain electrode and a second class not covering the sustain electrode, the light blocking semiconductor layer is formed of the second class. Adjacent thin film transistor substrates. 제1항에서,In claim 1, 상기 유지 전극은 굴절되어 있어서 세로 부분과 가로 부분을 가지며, 상기 차광용 반도체층은 상기 유지 전극의 세로 부분과 중첩되어 있는 박막 트랜지스터 기판.The sustain electrode is refracted to have a vertical portion and a horizontal portion, and the light blocking semiconductor layer overlaps the vertical portion of the sustain electrode. 제5항에서,In claim 5, 상기 데이터선과 적어도 일부가 중첩되어 있으며, 상기 데이터선을 따라 세로 방향으로 형성되어 있고, 상기 유지 전극의 세로 부분과 소정의 거리를 유지할 수 있도록 굴절되어 있는 데이터선부 반도체층을 더 포함하는 박막 트랜지스터 기판.The thin film transistor substrate further includes a data line semiconductor layer overlapping at least a portion of the data line and formed in a vertical direction along the data line and refracted to maintain a predetermined distance from the vertical portion of the sustain electrode. .
KR1020010049965A 2001-08-20 2001-08-20 a thin film transistor array panel having a structure for preventing light leakage KR100759977B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020010049965A KR100759977B1 (en) 2001-08-20 2001-08-20 a thin film transistor array panel having a structure for preventing light leakage

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020010049965A KR100759977B1 (en) 2001-08-20 2001-08-20 a thin film transistor array panel having a structure for preventing light leakage

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20030016053A true KR20030016053A (en) 2003-02-26
KR100759977B1 KR100759977B1 (en) 2007-09-18

Family

ID=27719783

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020010049965A KR100759977B1 (en) 2001-08-20 2001-08-20 a thin film transistor array panel having a structure for preventing light leakage

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100759977B1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8139176B2 (en) 2007-06-04 2012-03-20 Samsung Electronics Co., Ltd. Display substrate, a method of manufacturing the display substrate and a display apparatus having the display substrate
KR101411735B1 (en) * 2007-12-07 2014-06-26 엘지디스플레이 주식회사 Liquid crystal display device and method fabricating the same
CN112666763A (en) * 2021-01-11 2021-04-16 Tcl华星光电技术有限公司 Array substrate and display panel

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3215287B2 (en) * 1995-04-19 2001-10-02 シャープ株式会社 Thin film transistor, method of manufacturing the same, and liquid crystal display
TW309660B (en) * 1995-05-19 1997-07-01 Nippon Electric Co
KR0171102B1 (en) * 1995-08-29 1999-03-20 구자홍 Liquid crystal display device structure and manufacturing method
JP2776360B2 (en) * 1996-02-28 1998-07-16 日本電気株式会社 Method of manufacturing thin film transistor array substrate
JPH1020298A (en) * 1996-07-03 1998-01-23 Sharp Corp Liquid crystal display device
KR100569736B1 (en) * 1998-11-03 2006-08-30 삼성전자주식회사 Liquid Crystal Display and Manufacturing Method Thereof

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8139176B2 (en) 2007-06-04 2012-03-20 Samsung Electronics Co., Ltd. Display substrate, a method of manufacturing the display substrate and a display apparatus having the display substrate
KR101374078B1 (en) * 2007-06-04 2014-03-13 삼성디스플레이 주식회사 Display substrate, method of manufacturing the same and display apparatus having the same
KR101411735B1 (en) * 2007-12-07 2014-06-26 엘지디스플레이 주식회사 Liquid crystal display device and method fabricating the same
CN112666763A (en) * 2021-01-11 2021-04-16 Tcl华星光电技术有限公司 Array substrate and display panel
CN112666763B (en) * 2021-01-11 2022-07-12 Tcl华星光电技术有限公司 Array substrate and display panel

Also Published As

Publication number Publication date
KR100759977B1 (en) 2007-09-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10365524B2 (en) Liquid crystal display
KR100961946B1 (en) A vertically aligned mode liquid crystal display
KR100635940B1 (en) A vertically aligned mode liquid crystal display
KR100494638B1 (en) Active matrix type liquid crystal display device and method of manufacturing the same
KR100831229B1 (en) A liquid crystal display having high aperture ratio
US8390753B2 (en) Thin film transistor array panel and liquid crystal display having the same
US7352431B2 (en) Liquid crystal display and manufacturing method thereof
US20120169985A1 (en) Liquid crystal display and manufacturing method thereof
KR20030046918A (en) a liquid crystal display
US8247816B2 (en) Thin film transistor array panel
KR101071257B1 (en) Multi-domain thin film transistor array panel and liquid crystal display including the same
KR20100020140A (en) Thin film transistor display panel and method of manufacturing of the same
KR100920348B1 (en) liquid crystal display
KR101758834B1 (en) In-plane switching mode liquid crystal display device and the method of fabricating the same
KR100759977B1 (en) a thin film transistor array panel having a structure for preventing light leakage
KR101366537B1 (en) Array substrate in liquid crystal display device and Method for fabricating the same
KR20060102953A (en) Liquid crystal display
KR100529574B1 (en) Planar drive type liquid crystal display device and manufacturing method thereof
KR100806900B1 (en) Liquid crystal display
KR100237680B1 (en) Lcd device and its manufacturing method
KR100635939B1 (en) A liquid crystal display, a panel for the same, and a manufacturing method of the same
KR20060019910A (en) Liquid crystal display device and thin film transistor array panel for the same
KR20060088192A (en) Tft substrate and manufacturing method of the same
KR20060022087A (en) Multi-domain thin film transistor array panel and liquid crystal display including the same
KR20060003186A (en) Panel and liquid crystal display including the panel

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20110816

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120814

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee