KR200267866Y1

KR200267866Y1 - 진공챔버 고정연결장치

Info

Publication number: KR200267866Y1
Application number: KR2020010038223U
Authority: KR
Inventors: 신광호
Original assignee: 동부전자 주식회사
Priority date: 2001-12-11
Filing date: 2001-12-11
Publication date: 2002-03-12

Abstract

본 고안은 챔버 손잡이(21)가 챔버 뚜껑(20)으로부터 지지될 수 있도록 챔버(10)와 챔버뚜껑(20)의 일측 외면에 부착되어 체결볼트(22)로 조여 고정될 수 있도록 하는 고정지그(30)를 연결하여 챔버와 챔버뚜껑간에 고정지그를 연결하여 이 고정지그가 손잡이를 지지할 수 있도록 함으로써 챔버 내의 진공상태가 완료되기 전까지 챔버 두껑이 열리지 않도록 하여 외부 공기가 급격히 챔버내로 유입되어 발생하는 부품파손을 미연에 방지할 수 있는 효과를 갖는 진공챔버 고정연결장치에 관한 것이다.

Description

진공챔버 고정연결장치{apparatus connecting of fixed for vacuum chamber}

본 고안은 진공챔버 고정연결장치에 관한 것으로서, 더 자세하게는 챔버와 챔버뚜껑간에 고정지그를 연결하여 이 고정지그가 손잡이를 지지할 수 있도록 함으로써 챔버 내의 진공상태가 완료되기 전까지 챔버 두껑이 열리지 않도록 하여 외부 공기가 급격히 챔버내로 유입되어 발생하는 부품파손을 미연에 방지할 수 있는 진공챔버 고정연결장치에 관한 것이다.

일반적으로 진공 프로세스 챔버(process chamber)는 전기적인 점검 또는 문제 발생으로 인하여 한달에 1회전도 진공에서 대기 상태로 만들어 프로세스 챔버의뚜껑을 열어 점검하게 된다.

이 점검을 마치고 나면 공정 진행 조건을 맞추기 위해 다시 진동상태로 만들고 온도를 올려서 진공 프로세스 챔버 뚜껑이 제대로 닫히지 않을 경우 프로세스 챔버 내부에 외부공기가 급속히 빨려 들어가면서 프로세스 챔버 내부의 프로세스 부품들과 진공을 시켜주는 펌프에 무리를 주게 된다.

일예로 종래의 진공 챔버를 설면하면 첨부도면 도 1에서 보는 바와 같이 펌핑 홀(pumping hole)(1)이 일정부위에 형성된 챔버(2)의 몸체 상단에 챔버 뚜껑(3)이 연결되어 있으며, 이 챔버 뚜껑(3)의 전단에는 손잡이(4)가 형성되는 구조를 가지고 있다.

이러한 종래의 진공챔버(2)는 챔버뚜껑(3)부분에 고정장치가 없어 챔버(2) 내부의 작업을 위하여 대시 상태로 만든 후 작업을 하고 다시 진공조건을 만들기 위해 챔버(2) 내부를 펌핑할 경우 외부 공기의 순간적인 과다유입으로 인하여 진공 챔버(2) 내부의 부품들이나 진공 펌프에 무리를 주게 되어 부품들이나 펌핑의 수명을 단축시키는 문제점을 가지고 있다.

본 고안은 이와 같은 종래의 제반 문제점을 해결하기 위한 것으로서 그 목적은 챔버와 챔버뚜껑간에 고정지그를 연결하여 이 고정지그가 손잡이를 지지할 수 있도록 함으로써 챔버 내의 진공상태가 완료되기 전까지 챔버 두껑이 열리지 않도록 하여 외부 공기가 급격히 챔버내로 유입되어 발생하는 부품파손을 미연에 방지할 수 있도록 하는 데 있다.

도 1은 종래의 진공챔버 연결구성도이다.

도 2는 본 고안의 실시예에 따른 진공챔버 고정연결장치의 연결구성도이다.

-도면의 주요부분에 대한 부호설명-

1,11:펌핑홀 2,10;챔버

3,20;챔버뚜껑 4,21; 손잡이

30;고정지그

이하, 이 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 갖는 자가 이 고안을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 이 고안의 가장 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조로 하여 상세히 설명하기로 한다. 이 고안의 목적, 작용효과를 포함하여 기타 다른 목적들, 특징점들, 그리고 동작상의 이점들이 바람직한 실시예의 설명에 의해 보다 명확해질 것이다.

참고로 여기에서 개시되는 실시예는 여러가지 실시가능한 예중에서 당업자의 이해를 돕기 위하여 가장 바람직한 예를 선정하여 제시한 것일 뿐, 이 고안의 기술적 사상이 반드시 이 실시예만 의해서 한정되거나 제한되는 것은 아니고, 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 다양한 변화와 변경이 가능함은 물론, 균등한 타의 실시예가 가능함을 밝혀 둔다.

본 고안은 진공챔버의 뚜껑이 챔버의 몸체에 고정될 수 있도록 고정장치를 설치하기 위한 것으로서, 도 2에서 보는 바와 같이 펌핑 홀(pumping hole)(11)이 내부의 일정부위에 형성된 챔버(10)와, 상기 챔버(10)의 몸체 상단에 일체 연결되어 진공이 이루어질 수 있도록 덮어 씌어지는 챔버 뚜껑(20)과, 상기 챔버 뚜껑(20)을 열고 닫을 수 있도록 상부에 일체 연결된 손잡이(21)가 연결되는 기본 구성을 가지고 있다.

여기서, 챔버 손잡이(21)는 챔버 뚜껑(20)으로부터 지지될 수 있도록 챔버 (10)몸체와 챔버뚜껑(20)간의 외측면에 부착하여 체결볼트(22)로 조여 고정시킬 수 있도록 하는 고정지그(30)가 연결되는 구성을 갖는다.

상기 고정지그(30)는 하단에는 챔버(10)의 일측면 상부에서부터 측부를 감쌀 수 있도록 하고 챔버(10)의 좌우측 측면에는 각각 체결볼트(22)로 조여 고정될 수 있도록 한다.

또한 고정지그(30)는 챔버뚜껑(20)의 일측면에서부터 상부로 상승하는 상단부를 챔버뚜껑(20)의 일정위치까지 상승할 수 있도록 하여 챔버뚜껑(20)이 지지될 수 있도록 한다.

따라서, 본 고안은 챔버(10)와 챔버뚜껑(20)간에 고정지그(30)를 연결하여 챔버뚜껑(20)을 열고 닫을 수 있는 손잡이(21)가 상기 고정지그(30)에 의해 지지될 수 있도록 하므로 챔버(10)내의 진공상태가 완료될 때 까지 손잡이(21)에 의해 챔버뚜껑(20)이 열리지 않도록 하므로 챔버(10)와 그 주변의 부품들 및 펌프에 무리한 힘이 전달되는 것을 방지하게 되는 것이다.

이와 같이 작용하는 본 고안은 챔버와 챔버뚜껑간에 고정지그를 연결하여 이 고정지그가 손잡이를 지지할 수 있도록 함으로써 챔버 내의 진공상태가 완료되기 전까지 챔버 두껑이 열리지 않도록 하여 외부 공기가 급격히 챔버내로 유입되어 발생하는 부품파손을 미연에 방지할 수 있는 효과를 갖는다.

Claims

펌핑 홀(pumping hole)(11)이 내부의 일정부위에 형성된 챔버(10)와, 상기 챔버(10)의 몸체 상단에 일체 연결되어 진공이 이루어질 수 있도록 덮어 씌어지는 챔버뚜껑(20)과,상기 챔버뚜껑(200을 열고 닫을 수 있도록 상부에 일체 연결된 손잡이가 연결되어 있는 챔버연결구조에 있어서, 상기 챔버 손잡이(21)가 챔버 뚜껑(20)으로부터 지지될 수 있도록 챔버(10)와 챔버뚜껑(20)의 일측 외면에 부착되어 체결볼트(22)로 조여 고정될 수 있도록 하는 고정지그(30)가 연결되어 이루어진 진공챔버 고정연결장치.
제 1항에 있어서, 상기 고정지그(30)는 하단에는 챔버(10)의 일측면 상부에서부터 측부를 감쌀 수 있도록 하고 챔버(10)의 좌우측 측면에는 각각 체결볼트(22)로 조여 고정되는 진공챔버 고정연결장치.
제 1항에 있어서, 상기 고정지그(30)는 챔버 뚜껑(20)의 일측면에서부터 상부로 상승하는 상단부를 챔버 뚜껑(20)의 일정위치까지 상승할 수 있도록 하여 챔버 뚜껑(20)이 지지되는 진공챔버 고정연결장치.