KR20020091902A - device tray - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 물품 보관 용기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대전 방지가 필요한 물품을 보관하기 위한 용기에 관한 것이다.The present invention relates to an article storage container, and more particularly, to a container for storing an article requiring antistatic property.
일반적으로, 반도체 장치의 제조는 팹 공정(fabrication), 조립 공정(package assembly) 및 백-엔드 공정(back-end)을 포함한다. 상기 팹 공정은박막 공정, 사진 식각 공정, 금속 배선 공정 등의 단위 공정들로 구성되고, 상기 단위 공정들을 수행하여 기판 상에 집적 회로를 형성하는 공정이다. 상기 조립 공정은 상기 팹 공정을 통하여 집적 회로가 형성된 기판을 각각의 반도체 칩으로 분리하고, 각각의 반도체 칩을 패키지 형태로 조립하는 공정이다. 그리고, 상기 백-엔드 공정은 상기 패키지 형태의 반도체 칩들 각각이 올바르게 동작하는 가를 테스트하는 공정이다.In general, the manufacture of semiconductor devices includes fabrication, package assembly, and back-end processes. The fab process includes unit processes such as a thin film process, a photolithography process, a metal wiring process, and the like to form an integrated circuit on a substrate by performing the unit processes. The assembling process is a process of separating a substrate on which an integrated circuit is formed into each semiconductor chip through the fab process, and assembling each semiconductor chip into a package. In addition, the back-end process is a process of testing whether each of the semiconductor chips in the package form operates correctly.
특히, 상기 백-엔드 공정은 다수의 테스트 및 상기 테스트 결과에 따라 반도체 칩을 분류하는 공정을 포함한다. 여기서, 상기 분류를 마친 반도체 칩들은 대전 방지가 가능한 보관 용기(tray)에 보관된다. 상기 보관 용기에 보관하는 것은 상기 반도체 칩들이 정전기와 같은 사소한 전기적 충격에도 영향을 받기 때문이다.In particular, the back-end process includes a plurality of tests and a process of classifying semiconductor chips according to the test results. In this case, the semiconductor chips that have been classified above are stored in a storage tray that can be prevented from being charged. The storage in the storage container is because the semiconductor chips are also affected by a slight electric shock such as static electricity.
상기 보관 용기에 대한 일 예는 대한민국 특허 공개 제99-62420호에 개시되어 있다.An example of the storage container is disclosed in Korean Patent Publication No. 99-62420.
여기서, 상기 반도체 칩들이 종류에 따라 상기 보관 용기는 그 종류를 달리한다. 즉, 상기 테스트 결과에 의거하여 같은 결과가 나타난 반도체 칩들만 같은 보관 용기에 보관하는 것이다. 예를 들면, 상기 테스트 결과 BIN 1의 결과가 나타난 반도체 칩들은 1번 보관 용기에 보관하고, BIN 2의 결과가 나타난 반도체 칩들은 2번 보관 용기에 보관하는 구성을 갖는다.Here, the storage container is different in kind depending on the kind of the semiconductor chips. That is, only the semiconductor chips showing the same result based on the test result are stored in the same storage container. For example, the semiconductor chips in which the result of the test results in BIN 1 are stored in the first storage container and the semiconductor chips in which the results of BIN 2 appear in the second storage container are configured.
이와 같이, 상기 보관 용기는 상기 보관 용기에 보관되는 물품에 따라 그 종류를 달리한다. 그러나, 상기 보관 용기는 그 구분이 용이하지 않다. 이는, 상기 보관 용기가 단일 색채를 갖기 때문이고, 사출 성형으로 형성되기 때문이다. 이와같이, 상기 보관 용기가 단일 색채를 갖기 때문에 상기 보관 용기에 양각 또는 음각의 구분 기호를 표시하여도 그 구분이 용이하지 않다. 그리고, 상기 구분을 위한 보관 용기를 별도로 제조하는 것 또한 용이하지 않다. 이는, 금형 등을 별도로 제작해야 하기 때문이다.As such, the storage container varies in kind depending on the items stored in the storage container. However, the storage container is not easy to distinguish. This is because the storage container has a single color and is formed by injection molding. In this way, since the storage container has a single color, the distinction between the embossed or intaglio is not easily displayed on the storage container. In addition, it is not easy to separately prepare a storage container for the division. This is because a mold or the like must be produced separately.
이에 따라, 종래의 보관 용기는 그 구분이 용이하지 않아 상기 반도체 칩들을 포함하는 물품들이 혼재하여 보관되는 경우가 빈번하게 발생한다. 때문에, 상기 물품들의 혼재 보관으로 인한 불량이 빈번하게 발생한다. 따라서, 상기 불량으로 인하여 상기 보관에 따른 신뢰도가 결여되는 문제점이 있다. 특히, 상기 반도체 칩들을 보관하는 경우에는 상기 구분이 용이하지 않아 반도체 제조에 따른 신뢰도를 저하시키는 원인으로 작용한다.Accordingly, conventional storage containers are not easily distinguished, and thus, frequently, articles containing the semiconductor chips are mixed and stored. Therefore, defects frequently occur due to the mixed storage of the articles. Therefore, there is a problem in that the lack of reliability due to the storage due to the failure. In particular, when the semiconductor chips are stored, the division is not easy, which serves as a cause of deterioration of reliability according to semiconductor manufacturing.
본 발명의 목적은, 대전 방지를 위한 물품을 보관하는 용기 각각을 용이하게 구분하기 위한 물품 보관 용기를 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide an article storage container for easily distinguishing each container for storing an article for antistatic.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 물품 보관 용기를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a schematic diagram illustrating an article storage container according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1의 A 부분을 확대한 도면이다.FIG. 2 is an enlarged view of a portion A of FIG. 1.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ선을 자른 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along line III-III of FIG. 2.
도 4는 도 1의 B 부분을 확대한 도면이다.4 is an enlarged view of a portion B of FIG. 1.
도 5는 도 4의 Ⅴ-Ⅴ선을 자른 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along the line VV of FIG. 4.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
10 : 보관 용기 100 : 보관부10: storage container 100: storage unit
110 : 핸들링부 120 : 구분 부재110: handling unit 120: division member
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 물품 보관 용기는, 정전기가 발생하지 않는 재질로 구성되고, 대전 방지가 필요한 물품을 보관하기 위한 보관부와, 상기 보관부 측부에 조립 형태로 설치되고, 상기 보관부에 보관되는 물품의 종류에 따라 상기 보관부 각각을 구분하기 위한 구분 수단을 포함한다.The article storage container of the present invention for achieving the above object is made of a material that does not generate static electricity, a storage unit for storing an article that requires antistatic, and is installed in an assembled form on the storage side, the storage And sorting means for distinguishing each of the storage parts according to the type of the article stored in the part.
상기 구분 수단은 상기 보관부 측부에 억지 끼움 형태로 조립 설치되는 것이 바람직하다.Preferably, the dividing means is installed in an interference fit form on the storage side.
실시예로서, 상기 보관 용기는 백-앤드 공정에 따라 구분되는 반도체 칩들을 보관하기 위한 용기이다. 따라서, 상기 보관 용기는 16행 × 8열로 구성되고, 128개의 반도체 칩을 보관할 수 있다.In an embodiment, the storage container is a container for storing semiconductor chips classified according to a back-end process. Therefore, the storage container is composed of 16 rows x 8 columns and can store 128 semiconductor chips.
이와 같이, 상기 구분 수단에 의해 상기 보관 용기 각각을 구분할 수 있다. 때문에, 상기 보관 용기에 보관되는 물품들의 종류를 용이하게 파악할 수 있다. 따라서, 상기 구분의 어려움으로 인한 불량 발생을 최소화할 수 있다.In this manner, each of the storage containers can be divided by the separating means. Therefore, the kind of articles stored in the storage container can be easily grasped. Therefore, it is possible to minimize the occurrence of defects due to the difficulty of the division.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라서 더욱 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 반도체 칩들을 보관하기 위한 보관 용기(10)를 나타낸다. 상기 보관 용기(10)는 백-엔드 공정의 수행함에 따라 분류되는 반도체 칩들을 보관하는 용기이다.1 shows a storage container 10 for storing semiconductor chips. The storage container 10 is a container for storing semiconductor chips classified according to the back-end process.
상기 보관 용기(10)는 상기 반도체 칩 등과 같은 물품을 보관하기 위한 보관부(100)를 포함한다. 상기 반도체 칩을 보관할 경우 보관부(100)는 128개의 반도체 칩들을 보관할 수 있도록 구획되는데, 주로 16행 × 8열로 구성된다. 이외에도, 64개의 반도체 칩들을 보관할 수 있도록 구획될 수도 있다.The storage container 10 includes a storage unit 100 for storing an article such as the semiconductor chip. When storing the semiconductor chip, the storage unit 100 is partitioned to store 128 semiconductor chips, and is mainly composed of 16 rows x 8 columns. In addition, it may be partitioned to hold 64 semiconductor chips.
상기 보관 용기(10)는 상기 보관 용기(10) 일측에 설치되는 핸들링부(110)를 포함한다. 이에 따라, 상기 작업자 또는 로봇암 등을 사용하여 핸들링부(110)를 파지하고, 상기 파지에 의해 상기 보관 용기(10)를 핸들링하는 구성을 갖는다. 핸들링부(110)는 안정적인 핸들링을 위하여 상기 보관 용기(10) 양측에 설치되는 것이 바람직하다.The storage container 10 includes a handling unit 110 installed at one side of the storage container 10. Accordingly, the handling unit 110 is gripped using the operator or the robot arm, and the holding container 10 is handled by the grip. The handling unit 110 may be installed at both sides of the storage container 10 for stable handling.
그리고, 상기 보관 용기(10)는 상기 보관 용기(10) 일측에 설치되는 구분 부재(120)를 포함한다. 구분 부재(120)는 상기 보관 용기(10) 일측에 조립 형태로 설치되는 구성을 갖는다.In addition, the storage container 10 includes a division member 120 installed at one side of the storage container 10. Separator member 120 has a configuration that is installed in an assembled form on one side of the storage container (10).
도 2 및 도 3은 상기 구분 부재(120) 중에서 상기 보관 용기(10) 상측 부위에 설치되는 구분 부재(120a)를 나타낸다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 구분 부재(120a)는 억지 끼움 형태로 조립된다. 즉, 상기 보관 용기(10) 상측 부위에 마련되는 홈에 구분 부재(120a)가 억지 끼워지는 형태이다. 특히, 상기 보관 용기(10) 상측 부위에 설치되는 구분 부재(120a)는 도 3에 도시된 바와 같이 평면적 구성을 기준할 때 상기 보관 용기(10) 상부에서도 용이하게 확인할 수 있도록 설치되는 구성을 갖는다.2 and 3 illustrate a division member 120a installed at an upper portion of the storage container 10 among the division members 120. 2 and 3, the separating member 120a is assembled in the form of interference fit. That is, the division member 120a is forcibly fitted into the groove provided in the upper portion of the storage container 10. In particular, the partition member 120a installed at an upper portion of the storage container 10 has a configuration that is easily installed on the storage container 10 when referring to the planar configuration as shown in FIG. 3. .
도 4 및 도 5는 상기 구분 부재(120) 중에서 핸들링부(110)에 설치되는 구분 부재(120b)를 나타낸다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 구분 부재(120b)는 억지 끼움 형태로 조립된다. 즉, 상기 핸들링부(110)에 마련되는 홈에 구분 부재(120b)가 억지 끼워지는 형태이다. 특히, 상기 핸들링부(110)에 설치되는 구분 부재(120b)는 도 5에 도시된 바와 같이 평면적 구성을 기준할 때 상기 보관 용기(10) 저부에서도 용이하게 확인할 수 있도록 설치되는 구성을 갖는다.4 and 5 illustrate a division member 120b installed in the handling unit 110 among the division members 120. 4 and 5, the separating member 120b is assembled in an interference fit shape. That is, the separation member 120b is forcibly fitted into the groove provided in the handling unit 110. In particular, the partition member 120b installed in the handling unit 110 has a configuration that can be easily identified even at the bottom of the storage container 10 when referring to the planar configuration as shown in FIG.
상기 억지 끼움 형태로 조립 설치되는 구분 부재(120)를 갈고리 형태로 조립함에 따라 그 탈락이 용이하지 않게 구성한다. 상기 갈고리 형태의 조립 구성은 억지 끼움 형태의 조립을 이해하는 자라면 용이하게 구성할 수 있다.By assembling the separation member 120 assembled in the interference fit form in the form of a hook is configured not to drop easily. The hook-shaped assembly configuration can be easily configured by those who understand the assembly of the interference fit type.
그리고, 상기 보관 용기(10)는 정전기가 발생하지 않는 플라스틱 재질로 구성되는데, 사출 성형에 의해 형성된다. 이때, 상기 보관 용기(10)는 사출 성형으로 형성되기 때문에 단일 색채를 갖는다. 상기 단일 색채는 주로 흑색 계통의 색채이다. 그리고, 상기 보관 용기(10)는 상기 구분 부재를 끼울 수 있는 홈을 갖도록 제조될 수도 있다.In addition, the storage container 10 is made of a plastic material does not generate static electricity, it is formed by injection molding. At this time, the storage container 10 has a single color because it is formed by injection molding. The single color is mainly black color. In addition, the storage container 10 may be manufactured to have a groove into which the division member can be fitted.
그러나, 상기 구분 부재(120)가 끼워지는 홈은 기존의 보관 용기를 모따끼 형태로 제조하는 것이 바람직하다. 이와 같이, 상기 모따기를 활용할 경우 기존의 보관 용기를 계속적으로 활용할 수 있다.However, the groove into which the division member 120 is fitted is preferably manufactured in a conventional storage container in the form of a chamfer. As such, when the chamfer is utilized, the existing storage container may be continuously used.
그리고, 상기 구분 부재(120)는 상기 반도체 칩들의 종류에 따라 그 색채를 달리한다. 예들 들면, 상기 백-엔드 공정에서의 테스트 결과 BIN 1의 결과가 나타나는 반도체 칩들을 보관하는 보관 용기는 적색의 구분 부재를 설치하고, BIN 2의 결과가 나타나는 반도체 칩들을 보관하는 보관 용기는 청색의 구분 부재를 설치하고, BIN 3의 결과가 나타나는 반도체 칩들을 보관하는 보관 용기는 황색의 구분 부재를 설치한다. 이때, 상기 구분 부재 각각은 상기 색채들을 갖는 플라스틱 재질로 용이하게 형성할 수 있다. 이와 같이, 상기 보관 용기가 흑색이고, 상기 구분 부재가 적색, 청색 또는 황색이기 때문에 그 구분이 확연하다.In addition, the color of the separating member 120 varies depending on the type of the semiconductor chips. For example, a storage container for storing semiconductor chips showing a result of BIN 1 as a result of the test in the back-end process is provided with a red separator, and a storage container for storing semiconductor chips showing a result of BIN 2 is colored in blue. The storage container for storing the semiconductor chips on which the separating member is installed and the result of BIN 3 is provided for the yellow separating member. In this case, each of the separating members may be easily formed of a plastic material having the colors. Thus, since the said storage container is black and the said division member is red, blue, or yellow, the division is clear.
따라서, 상기 구분 부재(120)를 확인할 경우 상기 보관 용기(10) 각각에 어떤 종류의 반도체 칩들이 보관되는 가를 용이하게 구분할 수 있다.Therefore, when checking the division member 120, it is possible to easily distinguish which kind of semiconductor chips are stored in each of the storage containers 10.
이와 같이, 본 발명에 의하면 상기 보관 용기에 상기 보관 용기와 다른 색채를 갖는 구분 부재를 설치함으로서 상기 보관 용기 각각을 용이하게 구분할 수 있다. 따라서, 그 종류를 달리하는 물품들이 혼재하여 보관되는 것을 최소화할 수 있다. 즉, 해당 보관 용기에 해당 물품을 정확하게 수납하고, 보관할 수 있는 것이다. 때문에, 상기 보관 용기를 사용할 경우 물품의 혼재 보관으로 인한 불량을 최소화할 수 있다. 특히, 상기 보관 용기를 반도체 칩을 보관하는 부재로 사용할 경우 그 활용도는 더욱 향상된다.As described above, according to the present invention, each of the storage containers can be easily distinguished by providing a separation member having a different color from the storage container. Therefore, it is possible to minimize the storage of different kinds of articles mixed. That is, the article can be accurately stored and stored in the storage container. Therefore, when using the storage container can minimize the defects due to the mixed storage of the goods. In particular, when the storage container is used as a member for storing the semiconductor chip, its utilization is further improved.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to a preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art will be variously modified and changed within the scope of the present invention without departing from the spirit and scope of the invention described in the claims below. I can understand that you can.
Claims (7)
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