KR20020078192A

KR20020078192A - A level inspection tool for a semiconductor device fabrication installation

Info

Publication number: KR20020078192A
Application number: KR1020010018218A
Authority: KR
Inventors: 유현수
Original assignee: 삼성전자 주식회사
Priority date: 2001-04-06
Filing date: 2001-04-06
Publication date: 2002-10-18

Abstract

PURPOSE: A horizontality inspection tool used in a semiconductor fabricating process is provided to check the horizontality of a wafer transfer arm or wafer stage, by installing a horizontality inspection unit on a disc-type plate like a wafer. CONSTITUTION: A disc-type plate(110) has the same type and size as the wafer. The horizontality inspection unit(120) is installed on the disc-type plate. The horizontality inspection unit includes the first bar-type horizontal gauge for inspecting the horizontality of an X axis and the second bar-type horizontal gauge for inspecting the horizontality of a Y axis.

Description

A LEVEL INSPECTION TOOL FOR A SEMICONDUCTOR DEVICE FABRICATION INSTALLATION}

본 발명은 웨이퍼 이송 장치 또는 웨이퍼가 놓이는 스테이지의 수평 상태를 작업자가 육안으로 쉽게 확인하는데 사용하는 반도체 제조 공정에 사용되는 수평 점검 툴에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a horizontal inspection tool used in a semiconductor manufacturing process that is used by the operator to visually check the horizontal state of a wafer transfer device or a stage on which a wafer is placed.

현재 반도체 설비에서 이송 로봇 또는 웨이퍼가 놓이는 장소(인덱스, 스테이지, 캐리어 등)는 여러 가지 원인에 의해 그 수평이 틀어지게 되는 경우가 발생하게 된다. 특히, 웨이퍼를 이송하는 이송 로봇이나, 웨이퍼가 놓여지는 스핀 스테이지의 수평 상태에 이상이 발생할 경우 웨이퍼가 스크래치(Scratch)되거나 깨지는 문제점이 발생할 수 있다.Currently, the place where the transfer robot or the wafer is placed in the semiconductor facility (index, stage, carrier, etc.) may be displaced by various causes. In particular, when an abnormality occurs in the horizontal state of the transfer robot or the spin stage on which the wafer is placed, the wafer may be scratched or broken.

이러한 문제를 사전에 예방하기 위해 작업자는 정기적으로 그 수평 상태를 육안으로 확인하는 점검 작업을 실시하고 있다. 그러나, 그 수평 점검은 작업자의 육안으로 1차 확인하고, 의심이 가는 곳은 막대형의 수평 게이지로 X축과 Y축을 각각 확인하기 때문에, 기존에는 정확한 점검이 이루어지지 않고 있다.In order to prevent such a problem in advance, the worker regularly performs a check operation to visually check the horizontal state. However, the horizontal inspection is first checked by the naked eye of the operator, and the suspected place is the horizontal gauge of the bar type, which checks the X-axis and the Y-axis, respectively, and thus, the accurate inspection has not been made in the past.

이처럼, 기존에는 웨이퍼와 같은 사이즈로 레벨을 조정하는 톨(tool)이 없다. 따라서, 웨이퍼 이송장치 및 플랫 존 정렬 장치 뿐만 아니라 인덱스, 웨이퍼를 담는 캐리어의 레벨을 확인하여 그 불량 상태를 점검할 수 있는 방법이 없었다.As such, there is no tool to adjust the level to the same size as the wafer. Therefore, there was no method of checking the defective state by checking the level of the carriers containing the indexes and the wafers as well as the wafer transfer device and the flat zone alignment device.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 신속하고 정확하게 수평 상태를 점검할 수 있는 반도체 제조 공정에 사용되는 수평 점검 툴을 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve such a conventional problem, and an object thereof is to provide a horizontal inspection tool used in a semiconductor manufacturing process capable of quickly and accurately checking a horizontal state.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수평 점검 톨의 사시도;1 is a perspective view of a horizontal check toll in accordance with a preferred embodiment of the present invention;

도 2는 본 발명의 수평 점검 톨의 사용상태도;2 is a state diagram of use of the horizontal inspection toll of the present invention;

도 3은 본 발명의 수평 점검 톨의 사용상태도;3 is a use state diagram of the horizontal inspection toll of the present invention;

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 수평 점검 톨의 변형 예이다.4 is a modified example of the horizontal check toll in accordance with a preferred embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

110 : 원판120 : 수평 확인 수단110: disc 120: horizontal check means

122 : 원형 수평 게이지124 : 막대 수평 게이지122: circular horizontal gauge 124: bar horizontal gauge

200 : 웨이퍼 이송 아암300 : 인덱스200: wafer transfer arm 300: index

W : 웨이퍼W: Wafer

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 수평 점검 툴은 웨이퍼의 형상 및 크기와 동일한 원판과; 상기 원판의 상면에 설치되는 수평 확인 수단을 갖는다.According to a feature of the present invention for achieving the above object, the horizontal inspection tool comprises a disc that is the same as the shape and size of the wafer; It has a horizontal identification means installed on the upper surface of the disc.

이와 같은 본 발명에서 상기 수평 확인 수단은 X축과 Y축의 수평 상태를 확인할 수 있는 원형의 수평 게이지일 수 있다.In the present invention as described above, the horizontal check means may be a circular horizontal gauge that can check the horizontal state of the X-axis and Y-axis.

이와 같은 본 발명에서 상기 수평 확인 수단은 X축의 수평 상태를 확인할 수 있는 제 1 막대 수평 게이지와, Y축의 수평 상태를 확인할 수 있는 제 2 막대 수평 게이지일 수 있다.In the present invention as described above, the horizontal check means may be a first bar horizontal gauge capable of confirming the horizontal state of the X-axis, and a second bar horizontal gauge capable of confirming the horizontal state of the Y-axis.

예컨대, 본 발명의 실시예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예들로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다.For example, the embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below.

본 실시예들은 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.These examples are provided to more fully explain the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a clearer description.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 4에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 4. In addition, in the drawings, the same reference numerals are denoted together for components that perform the same function.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이송 아암의 티칭용 톨을 보여주는 사시도이다.1 is a perspective view showing a toll for teaching the transfer arm according to a preferred embodiment of the present invention.

이에 도시한 바와 같이, 본 고안의 수평 점검 툴(tool)(100)은 반도체 설비에서 이송 로봇 또는 캐리어가 놓이는 인덱스, 웨이퍼가 놓이는 스테이지 등의 장소의 수평을 확인하는 공구이다.As shown in the drawing, the horizontal inspection tool 100 of the present invention is a tool for checking the level of a place such as an index on which a transfer robot or a carrier is placed, a stage on which a wafer is placed, and the like in a semiconductor facility.

상기 수평 점검 툴(100)은 웨이퍼의 형상 및 크기와 동일한 원판(110)를 가지며, 이 원판(110)의 상면에는 수평 확인 수단(120)이 설치되어 있다. 상기 수평 확인 수단(120)은 도 1에 도시된 바와 같이, X축과 Y축의 수평 상태를 한눈에 확인할 수 있는 원형 수평 게이지(122)로 이루어진다. 상기 원형 수평 게이지(122)에는 X축과 Y축으로 눈금을 표시하여 그 치우침 정도를 쉽게 알아볼 수 있도록 하였다.The horizontal inspection tool 100 has a disk 110 that is the same as the shape and size of the wafer, and the horizontal check means 120 is provided on the upper surface of the disk 110. As shown in FIG. 1, the horizontal checking means 120 includes a circular horizontal gauge 122 that can check the horizontal state of the X-axis and the Y-axis at a glance. The circular horizontal gauge 122 is marked by the X-axis and Y-axis so that the degree of bias can be easily recognized.

물론, 상기 수평 확인 수단(120)은 도 4에 도시된 바와 같이, X축과 Y축의 수평 상태를 각각 확인할 수 있는 막대 수평 게이지(124)로 이루어질 수도 있다.Of course, the horizontal check means 120 may be formed of a bar horizontal gauge 124 that can check the horizontal state of the X-axis and Y-axis, respectively, as shown in FIG.

이와 같은 본 발명의 수평 점검 툴(100)은 도 2에서 보여주는 바와 같이, 웨이퍼 이송 아암(200)의 수평 상태를 손쉽게 확인하는 있을 뿐만 아니라, 도 3에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)가 로딩/언로딩되는 인덱스(300)의 평행상태도 쉽게 확인할 수 있다.As shown in FIG. 2, the horizontal inspection tool 100 of the present invention not only easily checks the horizontal state of the wafer transfer arm 200, but also, as shown in FIG. 3, the wafer W is loaded. It is also possible to easily check the parallel state of the index 300 to be unloaded.

이와 같은 수평 점검 툴(100)은 웨이퍼를 이송하는 로봇 및 플랫 존을 정렬하는 장치, 인덱스 장치 등의 틀어짐으로 인한 공정 에러를 여러 사람이 보다 손쉽고 공통적인 방법으로 그 수평을 점검할 수 있는 이점이 있다.Such a horizontal inspection tool 100 has the advantage that several people can check the horizontal in a more easy and common way the process error caused by the distortion of the robot for transporting wafers, the flat zone aligning device, the indexing device, etc. have.

이상에서, 본 발명에 따른 수평 점검 툴의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.In the above, the configuration and operation of the horizontal inspection tool according to the present invention is shown in accordance with the above description and drawings, but this is only an example and various changes and modifications are possible within the scope without departing from the spirit of the present invention. Of course.

이와 같은 본 발명을 이용하면, 웨이퍼와 같은 형태의 원판위에 수평확인 수단을 설치함으로써, 웨이퍼 이송 아암이나, 웨이퍼가 놓이는 스테이지 등과 같은 곳의수평을 한눈에 판단할 수 있으며, 각각 다른 육안 판별을 없애고 정확하고 공통적인 레벨 점검이 가능하다.By using the present invention, by providing a horizontal check means on the disk of the wafer-like shape, it is possible to determine the horizontal level of the wafer transfer arm, the stage where the wafer is placed, etc. at a glance, and eliminate different visual discrimination. Accurate and common level checks are possible.

Claims

A disc identical in shape and size to the wafer;

And a horizontal checking means provided on an upper surface of the original plate.

The method of claim 1,

The horizontal check means is a horizontal check tool used in a semiconductor manufacturing process, characterized in that the circular horizontal gauge that can check the horizontal state of the X-axis and Y-axis.

The method of claim 1,

The horizontal checking means is a horizontal inspection tool used in a semiconductor manufacturing process, characterized in that the first bar horizontal gauge that can confirm the horizontal state of the X-axis, and the second bar horizontal gauge that can confirm the horizontal state of the Y-axis.