KR200211579Y1 - 칼라 필터 제조용 노광 장치(Lighting device for use in manufacturing of color filter) - Google Patents

Abstract

칼라 필터 제조용 노광장치가 개시된다. 세척장치와, 코터장치와, 그리고 프리 베이커 장치를 포함하는 칼라 필터 제조용 노광장치에 있어서, 상기 칼라 필터 제조용 노광장치는 상기 프리 베이커 장치에 연결되는 컨베이어 벨트의 아래 위치에 설치되어, 상기 프리 베이커 장치의 다음 위치가 되며, 상기 프리 베이커 장치로부터 상기 컨베이어 벨트의 상면에 얹혀서 이송되는 글래스 기판의 배면을 조사하므로써 상기 글래스 기판을 연속적으로 노광하는 연속노광수단을 포함한다.

[색인어]

칼라 필터, 노광, 배면, 연속

Description

칼라 필터 제조용 노광장치(Lighting device for use in manufacturing of color filter)

본 고안은 칼라 필터 제조 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액정표시장치에 사용되는 칼라 필터 제조장치에서 판넬에 도포되는 포토레지스터를 연속 노광하는 칼라 필터 제조용 노광 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정표시장치는 액정의 전계 효과 즉, 액정에 전계가 인가되었을 때 액정이 트위스트 또는 산란하여 빛을 선택 투과시키는 것을 이용한 장치이다.

즉, STN-LCD(Super Twisted Nematic-Liquid Crystal Device)와 TFT-LCD(Thin Film Transister-Liquid Crystal Device)등으로 구분된 액정 표시장치는 전계에 의해 일정 부분의 액정을 제어함으로써 문자 또는 화상을 표시하게 되는 것이다.

상기한 액정표시장치는 노트북, 벽걸이형등으로 개발되면서 대용량화되어 TFT 액정표시장치가 주류를 이루게 되었다.

상기 TFT 액정 표시 장치는 각 화소별로 스위치를 형성하여 문자 및 화상을 표시하게 되지만 모노 화상만을 표시할 수 있기 때문에 칼라화하기 위해서는 액정 표시 장치에 칼라 필터를 사용하게 된다.

상기한 바와 같은 칼라 필터는 R, G, B 형광체를 도트타입으로 형성한 후 이를 보호막으로 감싸고 투명 도전막을 도포함으로써 제작되어 지는 바, 이는 통상사진 식각공정(Photolithography)을 통해 제작되어 진다.

즉, 글래스 기판에 R, G, B 3색을 마스크를 통해 노광, 현상한 후 각 색사이의 구분을 주어 콘트라스트를 높이기 위해 블랙 매트릭스를 도포하게 된다.

상기한 블랙 매트릭스 도포는 기판에 블랙 포토 레지스트를 도포한 후 이미 형성되어 있는 R, G, B 패턴을 마스크로 사용하여 기판 배면에서 이면 노광하게 된다.

물론, 상기한 노광 공정에는 제4도에 도시된 바와 같이 컨베이어 벨트(50)와, 상기 컨베이어 벨트(50)의 상면에 연속 설치된 세정 장치(51)와, 코터장치(52)와, 프리 베이커 장치(53)와, 노광장치(54)로 구성된 장치를 사용하게 된다.

여기서, 상기한 코터장치(52)는 글래스 기판(G)에 블랙 포토레지스트를 도포하게 되고, 프리 베이커 장치(53)는 80℃∼100℃ 정도로 이를 가열하여 세정 장치(51)에서 묻은 용제를 휘발시키게 된다.

용제가 휘발된 글래스 기판(G)은 노광장치(54)로 이송되어 일정시간 노광됨으로써 R, G, B 형광체의 사이에 블랙 매트릭스를 형성하게 되는 것이다.

그러나, 상기한 바와 같은 칼라 필터 노광장치는 글래스 기판(G)을 노광하기 위해 소정의 로딩, 언로딩 장치를 통해 노광장치(54)로 하나씩 이동해야 함과 아울러 하나의 노광 시에는 나머지 글래스 기판(G)은 대기해야 하기 때문에 노광 공정에 따른 시간 손실이 많게 되는 문제점이 있다.

또한, 글래스 기판(G)을 하나씩 노광함으로써 노광효율이 저하됨과 아울러 생산성이 저하되는 문제점이 있다.

따라서, 본 고안의 목적은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 글래스 기판을 연속 노광하므로써 노광효율을 향상시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 칼라필터 제조용 노광장치를 제공함에 있다.

제1도는 본 고안에 따른 칼라 필터 제조용 노광장치를 보여주는 개략도.

제2도는 제1도에 도시된 연속 노광수단을 보여주는 사시도.

제3도는 컨베이어 벨트상의 글래스가 연속 노광수단에 의하여 노광되는 것을 보여주는 개략 측면도.

제4도는 일반적인 칼라 필터 제조용 노광장치를 보여주는 개략도.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 고안은 글래스 기판을 세정하는 세정장치와, 상기 글래스 기판에 블랙 포토레지스트를 도포하는 코터장치와, 상기 코터장치를 통과한 글래스 기판을 소정온도범위로 가열하여 용제를 휘발시키는 프리 베이커 장치와, 일정시간 노광하므로써 R, G, B 형광체의 사이에 블랙 매트릭스를 형성하는 노광장치를 포함하는 칼라 필터 제조용 노광장치에 있어서, 상기 노광장치는 상기 프리 베이커 장치에 연결되는 컨베이어 벨트의 아래 위치에 설치되어, 상기 프리 베이커 장치의 다음 위치가 되며, 상기 프리 베이커 장치로부터 상기 컨베이어 벨트의 상면에 얹혀서 이송되는 글래스 기판의 배면을 조사하므로써 상기 글래스 기판을 연속적으로 노광한다.

본 고안의 바람직한 실시예에 의하면, 연속 노광수단은 상부에 슬릿이 형성되어 있는 케이스와, 상기한 내측에 설치되어 있는 광원과, 상기한 광원에서 방사된 빛이 슬릿을 통과할 수 있도록 하는 경로 조절 수단과, 상기한 경로 조절 수단에서 방사된 빛을 슬릿으로 집속시키는 렌즈로 구성된다.

경로 조절수단은 광원에서 방사된 빛이 직각으로 변경되도록 설치된 제1 반사경과, 상기한 제1 반사경을 통해 반사된 빛이 슬릿으로 관통하도록 설치된 제2 반사경으로 구성된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 고안에 따른 칼라 필터 제조용 노광장치를 상세하게 설명한다.

도 1은 본 고안에 따른 칼라 필터 제조용 노광장치를 보여주는 개략도이다. 도시한 바와 같이, 세척장치(51)와, 코터장치(52)와, 그리고 프리 베이커 장치(53)가 측면에 컨베이어 벨트(50)가 설치된다.

상기 세척장치(51)은 글래스 기판에 묻은 이물질을 용제등의 세척제를 이용하여 제거하게 된다. 그리고, 상기한 코터장치(52)는 글래스 기판(G)에 블랙 포토레지스트를 도포하게 되고, 프리 베이커 장치(53)는 80℃∼100℃ 정도로 이를 가열하여 세정 장치(51)에서 묻은 용제를 휘발시키게 된다.

그리고, 상기 프리 베이커 장치(53)에는 컨베이어 밸트(50)가 연결되며, 상기 컨베이어 벨트(50)의 하부에는 상기 글래스 기판(G)의 저면(G1)을 노광하기 위한 연속 노광수단(54)이 설치된다.

물론, 상기 연속 노광수단(54)은 상기 프리 베이커 장치(53)의 다음 공정에 위치하도록 설치되어 있다.

상기한 연속 노광 수단(54)은 도 2에 도시된 바와 같이 상부에 슬릿(1)이 형성된 케이스(2)와, 상기 케이스(2)의 내측에 설치되어 있는 수은등과 같은 광원(3)과, 상기 광원(3)에서 방사된 빛이 슬릿(1)을 통과할 수 있도록 하는 경로 조절 수단과, 상기 경로 조절 수단에서 방사된 빛을 슬릿(1) 형상으로 형성하는 렌즈(4)로 구성된다.

상기 경로 조절수단은 광원(3)에서 방사된 빛이 직각으로 변경되도록 설치된 제1 반사경(6)과, 상기 제1 반사경(6)을 통해 반사된 빛이 슬릿(1)으로 관통하도록 설치된 제2 반사경(7)으로 구성된다.

상기한 바와 같은 구조를 갖는 연속 노광장치는 도 3에 도시된 바와 같이, 컨베이어 벨트(50)의 하부에 설치된다.

즉, 글래스 기판(G)은 켄베이어 벨트(50)에 의하여 이송되므로써 세척장치(51)와, 코터장치(52)와, 그리고 프리 베이커 장치(53)를 통과하여 상기 연속 노광장치(54)가 설치된 위치로 이송된다. 이때, 상기 글래스 기판(G)은 상기 컨베이어 벨트(50)의 상면에 얹혀 있는 상태이다.

상기 글래스 기판(G)이 소정위치에 도달하면, 상기 연속 노광장치(54)가 작동하므로써 상기 광원(3)으로부터 방사된 빛이 상기 슬릿(1)을 통하여 상기 글래스 기판(G)에 조사된다. 따라서, 상기 글래스 기판(G)은 배면 노광방식에 의하여 연속적으로 노광된다.

상기한 바와 같이 본 고안의 작용효과를 도1 내지 도 3을 참조하여 설명하면, 세척장치(51)와, 코터장치(52)와, 그리고 프리 베이커 장치(53)를 통과한 글래스 기판(G)이 컨베이어 벨트(50)에 의하여 연속 노광장치(54)가 설치된 위치로 이송된다.

상기 글래스 기판(G)이 노광위치에 도달하면, 상기 연속 노광장치(54)의 광원(3)이 점등되어 빛이 방사된다. 광원(3)에서 방사된 빛은 제1 및 제2 반사경(7)을 통하여 경로가 변환되면서 케이스(2)의 상면에 형성된 슬릿(1)을 통하여 상기 케이스(2)의 상부로 조사된다.

상기 케이스(2)의 상부로 조사된 빛은 상기 컨베이어 벨트(50)의 중간공간을 통과하며, 컨베이어 벨트(50)에 의하여 노광위치로 이송된 글래스 기판(G)의 배면(G1)을 조사하게 된다. 이때, 상기 컨베이어 벨트(50)는 연속적으로 이동하고 있는 상태이므로, 상기 컨베이어 벨트(50)에 얹힌 상기 글래스 기판(G)도 그 배면(G1)에 빛이 연속적으로 조사된다. 따라서, 상기 글래스 기판(G)은 상기 연속 노광장치(54)에 의하여 연속적으로 노광된다.

물론, 상기 컨베이어 벨트(50)의 이동속도는 글래스 기판(G)의 노광에 충분한 시간이 되도록 조절된다.

상기한 바와 같이, 본 고안에 따른 칼라 필터 제조용 노광장치는 글래스 기판을 연속적으로 노광하므로써 칼라필터의 노광공정 효율을 향상시킴과 아울러 생산성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.

상기에서는 본 고안의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 고안은 이에 한정되는 것이 아니고 실용신안등록청구범위와 고안의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 고안의 범위에 속하는 것은 당연하다.

Claims (3)

1. 글래스 기판(G)을 세정하는 세저장치(51)와, 상기 글래스 기판(G)에 블랙 포토레지스트를 도포하는 코터장치(52)와, 상기 코터장치(52)를 통과한 글래스 기판(G)을 소정온도범위로 가열하여 용제를 휘발시키는 프리 베이커 장치(53)와, 일정시간 노광하므로써 R, G, B 형광체의 사이에 블랙 매트릭스를 형성하는 노광장치(54)를 포함하여 칼라 필터 제조용 노광장치에 있어서, 상기 노광장치(54)는 상기 프리 베이커 장치(53)에 연결되는 컨베이어 벨트(50)의 아래 위치에 설치되어, 상기 프리 베이커 장치(53)의 다음 위치가 되며, 상기 프리 베이커 장치(53)로부터 상기 컨베이어 벨트(50)의 상면에 얹혀서 이송되는 글래스 기판(G)의 배면을 조사하므로써 상기 글래스 기판(G)이 연속적으로 노광 되도록 구성한 것을 특징으로 하는 칼라 필터 제조용 노광장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 노광장치(54)는 상부에 슬릿(1)이 형성되어 있는 케이스(2)와, 상기한 케이스(2)의 내측에 설치되어 있는 광원(3)과, 상기한 광원(3)에서 방사된 빛이 슬릿(1)을 통과할 수 있도록 하는 경로 조절 수단과, 상기한 경로 조절 수단에서 방사된 빛을 슬릿(1)으로 집속시키는 렌즈(4)로 구성함을 특징으로 하는 칼라 필터 제조용 노광장치.
3. 제2항에 있어서, 상기 경로 조절수단은 광원(3)에서 방사된 빛이 직각으로 변경되도록 설치된 제1 반사경(6)과, 상기한 제1 반사경(6)을 통해 반사된 빛이 슬릿(1)으로 관통하도록 설치된 제2 반사경(7)으로 구성함을 특징으로 하는 칼라 필터 제조용 노광 장치.