KR200238126Y1

KR200238126Y1 - Shield ring structure for lcd glass manufacturing etch system

Info

Publication number: KR200238126Y1
Application number: KR2019980017422U
Authority: KR
Inventors: 신용현
Original assignee: 현대반도체 주식회사
Priority date: 1998-09-14
Filing date: 1998-09-14
Publication date: 2002-11-21
Also published as: KR20000006339U

Abstract

본 고안은 엘시디 글래스 제조용 건식식각장치의 쉘드 링구조에 관한 것으로, 종래에는 쉘드 링이 4각형의 일체로 되어 있어서 해체 및 조립에 어려움이 있는 문제점이 있었던바, 본 고안은 쉘드 링(14)이 4개의 섹션 링(14')으로 조립되어 있으므로, 장치의 정비를 위하여 해체 또는 조립시 적은 인원으로 작업이 가능하여 인원대비 생산성향상의 효과가 있다.The present invention relates to a shell ring structure of a dry etching apparatus for manufacturing an LCD, in the prior art, the shell ring has a problem in that the disassembly and assembly of the four-sided integrated, the shell ring 14 is Since it is assembled with four section rings 14 ', it is possible to work with a small number of people when dismantling or assembling to maintain the device, thereby improving productivity compared to personnel.

Description

SHIELD RING STRUCTURE FOR LCD GLASS MANUFACTURING ETCH SYSTEM}

본 고안은 엘시디 글래스 제조용 건식식각장치의 쉘드 링구조에 관한 것으로, 특히 쉘드 링의 교체시 작업이 용이하도록 하는데 적합한 엘시디 글래스 제조용 건식식각장치의 쉘드 링구조에 관한 것이다.The present invention relates to a shell ring structure of a dry etching apparatus for manufacturing an LCD glass, and more particularly, to a shell ring structure of a dry etching apparatus for manufacturing an LCD glass suitable for easy operation when the replacement of the shell ring.

엘시디의 제조시 사용되는 글래스에 증착되어 있는 증착물질의 식각시 사용되는 건식식각장치가 일반적인 형태가 도 1에 도시되어 있는 바, 이를 간단히 설명하면 다음과 같다.The general form of the dry etching apparatus used for etching the deposition material deposited on the glass used in the manufacture of LCD is shown in FIG. 1.

박스체인 진공 챔버(1)의 내측에 상,하부전극(2)(3)이 일정간격을 두고 설치되어 있고, 그 상,하부전극(2)(3)의 하면과 상면에는 각각 사각형의 쉘드 링(4)이 착,탈가능하게 볼트(미도시)로 고정되어 있다.Upper and lower electrodes (2) and (3) are provided inside the box chain vacuum chamber (1) at regular intervals, and rectangular shell rings are formed on the lower and upper surfaces of the upper and lower electrodes (2) and (3), respectively. (4) is fixed to the bolt (not shown) detachably.

그리고, 상기 쉘드 링(4)의 재질은 세라믹으로 되어 있고, 사각형의 일체로 되어 있으며, 볼트(미도시)를 삽입할 수 있도록 다수개의 결합공(4a)들이 일정간격으로 다수개 형성되어 있다.In addition, the material of the shell ring 4 is made of ceramic, is integral with the rectangle, and a plurality of coupling holes 4a are formed at a predetermined interval so as to insert a bolt (not shown).

상기와 같이 구성되어 있는 종래 건식식각장치는 하부전극(3)의 상측에 글래스를 장착하고, 진공 챔버(1)의 내부를 펌프로 펌핑하여 일정압력으로 유지시킨 상태에서 내측으로 공정가스를 주입한다. 그런 다음 상부전극(2)에 일에프 파워를 인가하면 진공 챔버(1)의 내측에 플라즈마가 발생되고, 그와 같이 발생된 플라즈마에 의하여 글래스 상면에 증착되어 있는 증착물질의 식각하고자 하는 일정부분을 제거하게 된다. 그리고, 상기와 같이 식각이 진행되는 동안 발생되는 플라즈마는 쉘드 링(4)에 의하여 글래스의 상면으로 집중되도록 유도됨과 동시에 균일하게 식각이 이루어지도록 조절된다.In the conventional dry etching apparatus configured as described above, the glass is mounted on the upper side of the lower electrode 3, and the process gas is injected into the vacuum chamber 1 by pumping the inside of the vacuum chamber 1 and maintaining the pressure at a constant pressure. . Then, if one F power is applied to the upper electrode 2, plasma is generated inside the vacuum chamber 1, and a portion of the deposition material deposited on the upper surface of the glass is etched by the generated plasma. Will be removed. In addition, as described above, the plasma generated during the etching is induced to be concentrated on the upper surface of the glass by the shell ring 4 and controlled to be uniformly etched.

그러나, 상기와 같은 종래 건식식각장치는 장비의 고장 또는 예방차원에서 주기적인 정비를 하게 되고, 이와 같은 정비시 사각형의 일체로된 쉘드 링(4)은 크기가 커서 최소 4명의 인원이 해체하거나 조립하여야 하므로 그로 인한 인원대비 생산성향상에 한계가 있는 문제점이 있었다.However, the conventional dry etching apparatus as described above is a periodic maintenance in order to prevent equipment failure or preventive, during this maintenance, the rectangular integrated ring ring (4) is large in size to disassemble or assemble at least four people As a result, there was a problem that there is a limit in improving productivity compared to the personnel.

상기와 같은 문제점을 감안하여 안출한 본 고안의 목적은 적은 인원으로 장치를 정비할 수 있도록 하는데 적합한 엘시디 글래스 제조용 건식식각장치의 쉘드 링구조를 제공함에 있다.The object of the present invention devised in view of the above problems is to provide a shell ring structure of a dry etching apparatus for manufacturing an LCD glass suitable for being able to maintain the device with a small number of people.

도 1은 종래 건식식각장치의 구성을 보인 종단면도.1 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a conventional dry etching device.

도 2는 종래 쉘드 링의 구조를 보인 평면도.Figure 2 is a plan view showing the structure of a conventional shell ring.

도 3은 종래 쉘드 링의 구조를 보인 측면도.Figure 3 is a side view showing the structure of a conventional shell ring.

도 4는 본 고안 쉘드 링이 구비된 건식식각장치의 구성을 보인 종단면도.Figure 4 is a longitudinal cross-sectional view showing the configuration of the dry etching apparatus provided with the present invention shell ring.

도 5는 본 고안 쉘드 링의 구조를 보인 분해사시도.Figure 5 is an exploded perspective view showing the structure of the present invention shell ring.

도 6는 본 고안 쉘드 링의 구조를 보인 평면도.Figure 6 is a plan view showing the structure of the present invention shell ring.

도 7은 도 6의 A-A'를 절취하여 보인 단면도.FIG. 7 is a cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG. 6;

도 8은 본 고안 쉘드 링의 요부인 섹션 링을 보인 평면도 및 측면도.8 is a plan view and a side view showing a section ring that is a main portion of the present invention shell ring.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

14a : 몸체부 14b : 단차부14a: body portion 14b: stepped portion

14c : 볼트결합공 14' : 섹션 링14c: Bolted hole 14 ': Section ring

상기와 같은 본 고안의 목적을 달성하기 위하여 엘시디 글래스 제조용 쉴드 링에 있어서, 일정폭과 길이를 갖는 몸체부의 양단부에 결합이 용이하도록 반대방향으로 체결 단차부가 형성되어 있고, 그 몸체부에 일정간격으로 수개의 볼트결합공이 형성되어 있는 4개의 섹션 링이 사각형을 이루도록 연결조립되어서 구성되는 것을 특징으로 하는 엘시디 글래스 제조용 건식식각장치의 쉘드 링구조가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention as described above, in the shield ring for manufacturing an LCD, fastening stepped parts are formed in opposite directions to facilitate coupling at both ends of a body part having a predetermined width and length, and the body parts at regular intervals. Provided is a shell ring structure of a dry etching apparatus for manufacturing an LCD glass, characterized in that four section rings having several bolted holes formed are connected and assembled to form a quadrangle.

이하, 상기와 같이 구성되는 본 고안 엘시디 글래스 제조용 건식식각장치의 쉘드 링구조의 실시예를 첨부된 도면을 참고하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, an embodiment of the shell ring structure of the dry etching apparatus for manufacturing the present invention LCD glass is configured as described above are as follows.

도 4는 본 고안 쉘드 링이 구비된 건식식각장치의 구성을 보인 종단면도로서, 도시된 바와 같이, 박스체인 진공 챔버(11)의 내측에 상,하부전극(12)(13)이 설치되어 있고, 그 상부전극(12)의 하면과 하부전극(13)의 상면에는 각각 쉘드 링(14)이 설치되어 있는 구성은 종래와 유사하다.Figure 4 is a longitudinal cross-sectional view showing the configuration of the dry etching device provided with a shell ring of the present invention, as shown, the upper and lower electrodes 12, 13 is provided inside the vacuum chamber 11, the box chain The structure in which the shell ring 14 is provided on the lower surface of the upper electrode 12 and the upper surface of the lower electrode 13 is similar to the prior art.

여기서, 상기 쉘드 링(14)은 도 5내지 도 8에 도시된 바와 같이, 4개의 섹션 링(14')이 조립된 구조로 되어 있다.Here, the shell ring 14 has a structure in which four section rings 14 'are assembled, as shown in FIGS. 5 to 8.

상기 섹션 링(14')은 "??"자형으로 형성되며 일정길이와 폭을 갖는 몸체부(14a)의 양단부에 반대방향으로 체결 단차부(14b)가 형성되어 있고, 상기 몸체부(14a)에는 일정간격으로 볼트결합공(14c)들이 형성되어 있다.The section ring 14 ′ is formed in a “??” shape, and fastening stepped portions 14b are formed at opposite ends of the body portion 14a having a predetermined length and width, and the body portion 14a. The bolt coupling holes 14c are formed at regular intervals.

상기와 같이 구성되어 있는 본 발명의 쉘드 링이 설치된 식각장치의 동작은 종래와 유사하다.The operation of the etching apparatus is provided with a shell ring of the present invention configured as described above is similar to the conventional.

즉, 하부전극(13)의 상측에 식각하고자 하는 글래스를 위치시키고, 진공 챔버(11)의 내부를 일정압력이 되도록 유지시킨 상태에서 챔버(11)의 내측으로 공정가스를주입함과 아울러 상부전극(12)에 알에프 파워를 인가하여 챔버(11)의 내측에 발생되는 플라즈마를 이용하여 식각을 한다.That is, the glass to be etched is positioned above the lower electrode 13, the process gas is injected into the chamber 11 while the inside of the vacuum chamber 11 is maintained at a constant pressure, and the upper electrode is injected. RF power is applied to (12) to etch using the plasma generated inside the chamber (11).

그리고, 상기와 같은 식각작치를 장기간 반복사용시 상부전극(12) 고장 또는 쉘드 링(14) 자체의 부분파손에 의하여 쉘드 링(14)을 해체하여야 하는데, 이때 1명의 작업자가 부분적으로 파손된 섹션 링(14')을 해체하고 교체하면 된다.When the etching operation is repeated for a long time, the shell ring 14 must be dismantled due to failure of the upper electrode 12 or partial damage of the shell ring 14 itself. The 14 'can be removed and replaced.

만약, 상부전극(12)의 고장으로 쉘드 링(14) 전체를 해체하여야 하는 일이 발생되어도, 섹션 링(14')을 고정하고 있는 볼트(미도시)들을 차례로 풀어서 섹션 링(14')을 1개씩 해체하거나, 다시 조립시에도 1개씩 조립하는 것이 가능하므로 작업의 생산성이 향상된다.If the failure of the upper electrode 12 causes the entire shell ring 14 to be dismantled, the bolts (not shown) holding the section ring 14 'are sequentially released to unscrew the section ring 14'. It is possible to disassemble one by one or assemble one by one even when reassembling one by one, thereby improving work productivity.

이상에서 상세히 설명한 바와 같이, 본 고안 엘시디 글래스 제조용 건식식각장치의 쉘드 링구조에서는 쉘드 링이 4개의 섹션 링으로 조립되어 있으므로, 장치의 정비를 위하여 해체 또는 조립시 적은 인원으로 작업이 가능하여 인원대비 생산성향상의 효과가 있다.As described in detail above, in the shell ring structure of the dry etching apparatus for manufacturing an LCD of the present invention, since the shell ring is assembled with four section rings, it is possible to work with a small number of people during dismantling or assembly to maintain the device. It has the effect of improving productivity.

Claims

In the shield ring for manufacturing an LCD glass, four sections having fastening steps are formed in opposite directions to facilitate engagement at both ends of a body part having a predetermined width and length, and several bolted holes formed at a predetermined interval in the body part. Shell ring structure of a dry etching apparatus for manufacturing an LCD glass, characterized in that the ring is assembled to form a square.

The shell ring structure of claim 1, wherein the section ring is formed in a “??” shape.