KR102464459B1 - Cathode electrode plate assembly and fastening method thereof - Google Patents

Cathode electrode plate assembly and fastening method thereof Download PDF

Info

Publication number
KR102464459B1
KR102464459B1 KR1020200181249A KR20200181249A KR102464459B1 KR 102464459 B1 KR102464459 B1 KR 102464459B1 KR 1020200181249 A KR1020200181249 A KR 1020200181249A KR 20200181249 A KR20200181249 A KR 20200181249A KR 102464459 B1 KR102464459 B1 KR 102464459B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
bush
electrode plate
cathode electrode
insertion groove
fixing
Prior art date
Application number
KR1020200181249A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20220090245A (en
Inventor
김기상
이원규
전재홍
Original Assignee
(주)원세미콘
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)원세미콘 filed Critical (주)원세미콘
Priority to KR1020200181249A priority Critical patent/KR102464459B1/en
Publication of KR20220090245A publication Critical patent/KR20220090245A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102464459B1 publication Critical patent/KR102464459B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H01J37/32532—Electrodes
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
    • H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
    • H01J2237/332—Coating
    • H01J2237/3321—CVD [Chemical Vapor Deposition]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
    • H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
    • H01J2237/334—Etching
    • H01J2237/3341—Reactive etching

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

본 발명은 결합링과 캐소드 전극판의 삽입홈에 부시와 함께 조립되는 고정부재와 부시에 체결되는 고정커버를 삽입함으로써 회전을 방지하고 전극판의 마모 및 손상을 방지하는 캐소드 전극판용 조립체 및 그 체결방법에 관한 것으로, 삽입홈이 형성된 캐소드 전극판과, 상기 캐소드 전극판의 삽입홈에 삽입되는 부시와, 상기 삽입홈에 삽입되며 부시에 끼워져 상기 부시를 고정하고 회전을 방지하는 고정부재와, 상기 부시를 고정하기 위한 부시와 체결되는 고정커버를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 캐소드 전극판용 조립체 체결방법은 부시를 삽입홈의 고정판 사이로 삽입 하는 단계와, 상기 삽입홈에 삽입된 부시를 직각 회전 하는 단계와, 고정부재를 상기 삽입홈의 고정판 사이로 삽입 하는 단계와, 상기 부시의 체결부 외부에 형성된 나사산과 고정커버를 체결하는 단계와, 상기 캐소드 전극판의 상부에 상부전극판을 밀착시키는 단계와, 상기 부시의 체결부 내벽면에 형성된 나사산에 체결 나사를 체결하여 캐소드 전극판과 상부전극판을 고정시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention provides an assembly for a cathode electrode plate that prevents rotation and prevents abrasion and damage to the electrode plate by inserting a fixing member assembled with the bush into the insertion groove of the coupling ring and the cathode plate, and a fixing cover that is fastened to the bush, and its fastening A method comprising: a cathode electrode plate having an insertion groove formed therein; a bush inserted into the insertion groove of the cathode electrode plate; and a fixing member inserted into the insertion groove and inserted into the bush to fix the bush and prevent rotation; It characterized in that it comprises a fixing cover that is fastened with the bush for fixing the bush.
In addition, the assembly fastening method for a cathode electrode plate of the present invention includes the steps of inserting a bush between the fixing plates of the insertion groove, rotating the bush inserted into the insertion groove at right angles, and inserting the fixing member between the fixing plates of the insertion groove. and fastening the screw thread formed outside the fastening part of the bush and the fixing cover, the step of adhering the upper electrode plate to the upper part of the cathode electrode plate, and the fastening screw to the thread formed on the inner wall surface of the fastening part of the bush. It characterized in that it comprises the step of fixing the cathode electrode plate and the upper electrode plate by fastening.

Description

캐소드 전극판용 조립체 및 그 체결방법{CATHODE ELECTRODE PLATE ASSEMBLY AND FASTENING METHOD THEREOF}Assembly for cathode electrode plate and fastening method thereof

본 발명은 캐소드 전극판용 조립체 및 그 체결방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐소드 전극판의 삽입홈에 부시와 함께 조립되는 고정부재와 부시에 체결되는 고정커버를 삽입함으로써 회전을 방지하고 전극판의 마모 및 손상을 방지하는 캐소드 전극판용 조립체 및 그 체결방법에 관한 것이다.The present invention relates to an assembly for a cathode electrode plate and a fastening method thereof, and more particularly, by inserting a fixing member assembled with a bush into an insertion groove of the cathode electrode plate, and a fixing cover fastened to the bush, thereby preventing rotation and preventing the electrode plate from rotating. It relates to an assembly for a cathode electrode plate that prevents wear and damage and a method for fastening the same.

일반적으로 플라즈마 챔버(plasma chamber)는 웨이퍼 등의 반도체 부품을 생산하는 과정뿐만 아니라 공산품을 제조하는 과정에서 가공 중인 작업대상물(workpiece)에 식각(etching) 또는 플라즈마 화학 증착(plasma chemical vapor deposition) 공정이 수행되도록 하는 데 사용되는 설비들 중의 하나이다.In general, in a plasma chamber, etching or plasma chemical vapor deposition processes One of the facilities used to make it work.

전술한 바와 같은 플라즈마 챔버는 작업 대상물(workpiece)에 따라서 그 구성 및 크기 등이 다양한 형태로 설비되는 것이 일반적인데, 웨이퍼와 같은 반도체 부품에 식각 또는 증착 공정을 수행하기 위해 플라즈마 챔버가 흔히 사용된다.The plasma chamber as described above is generally provided in various shapes and sizes depending on the work piece, and the plasma chamber is commonly used to perform an etching or deposition process on a semiconductor component such as a wafer.

도 1에 제시된 바와 같이, 플라즈마 챔버(10)는 내측 상부 및 하부에 각각 캐소드 전극(20)과 애노드 전극(30)이 설치된다. 플라즈마 챔버(10)의 챔버(12) 일측에는 챔버 내부의 공기를 빼내기 위한 진공펌프(14)가 설치되고, 상기 챔버(10)의 다른 일측에는 챔버 내부로 플루오르, 질소 등의 반응가스를 주입시키기 위한 가스 주입구(16)가 설치된다. 또한, 고온고압의 상태에 노출되는 플라즈마 챔버(10)의 지속적인 냉각을 위해서 캐소드 전극(20)에는 냉각수의 순환이 가능한 냉각수 라인(18)이 설치된다.As shown in FIG. 1 , in the plasma chamber 10 , a cathode electrode 20 and an anode electrode 30 are installed in upper and lower inner portions, respectively. One side of the chamber 12 of the plasma chamber 10 is provided with a vacuum pump 14 for evacuating the air inside the chamber, and the other side of the chamber 10 is to inject a reactive gas such as fluorine or nitrogen into the chamber. A gas inlet 16 for In addition, for continuous cooling of the plasma chamber 10 exposed to a high temperature and high pressure state, a cooling water line 18 through which cooling water can be circulated is installed in the cathode electrode 20 .

상기 플라즈마 챔버(10)는 운전이 시작되면 챔버(12) 내부가 진공 상태에서 가스 주입구(16)를 통해 플루오르나 질소 등의 반응가스가 주입되고, 이와 동시에 전원으로부터 캐소드 전극(20) 및 애노드 전극(30)에 고전압이 인가되면, 챔버(12) 내부가 플라즈마 상태로 전환된다. 이 과정에서 웨이퍼(50)에는 플라즈마 상태의 반응가스에 의해서 식각 또는 증착 공정에 따른 가공이 이루어지게 된다.When the operation of the plasma chamber 10 is started, a reactive gas such as fluorine or nitrogen is injected through the gas inlet 16 in a vacuum state inside the chamber 12, and at the same time, the cathode electrode 20 and the anode electrode are supplied from the power source. When a high voltage is applied to 30, the inside of the chamber 12 is converted into a plasma state. In this process, the wafer 50 is processed according to an etching or deposition process by a reaction gas in a plasma state.

도 1에서 확대도로 도시된 캐소드 전극(20)은 원주 방향을 따라 체결 볼트가 결합되는 다수개의 체결 홈(22)이 형성되고, 상기 체결 홈(22)에 결합 부재를 결합시킨 후에 상기 체결 볼트와의 결합을 통해 플라즈마 챔버(10)에 고정된 상태가 유지된다.In the cathode electrode 20 shown in an enlarged view in FIG. 1 , a plurality of fastening grooves 22 to which the fastening bolts are coupled are formed along the circumferential direction, and after coupling the coupling member to the fastening grooves 22 , the fastening bolts and The fixed state is maintained in the plasma chamber 10 through the combination of

그러나, 종래의 결합 부재는 캐소드에 다량의 반응가스가 유입되면서 고전압의 플라즈마에 노출될 경우 상기 결합 부재가 체결 홈(22)의 내측에 밀착된 상태가 안정적으로 유지되지 않고 불안정해지면서, 회전이 발생될 수 있는 문제점이 유발되었다. 또한 상기 결합 부재의 특정 부위에 응력이 집중되어 공정 진행 중 파손되는 문제점이 발생하기도 한다.However, in the conventional coupling member, when a large amount of reactive gas is introduced into the cathode and exposed to high voltage plasma, the coupling member is not stably maintained in close contact with the inner side of the fastening groove 22 and becomes unstable, and rotation is Problems that may have arisen have been introduced. In addition, stress may be concentrated in a specific portion of the coupling member, resulting in damage during the process.

도 2 내지 도 3을 참고하여, 종래 기술에 해당하는 개선 전 캐소드 전극판(20)에 사용된 부시 조립체(40)에 대해 설명한다.2 to 3, the bush assembly 40 used in the cathode electrode plate 20 before the improvement corresponding to the prior art will be described.

캐소드 전극판(20)의 원주 방향을 따라 배치된 다수개의 체결홈(22)에 삽입되는 부시 조립체(40)는 베이스 플레이트(41)와, 상기 베이스 플레이트(41)의 상부를 향해 연장되고 그루브(Groove)가 형성된 연장부(미도시)를 가지는 부시(42); 상기 부시(42)의 외측에 삽입된 상태로 상기 체결홈(22)에 형성된 제1결합부(22a)와 결합되도록 외주면에 제2결합부(43a)가 형성된 결합링(43); 및 상기 결합링(43)의 상측에 위치되어 상기 부시(42)와 결합되는 삽입링(44);을 포함하며, 상기 결합링(43)의 상부 양쪽에 캐소드 전극판(20)의 체결홈(22)에 부시(42)와 결합링(43)을 조립하기 위해 결합링(43)을 회전시키기 위한 공구가 끼워질 수 있도록 공구홈부(43b)가 형성된다.The bush assembly 40 inserted into the plurality of fastening grooves 22 disposed along the circumferential direction of the cathode electrode plate 20 extends toward the base plate 41 and the upper portion of the base plate 41 and includes a groove ( a bush 42 having an extension (not shown) in which a groove) is formed; a coupling ring 43 having a second coupling part 43a formed on its outer circumferential surface so as to be coupled with the first coupling part 22a formed in the coupling groove 22 in a state inserted outside the bush 42; and an insertion ring 44 positioned on the upper side of the coupling ring 43 and coupled to the bush 42; 22), a tool groove portion 43b is formed so that a tool for rotating the coupling ring 43 can be fitted in order to assemble the bush 42 and the coupling ring 43.

이러한 종래의 부시 조립체(40)는 캐소드 전극판(20)의 체결홈(22)에 부시(42)를 조립 시 부시(42) 외부에 결합링(43)을 끼워서 체결홈(22)에 체결하기 위해 공구홈부(43b)에 공구를 끼워 결합링(43)을 직접 돌려 조립함으로써 공구에 의해 공구홈부(43b)가 마모되거나 결합링(43)이 파손될 우려가 있어 재사용하지 못하고, 제품성 및 작업 효율이 떨어지며 부품 하나의 고장으로 인해 부시 조립체 전체를 교체해야 하는 문제점이 있었다. 또한, 여러 과정이 포함되므로 번거로운 작업이 될 수 밖에 없었다.In this conventional bush assembly 40, when assembling the bush 42 in the fastening groove 22 of the cathode electrode plate 20, the coupling ring 43 is inserted outside the bush 42 to be fastened to the fastening groove 22. In order to do this, by inserting the tool into the tool groove 43b and assembling the coupling ring 43 directly, there is a fear that the tool groove portion 43b may be worn or the coupling ring 43 may be damaged by the tool, so it cannot be reused, and productivity and work efficiency. There was a problem in that the entire bush assembly had to be replaced due to the failure of one component. In addition, since several processes were involved, it was inevitably a cumbersome task.

대한민국 공개특허공보 제10-2011-0091253호Republic of Korea Patent Publication No. 10-2011-0091253 대한민국 등록특허공보 제10-1593920호Republic of Korea Patent Publication No. 10-1593920 대한민국 등록특허공보 제10-1514397호Republic of Korea Patent Publication No. 10-1514397

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출한 것으로, 그 목적은 결합링과 캐소드 전극판의 삽입홈에 부시와 함께 조립되는 고정부재와 부시에 체결되는 고정커버를 삽입함으로써 회전을 방지하고 전극판의 마모 및 손상을 방지하는 캐소드 전극판용 조립체 및 그 체결방법을 제공함에 있다.Accordingly, the present invention has been devised to solve the above problems, and its purpose is to prevent rotation by inserting a fixing member assembled with the bush into the insertion groove of the coupling ring and the cathode electrode plate and the fixing cover fastened to the bush. An object of the present invention is to provide an assembly for a cathode electrode plate that prevents wear and damage of the electrode plate, and a method for fastening the same.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 캐소드 전극판 조립체는 삽입홈이 형성된 캐소드 전극판과, 상기 캐소드 전극판의 삽입홈에 삽입되는 부시와, 상기 삽입홈에 삽입되며 부시에 끼워져 상기 부시를 고정하고 회전을 방지하는 고정부재와, 상기 부시를 고정하기 위한 부시와 체결되는 고정커버를 포함할 수 있다.A cathode electrode plate assembly according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes a cathode electrode plate having an insertion groove formed therein, a bush inserted into the insertion groove of the cathode electrode plate, and inserted into the insertion groove and inserted into the bush. It may include a fixing member for fixing the bush and preventing rotation, and a fixing cover coupled to the bush for fixing the bush.

상기 삽입홈은 내벽면 양측에서 중심부로 돌출된 고정판이 형성될 수 있다.The insertion groove may be formed with a fixing plate protruding toward the center from both sides of the inner wall surface.

상기 부시는 상기 고정부재가 끼워지도록 외형이 각진 형태로 이루어진 부시 몸체가 구비되고, 상기 부시 몸체 하부에 밀착편이 구비되며, 상기 부시 몸체 상부에 내벽면과 외부에 나사산이 형성된 체결부가 일체로 구비될 수 있다.The bush is provided with a bush body having an angular shape so that the fixing member is fitted, a contact piece is provided on the lower part of the bush body, and a fastening part having an inner wall surface and an external thread formed on the upper part of the bush body is integrally provided. can

상기 밀착편은 상기 삽입홈의 직경과 동일한 세로길이를 가지고 양끝단이 삽입홈과 동일한 호를 이룰 수 있다.The close contact piece may have the same vertical length as the diameter of the insertion groove, and both ends may form the same arc as the insertion groove.

상기 고정부재는 상기 부시에 끼워져 부시를 고정하고 회전을 방지하기 위해 끼움홈이 구비되고, 부시와 교차하여 끼워지도록 고정부재의 하부에 교차홈이 형성될 수 있다.The fixing member is fitted to the bush to fix the bush and has a fitting groove to prevent rotation, and an intersecting groove may be formed in the lower portion of the fixing member to cross the bush and fit.

상기 고정부재는 상기 삽입홈의 직경과 동일한 세로길이를 가지고 양끝단이 삽입홈과 동일한 호를 이루면서 조립하기 위한 높이를 형성할 수 있다.The fixing member may have a vertical length equal to the diameter of the insertion groove and form a height for assembling with both ends forming the same arc as the insertion groove.

상기 고정판 사이의 거리는 상기 밀착편 또는 고정부재의 가로길이와 동일하게 형성될 수 있다.The distance between the fixing plates may be equal to the horizontal length of the close contact piece or the fixing member.

상기 고정커버는 상기 삽입홈에 삽입되는 원판과, 상기 원판 하부에 돌출되는 돌출부와, 상기 원판과 돌출부의 내벽면에 나사산이 형성되어 상기 부시와 체결될 수 있다.The fixing cover may include a disk inserted into the insertion groove, a protrusion protruding from a lower portion of the disk, and a screw thread formed on an inner wall surface of the disk and the protrusion to be fastened to the bush.

상기 고정커버는 상부면에는 공구가 끼워져 부시를 회전시킬 수 있도록 하는 다수의 공구끼움홈이 더 형성될 수 있다.A plurality of tool fitting grooves may be further formed on the upper surface of the fixing cover to allow the tool to be inserted to rotate the bush.

상기 공구끼움홈은 공구가 끼워져 부시에 체결시킬 수 있도록 사각 형태나 육각 형태의 다각 형태로 형성될 수 있다.The tool fitting groove may be formed in a polygonal shape of a square shape or a hexagon shape so that a tool can be inserted and fastened to the bush.

본 발명의 실시 예에 따른 캐소드 전극판 조립체를 체결하는 방법은 부시를 삽입홈의 고정판 사이로 삽입 하는 단계와, 상기 삽입홈에 삽입된 부시를 직각 회전 하는 단계와, 고정부재를 상기 삽입홈의 고정판 사이로 삽입 하는 단계와, 상기 부시의 체결부 외부에 형성된 나사산과 고정커버를 체결하는 단계와, 상기 캐소드 전극판의 상부에 상부전극판을 밀착시키는 단계와, 상기 부시의 체결부 내벽면에 형성된 나사산에 체결 나사를 체결하여 캐소드 전극판과 상부전극판을 고정시키는 단계를 포함할 수 있다.The method of fastening the cathode electrode plate assembly according to an embodiment of the present invention includes inserting a bush between the fixing plates of the insertion groove, rotating the bush inserted into the insertion groove at right angles, and inserting a fixing member into the fixing plate of the insertion groove. The step of inserting it between, the step of fastening the screw thread formed outside the fastening part of the bush and the fixing cover, the step of adhering the upper electrode plate to the upper part of the cathode electrode plate, and the screw thread formed on the inner wall surface of the fastening part of the bush. It may include the step of fixing the cathode electrode plate and the upper electrode plate by fastening the fastening screw.

상기 부시의 체결부 외부에 형성된 나사산과 고정커버를 체결하는 단계는 상기 고정커버의 공구끼움홈에 공구를 끼워서 공구를 통해 고정커버를 회전시켜 상기 부시와 고정커버를 체결 할 수 있다.In the step of fastening the screw thread formed outside the fastening part of the bush and the fixed cover, a tool is inserted into the tool fitting groove of the fixed cover and the fixed cover is rotated through the tool to fasten the bush and the fixed cover.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체 및 그 체결방법에 의하면, 캐소드 전극판의 삽입홈에 부시와 함께 조립되는 고정부재와 부시에 체결되는 고정커버를 삽입함으로써 회전을 방지하고 전극판의 마모 및 손상을 방지할 수 있다.As described above, according to the assembly for a cathode electrode plate and its fastening method according to the present invention, rotation is prevented by inserting a fixing member assembled together with the bush and a fixing cover fastened to the bush into the insertion groove of the cathode electrode plate, thereby preventing rotation and preventing the electrode plate from rotating. wear and damage can be prevented.

도 1은 캐소드 전극판 설치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 2는 종래의 캐소드 전극판용 부시 조립체가 설치된 상태를 도시한 분해 사시도이다.
도 3은 개선 전 종래의 캐소드 전극판용 부시 조립체의 분해된 상태를 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체를 도시한 분해사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체를 도시한 결합사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체를 도시한 절단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체의 조립체를 도시한 확대사시도이다.
도 8은 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체와 상부전극판의 결합 상태를 도시한 절단면도이다.
도 9는 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체의 체결방법을 도시한 순서도이다.1 is a side view schematically illustrating the installation of a cathode electrode plate.
2 is an exploded perspective view showing a state in which the conventional bush assembly for a cathode electrode plate is installed.
3 is a cross-sectional view showing an exploded state of the conventional bush assembly for a cathode electrode plate before improvement.
4 is an exploded perspective view showing an assembly for a cathode electrode plate according to the present invention.
5 is a combined perspective view showing an assembly for a cathode electrode plate according to the present invention.
6 is a cross-sectional view showing an assembly for a cathode electrode plate according to the present invention.
7 is an enlarged perspective view showing the assembly of the assembly for a cathode electrode plate according to the present invention.
8 is a cross-sectional view illustrating a coupling state of an assembly for a cathode electrode plate and an upper electrode plate according to the present invention.
9 is a flowchart illustrating a method of fastening an assembly for a cathode electrode plate according to the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the present invention can have various changes and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to a specific embodiment, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

도면들에 있어서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니며 명확성을 기하기 위하여 과장된 것이다. 본 명세서에서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이며, 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 권리 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.In the drawings, embodiments of the present invention are not limited to the specific form shown and are exaggerated for clarity. Although specific terms have been used in this specification, they are used for the purpose of describing the present invention, and are not used to limit the meaning or scope of the present invention described in the claims.

본 명세서에서 '및/또는'이란 표현은 전후에 나열된 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용된다. 또한, '연결되는/결합되는'이란 표현은 다른 구성요소와 직접적으로 연결되거나 다른 구성요소를 통해 간접적으로 연결되는 것을 포함하는 의미로 사용된다. 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 또한, 명세서에서 사용되는 '포함한다' 또는 '포함하는'으로 언급된 구성요소, 단계, 동작 및 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및 소자의 존재 또는 추가를 의미한다.In the present specification, the expression 'and/or' is used to mean including at least one of the elements listed before and after. In addition, the expression 'connected/coupled' is used in a sense including being directly connected to another element or indirectly connected through another element. As used herein, the singular also includes the plural, unless the phrase specifically states otherwise. Also, as used herein, a component, step, operation, and element referred to as 'comprises' or 'comprising' refers to the presence or addition of one or more other components, steps, operations and elements.

실시 예들의 설명에 있어서, 각 층(막), 영역, 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 측(막), 영역, 패드 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성된다는 기재는, 직접(directly) 또는 다른 층을 개재하여 형성되는 것을 모두 포함한다. 각 층의 상/위 또는 하/아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In the description of embodiments, each layer (film), region, pattern or structure is “on” or “under” the substrate, each side (film), region, pad or patterns. The description "formed on" includes all those formed directly or through another layer. The criteria for the upper/above or lower/lower layers of each layer will be described with reference to the drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시 예를 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체를 도시한 분해사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체를 도시한 결합사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체를 도시한 절단면도이며, 도 7은 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체의 조립체를 도시한 확대사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체와 상부전극판의 결합 상태를 도시한 절단면도이며, 도 9는 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체의 체결방법을 도시한 순서도이다.4 is an exploded perspective view showing an assembly for a cathode electrode plate according to the present invention, FIG. 5 is a combined perspective view showing an assembly for a cathode electrode plate according to the present invention, and FIG. 6 is an assembly for a cathode electrode plate according to the present invention 7 is an enlarged perspective view showing the assembly of the assembly for a cathode electrode plate according to the present invention, and FIG. 9 is a flowchart illustrating a method of fastening the assembly for a cathode electrode plate according to the present invention.

도 4 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 캐소드 전극판용 조립체(10)는 캐소드 전극판(100)과, 부시(110)와, 고정부재(130)와, 고정커버(140)를 포함하게 된다.4 to 8, the assembly 10 for a cathode electrode plate according to the present invention includes a cathode electrode plate 100, a bush 110, a fixing member 130, and a fixing cover 140. will include

상기 캐소드 전극판(100)은 삽입홈(101)이 형성되며, 상기 삽입홈은 내벽면 양측에서 중심부로 돌출된 고정판(102)이 형성되게 된다.An insertion groove 101 is formed in the cathode electrode plate 100, and a fixing plate 102 protruding from both sides of the inner wall surface toward the center is formed in the insertion groove.

상기 고정판(102) 사이의 거리는 상기 부시(110)와 고정부재(130)가 삽입되면서 고정될 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다.The distance between the fixing plate 102 is preferably formed so that the bush 110 and the fixing member 130 can be fixed while being inserted.

또한, 상기 캐소드 전극판(100)은 실리콘, 실리콘카바이드, 알루미나, 쿼츠 등의 세라믹 소재로 이루어지게 된다.In addition, the cathode electrode plate 100 is made of a ceramic material such as silicon, silicon carbide, alumina, quartz.

상기 부시(110)는 캐소드 전극판(100)의 삽입홈(101)에 삽입되게 된다.The bush 110 is inserted into the insertion groove 101 of the cathode electrode plate 100 .

도 4 및 도 7에서와 같이, 상기 부시(110)는 부시 몸체(111)와, 밀착편(112)과, 체결부(113)를 포함하게 된다.4 and 7 , the bush 110 includes a bush body 111 , a contact piece 112 , and a fastening part 113 .

상기 부시 몸체(111)는 외부에 고정부재(130)가 끼워지게 되므로, 외부에 끼워지는 고정부재(130)의 빠짐 및 회전이 불가능하도록 타원이나 사각 형태의 각진 형태로 형성될 수 있다.Since the fixing member 130 is fitted to the outside of the bush body 111, the bush body 111 may be formed in an angular shape in the form of an oval or a square so that the fixing member 130 fitted to the outside cannot be removed or rotated.

상기 밀착편(112)은 상기 부시 몸체(111) 하부에 구비되며 상기 삽입홈(101)의 직경과 동일한 세로길이를 가지고 양끝단이 삽입홈(101)과 동일한 호를 이루며 형성될 수 있다.The contact piece 112 may be provided under the bush body 111 , have the same vertical length as the diameter of the insertion groove 101 , and both ends may form the same arc as the insertion groove 101 .

상기 체결부(113)는 상기 부시 몸체(111) 상부에 일체로 구비되며 내벽면과 외부에 나사산이 형성될 수 있다.The fastening part 113 may be integrally provided on the upper portion of the bush body 111 and may have threads formed on the inner wall surface and the outside.

상기 고정부재(130)는 삽입홈(101)에 삽입되는 것으로 상기 삽입홈(101)의 직경과 동일한 세로길이를 가지고 양끝단이 삽입홈(101)과 동일한 호를 이루면서 형성되며, 상기 부시 몸체(111)의 외부에 끼워져 부시(110)의 회전을 방지하는 끼움홈(131)이 형성되게 된다.The fixing member 130 is inserted into the insertion groove 101, has the same vertical length as the diameter of the insertion groove 101, and both ends form the same arc as the insertion groove 101, and the bush body ( 111) is fitted to the outside of the fitting groove 131 to prevent rotation of the bush 110 is formed.

상기 끼움홈(131)은 상기 부시 몸체(111)와 동일하게 빠짐 및 회전이 불가능하도록 타원이나 사각 형태의 각진 형태로 형성될 수 있다.The fitting groove 131 may be formed in an angular shape of an oval or a square shape so that it cannot be removed and rotated in the same way as the bush body 111 .

또한, 상기 고정부재(130)는 상기 밀착편(112)의 상부에 밀착되며 부시(110)와 교차하여 끼워지도록 하부에 교차홈(132)이 형성되게 된다. 그러므로, 상기 교차홈(132)은 상기 밀착편(112)과 동일한 높이로 형성되는 것이 바람직하다.In addition, the fixing member 130 is closely attached to the upper portion of the contact piece 112 , and an intersecting groove 132 is formed in the lower portion to cross the bush 110 and fit. Therefore, it is preferable that the cross groove 132 is formed at the same height as the contact piece 112 .

이때, 상기 고정판(102) 사이의 거리는 상기 밀착편(112)과 고정부재(130)를 삽입하기 위해 상기 밀착편(112)과 고정부재(130)의 가로길이와 동일하게 형성될 수 있다.In this case, the distance between the fixing plate 102 may be equal to the horizontal length of the contact piece 112 and the fixing member 130 in order to insert the contact piece 112 and the fixing member 130 .

또한, 상기 부시(110)와 고정부재(130) 사이에 고정부재의 조립 높이를 유지하기 위한 와셔(120)를 더 포함할 수 있다.In addition, a washer 120 for maintaining the assembly height of the fixing member between the bush 110 and the fixing member 130 may be further included.

상기 고정커버(140)는 상기 삽입홈(101)에 삽입되는 원판(141)과, 상기 원판(141) 하부에 돌출되는 돌출부(142)와, 상기 원판(141)과 돌출부(142)의 내벽면에 나사산(143)이 형성되게 된다.The fixing cover 140 includes a disk 141 inserted into the insertion groove 101 , a protrusion 142 protruding from a lower portion of the disk 141 , and an inner wall surface of the disk 141 and the protrusion 142 . The screw thread 143 is formed.

상기 고정커버의 내벽면에 형성된 나사산(143)은 상기 부시의 체결부(113) 외부에 형성된 나사산과 나사 체결하게 된다. The screw thread 143 formed on the inner wall surface of the fixing cover is screwed with the screw thread formed outside the fastening part 113 of the bush.

즉, 종래의 캐소드 전극판용 조립체는 전극판에 부시 또는 결합링이 체결되는데 비하여, 본 발명의 캐소드 전극판용 조립체(10)는 전극판(100)과의 체결과정이 없으므로, 전극판(100)의 손상을 방지할 수 있고 조립체(10)의 손상시 교체가 용이할 수 있다.That is, compared to the conventional assembly for a cathode electrode plate in which a bush or a coupling ring is fastened to the electrode plate, the assembly 10 for a cathode electrode plate of the present invention does not have a fastening process with the electrode plate 100 , so the Damage can be prevented and replacement can be facilitated when the assembly 10 is damaged.

또한, 상기 고정커버(140)는 상기 삽입홈(101)과 동일한 직경으로 형성되며 상부 면에 공구가 끼워져 부시(110)를 회전시킬 수 있도록 하는 일정 개수의 공구끼움홈(144)이 형성되게 된다.In addition, the fixing cover 140 is formed with the same diameter as the insertion groove 101, and a certain number of tool insertion grooves 144 are formed so that the tool is inserted into the upper surface to rotate the bush 110. .

이때, 상기 공구끼움홈(144)은 공구가 끼워져 부시(110)에 체결시킬 수 있도록 사각 형태나 육각 형태의 다각 형태로 형성됨이 바람직하다.In this case, the tool fitting groove 144 is preferably formed in a polygonal shape of a square or hexagonal shape so that a tool can be inserted and fastened to the bush 110 .

또한, 도 8에서와 같이, 캐소드 전극판(100)의 상부에 상부전극판(200)을 밀착시키고, 캐소드 전극판(100)과 상부전극판(200)을 고정시키기 위해 체결 나사(150)를 상기 부시(110)의 내벽면에 형성된 나사산과 나사 체결하여 캐소드 전극판(100)과 상부전극판(200)을 고정시킬 수 있다.In addition, as shown in FIG. 8 , the upper electrode plate 200 is closely attached to the upper portion of the cathode electrode plate 100 , and a fastening screw 150 is used to fix the cathode electrode plate 100 and the upper electrode plate 200 . The cathode electrode plate 100 and the upper electrode plate 200 can be fixed by screwing with the screw thread formed on the inner wall surface of the bush 110 .

도 4 내지 도 6 및 도 9에서와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 캐소드 전극판용 조립체의 체결방법은 아래와 같다.4 to 6 and 9, the method of fastening the assembly for a cathode electrode plate according to an embodiment of the present invention is as follows.

먼저. 상기 부시(110)를 상기 삽입홈(101)의 고정판(102) 사이로 삽입하게 된다.(S100) first. The bush 110 is inserted between the fixing plate 102 of the insertion groove 101 (S100).

상기 부시(110)에 상기 고정부재(130)를 교차하며 끼우기 위해 상기 삽입홈(101)에 삽입된 상기 부시(110)를 직각 회전하게 된다.(S200)The bush 110 inserted into the insertion groove 101 is rotated at right angles to cross and insert the fixing member 130 into the bush 110. (S200)

그리고, 상기 고정부재(130)를 상기 삽입홈(101)의 고정판(102) 사이로 삽입하게 된다.(S300)Then, the fixing member 130 is inserted between the fixing plate 102 of the insertion groove 101. (S300)

즉, 상기 고정판(102) 사이로 삽입하게 되면서 상기 부시의 밀착편(112) 상부에 상기 고정부재(130)는 교차하며 끼워지게 된다. 이때, 상기 고정부재(130)의 조립 높이에 따라 상기 부시(110)와 고정부재(130) 사이에 와셔(120)를 더 조립할 수 있다.That is, while being inserted between the fixing plate 102, the fixing member 130 is intersected and fitted on the upper portion of the contact piece 112 of the bush. In this case, the washer 120 may be further assembled between the bush 110 and the fixing member 130 according to the assembly height of the fixing member 130 .

그리고, 상기 부시의 체결부(113) 외부에 형성된 나사산과 상기 고정커버의 내벽면에 형성된 나사산(143)을 체결하게 된다.(S400)Then, the screw thread formed outside the fastening part 113 of the bush and the screw thread 143 formed on the inner wall surface of the fixing cover are fastened (S400).

상기 고정커버(140)를 부시의 체결부(113) 외부에 형성된 나사산에 체결함에 있어, 상기 고정커버의 공구끼움홈(142)에 공구를 끼워서 공구를 통해 체결시키게 되면 상기 고정커버의 내벽면에 형성된 나사산(143)이 상기 부시의 체결부(113) 외부에 형성된 나사산으로 나사 체결되어 상기 고정커버(140)와 부시(110)를 체결하게 된다.When fastening the fixing cover 140 to the screw thread formed outside the fastening part 113 of the bush, inserting a tool into the tool fitting groove 142 of the fixing cover and fastening it through the tool is applied to the inner wall surface of the fixing cover. The formed screw thread 143 is screwed with a screw thread formed outside the fastening part 113 of the bush to fasten the fixing cover 140 and the bush 110 .

또한, 상기 캐소드 전극판(100)의 상부에 상부전극판(200)을 밀착시키고(S500), 상기 부시의 체결부(113) 내벽면에 형성된 나사산에 체결 나사(150)를 체결하여 캐소드 전극판(100)과 상부전극판(200)을 고정시키게 된다.(S600)In addition, the upper electrode plate 200 is closely attached to the upper portion of the cathode electrode plate 100 (S500), and the fastening screw 150 is fastened to the screw thread formed on the inner wall surface of the fastening part 113 of the bush, thereby forming the cathode electrode plate. (100) and the upper electrode plate 200 are fixed. (S600)

상기와 같이 본 발명의 캐소드 전극판용 조립체 및 그 체결방법에 따른 작용상태를 살펴보면 아래와 같다.As described above, the working state according to the assembly for a cathode electrode plate of the present invention and its fastening method is as follows.

상기 캐소드 전극판(100)과 상부전극판(200)을 연결시키기 위해 상기 캐소드 전극판(100)의 삽입홈(101)에 부시(110)를 조립함에 있어 상기 부시(110)를 상기 삽입홈(101)의 고정판(102) 상에 위치시킨 다음 고정판(102) 사이로 삽입하게 된다.In assembling the bush 110 into the insertion groove 101 of the cathode electrode plate 100 to connect the cathode electrode plate 100 and the upper electrode plate 200, the bush 110 is inserted into the insertion groove ( After positioning on the fixing plate 102 of 101) is inserted between the fixing plate (102).

이때, 상기 부시(110)에 상기 고정부재(130)를 교차하며 끼우기 위해 상기 삽입홈(101)에 삽입된 상기 부시(110)를 직각 회전시키게된다.At this time, the bush 110 inserted into the insertion groove 101 is rotated at right angles to cross the fixing member 130 to the bush 110 .

그리고, 상기 고정부재(130)를 상기 삽입홈(101)의 고정판(102) 상에 위치시킨 다음 고정판(102) 사이로 삽입하게 된다.Then, the fixing member 130 is positioned on the fixing plate 102 of the insertion groove 101 and then inserted between the fixing plates 102 .

여기서, 상기 고정부재의 끼움홈(131)은 상기 부시 몸체(111)의 외형에 끼워지고, 상기 부시 몸체(111)와 끼움홈(131)은 타원이나 사각 형태의 각진 형태로 형성되어 고정부재(130)의 빠짐을 방지하게 된다. Here, the fitting groove 131 of the fixing member is fitted to the outer shape of the bush body 111, and the bush body 111 and the fitting groove 131 are formed in an angular shape of an oval or square shape to form the fixing member ( 130) is prevented.

이와 같이, 상기 고정판(102) 사이의 거리는 상기 밀착편(112)과 고정부재(130)를 삽입하기 위해 상기 밀착편(112)과 고정부재(130)의 가로길이와 동일할 수 있다. In this way, the distance between the fixing plate 102 may be the same as the horizontal length of the contact piece 112 and the fixing member 130 in order to insert the contact piece 112 and the fixing member 130 .

또한, 고정판(102)의 깊이에 따라 상기 고정부재(130)를 양측에서 고정함으로써 상기 고정부재(130)의 회전을 방지할 수 있다.In addition, rotation of the fixing member 130 can be prevented by fixing the fixing member 130 from both sides according to the depth of the fixing plate 102 .

또한, 상기 고정부재(130)는 밀착편(112)의 상부에 밀착되며 부시(110)와 교차하여 끼워지도록 하부에 교차홈(132)이 형성됨으로써 삽입홈(101) 내에서 상기 부시(110)의 회전을 방지할 수 있다.In addition, the fixing member 130 is in close contact with the upper portion of the contact piece 112 , and an intersecting groove 132 is formed in the lower portion so as to intersect with the bush 110 , thereby forming the bush 110 in the insertion groove 101 . rotation can be prevented.

그리고, 상기 삽입된 부시의 체결부(113) 외부에 형성된 나사산에 상기 고정커버의 내벽면에 형성된 나사산(143)을 나사 체결하게 된다.Then, the screw thread 143 formed on the inner wall surface of the fixing cover is screwed to the screw thread formed outside the fastening part 113 of the inserted bush.

상기 삽입된 부시의 체결부(113) 외부에 형성된 나사산에 상기 고정커버의 내벽면에 형성된 나사산(143)을 나사 체결함에 있어 상기 고정커버(140)를 부시(110) 상에 위치시킨 다음 상기 고정커버의 공구끼움홈(142)에 공구를 끼워서 공구를 통해 체결시키게 된다.In screwing the screw thread 143 formed on the inner wall surface of the fixing cover to the screw thread formed outside the fastening part 113 of the inserted bush, the fixing cover 140 is positioned on the bush 110 and then the fixing The tool is inserted into the tool fitting groove 142 of the cover and fastened through the tool.

이와 같이, 상기 부시(110)를 삽입홈(101)에 삽입시켜 고정시키고자 할 때 상기 전극판(100)과의 직접적인 체결이 필요 없이 상기 고정커버(140)에 따라 삽입홈(101)에 삽입된 부시(110)를 고정하게 되어 전극판(100)의 손상을 방지하여 조립이 용이하고 재사용이 가능하므로 부품비를 절감할 수 있다.In this way, when the bush 110 is inserted into the insertion groove 101 to be fixed, it is inserted into the insertion groove 101 according to the fixing cover 140 without the need for direct coupling with the electrode plate 100 . The bush 110 is fixed to prevent damage to the electrode plate 100, so assembly is easy and reuse is possible, so the cost of parts can be reduced.

또한, 상기 캐소드 전극판(100)에 부시(110)가 조립된 상태에서 상기 캐소드 전극판(100)의 상부에 상부전극판(200)을 밀착시키고 체결 나사(150)를 상기 부시의 체결부(113) 내벽면에 형성된 나사산에 체결하여 상기 캐소드 전극판(100)과 상부전극판(200)을 고정시킬 수 있다.In addition, in a state in which the bush 110 is assembled to the cathode electrode plate 100 , the upper electrode plate 200 is closely attached to the upper portion of the cathode electrode plate 100 , and the fastening screw 150 is attached to the fastening part of the bush ( 113) The cathode electrode plate 100 and the upper electrode plate 200 can be fixed by fastening to the screw thread formed on the inner wall surface.

이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.As described above, the present invention is not limited to the specific preferred embodiments described above, and anyone with ordinary skill in the art to which the invention pertains can use various methods without departing from the gist of the present invention as claimed in the claims. Of course, modifications are possible, and such modifications are intended to be within the scope of the claims.

10 : 조립체
100 : 캐소드 전극판 101 : 삽입홈
102 : 고정판 110 : 부시
111 : 부시 몸체 112 : 밀착편
113 : 체결부 120 : 와셔
130 : 고정부재 131 : 끼움홈
132 : 교차홈 140 : 고정커버
141 : 원판 142 : 돌출부
143 : 나사산 144 : 공구끼움홈
150 : 체결 나사 200 : 상부전극판10: assembly
100: cathode electrode plate 101: insertion groove
102: fixed plate 110: bush
111: bush body 112: close contact piece
113: fastening part 120: washer
130: fixing member 131: fitting groove
132: cross groove 140: fixed cover
141: disk 142: protrusion
143: thread 144: tool insertion groove
150: fastening screw 200: upper electrode plate

Claims (12)

삽입홈이 형성된 캐소드 전극판;
상기 캐소드 전극판의 삽입홈에 삽입되는 부시;
상기 삽입홈에 삽입되며 부시에 끼워져 상기 부시를 고정하고 회전을 방지하는 고정부재; 및
상기 부시를 고정하기 위한 부시와 체결되는 고정커버;를 포함하되
상기 고정부재는 상기 부시에 끼워져 부시를 고정하고 회전을 방지하기 위해 끼움홈이 구비되고, 부시와 교차하여 끼워지도록 고정부재의 하부에 교차홈이 형성 되는 캐소드 전극판용 조립체.a cathode electrode plate having an insertion groove;
a bush inserted into the insertion groove of the cathode electrode plate;
a fixing member inserted into the insertion groove and inserted into the bush to fix the bush and prevent rotation; and
Containing a; fixing cover fastened to the bush for fixing the bush
The fixing member is fitted in the bush to fix the bush and has a fitting groove to prevent rotation, and an assembly for a cathode electrode plate in which an intersecting groove is formed in the lower portion of the fixing member to cross the bush and fit. 제 1 항에 있어서,
상기 삽입홈은 내벽면 양측에서 중심부로 돌출된 고정판이 형성되는 캐소드 전극판용 조립체.The method of claim 1,
The insertion groove is an assembly for a cathode electrode plate in which a fixing plate protruding from both sides of the inner wall surface to the center is formed. 제 1 항에 있어서,
상기 부시는 상기 고정부재가 끼워지도록 외형이 각진 형태로 이루어진 부시 몸체가 구비되고, 상기 부시 몸체 하부에 밀착편이 구비되며, 상기 부시 몸체 상부에 내벽면과 외부에 나사산이 형성된 체결부가 일체로 구비되어 형성되는 캐소드 전극판용 조립체.The method of claim 1,
The bush is provided with a bush body having an angular shape so that the fixing member is fitted, a contact piece is provided on the lower part of the bush body, and a fastening part having an inner wall surface and an external thread formed on the upper part of the bush body is integrally provided. An assembly for a cathode electrode plate to be formed. 제 3 항에 있어서,
상기 밀착편은 상기 삽입홈의 직경과 동일한 세로길이를 가지고 양끝단이 삽입홈과 동일한 호를 이루는 것을 특징으로 하는 캐소드 전극판용 조립체.4. The method of claim 3,
The contact piece has a vertical length equal to the diameter of the insertion groove, both ends of the assembly for a cathode electrode plate, characterized in that forming the same arc as the insertion groove. 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 고정부재는 상기 삽입홈의 직경과 동일한 세로길이를 가지고 양끝단이 삽입홈과 동일한 호를 이루면서 조립하기 위한 높이를 형성하는 캐소드 전극판용 조립체.The method of claim 1,
The fixing member has a vertical length equal to the diameter of the insertion groove and both ends form the same arc as the insertion groove and form a height for assembling the cathode electrode plate assembly. 제 2항에 있어서,
상기 고정판 사이의 거리는 상기 고정부재의 가로길이와 동일하게 형성되는 캐소드 전극판용 조립체.3. The method of claim 2,
A distance between the fixing plates is the same as the horizontal length of the fixing member for a cathode electrode plate assembly. 제 1 항에 있어서,
상기 고정커버는 상기 삽입홈에 삽입되는 원판과, 상기 원판 하부에 돌출되는 돌출부와, 상기 원판과 돌출부의 내벽면에 나사산이 형성되어 상기 부시와 체결되는 캐소드 전극판용 조립체.The method of claim 1,
The fixing cover includes a circular plate inserted into the insertion groove, a protrusion protruding from a lower portion of the disc, and an assembly for a cathode electrode plate having a screw thread formed on an inner wall surface of the disc and the protrusion to be fastened to the bush. 제 8 항에 있어서,
상기 고정커버는 상부면에는 공구가 끼워져 부시를 회전시킬 수 있도록 하는 다수의 공구끼움홈이 더 형성되는 캐소드 전극판용 조립체.9. The method of claim 8,
The fixing cover is an assembly for a cathode electrode plate in which a plurality of tool fitting grooves are further formed on the upper surface of the fixing cover so that a tool can be inserted to rotate the bush. 제 9 항에 있어서,
상기 공구끼움홈은 공구가 끼워져 부시에 체결시킬 수 있도록 사각 형태나 육각 형태의 다각 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 캐소드 전극판용 조립체.10. The method of claim 9,
The tool fitting groove is an assembly for a cathode electrode plate, characterized in that formed in a polygonal shape of a square or hexagonal shape so that a tool can be inserted and fastened to the bush. 삭제delete 삭제delete
KR1020200181249A 2020-12-22 2020-12-22 Cathode electrode plate assembly and fastening method thereof KR102464459B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200181249A KR102464459B1 (en) 2020-12-22 2020-12-22 Cathode electrode plate assembly and fastening method thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200181249A KR102464459B1 (en) 2020-12-22 2020-12-22 Cathode electrode plate assembly and fastening method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220090245A KR20220090245A (en) 2022-06-29
KR102464459B1 true KR102464459B1 (en) 2022-11-09

Family

ID=82270490

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200181249A KR102464459B1 (en) 2020-12-22 2020-12-22 Cathode electrode plate assembly and fastening method thereof

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102464459B1 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101665246B1 (en) * 2015-04-15 2016-10-11 에스케이씨솔믹스 주식회사 Clamp for coupling electrode having tap wing

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101113987B1 (en) 2010-02-05 2012-02-22 주식회사 월덱스 Coupler for cathode combination
KR101514397B1 (en) 2013-11-15 2015-07-02 하나머티리얼즈(주) Bush assembly cathode Electrode Plate
KR101593920B1 (en) 2014-08-11 2016-02-15 하나머티리얼즈(주) Bush Assembly for Cathode Electrode Plate
KR102144892B1 (en) * 2018-12-17 2020-08-14 주식회사 티씨케이 Shower head fastening device
KR102195927B1 (en) * 2019-03-19 2020-12-28 주식회사 월덱스 A bush assembly for coupling an electrode plate to a plate for an etching apparatus, and a coupling structure of the electrode plate and the plate

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101665246B1 (en) * 2015-04-15 2016-10-11 에스케이씨솔믹스 주식회사 Clamp for coupling electrode having tap wing

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220090245A (en) 2022-06-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102167800B1 (en) Cathode electrode plate assembly and fastening method thereof
KR101980255B1 (en) Bush assembling structure for cathode electric plate and upper electrode assembly including the same
US9905402B2 (en) Plasma processing chamber with a grounded electrode assembly
JP6878616B2 (en) Bottom and middle edge ring
KR100625928B1 (en) Method and apparatus for processing semiconductor substrates
KR101514397B1 (en) Bush assembly cathode Electrode Plate
JP6463755B2 (en) Sealing groove method for semiconductor devices
KR20060047994A (en) Shower plate and plasma polymerization equipment for plasma polymerization equipment
KR20060126922A (en) Method and apparatus for improved baffle plate
KR20030001695A (en) cleaning equipment of HDP CVD chamber and method there of
KR102464459B1 (en) Cathode electrode plate assembly and fastening method thereof
US20120118510A1 (en) Method for debonding components in a chamber
JPH09283499A (en) Plasma processing device
CN114378751B (en) Mounting clamp of bearing ring for wafer
KR102420516B1 (en) Cathode electrode plate integrated assembly
US20080185105A1 (en) Apparatus for defining regions of process exclusion and process performance in a process chamber
KR102363315B1 (en) Bush assembly for cathode electric plate
US20110120651A1 (en) Showerhead assembly with improved impact protection
US20230203658A1 (en) Split showerhead cooling plate
US8647058B2 (en) Cementless pump for pumping molten metal
KR102363319B1 (en) Bush assembly for cathode electric plate
KR102363323B1 (en) Bush assembly for cathode electric plate
KR102623793B1 (en) Fixing assembly for shower head
JPH09283493A (en) Electrode for plasma etching and plasma etching equipment
KR101093747B1 (en) Upper electrode assembly for plasma etching

Legal Events

Date Code Title Description
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)