JPH0933713A - カラーフィルターの製造方法、該方法により製造されたカラーフィルター及び液晶パネル - Google Patents
カラーフィルターの製造方法、該方法により製造されたカラーフィルター及び液晶パネルInfo
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- JPH0933713A JPH0933713A JP18148095A JP18148095A JPH0933713A JP H0933713 A JPH0933713 A JP H0933713A JP 18148095 A JP18148095 A JP 18148095A JP 18148095 A JP18148095 A JP 18148095A JP H0933713 A JPH0933713 A JP H0933713A
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- Japan
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- color filter
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 混色のない信頼性の高い液晶用カラーフィル
ターが得られるカラーフィルターの製造方法、該方法に
より製造されるカラーフィルター及び液晶パネルを提供
することを目的とする。 【解決手段】 可視光線を遮蔽する遮光層を上面に形成
してなる基板にレーザー光を照射して照射位置の遮光層
を除去することにより該遮光層に開口部を形成すると共
に前記開口部周縁部に沿って遮光層上面に突条を形成す
ることにより相互に独立した開口部を設け、次いで各開
口部に所定のインクを充填することにより画像を形成す
ることを特徴とする。
ターが得られるカラーフィルターの製造方法、該方法に
より製造されるカラーフィルター及び液晶パネルを提供
することを目的とする。 【解決手段】 可視光線を遮蔽する遮光層を上面に形成
してなる基板にレーザー光を照射して照射位置の遮光層
を除去することにより該遮光層に開口部を形成すると共
に前記開口部周縁部に沿って遮光層上面に突条を形成す
ることにより相互に独立した開口部を設け、次いで各開
口部に所定のインクを充填することにより画像を形成す
ることを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーテレビ、パ
ーソナルコンピューター、パチンコ遊戯台等に使用され
ているカラー液晶ディスプレイのカラーフィルターの製
造方法に関し、特にインクジェット記録技術を利用した
液晶用カラーフィルターの製造方法に関する。また、本
発明は、インクジェット記録技術を利用して製造された
液晶用カラーフィルターおよび該カラーフィルターを具
備する液晶パネルに関する。
ーソナルコンピューター、パチンコ遊戯台等に使用され
ているカラー液晶ディスプレイのカラーフィルターの製
造方法に関し、特にインクジェット記録技術を利用した
液晶用カラーフィルターの製造方法に関する。また、本
発明は、インクジェット記録技術を利用して製造された
液晶用カラーフィルターおよび該カラーフィルターを具
備する液晶パネルに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピューターの発
達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴
い、液晶ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの
需要が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普
及のためにはコストダウンが必要であり、特にコスト的
に比重の重いカラーフィルターのコストダウンに対する
要求が高まっている。
達、特に携帯用パーソナルコンピューターの発達に伴
い、液晶ディスプレイ、特にカラー液晶ディスプレイの
需要が増加する傾向にある。しかしながら、さらなる普
及のためにはコストダウンが必要であり、特にコスト的
に比重の重いカラーフィルターのコストダウンに対する
要求が高まっている。
【0003】従来から、カラーフィルターの要求特性を
満足しつつ上記の要求に応えるべく種々の方法が試みら
れているが、いまだすべての要求特性を満足する方法は
確立されていない。以下にそれぞれの方法を説明する。
満足しつつ上記の要求に応えるべく種々の方法が試みら
れているが、いまだすべての要求特性を満足する方法は
確立されていない。以下にそれぞれの方法を説明する。
【0004】最も多く用いられている第一の方法が染色
法である。染色法は、まずガラス基板上に染色用の材料
である水溶性の高分子材料を形成し、これをフォトリソ
グラフィー工程により所望の形状にパターニングした
後、得られたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパ
ターンを得る。これを3回繰り返すことによりR,G,
Bのカラーフィルター層を形成する。
法である。染色法は、まずガラス基板上に染色用の材料
である水溶性の高分子材料を形成し、これをフォトリソ
グラフィー工程により所望の形状にパターニングした
後、得られたパターンを染色浴に浸漬して着色されたパ
ターンを得る。これを3回繰り返すことによりR,G,
Bのカラーフィルター層を形成する。
【0005】第二の方法は顔料分散法であり、近年染色
法に取って変わりつつある。この方法は、まず基板上に
顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニ
ングすることにより単色のパターンを得る。さらにこの
工程を3回繰り返すことによりR,G,Bのカラーフィ
ルター層を形成する。
法に取って変わりつつある。この方法は、まず基板上に
顔料を分散した感光性樹脂層を形成し、これをパターニ
ングすることにより単色のパターンを得る。さらにこの
工程を3回繰り返すことによりR,G,Bのカラーフィ
ルター層を形成する。
【0006】第三の方法としては電着法がある。この方
法は、まず基板上に透明電極をパターニングし、顔料、
樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第一の色
を電着する。この工程を3回繰り返してR,G,Bのカ
ラーフィルター層を形成し、最後に焼成するものであ
る。
法は、まず基板上に透明電極をパターニングし、顔料、
樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第一の色
を電着する。この工程を3回繰り返してR,G,Bのカ
ラーフィルター層を形成し、最後に焼成するものであ
る。
【0007】第四の方法としては、熱硬化型の樹脂に顔
料を分散させ、印刷を3回繰り返すことによりR,G,
Bを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより着色
層を形成するものである。また、いずれの方法において
も着色層上に保護層を形成するのが一般的である。
料を分散させ、印刷を3回繰り返すことによりR,G,
Bを塗り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより着色
層を形成するものである。また、いずれの方法において
も着色層上に保護層を形成するのが一般的である。
【0008】これらの方法に共通している点は、R,
G,Bの3色を着色するために同一の工程を3回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また、工程
が多いほど歩留りが低下するという問題を有している。
さらに、電着法においては、形成可能なパターン形状が
限定されるため、現状の技術ではTFT用には適用困難
である。また、印刷法は、解像性が悪いためファインピ
ッチのパターンの形成には不向きである。
G,Bの3色を着色するために同一の工程を3回繰り返
す必要があり、コスト高になることである。また、工程
が多いほど歩留りが低下するという問題を有している。
さらに、電着法においては、形成可能なパターン形状が
限定されるため、現状の技術ではTFT用には適用困難
である。また、印刷法は、解像性が悪いためファインピ
ッチのパターンの形成には不向きである。
【0009】これらの欠点を補うべく、インクジェット
を用いたカラーフィルターの製造方法として、特開昭5
9−75205、特開昭63−235901、特開平1
−217320等の提案があるが、いまだ不十分であ
る。
を用いたカラーフィルターの製造方法として、特開昭5
9−75205、特開昭63−235901、特開平1
−217320等の提案があるが、いまだ不十分であ
る。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、従来
法の有する耐熱性、耐溶剤性、解像性等の必要特性を満
足し、かつインクジェット適性をも満足し、さらに工程
の短縮された安価なカラーフィルターの製造方法および
該方法により製造された信頼性の高いカラーフィルター
を提供するものである。特に、インクジェットを用いて
インクの吐出により着色剤の配列を行う際の混色を防止
する信頼性の高い液晶用カラーフィルターの製造方法を
提供するものである。
法の有する耐熱性、耐溶剤性、解像性等の必要特性を満
足し、かつインクジェット適性をも満足し、さらに工程
の短縮された安価なカラーフィルターの製造方法および
該方法により製造された信頼性の高いカラーフィルター
を提供するものである。特に、インクジェットを用いて
インクの吐出により着色剤の配列を行う際の混色を防止
する信頼性の高い液晶用カラーフィルターの製造方法を
提供するものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記の目的は以下の手段
によって達成される。すなわち本発明は、可視光線を遮
蔽する遮光層を上面に形成してなる基板にレーザー光を
照射して照射位置の遮光層を除去することにより該遮光
層に開口部を形成すると共に前記開口部周縁部に沿って
遮光層上面に突条を形成することにより相互に独立した
開口部を設け、次いで各開口部に所定のインクを充填す
ることにより画像を形成することを特徴とするカラーフ
ィルターの製造方法を提案するものであり、前記のレー
ザー光が、エキシマ−レーザーであることを含む。また
本発明は前記方法により製造されたことを特徴とする液
晶用カラーフィルターを提案するものであり、更に前記
カラーフィルターと対向する基板を有し、両基板間に液
晶化合物を封入してなる構造を有する液晶パネルを提案
するものである。
によって達成される。すなわち本発明は、可視光線を遮
蔽する遮光層を上面に形成してなる基板にレーザー光を
照射して照射位置の遮光層を除去することにより該遮光
層に開口部を形成すると共に前記開口部周縁部に沿って
遮光層上面に突条を形成することにより相互に独立した
開口部を設け、次いで各開口部に所定のインクを充填す
ることにより画像を形成することを特徴とするカラーフ
ィルターの製造方法を提案するものであり、前記のレー
ザー光が、エキシマ−レーザーであることを含む。また
本発明は前記方法により製造されたことを特徴とする液
晶用カラーフィルターを提案するものであり、更に前記
カラーフィルターと対向する基板を有し、両基板間に液
晶化合物を封入してなる構造を有する液晶パネルを提案
するものである。
【0012】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
【0013】図3(a)〜(d)は本発明の製造方法を
示す工程図である。本発明のカラーフィルターを製造す
るにはまず、図3(a)のように基板1を準備する。基
板1としてはガラス基板、透明樹脂基板等が挙げられ
る。
示す工程図である。本発明のカラーフィルターを製造す
るにはまず、図3(a)のように基板1を準備する。基
板1としてはガラス基板、透明樹脂基板等が挙げられ
る。
【0014】次に図3(b)のようにガラス基板1上に
ブラックマトリックスになる遮光層2を厚さ0.1〜
0.2μm程度に塗布するのが好ましい。
ブラックマトリックスになる遮光層2を厚さ0.1〜
0.2μm程度に塗布するのが好ましい。
【0015】次に図3(c)のようにこの遮光層2が塗
布された基板1の所定の位置の遮光層2にレーザー光を
照射してその照射部を除去することにより遮光層2に開
口部3を形成すると共に前記開口部周縁部に沿って遮光
層上面に突条を形成することにより相互に独立した開口
部3を形成させる。
布された基板1の所定の位置の遮光層2にレーザー光を
照射してその照射部を除去することにより遮光層2に開
口部3を形成すると共に前記開口部周縁部に沿って遮光
層上面に突条を形成することにより相互に独立した開口
部3を形成させる。
【0016】次いで、図3(d)のように所定の開口部
3に所定のインク4を充填して画素を形成し、必要に応
じて保護膜でシールし、カラーフィルターを製造する。
3に所定のインク4を充填して画素を形成し、必要に応
じて保護膜でシールし、カラーフィルターを製造する。
【0017】遮光層2は、金属、セラミック、等で各画
素間の表示コントラストを高めるのに十分な遮光性を有
し、かつ照射するレーザーによって除去される物質を採
用する。
素間の表示コントラストを高めるのに十分な遮光性を有
し、かつ照射するレーザーによって除去される物質を採
用する。
【0018】本発明のカラーフィルターの製造方法にお
いては画素を配置する所定の位置の上記塗布層2を除去
すると同時に加熱溶融蒸発した遮光層材料が自然に形成
した開口部周縁に凝集堆積して除去端部を盛り上がらせ
て突条5を形成すると共に、画素となる相互に独立した
開口部3を形成する。前記突条5が各開口部3を仕切る
壁を形成し、カラーフィルターのブラックマトリックス
として、そして、各画素のインク4が混合するのを防止
する機能を持たせる。
いては画素を配置する所定の位置の上記塗布層2を除去
すると同時に加熱溶融蒸発した遮光層材料が自然に形成
した開口部周縁に凝集堆積して除去端部を盛り上がらせ
て突条5を形成すると共に、画素となる相互に独立した
開口部3を形成する。前記突条5が各開口部3を仕切る
壁を形成し、カラーフィルターのブラックマトリックス
として、そして、各画素のインク4が混合するのを防止
する機能を持たせる。
【0019】前記突条5の高さ、幅等はレーザー光の照
射時間、出力、雰囲気等により適宜調整できる。
射時間、出力、雰囲気等により適宜調整できる。
【0020】液晶表示用カラーフィルターの画素のサイ
ズは、現在のところ、100μm前後のもの、好ましく
は60〜80μmのものが使用される。また、画素の間
の仕切り、すなわちブラックマトリックスの幅は20μ
m前後、好ましくは10〜15μmである。液晶画像の
高密度化にともない、これらの寸法は、さらに微細にな
る可能性がある。なお、画素は、平行な帯状に配置され
たストライプタイプや碁盤のように格子状に配置される
場合などがある。したがって、開口部3もこれに見合っ
て超精密に加工する必要がある。現在、このような超精
密加工には、赤外線の熱エネルギーを利用するNdYA
Gレーザーが主に使用されている。このレーザーは被照
射物を熱的なメカニズムで除去するものであるが、カラ
ーフィルターによって優れたカラー画像を得るために
は、十分ではない。本発明では、この加工に、紫外線レ
ーザー光を利用し、アブレーションによって遮蔽層2を
除去すると同時に端部を盛り上がらせ独立した多数の開
口部3を形成する方法がある。このようにして製造した
所定の画素の位置に開口部のあるカラーフィルター基板
にインク4を塗布する。所定のインク4を所定の開口部
3に入れる方法としては、インクジェット法、印刷法な
どがあげられるが、インク塗布位置の位置決め精度が高
いのでインクジェット法を利用することが望ましい。
ズは、現在のところ、100μm前後のもの、好ましく
は60〜80μmのものが使用される。また、画素の間
の仕切り、すなわちブラックマトリックスの幅は20μ
m前後、好ましくは10〜15μmである。液晶画像の
高密度化にともない、これらの寸法は、さらに微細にな
る可能性がある。なお、画素は、平行な帯状に配置され
たストライプタイプや碁盤のように格子状に配置される
場合などがある。したがって、開口部3もこれに見合っ
て超精密に加工する必要がある。現在、このような超精
密加工には、赤外線の熱エネルギーを利用するNdYA
Gレーザーが主に使用されている。このレーザーは被照
射物を熱的なメカニズムで除去するものであるが、カラ
ーフィルターによって優れたカラー画像を得るために
は、十分ではない。本発明では、この加工に、紫外線レ
ーザー光を利用し、アブレーションによって遮蔽層2を
除去すると同時に端部を盛り上がらせ独立した多数の開
口部3を形成する方法がある。このようにして製造した
所定の画素の位置に開口部のあるカラーフィルター基板
にインク4を塗布する。所定のインク4を所定の開口部
3に入れる方法としては、インクジェット法、印刷法な
どがあげられるが、インク塗布位置の位置決め精度が高
いのでインクジェット法を利用することが望ましい。
【0021】図1は、本発明方法を実施するためのレー
ザー装置の概略構成の1例を示す。図2はマスクの形状
を示す。エキシマ−レーザー発振器5より発信されたレ
ーザー光はミラー6により直角に反射マスク7を通過し
集光レンズ8を通して可動テーブル9上に固定された被
加工物である遮光層2が塗布されたガラス基板1上に集
光される。可動テーブル9をステップ移動してレーザー
を照射し遮光層2を除去すると同時に除去部の端部を盛
り上げ、独立した多数の開口部を得ることが出来る。
ザー装置の概略構成の1例を示す。図2はマスクの形状
を示す。エキシマ−レーザー発振器5より発信されたレ
ーザー光はミラー6により直角に反射マスク7を通過し
集光レンズ8を通して可動テーブル9上に固定された被
加工物である遮光層2が塗布されたガラス基板1上に集
光される。可動テーブル9をステップ移動してレーザー
を照射し遮光層2を除去すると同時に除去部の端部を盛
り上げ、独立した多数の開口部を得ることが出来る。
【0022】次に本発明のカラーフィルターを組み込ん
だ液晶パネルについて説明する。
だ液晶パネルについて説明する。
【0023】図6に、本発明によるカラーフィルターを
組み込んだTFTカラー液晶パネルの断面図を示す。な
お、その形態は本例に限定されるものではない。
組み込んだTFTカラー液晶パネルの断面図を示す。な
お、その形態は本例に限定されるものではない。
【0024】カラー液晶パネルは、一般的にカラーフィ
ルター9と対向する基板10を合わせ込み、液晶化合物
15を封入することにより形成される。液晶パネルの対
向する基板10の内側に、TFT(不図示)と透明な画
素電極16がマトリクス状に形成される。また、もう一
方の基板1の内側には、画素電極16に対向する位置に
RGBの色材が配列するようカラーフィルター17が設
置され、その上に透明な対向電極である共通電極13が
一面に形成される。さらに、両基板の面内には配向膜1
2が形成されており、これをラビング処理することによ
り液晶分子を一定方向に配列することができる。また、
それぞれのガラス基板10,10の外側には偏光板11
が接着されており、液晶化合物15は、これらのガラス
基板の間隙を(2〜5μm程度)に充填される。また、
バックライト光としては蛍光灯(不図示)と散乱板(不
図示)の組合せが一般的に用いられており、液晶化合物
をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターと
して機能することにより表示を行うのである。
ルター9と対向する基板10を合わせ込み、液晶化合物
15を封入することにより形成される。液晶パネルの対
向する基板10の内側に、TFT(不図示)と透明な画
素電極16がマトリクス状に形成される。また、もう一
方の基板1の内側には、画素電極16に対向する位置に
RGBの色材が配列するようカラーフィルター17が設
置され、その上に透明な対向電極である共通電極13が
一面に形成される。さらに、両基板の面内には配向膜1
2が形成されており、これをラビング処理することによ
り液晶分子を一定方向に配列することができる。また、
それぞれのガラス基板10,10の外側には偏光板11
が接着されており、液晶化合物15は、これらのガラス
基板の間隙を(2〜5μm程度)に充填される。また、
バックライト光としては蛍光灯(不図示)と散乱板(不
図示)の組合せが一般的に用いられており、液晶化合物
をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターと
して機能することにより表示を行うのである。
【0025】
【実施例】以下、本発明について、実施例をあげ、図面
を参照しつつ具体的に説明する。 実施例 青板ガラス基板1上にタンタル+モリブデンの合金をス
パッタ法にて0.2μm成膜し遮光層2を形成させた。
KrFレーザー(248nm)を使用して図2のような
マスクを通過させ集光レンズ8で被加工物である遮光層
2が塗布されたガラス基板1上にレーザーを照射した。
レーザー出力と端部の盛り上がり量を図5に示した。レ
ーザー出力が0.4J/cm2 以下では基板上の可視光
線を遮蔽する遮蔽層を除去することが出来ず、また2J
/cm2 以上では端部の盛り上がり量が安定しなかっ
た。レーザー出力が2J/cm2 の加工条件が安定した
状態で最高の端部の盛り上がり量約2μを示しその結果
を図4に示した。
を参照しつつ具体的に説明する。 実施例 青板ガラス基板1上にタンタル+モリブデンの合金をス
パッタ法にて0.2μm成膜し遮光層2を形成させた。
KrFレーザー(248nm)を使用して図2のような
マスクを通過させ集光レンズ8で被加工物である遮光層
2が塗布されたガラス基板1上にレーザーを照射した。
レーザー出力と端部の盛り上がり量を図5に示した。レ
ーザー出力が0.4J/cm2 以下では基板上の可視光
線を遮蔽する遮蔽層を除去することが出来ず、また2J
/cm2 以上では端部の盛り上がり量が安定しなかっ
た。レーザー出力が2J/cm2 の加工条件が安定した
状態で最高の端部の盛り上がり量約2μを示しその結果
を図4に示した。
【0026】このようにして製造したカラーフィルター
基板の各開口部に、インクジェット方式でそれぞれ赤、
緑、青、の三原色を別々に入れて赤、青、緑、の三画素
の一組を一絵素とするストライプタイプのカラーフィル
ターを製造した。観察の結果、三色の混色は見られなか
った。
基板の各開口部に、インクジェット方式でそれぞれ赤、
緑、青、の三原色を別々に入れて赤、青、緑、の三画素
の一組を一絵素とするストライプタイプのカラーフィル
ターを製造した。観察の結果、三色の混色は見られなか
った。
【0027】
【発明の効果】本発明による液晶用カラーフィルターの
製造方法を採用することにより、混色のない信頼性の高
い液晶用カラーフィルターを安価に製造することができ
た。
製造方法を採用することにより、混色のない信頼性の高
い液晶用カラーフィルターを安価に製造することができ
た。
【図1】本発明方法を実施するためのレーザー装置の一
例を示す概略構成図である。
例を示す概略構成図である。
【図2】本発明の方法に使用されるマスクの一例を示す
上面図である。
上面図である。
【図3】本発明方法の製造方法の一例を示す工程図で、
(a)乃至(d)は部分工程図である。
(a)乃至(d)は部分工程図である。
【図4】レーザー出力が安定した状態での開口端部の盛
り上がり状態を示す表である。
り上がり状態を示す表である。
【図5】開口端部の盛り上がり量とレーザー出力との関
係を示すグラフである。
係を示すグラフである。
【図6】カラーフィルターを組み込んだTFTカラー液
晶パネルの断面図である。
晶パネルの断面図である。
1,10 基板 2 遮光層 3 開口部 4 インク 5 エキシマ−レーザー発振器 6 ミラー 7 反射マスク 8 集光レンズ 9 可動テーブル 11 偏光板 12 配向膜 13 共通電極 14 保護層 15 液晶化合物 16 画素電極 17 カラーフィルター
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松久 裕英 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 吉川 俊明 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内
Claims (4)
- 【請求項1】 可視光線を遮蔽する遮光層を上面に形成
してなる基板にレーザー光を照射して照射位置の遮光層
を除去することにより該遮光層に開口部を形成すると共
に前記開口部周縁部に沿って遮光層上面に突条を形成す
ることにより相互に独立した開口部を設け、次いで各開
口部に所定のインクを充填することにより画素を形成す
ることを特徴とする、カラーフィルターの製造方法。 - 【請求項2】 前記のレーザー光が、エキシマ−レーザ
ーである請求項1に記載のカラーフィルターの製造方
法。 - 【請求項3】 請求項1に記載の方法により製造された
ことを特徴とする液晶用カラーフィルター。 - 【請求項4】 請求項3に記載のカラーフィルターと対
向する基板を有し、両基板間に液晶化合物を封入してな
る構造を有することを特徴とする液晶パネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18148095A JPH0933713A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | カラーフィルターの製造方法、該方法により製造されたカラーフィルター及び液晶パネル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18148095A JPH0933713A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | カラーフィルターの製造方法、該方法により製造されたカラーフィルター及び液晶パネル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0933713A true JPH0933713A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16101499
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18148095A Pending JPH0933713A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | カラーフィルターの製造方法、該方法により製造されたカラーフィルター及び液晶パネル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0933713A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100280876B1 (ko) * | 1997-11-21 | 2001-02-01 | 구본준 | 컬러필터기판 제조방법 |
JP2002207445A (ja) * | 2001-01-10 | 2002-07-26 | Hakueisha:Kk | 透光式表示パネル |
KR100471390B1 (ko) * | 1997-06-26 | 2005-09-02 | 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 | 컬러필터 제조방법 |
KR100922697B1 (ko) * | 2006-10-17 | 2009-10-20 | 주식회사 엘지화학 | 디스플레이용 기판 상에 전극 패턴을 형성하는 방법 |
CN102707360A (zh) * | 2012-04-01 | 2012-10-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种彩色滤光片的制作方法、彩色滤光片及显示装置 |
WO2013143293A1 (zh) * | 2012-03-26 | 2013-10-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩色滤光片的制作方法及模板 |
-
1995
- 1995-07-18 JP JP18148095A patent/JPH0933713A/ja active Pending
Cited By (9)
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