KR20020088553A - A chemical solution preservation apparatus in use the process of fabricating semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 반도체소자 제조공정에서 사용되는 약액 저장 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 용기에 담겨져 있는 약액의 잔량을 보다 단계적으로 파악할 수 있는 반도체 제조 공정에서 사용되는 약액 저장 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid storage device used in a semiconductor device manufacturing process, and more particularly, to a chemical liquid storage device used in a semiconductor manufacturing process that can more grasp the remaining amount of the chemical liquid contained in a container.
일반적으로 반도체 웨이퍼표면에 감광액을 도포하는 포토마스킹공정 및FOX(Fast Oxidation) 확산공정을 비롯하여 많은 화학용액(이하 약액이라 함)을 사용하는 반도체의 제조공정에서는 약액을 저장, 또는 공급하는 용기가 많이 설치되어 사용되고 있다.In general, in the semiconductor manufacturing process using many chemical solutions (hereinafter referred to as chemical solution), including a photomasking process and a FOX (Fast Oxidation) diffusion process to apply a photosensitive liquid to the semiconductor wafer surface, there are many containers for storing or supplying a chemical solution. It is installed and used.
기존의 반도에 제조 라인에서 이러한 약액 저장 장치(10)의 교체 시기 및 수량 그리고 잔류량 등은 작업자에 의해 체크되고 있다. 즉, 약액 저장 장치(10)의 약액 잔량은 용기(12)에 설치된 정전용량 센서(14)에 의해 체크된다. 그리고 2차로 작업자가 육안으로 상기 용기(12)내에 채워진 약액의 레벨을 확인하게 된다. 그러나 종래에는 작업자가 팬을 이용하여 약액이 채워진 만큼 용기(12)에 선을 긋고 그 옆에 현재의 레벨을 표시하는 방법이 사용되어 왔다.In the existing peninsula, the replacement timing, quantity, and remaining amount of the chemical storage device 10 in the manufacturing line are checked by the operator. In other words, the remaining amount of the chemical liquid of the chemical liquid storage device 10 is checked by the capacitance sensor 14 installed in the container 12. Secondly, the operator visually checks the level of the chemical liquid filled in the container 12. However, in the related art, a method has been used in which an operator draws a line on the container 12 as much as the chemical liquid is filled using a pan and displays the current level next to it.
상술한 바와 같은 기존의 약액 잔량 확인 방법에서, 정전용량 센서는 고정된 잔량의 센싱을 통한 일차적인 알람의 기능만을 하고 있을 뿐이다. 그리고 작업자가 육안으로 확인하는 것은 매우 번거롭고, 불필요한 타임 로스가 발생하며, 특히 작업자의 숙련도와 보는 시각에 따라 잔량 확인에 오차가 발생될 수 있다는 단점이 있다.In the conventional method for checking the remaining amount of chemical liquid as described above, the capacitive sensor only functions as a primary alarm through sensing of a fixed residual amount. In addition, it is very cumbersome for the worker to check with the naked eye, and unnecessary time loss occurs. In particular, there is a disadvantage that an error may occur in checking the remaining amount depending on the skill and the viewing time of the worker.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 용기에 담겨진 약액 잔량의 변화를 단계적으로 파악할 수 있는 새로운 형태의 반도체 제조공정의 약액 저장 장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide a chemical liquid storage device of a new type of semiconductor manufacturing process capable of grasping a change in the remaining amount of chemical liquid contained in a container in stages.
도 1은 종래 약액 저장 용기를 보여주는 사시도;1 is a perspective view showing a conventional chemical storage container;
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 약액 저장 장치를 보여주는 도면;2 is a view showing a chemical storage device according to an embodiment of the present invention;
도 3 및 도 4는 약액 저장 장치에서 약액의 잔량을 단계적으로 체크하는 것을 보여주는 도면들이다.3 and 4 are views showing the step-by-step check of the remaining amount of the chemical liquid in the chemical liquid storage device.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
110 : 용기120 : 주입관110: container 120: injection tube
130 : 센싱 수단140 : 모니터130: sensing means 140: monitor
이와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 특징에 따른 반도체 제조공정에서 사용되는 약액 저장 장치는 약액을 담아두기 위한 용기와; 상기 용기의 상단에 설치되고 상기 용기의 내부로 약액이 주입되는 주입관과; 상기 용기에 담겨진 약액의 잔량을 단계적으로 체크할 수 있는 센싱 수단 및; 상기 센싱 수단에 의해 감지된 잔량을 디스플레이 하는 모니터를 포함한다.In order to achieve the above object, the chemical liquid storage device used in the semiconductor manufacturing process according to the characteristics of the present invention and a container for containing the chemical liquid; An injection tube installed at an upper end of the container and injecting a chemical solution into the container; Sensing means capable of checking step-by-step the remaining amount of the chemical liquid contained in the container; It includes a monitor for displaying the remaining amount detected by the sensing means.
이와 같은 본 발명에서 상기 센싱 수단은 일정 높이마다 설치되는 다중 센서들로 이루어질 수 있다. 이 센서들은 발광부와 수광부로 이루어진 포토 센서 방식일 수 있다.In the present invention as described above, the sensing means may be composed of multiple sensors installed at predetermined heights. These sensors may be a photo sensor type consisting of a light emitting part and a light receiving part.
예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.For example, embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a clearer description.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 2 내지 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 4. In addition, in the drawings, the same reference numerals are denoted together for components that perform the same function.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 반도체 제조공정의 약액 저장 장치를 보여주는 도면이다. 도 3 및 도 4는 약액 저장 장치에서 약액의 잔량을 단계적으로 체크하는 것을 보여주는 도면이다.2 is a view showing a chemical liquid storage device of a semiconductor manufacturing process according to an embodiment of the present invention. 3 and 4 are diagrams showing the step-by-step check of the remaining amount of the chemical liquid in the chemical liquid storage device.
도 2를 참조하면, 본 발명의 약액 저장 장치(100)는 용기(110), 주입관(120), 제 1 내지 제 4 레벨 센서(130a,130b,130c,130d) 그리고 모니터(140)로 이루어진다.Referring to FIG. 2, the chemical liquid storage device 100 of the present invention includes a container 110, an injection tube 120, first to fourth level sensors 130a, 130b, 130c, and 130d, and a monitor 140. .
상기 용기(110)는 투명 또는 반투명으로 그 내부에는 반도체 소자의 제조에 사용되는 약액(C)이 저장된다. 상기 용기 내부에 채워진 약액은 용기(110)의 상단에 설치된 주입관(120)을 통해 제조 공정으로 공급되어진다.The container 110 is transparent or translucent, and the chemical liquid C used for manufacturing the semiconductor device is stored therein. The chemical liquid filled in the container is supplied to the manufacturing process through an injection tube 120 installed on the top of the container 110.
한편, 상기 용기(110) 주변에는 용기내부에 담겨있는 약액의 잔량을 체크하기 위한 제 1 내지 제 2 레벨 센서(130a,130b,130c,130d)로 이루어진 센싱 수단(130)이 설치된다. 그리고 이 센싱 수단(130)으로부터 감지된 잔량 데이터는 모니터(140)에서 디스플레이 된다.Meanwhile, around the container 110, a sensing means 130 including first to second level sensors 130a, 130b, 130c and 130d for checking the remaining amount of the chemical liquid contained in the container is installed. The remaining amount data detected by the sensing means 130 is displayed on the monitor 140.
상기 센싱 수단(130)의 제 1 내지 제 2 레벨 센서(130a,130b,130c,130d)는 발광부와 수광부로 이루어진 포토 센서 방식으로 이루어진다. 상기 레벨 센서들(130a,130b,130c,130d)은 상기 용기(110)에 일정 간격으로 설치되어 상기 용기(110)에 담겨진 약액의 잔량을 레벨 단위로 체크하게 된다. 예컨대, 본 발명에서 설치되는 레벨 센서들(130a,130b,130c,130d)의 수량이 많으면 많을수록 약액의 잔량을 정밀하게 체크할 수 있는 것이다.The first to second level sensors 130a, 130b, 130c, and 130d of the sensing means 130 are formed by a photo sensor method including a light emitting part and a light receiving part. The level sensors 130a, 130b, 130c, and 130d are installed in the container 110 at regular intervals to check the remaining amount of the chemical liquid contained in the container 110 in units of levels. For example, the greater the quantity of the level sensors 130a, 130b, 130c, and 130d installed in the present invention, the more precisely the remaining amount of the chemical solution can be checked.
도 3에서와 같이, 약액이 용기(110)에 채워진 경우, 제 1 레벨 센서(130a)에서만 센싱이 이루어지고, 제 2 내지 제 4 레벨 센서(130b,130c,130d)에서는 센싱이 이루어지지 않는다. 그리고 도 4에서와 같이, 약액이 채워진 경우에는 제 1 내지 제 3 레벨 센서(130a,130b,130c)에서는 센싱이 이루어지고, 제 4 레벨 센서(130d)에서는 센싱이 이루어지지 않는다. 이렇게 상기 레벨 센서들에 의해 체크되어진 약액의 잔량은 모니터(140)에 디스플레이 된다.As shown in FIG. 3, when the chemical liquid is filled in the container 110, sensing is performed only at the first level sensor 130a, and sensing is not performed at the second to fourth level sensors 130b, 130c, and 130d. As shown in FIG. 4, when the chemical liquid is filled, sensing is performed by the first to third level sensors 130a, 130b and 130c, and sensing is not performed by the fourth level sensor 130d. The remaining amount of the chemical liquid checked by the level sensors is displayed on the monitor 140.
이와 같은 상기 약액 저장 장치(100)는 공정 진행 과정에서 작업자가 모니터(140)를 보고 손쉽게 약액 용기(110)에 남아있는 잔량을 확인할 수 있다는 이점이 있다. 따라서, 상기 약액 저장 장치의 교체 시기 및 안전 상태 등의 확인이 용이하다.The chemical liquid storage device 100 as described above has an advantage that an operator can easily check the remaining amount of the chemical liquid container 110 by looking at the monitor 140 during the process. Therefore, it is easy to check the replacement time and the safe state of the chemical storage device.
예컨대, 상기 약액 저장 장치(100)의 용기(110)는 원통형 또는 다각통형 등의 다양한 형상으로 제작되어 사용될 수 있으며, 보다 정밀한 잔량 확인을 위해서는 다수의 레벨 센서들을 조밀하게 설치하는 것이 바람직하다.For example, the container 110 of the chemical liquid storage device 100 may be manufactured and used in various shapes such as a cylindrical or polygonal shape, and in order to more precisely check the remaining amount, it is preferable to densely install a plurality of level sensors.
여기서 본 발명의 구조적인 특징은 용기에 담겨진 약액의 잔량을 일정 레벨 단위로 체크할 수 있는 다중 레벨 센서들을 갖는데 있다. 이러한 특징에 의해 본 발명의 약액 저장 장치는 용기에 담겨진 약액의 용량 변동을 손쉽게 확인할 수 있는 것이다.The structural feature of the present invention is that it has a multi-level sensors that can check the remaining amount of the chemical liquid contained in the container in a certain level unit. With this feature, the chemical liquid storage device of the present invention can easily check the variation of the capacity of the chemical liquid contained in the container.
이상에서, 본 발명에 따른 약액 저장 장치의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the chemical storage device according to the present invention is shown in accordance with the above description and drawings, but this is merely an example, and various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Of course.
이와 같은 본 발명을 적용하면, 공정 진행 과정에서 작업자가 모니터를 보고 손쉽게 약액 용기에 남아있는 잔량을 확인할 수 있어, 약액 저장 장치의 교체 시기 및 안전 상태 등의 확인이 용이한 이점이 있다.Applying the present invention as described above, the operator can easily check the remaining amount in the chemical container by looking at the monitor during the process, there is an advantage that it is easy to check the replacement time and safety state of the chemical storage device.
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| KR1020010027289A KR20020088553A (en) | 2001-05-18 | 2001-05-18 | A chemical solution preservation apparatus in use the process of fabricating semiconductor device |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100780864B1 (en) * | 2006-05-25 | 2007-11-29 | 삼성전자주식회사 | Apparatus for supplying chemical and appartus for manufacturing semiconductor device and method for supplying chemical |
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2001
- 2001-05-18 KR KR1020010027289A patent/KR20020088553A/en not_active Application Discontinuation
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| KR100780864B1 (en) * | 2006-05-25 | 2007-11-29 | 삼성전자주식회사 | Apparatus for supplying chemical and appartus for manufacturing semiconductor device and method for supplying chemical |
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