KR200200837Y1 - Automatic Unloading Device of Board - Google Patents
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Abstract
본 고안은 생산라인을 거치면서 공정을 마친 기판을 랙에 자동으로 언로딩하는 기판의 자동 언로딩장치에 관한 것으로, 기판의 언로딩장치 일측에 별도의 간지 이송장치를 구비하지 않고 장비의 상측에 간지 이송장치를 구비하여 기판이 이송되는 동안 1매의 간지를 홀딩하여 대기하고 있다가 기판의 이송이 완료되고 나면 홀딩하고 있던 간지를 기판의 상면에 신속하게 얹어 놓을 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to an automatic unloading device for a board that automatically unloads a board after processing through a production line to a rack, and does not have a separate sheet feeding device on one side of the unloading device of the board. It is provided with a sheet paper transfer device to hold a single sheet of paper while the substrate is being transferred, and then to hold the sheet of paper held on the upper surface of the substrate after the transfer of the substrate is completed.
이를 위해, 기판(2)을 이송시키는 기판 이송용 로울러(3)의 끝단에 도그(4)를 회동가능하게 설치하여 도그(4)에 기판이 얹혀짐에 따라 도그(4)에 얹혀진 기판(2)을 랙(10)에 언로딩하는 기판의 자동 언로딩장치에 있어서, 기판 이송용 로울러(3)의 상측에 경사지게 설치된 가이드레일(13)과, 상기 가이드레일을 따라 승강가능하게 설치된 슬라이더(14)와, 상기 슬라이더(14)에 축(15)을 중심으로 회동가능하게 설치되어 실린더(17)의 구동에 따라 핀을 중심으로 설정된 각도만큼 회동하는 회동판(16)과, 상기 회동판의 하부로 노출되게 복수개 설치되어 진공압에 의해 간지(21)를 홀딩하는 흡착패드(18)와, 상기 가이드레일의 상사점 직하방에 위치되게 설치되어 간지가 보관되는 스택커(22)와, 상기 스택커내에 위치되어 간지(21)가 얹혀지며 모터(24)의 구동에 따라 승강하는 안착판(23)으로 구성된 것이다.To this end, the dog 4 is rotatably installed at the end of the substrate transport roller 3 for transporting the substrate 2 so that the substrate 2 is placed on the dog 4 as the substrate is placed on the dog 4. In the automatic unloading apparatus for a substrate for unloading the rack 10 into the rack 10, a guide rail 13 inclined at an upper side of the substrate transport roller 3, and a slider 14 provided to be elevated along the guide rail. And a rotating plate 16 rotatably installed on the slider 14 about the shaft 15 to rotate by an angle set around the pin according to the driving of the cylinder 17, and a lower portion of the rotating plate. A plurality of suction pads 18 which are installed to be exposed to each other to hold the slippers 21 by vacuum pressure, a stacker 22 which is installed to be located directly below the top dead center of the guide rail and stores the slippers, and the stack. Positioned in the Kerr, the slip sheet 21 is put on and lifted by the driving of the motor 24. It is configured to seat plate 23.
Description
본 고안은 생산라인을 거치면서 공정을 마친 기판을 랙에 자동으로 언로딩하는 기판의 자동 언로딩장치에 관한 것으로서, 좀 더 구체적으로는 랙에 언로딩되는 기판사이에 운반 및 보관시 스크래치(Scratch)가 발생되지 않도록 간지(종이)를 자동으로 로딩하는 기판의 자동 언로딩장치에 관한 것이다.The present invention relates to an automatic unloading device for a substrate that automatically unloads a substrate that has been processed through a production line into a rack, and more specifically, The present invention relates to an automatic unloading apparatus for a substrate that automatically loads sheet paper (paper) so that scratches do not occur during transportation and storage between the substrates.
일반적으로 패턴형성작업이나, 세정작업 등의 공정을 거쳐 배출되는 기판은 도 3과 같은 형상의 랙(10)에 언로딩되어 운반 또는 보관된다.In general, the substrate discharged through a pattern forming operation, a cleaning operation, or the like is unloaded and transported or stored in the rack 10 having a shape as shown in FIG. 3.
도 1a 내지 도 2는 출원인에 의해 선출원되어 실용신안 제 129169 호로 등록된 기판의 자동 언로딩장치로서, 도 1a 및 도 1b는 종래의 기판 언로딩장치를 나타낸 종단면도이고 도 1은 도 1a의 평면도이다.1A to 2 are automatic unloading apparatuses of a substrate registered by the applicant and registered in Utility Model No. 129169, and FIGS. 1A and 1B are longitudinal cross-sectional views showing a conventional substrate unloading apparatus, and FIG. 1 is a plan view of FIG. 1A. to be.
그 구성을 살펴보면, 본체(1)의 상측에 공정을 완료한 기판(2)을 배출시키기 위해 복수개의 기판 이송용 로울러(3)가 인라인(In-line)으로 배열되어 있고 상기 기판 이송용 로울러(3) 중 분할 형성된 부위에는 안착면(4a)을 갖는 도그(4)가 공정을 마친 기판(2)을 도 3과 같은 랙(10)의 상면에 언로딩하도록 회전가능하게 설치되어 있는데, 상기 도그(4)의 하부는 수평실린더(5)의 동작으로 핀(6)을 중심으로 회전하는 아암(7)과 힌지 결합되어 있다.Looking at the configuration, a plurality of substrate transfer rollers 3 are arranged in-line to discharge the completed substrate 2 on the upper side of the main body 1 and the substrate transfer rollers ( In the divided part of 3), the dog 4 having the seating surface 4a is rotatably installed so as to unload the substrate 2 having finished the process onto the upper surface of the rack 10 as shown in FIG. The lower part of (4) is hinged with the arm (7) which rotates about the pin (6) by the operation of the horizontal cylinder (5).
그리고 상기 도그(4)에 얹혀져 도그와 함께 회동된 기판(2)을 벨트(8)상의 랙(10)에 언로딩하기 위해 도그(4)에 얹혀진 기판(2)을 홀딩하는 흡착패드(9)가 로드레스실린더(11)의 구동에 따라 진퇴운동하도록 되어 있다.And a suction pad 9 which holds the substrate 2 mounted on the dog 4 to unload the substrate 2 mounted on the dog 4 and pivoted with the dog onto the rack 10 on the belt 8. Is moved forward and backward by the drive of the rodless cylinder 11.
따라서 도 1a와 같이 랙 이송용 로울러(12)의 회전에 따라 일정 궤적을 이동하는 벨트(8)상에 랙(10)이 얹혀지고, 도그(4)가 수평상태를 이루고 있는 상태에서 공정을 거친 1개의 기판(2)이 기판 이송용 로울러(3)에 얹혀져 이송되면 상기 기판은 수평상태를 유지하고 있던 도그(4)의 안착면(4a)에 걸려 이송이 제어됨과 동시 에 감지수단(도시는 생략함)에 의해 1개의 기판(2)이 이송되었음을 감지하게 되므로 수평실린더(5)가 구동하여 당겨져 있던 로드를 밀어내게 된다.Accordingly, as shown in FIG. 1A, the rack 10 is placed on the belt 8 that moves a predetermined trajectory according to the rotation of the rack transport roller 12, and the dog 4 is processed in a state where the dog 4 is in a horizontal state. When one board | substrate 2 is mounted and conveyed on the board | substrate transport roller 3, the said board | substrate is caught by the seating surface 4a of the dog 4 which was maintaining the horizontal state, and conveyance is controlled simultaneously. Since the sensing means (not shown) detects that one substrate 2 has been transferred, the horizontal cylinder 5 is driven to push out the pulled rod.
이와 같이 수평실린더(5)가 구동하여 당겨져 있던 로드를 밀어내면 핀(6)을 중심으로 회동가능하게 설치된 아암(7)이 도 1b와 같이 회동하게 되므로 도그(4)에 얹혀져 있던 기판(2)이 랙(10)과 동일한 기울기를 갖게 된다.Thus, when the horizontal cylinder 5 drives and pushes out the pulled rod, the arm 7 rotatably centered around the pin 6 rotates as shown in FIG. 1B, so that the substrate 2 mounted on the dog 4 is rotated. It has the same inclination as this rack 10.
그 후, 도그(4)에 얹혀진 기판(2)을 흡착패드(9)가 흡착한 상태에서 로드레스실린더(11)가 구동하면 기판(2)이 도그(4)로부터 분리되어 랙(10)의 상측에 위치되므로 흡착패드(9)의 흡착력 제거에 따라 기판(2)이 랙(10)으로 언로딩된다.Thereafter, when the rodless cylinder 11 is driven while the adsorption pad 9 adsorbs the substrate 2 placed on the dog 4, the substrate 2 is separated from the dog 4 and the rack 10 is removed. Since it is located on the upper side, the substrate 2 is unloaded into the rack 10 as the suction force of the suction pad 9 is removed.
상기한 바와 같은 공정을 거쳐 랙(10)에 언로딩되는 기판(2)과 기판사이에는 기판의 운반 및 보관시 진동 등에 의한 스크래치가 발생되지 않도록 간지(종이)를 넣어주어야 된다.Between the substrate 2 and the substrate unloaded in the rack 10 through the process as described above should be inserted into the interleaving paper (paper) so as not to generate a scratch due to vibration during transport and storage of the substrate.
그러나 종래에는 언로딩장치와는 별도로 일측에 간지 이송장치를 구비하여 수평상태를 유지하고 있던 도그(4)의 상면에 기판(2)이 얹혀지고 나면 상기 간지 이송장치가 적재함내에 적재되어 있던 1매의 간지를 흡착한 다음 이를 도그(4)에 얹혀진 기판(2)의 상면에 올려 놓은 상태에서 도그(4)를 회동시켜야 되었으므로 별도의 간지 이송장치를 기판의 언로딩장치 일측에 구비하여야만 되었고, 이에 따라 기기의 설치에 따른 공간 점유율이 커지게 되는 문제점이 있었다.However, once the substrate 2 is placed on the upper surface of the dog 4, which has been kept in a horizontal state by having a separator sheet feeding device on one side separately from the unloading device, the sheet was loaded in the stacking box. Since the dog 4 had to be rotated in a state where it was adsorbed and then placed on the upper surface of the substrate 2 placed on the dog 4, a separate interleaver feed device had to be provided on one side of the substrate unloading device. Accordingly, there is a problem that the space occupancy according to the installation of the device increases.
또한, 기판(2)의 이송이 완료된 상태에서 적재함내에 위치된 간지를 이송장치가 흡착하여 이송시키도록 되어 있어 간지의 이송에 따른 시간이 지연되므로 생 산성이 저하되는 문제점도 있었다.In addition, since the transfer device absorbs and transfers the sheet of paper located in the stacking box when the transfer of the substrate 2 is completed, the transfer time of the sheet of paper is delayed. There was also a problem that the acid is lowered.
본 고안은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 기판의 언로딩장치 일측에 별도의 간지 이송장치를 구비하지 않고 장비의 상측에 간지이송장치를 구비하여 기판이 이송되는 동안 1매의 간지를 홀딩하여 대기하고 있다가 기판의 이송이 완료되고 나면 홀딩하고 있던 간지를 기판의 상면에 신속하게 얹어 놓을 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve such a conventional problem, and one sheet of unloading device does not have a separate sheet feeding device, but a sheet feeding device is provided on the upper side of the equipment while the substrate is transported The purpose of the present invention is to hold the kanji and wait, and then, once the transfer of the substrate is completed, the held kanji can be quickly placed on the upper surface of the substrate.
도 1a 및 도 1b는 종래의 기판 언로딩장치를 나타낸 종단면도Figures 1a and 1b is a longitudinal cross-sectional view showing a conventional substrate unloading device
도 2는 도 1a의 평면도FIG. 2 is a top view of FIG. 1A
도 3은 기판의 언로딩장치에 적용되는 랙의 사시도Figure 3 is a perspective view of a rack applied to the unloading device of the substrate
도 4는 본 고안을 나타낸 사시도4 is a perspective view showing the present invention
도 5a 및 도 5b는 본 고안의 작동상태를 설명하기 위한 종단면도5a and 5b is a longitudinal cross-sectional view for explaining the operating state of the present invention
도 6은 도 5b의 'A'부 상세 사시도FIG. 6 is a detailed perspective view of portion 'A' of FIG. 5B
도면중 주요 부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts in the drawings
3 : 기판 이송용 로울러 4 : 도그3: substrate transfer roller 4: dog
13 : 가이드레일 14 : 슬라이더13: guide rail 14: slider
16 : 회동판 18 : 흡착패드16: rotating plate 18: suction pad
22 : 스택커 23 : 안착판22: stacker 23: seating plate
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 기판을 이송시키는 기판 이송용 로울러의 끝단에 도그를 회동가능하게 설치하여 도그에 기판이 얹혀짐에 따라 도그에 얹혀진 기판을 랙에 언로딩하는 기판의 자동 언로딩장치에 있어서, 기판 이송용 로울러의 상측에 경사지게 설치된 가이드레일과, 상기 가이드레일을 따라 승강가능하게 설치된 슬라이더와, 상기 슬라이더에 축을 중심으로 회동가능하게 설치되어 실린더의 구동에 따라 핀을 중심으로 설정된 각도만큼 회동하는 회동판과, 상기 회동판의 하부로 노출되게 복수개 설치되어 진공압에 의해 간지를 홀딩하는 흡착패드와, 상기 가이드레일의 상사점 직하방에 위치되게 설치되어 간지가 보관되는 스택커와, 상기 스택커내에 위치되어 간지가 얹혀지며 모터의 구동에 따라 승강하는 안착판으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판의 자동 언로딩장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a substrate that is rotatably installed on the end of the substrate transport roller for transporting the substrate to unload the substrate placed on the dog in the rack as the substrate is placed on the dog An automatic unloading apparatus of claim 1, comprising: a guide rail inclined at an upper side of a roller for transporting a substrate, a slider provided to move up and down along the guide rail, and a pivot mounted on the slider so as to be pivotable about an axis. A rotating plate rotating at an angle set around the center, a plurality of suction pads exposed to the lower portion of the rotating plate to hold the interlayer by vacuum pressure, and a slip sheet installed under the top dead center of the guide rail. A stacker to be stored, and a seat located in the stacker to which a slip sheet is placed and which is lifted by the driving of the motor. Provided is an automatic unloading apparatus for a substrate, which is composed of a plate.
이하, 본 고안을 일 실시예로 도시한 도 4 내지 도 6을 참고하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, with reference to Figures 4 to 6 showing the present invention as an embodiment in more detail as follows.
도 4는 본 고안을 나타낸 사시도이고 도 5a 및 도 5b는 본 고안의 작동상태를 설명하기 위한 종단면도이며 도 6은 도 5b의 'A'부 상세 사시도로서, 본 고안의 구성 중 종래의 구성과 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 동일부호를 부여하기로 한다.Figure 4 is a perspective view showing the present invention and Figures 5a and 5b is a longitudinal cross-sectional view for explaining the operating state of the present invention and Figure 6 is a detailed perspective view of the 'A' part of Figure 5b, the conventional configuration of the configuration of the present invention The same parts will be omitted and the same reference numerals will be given.
본 고안은 공정을 마친 기판(2)이 얹혀져 배출되는 기판 이송용 로울러(3)의 상측에 가이드레일(13)이 일정 각도 경사지게 설치되어 있고 상기 가이드레일에는 공압에 의해 승강하는 슬라이더(14)가 설치되어 있다.According to the present invention, the guide rail 13 is inclined at an angle to the upper side of the substrate transfer roller 3 on which the substrate 2 having finished the process is mounted and discharged, and the slider 14 which is elevated by pneumatic is provided on the guide rail. It is installed.
그리고 상기 슬라이더(14)에는 축(15)을 중심으로 회동가능하게 회동판(16)이 설치되어 실린더(17)의 구동에 따라 상기 회동판(16)이 설정된 각도만큼 회동하도록 되어 있는데, 상기 실린더(17)의 일단은 슬라이더(14)에 힌지 결합되어 있고 로드는 회동판(16)에 힌지 결합되어 있다.The slider 14 is rotatably installed around the shaft 15 so that the rotating plate 16 is rotated by the set angle of the rotating plate 16 according to the driving of the cylinder 17. One end of 17 is hinged to the slider 14 and the rod is hinged to the pivot plate 16.
또한, 상기 가이드레일(13)을 따라 승강하는 슬라이더(14)에 설치된 회동판의 하부에는 진공압에 의해 간지를 홀딩하는 복수개의 흡착패드(18)가 설치되어 있는데, 상기 흡착패드(18)는 고정부재(19)에 의해 슬라이더(14)에 고정되어 있고 상기 고정부재에는 흡착부재(18)를 장착하기 위한 복수개의 체결공(20)이 형성되어 있다.In addition, a plurality of adsorption pads 18 are provided on a lower portion of the rotating plate provided on the slider 14 that moves up and down along the guide rails 13 to hold the interlayer by vacuum pressure. It is fixed to the slider 14 by the fixing member 19, and the fixing member is provided with a plurality of fastening holes 20 for mounting the suction member 18.
이는, 고정부재(19)를 교체하지 않고도 간지(21)의 크기에 따라 흡착부재(18)의 위치를 용이하게 변경할 수 있도록 하기 위함이다.This is to easily change the position of the adsorption member 18 according to the size of the slip sheet 21 without replacing the fixing member 19.
한편, 상기 가이드레일(13)의 상사점 직하방에 간지(21)가 보관되는 스택커(22)가 설치되어 있고 상기 스택커내에는 간지(21)가 적재되는 안착판(23)이 위치되어 모터(24)의 구동에 따라 승강하여 최상면에 위치된 간지를 흡착패드(18)가 용이하게 홀딩할 수 있도록 되어 있는데, 상기 안착판(23)은 모터(24)의 구동에 따라 가이드봉(25)에 의해 안정적으로 승강운동하게 된다.On the other hand, a stacker 22 for storing the slippers 21 is installed directly below the top dead center of the guide rail 13, and the seating plate 23 for loading the slippers 21 is installed in the stacker. The suction pad 18 can be easily held by lifting and lowering the slip sheet positioned on the top surface by being driven by the driving of the motor 24. The seating plate 23 is a guide rod according to the driving of the motor 24. By 25, the lifting and lowering motion is performed stably.
이와 같이 구성된 본 고안의 작용을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the present invention configured as described above are as follows.
먼저, 스택커(22)의 안착판(23)상에 복수매의 간지(21)가 적재된 상태에서 스타트 버튼을 누르면 하사점에 위치되어 있던 슬라이더(24)가 공압에 의해 상사점까지 상승하게 되는데, 상기한 동작시 흡착패드(18)가 장착된 회동판(16)은 도 5a의 일점쇄선과 같이 가이드레일(13)과 동일한 경사각도를 유지하고 있다.First, when the start button is pressed while a plurality of sheets 21 are stacked on the seating plate 23 of the stacker 22, the slider 24 positioned at the bottom dead center is raised to the top dead center by pneumatic pressure. In the above operation, the rotating plate 16 on which the suction pad 18 is mounted maintains the same inclination angle as the guide rail 13 as shown by the dashed line in FIG. 5A.
이는, 슬라이더(14)의 이송시 스택커(22)와의 간섭을 방지하기 위함이다.This is to prevent interference with the stacker 22 during the transfer of the slider 14.
이와 같이 슬라이더(14)가 상사점까지 상승하고 나면 실린더(17)가 구동하여 당겨져 있던 로드를 밀어내게 되므로 가이드레일(13)과 동일한 각도를 유지하고 있던 회동판(16)이 축(15)을 중심으로 회동하여 실선으로 나타낸 바와 같이 수평상태를 유지하게 되는데, 이 때 회동판(16)은 간지(21)가 적재된 스택커(22)상에 위치하게 된다.After the slider 14 rises to the top dead center as described above, the cylinder 17 drives to push out the pulled rod, so that the rotating plate 16 maintained at the same angle as the guide rail 13 moves the shaft 15. The center plate rotates to maintain a horizontal state as indicated by a solid line. At this time, the rotating plate 16 is positioned on the stacker 22 on which the slip sheet 21 is loaded.
상기한 바와 같이 회동판(16)이 수평상태를 유지하고 나면 흡착패드(18)에 진공압이 작용되므로 안착판(23)의 최상측에 위치되어 있던 1매의 간지(21)가 흡착패드(18)에 홀딩된다.As described above, after the rotating plate 16 maintains the horizontal state, a vacuum pressure is applied to the suction pad 18 so that one sheet of paper 21 placed on the uppermost side of the seating plate 23 receives the suction pad ( Is held in 18).
상기한 동작으로 1매의 간지(21)가 흡착패드(18)에 홀딩되고 나면 실린더(17)의 재구동으로 회동판(16)이 가이드레일(13)과 동일한 각도를 갖도록 초기상태로 환원됨과 동시에 슬라이더(14)가 하사점까지 하강하여 공정을 마친 1개의 기판(2)이 기판 이송용 로울러(3)에 얹혀져 이송되어 수평상태를 유지하고 있던 도그(4)의 안착면(4a)에 걸릴 때까지 대기하고 있게 된다.After the sheet of paper 21 is held by the suction pad 18 by the above operation, the rotating plate 16 is reduced to an initial state to have the same angle as that of the guide rail 13 by re-driving the cylinder 17. At the same time, the slider 14 descends to the bottom dead center to finish the process. It waits until the board | substrate 2 is mounted on the board | substrate roller 3 for conveyance, and is caught by the mounting surface 4a of the dog 4 which was maintaining a horizontal state.
한편, 수평실린더(5)의 로드가 당겨져 도그(4)가 수평상태를 유지하고 있는 상태에서 공정을 마친 기판(2)이 기판 이송용 로울러(3)에 얹혀져 이송되어 도그(4)의 안착면(4a)에 의해 이송이 제어되면 흡착패드(18)에 홀딩되어 있던 간지(21)를 기판(2)의 상면에 얹어 놓기 위해 회동판(16)을 도 5b에 일점쇄선으로 나타낸 바와 같이 회동시켜야 된다.On the other hand, after the rod of the horizontal cylinder (5) is pulled and the dog (4) is in a horizontal state, the substrate (2), which has been processed, is placed on the substrate transfer roller (3) and transported to the seating surface of the dog (4). When the transfer is controlled by (4a), the rotary plate 16 must be rotated as indicated by the dashed-dotted line in FIG. 5B in order to place the interlayer 21 held on the suction pad 18 on the upper surface of the substrate 2. do.
즉, 도 5b에 실선으로 나타낸 바와 같은 상태에서 실린더(17)가 구동하면 회동판(16)이 축(15)을 중심으로 회동하여 수평상태를 유지하게 되므로 흡착패드(18)에 홀딩된 간지(21)가 기판(2)의 직상부에 위치하게 되는데, 이 시점에서 흡착패드(18)에 작용하고 있던 진공압을 제거하면 흡착패드에 홀딩되어 있던 간지(21)가 도그(4)에 얹혀져 있던 기판(2)의 상면에 위치하게 된다.That is, when the cylinder 17 is driven in the state as shown by the solid line in FIG. 5B, the pivoting plate 16 rotates about the axis 15 to maintain a horizontal state, and thus the slip sheet held on the suction pad 18 ( 21 is positioned directly above the substrate 2. When the vacuum pressure applied to the adsorption pad 18 is removed at this point, the interlayer 21 held on the adsorption pad is placed on the dog 4. It is located on the upper surface of the substrate (2).
이와 같이 기판(2)의 이송과 동시에 흡착패드(18)에 홀딩되어 있던 간지(21)를 기판(2)의 상면에 위치시키고 나면 종래의 장치와 마찬가지로 수평실린더(5)가 구동하여 수평상태를 유지하고 있던 도그(4)를 회동시키게 되므로 기판(2)과 간지(21)를 동시에 랙(10)의 상면으로 언로딩할 수 있게 되는 것이다.As described above, when the sheet 21 held on the suction pad 18 is placed on the upper surface of the substrate 2 at the same time as the substrate 2 is transferred, the horizontal cylinder 5 is driven to operate the horizontal state as in the conventional apparatus. Since the dog 4 held is rotated, the substrate 2 and the slip sheet 21 can be unloaded onto the upper surface of the rack 10 at the same time.
이상에서 설명한 바와 같이 본 고안은 기판 이송 로울러(3)의 상측으로 간지(21)가 적재되는 스택커(22)를 구비하고 상기 스택커와 도그(4)에 얹혀진 기판(2) 사이에는 흡착패드(18)가 구비된 슬라이더(14)가 승강가능하게 설치되어 이송이 완료된 기판(2)의 상면에 간지(21)를 올려 놓게 되므로 간지 이송장치의 설치에 따른 별도의 공간을 구비하지 않아도 됨은 물론 기판의 이송간에 흡착패드(18)가 간지를 홀딩하여 대기하고 있다가 이송이 완료되는 즉시 기판(2)의 상면에 간지를 올려 놓게 되므로 기판의 언로딩에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있게 된다.As described above, the present invention includes a stacker 22 on which the interleaves 21 are stacked above the substrate transfer roller 3, and a suction pad is disposed between the stacker and the substrate 2 mounted on the dog 4. The slider 14 provided with 18 is provided to be movable up and down. Since the interlayer 21 is placed on the upper surface of the transfer substrate 2, it is not necessary to have a separate space according to the installation of the interlayer transfer device, and the suction pad 18 holds the interlayer between the transfers of the substrate and waits. Then, as soon as the transfer is completed, the separator is placed on the upper surface of the substrate 2, thereby reducing the time required for unloading the substrate.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2020000015358U KR200200837Y1 (en) | 2000-05-29 | 2000-05-30 | Automatic Unloading Device of Board |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020000029138A KR100342843B1 (en) | 2000-05-29 | 2000-05-29 | Automatic Unloading Device of Board |
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Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020000029138A Division KR100342843B1 (en) | 2000-05-29 | 2000-05-29 | Automatic Unloading Device of Board |
Publications (1)
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ID=26637631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
| Country | Link |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100832483B1 (en) | 2007-07-05 | 2008-05-26 | 주식회사 인아텍 | A base plate transfer method |
-
2000
- 2000-05-30 KR KR2020000015358U patent/KR200200837Y1/en not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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