KR200247138Y1

KR200247138Y1 - 압력제어장치

Info

Publication number: KR200247138Y1
Application number: KR2019960036675U
Authority: KR
Inventors: 이병설
Original assignee: 김영환; 현대반도체 주식회사
Priority date: 1996-10-31
Filing date: 1996-10-31
Publication date: 2001-12-17
Also published as: KR19980023288U

Abstract

본 고안은 진공챔버의 압력을 조절하는 압력제어장치에 관한 것으로, 종래에는 기준압력에 오차가 있는 경우에도 그 오차를 무시하고 진공챔버 내의 압력을 측정하고 제어함으로써, 진공챔버 내의 압력값에 대한 신뢰도가 감소하는 문제점이 있었다. 이와같은 문제점을 감안한 본 고안은 설정기준압과 측정기준압을 비교하여 측정기준압을 보정함으로써 오차가 없는 정확한 기준압력을 얻어 진공챔버 내의 압력을 측정하고, 그 압력을 원하는 압력값으로 조정함으로써, 진공챔버 내의 압력값에 대한 신뢰도를 향상시키는 효과가 있다.

Description

압력제어장치

본 고안은 진공챔버의 압력조절장치에 관한 것으로, 특히 피라니게이지의 측정기준압력이 설정기준압력과 오차가 있을때, 그 오차를 자동으로 보정하는 압력조절장치에 관한 것이며, 종래의 압력조절장치를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제1도는 종래의 압력조절장치의 구성도로서 이에 도시된 바와같이, 진공챔버내의 압력을 기준압력과 비교하여 측정하는 피라니게이지(1)와; 상기 피라니게이지(1)의 출력전압을 입력받아 압력으로 표시하고 출력하는 진공조절부(2)와; 상기 진공조절부(2)의 출력을 자동압력조절부(3)를 통해 입력 받아 압력설정값과 비교하여 그 판단신호를 자동압력조절부(3)에 다시 출력하는 주제어부(4)와; 상기 주제어부(4)의 판단신호에 따라, 자동압력조절밸브(5)의 개패를 제어하여 진공챔버 내의 압력을 조절하는 자동압력조절부(3)로 구성되며, 이와같이 구성된 종래의 압력조절장치의 동작을 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 피라니게이지(1)가 그 자체에 설정된 기준압력과 비교하여, 현재 챔버의 압력을 측정하고, 그 측정된 압력을 전압으로 변환하여 진공조절부(2)로 출력한다. 상기 피라니게이지(1)의 출력을 입력 받은 진공조절부(2)는 입력 받은 전압을 압력으로 변환하여 사용자가 알수 있도록 표시하고, 상기 측정된 전압을 자동압력조절부(3)에 전달한다.

그 다음, 상기의 입력을 받은 자동압력조절부(3)는 그 전압을 주제어부(4)로 출력하고, 상기 주제어부(4)는 그 전압과 사용자가 결정한 원하는 챔버내의 압력설정값과 비교하여 전압이 압력설정값과 다른 경우에 상기 자동압력조절부(3)에 제어신호를 출력한다.

그 다음, 상기 제어신호를 입력받은 자동압력조절부(3)는 입력받은 제어신호에 따라, 자동압력조절밸브(5)의 개패를 제어하여 진공챔버 내의 압력을 조절하게 된다.

그러나, 상기한 종래의 압력조절장치는 피라니게이지가 진공챔버 내의 압력을 측정할 때 기준압력에 오차가 생겨도 그 오차를 무시하고 진공챔버내의 압력을 측정하고 그 값을 원하는 압력으로 조절함으로써, 실제 챔버 내의 압력값에 대한 신뢰도가 감소하는 문제점이 있었다.

상기한 문제점을 감안한 본 고안은 피라니게이지와 측정기준압력과 설정기준압력을 일정한 시간마다 비교하여 그 오차값 만큼 보정하는 압력조절장치의 제공을 목적으로 한다.

제1도는 종래 압력제어장치의 구성도.

제2도는 본 고안에 의한 압력제어장치의 구성도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 피라니게이지 2 : 진공조절부

3 : 자동압력조절부 4 : 주제어부

5 : 자동압력 조절밸브 6 : 기준압력설정부

7 : 스위치부 8 : 가산기

9 : 디지털전압측정부 10 : 압력비교부

11 : 압력발생부 12 : 압력보정부

상기와 같은 목적은 피라니게이지의 측정기준압력과 설정기준압력을 비교하는 압력비교부와 상기 압력비교부의 출력에 따라 측정기준압력을 보정하는 압력보정부를 구비시킴으로써 달성되는 것으로, 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제2도는 본 고안에 의한 압력조절장치의 구성도로서 이에 도시된 바와같이, 기준압력을 결정하는 기준압력결정부(6)에 설정된 압력값을 일정한 시간간격으로 스위칭되는 스위치부(7)를 통해 입력 받고, 피라니게이지(1)에서 측정된 기준압력값을 진공조절부(2)를 통해 입력받아 표시 및 출력하는 디지탈 전압측정부(9)와; 상기 디지탈 전압측정부(9)에 입력된 두 압력을 비교출력하는 압력비교부(10)와; 상기 압력비교부(10)의 출력에 따라 알람을 발생하는 알람발생부(11)와; 상기 알람발생부(11)를 통해 압력비교부(10)의 출력을 입력 받아 설정기준압력과 측정기준압력의 차를 보정하는 압력보정부(12)와; 상기 압력보정부(12)에서 출력되는 기준압력보정값 및 피라니게이지(1)에서 측정된 기준압력값을 가산하는 가산기(8)와; 상기 가산기(8)의 출력을 자동압력조절부(3)를 통해 입력 받아 처리하여 다시 자동압력조절부(3)로 제어신호를 출력하여 상기 자동압력조절부(3)가 자동압력조절밸브(5)의 개패를 제어하게 함으로써 진공챔버내의 압력을 조절하는 주제어부(4)로 구성된다. 이와같이 구성된 본 고안에 의한 압력조절장치의 동작을 상세히 설명하면 다음과 같다.

먼저, 기준압력설정부(6)에 원하는 기준압력을 설정한다. 그리고, 주제어장치(4)에 스위치부(7)의 온오프를 제어하는 보정 주기를 설정하여 스위치부(7)를 원하는 시간간격으로 스위칭시켜 상기 설정한 기준압력을 디지탈 전압측정부(9)로 인가한다. 또한 피라니게이지(1)는 기준압력을 측정하여 전압으로 변환한 후, 진공조절부(2)를 통해 상기 디지탈 전압측정부(9)로 인가한다. 상기 디지탈 전압측정부(9)는 입력 받은 피라니게이지의 출력전압을 압력으로 변환하여 항상 표시하고, 상기 입력 받은 기준압력과 피라니게이지 측정압력을 압력비교부(10)로 출력한다.

그 다음, 압력비교부(10)는 상기 디지탈 전압측정부(9)에서 입력된 설정한 기준압력값과 피라니게이지(1)에서 측정한 기준압력을 비교하여 두 압력값이 다른 경우, 주제어부(4) 및 알람발생부(11)에 제어신호를 출력한다.

그 다음, 알람발생부(11)는 입력된 제어신호에 의해 알람을 발생시키고, 압력보정부(12)로 입력된 제어신호를 출력한다. 상기 제어신호를 입력 받은 압력보정부(12)에서는 그 제어신호에 따라 설정기준압력과 피라니게이지(1)의 측정기준압력의 차만큼의 전압을 가산기(8)로 출력한다.

그 다음, 가산기(8)는 압력보정부(12)에서 출력되는 기준압력보정값과 피라니게이지(1)의 측정기준압력을 입력받아 가산하여 자동압력조절부(3)로 출력한다.

그 다음, 자동압력조절부(3)는 피라니게이지(1)가 측정한 진공챔버 내의 압력에 상기 입력받은 보정값을 가감하여 주제어부(4)로 출력한다.

그 다음, 상기 주제어부(4)는 입력받은 보정된 진공챔버 내의 압력값과 사용자가 원하는 진공챔버 내의 압력설정값을 비교하여 그 값이 다른 경우 제어신호를 다시 자동압력조절부(3)로 출력하고, 상기 주제어부(4)의 제어신호를 입력받은 압력조절부(3)는 주제어부(4)의 제어에 따라 자동압력제어밸브(5)의 개폐를 제어하여 진공챔버 내의 압력을 원하는 설정압력값으로 조절한다.

상기와 같은 동작을 주제어부(4)의 제어에 따라 스위치부(7)가 스위칭할 때마다 반복하여 측정기준압력과 설정기준압력의 오차를 보정함으로써, 진공챔버내의 압력을 일정하게 유지시키게 된다.

상기한 바와같이 본 고안은, 측정기준압력과 설정기준압력의 오차를 보정하여 진공챔버내의 압력을 일정하게 유지함으로써, 진공챔버 내의 압력값에 대한 신뢰도를 향상시키는 효과가 있다.

Claims

기준압력을 설정하는 기준압력설정부(6)에 설정된 압력값을 일정한 시간간격으로 스위칭되는 스위치부(7)를 통해 입력 받고, 피라니게이지(1)에서 측정된 기준압력값을 진공조절부(2)를 통해 입력받아 표시 및 출력하는 디지탈 전압측정부(9)와; 상기 디지털 전압측정부(9)에 입력된 두 압력을 비교출력하는 압력비교부(10)와; 상기 압력비교부(10)의 출력에 따라 알람을 발생하는 알람발생부(11)를 통해 압력비교부(10)의 출력을 입력 발아 그 출력만큼 압력을 보정하는 압력보정부(12)와; 상기 압력보정부(12)에서 출력되는 기준압력보정값 및 피라니게이지(1)에서 측정된 기준압력값을 가산하는 가산기(8)와; 상기 가산기(8)의 출력을 자동압력조절부(3)를 통해 입력 받아 처리하고, 다시 자동압력조절부(3)로 제어신호를 출력하여 상기 자동압력조절부(3)가 자동압력조절밸브(5)의 개패를 제어하게 함으로써 진공챔버 내의 압력을 조절하는 주제어부(4)로 구성하여 된 것을 특징으로 하는 압력제어장치.