KR20010073583A - Auto loader apparatus for manufacturing semiconductor device - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An auto loader apparatus for manufacturing semiconductor is provided to prevent a wafer and a linear arm damaging by sensing the right position of the auto loader apparatus. CONSTITUTION: A linear arm support(12) is coupled in the lower end bent part of an auxiliary support(10) whose upper end part and lower end part are bent. An auto loader support(14) is arranged in the direction intersecting with the center perpendicular plane of the auxiliary support(10). A receiving sensor(22) and a luminous sensor(24) senses the right position of the linear arm support(12) and the auto loader support(14). The receiving sensor(22) is arranged on the upper side of the linear arm support(12), and the luminous sensor(23) is arranged on the lower side of the auto loader support(14).

Description

반도체 제조용 오토로더 장치{Auto loader apparatus for manufacturing semiconductor device}Auto loader apparatus for semiconductor manufacturing

본 발명은 반도체 제조용 오토로더 장치(Auto loader equipment)의 정위치 감지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 오토로더 지지대 및 리니어 암 지지대의 정위치 상태를 감지하여 오토로더 장치가 정위치에서 작동될 수 있도록 함으로써 웨이퍼의 손상 및 설비 결함을 예방할 수 있게 한 반도체 제조용 오토로더 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an in-situ sensing device of an auto loader equipment for semiconductor manufacturing, and more particularly, to detect an in-situ state of an autoloader support and a linear arm support so that the autoloader device can be operated in place. The present invention relates to an autoloader device for manufacturing a semiconductor that can prevent damage and equipment defects.

일반적으로 반도체장치는 사진, 증착, 식각, 박막형성공정 등 많은 공정을 반복적으로 수행하여 제조되고 상기 반도체장치를 제조하기 위한 웨이퍼는 다수매씩 카세트내에 적재된 상태에서 각 공정으로 운반되어진다.In general, a semiconductor device is manufactured by repeatedly performing a number of processes such as photographing, deposition, etching, and thin film formation, and a plurality of wafers for manufacturing the semiconductor device are transferred to each process in a state where a plurality of wafers are stacked in a cassette.

따라서 카세트 내에 적재된 웨이퍼를 꺼내어 공정을 실시하고 공정을 마친 웨이퍼는 다시 카세트 내에 넣어 적재하는 작업이 수시로 이루어지며 이러한 작업은 모두 자동화시스템에 의해 자동으로 이루어지도록 되어 있다.Therefore, the wafers loaded in the cassettes are taken out to carry out the process, and the finished wafers are put back into the cassettes from time to time, and all of these operations are performed automatically by an automated system.

이러한 오토로더 장치로는 엘리베이터 블록(elevator block), 리니어 암 블록(linear arm block), 프리얼라이너 블록(prealigner block) 등으로 이루어진 케이엘에이(KLA) 5XXX 설비가 있다.Such an autoloader device includes a KLA 5XXX facility comprising an elevator block, a linear arm block, a prealigner block, and the like.

그리고, 상기 모든 블록은 보조지지대에 의해 설비의 메인(main) 지지대에 연결되어 있으며, 특히 리니어 암 블록은 보조지지대에 상하좌우 모든 위치로 조정할 수 있도록 연결되어 있다.And, all the blocks are connected to the main support (main) of the installation by the auxiliary support, in particular the linear arm block is connected to the auxiliary support can be adjusted to all positions up, down, left and right.

일례로 종래 기술의 오토로더 장치에 대해 첨부된 도면에 의거 설명하면 다음과 같다.As an example, the autoloader device of the prior art will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1에서 나타낸 것과 같이 종래 기술의 오토로더 장치는 보조지지대(10)의 하단부에 리니어 암 지지대(12)가 연결되고 상기 보조지지대(10)의 중앙부에 오토로더 지지대(14)가 결합되는 구성으로 되어 있다.As shown in FIG. 1, the autoloader device according to the related art has a structure in which a linear arm support 12 is connected to a lower end of an auxiliary support 10, and an autoloader support 14 is coupled to a central portion of the auxiliary support 10. .

상기 보조지지대(10)는 상, 하단부가 같은 방향으로 절곡된 형상을 하며 하단 절곡부 상면에는 리니어 암 지지대(12)가 보울트(16)로 연결될 수 있게 체결공(도시되지 않음)이 형성되어 있고, 중앙 수직면에는 오토로더 지지대(14)가 고정보울트(18)에 의해 고정될 수 있도록 한 쌍의 타원형 체결공(10a)이 형성되어 있다.The auxiliary support 10 has a shape in which the upper and lower ends are bent in the same direction, and a fastening hole (not shown) is formed on the upper surface of the lower bent portion so that the linear arm support 12 can be connected to the bolt 16. In the central vertical plane, a pair of elliptical fastening holes 10a are formed so that the autoloader support 14 can be fixed by the high information bolt 18.

상기 리니어 암 지지대(12)는 일단부가 보조지지대(10)의 절곡된 하단부 상면에서 그 타단부가 상기 절곡된 하단부와 같은 방향으로 연장되도록 보울트 체결되는 사각판재 형상을 하고 있다.The linear arm support 12 has a rectangular plate shape in which one end is bolted so that the other end thereof extends in the same direction as the bent lower end at the upper end of the bent lower end of the auxiliary support 10.

상기 오토로더 지지대(14)는 보조지지대(10)의 수직면 중앙에서 이 수직면에 대해 수평으로 직교되도록 배치된 상태에서 상기 보조지지대(10)의 수직면 체결공(10a)에 체결될 수 있도록 소정길이를 갖는 한 쌍의 고정보울트(18)가 형성된 사각판재 형상을 하고 있다.The autoloader support 14 has a predetermined length so that the autoloader support 14 can be fastened to the vertical surface fastening hole 10a of the auxiliary support 10 in a state arranged to be orthogonal to the vertical plane at the center of the vertical surface of the auxiliary support 10. It has the shape of a square plate formed with a pair of high information nuts 18.

여기서, 상기 오토로더 지지대(14)는 보조지지대(10)의 수직면과 소정거리 이격된 상태로 고정된다.Here, the autoloader support 14 is fixed in a state spaced apart from the vertical surface of the auxiliary support 10 by a predetermined distance.

다시 말해서, 상기 오토로더 지지대(14)에 마련된 한 쌍의 고정보울트(18)를 보조지지대(10)의 체결공(10a)으로 관통시키고 그 반대면으로 관통 돌출된 고정보울트(18)에 너트(20)를 체결시켜 상기 오토로더 지지대(14)가보조지지대(10)의 수직면에서 소정거리 이격된 상태로 고정되도록 한다.In other words, the nut 20 is inserted into the high information bolt 18 through the pair of high information nuts 18 provided in the autoloader support 14 through the fastening holes 10a of the auxiliary support 10 and protruded through the opposite side thereof. The autoloader support 14 is fixed to be spaced apart from the vertical surface of the auxiliary support 10 by a predetermined distance.

이러한 구성에 따른 종래 기술의 오토로더 장치는 보조지지대(10)의 절곡된 하단부 상면에 리니어 암 지지대(12)가 보조지지대(10)의 하단 절곡부의 절곡방향을 따라 연장되도록 보울트(16)로 체결되고, 상기 보조지지대(10)의 수직면 중앙에 오토로더 지지대(14)가 십자형으로 교차되도록 하는 동시에 소정거리 이격되도록 하여 결합된다.The autoloader device of the prior art according to this configuration is fastened with a bolt 16 so that the linear arm support 12 extends along the bending direction of the lower bent portion of the auxiliary support 10 on the upper surface of the bent lower portion of the auxiliary support 10. In the center of the vertical surface of the auxiliary support 10, the autoloader support 14 is cross-crossed and at the same time spaced apart by a predetermined distance is coupled.

그러나, 상기와 같은 오토로더 장치는 리니어 암 지지대(12) 및 오토로더 지지대(14)가 보울트체결에 의해 공중에 매달려 있는 상태로 있기 때문에 설비 동작시 발생되는 진동 및 자체 무게에 의해 보울트 체결이 느슨해져 상기 블록(12), (14) 들의 위치가 틀어지게 되고, 이에 따라 웨이퍼 인(IN)시 웨이퍼 위치불량에 따른 에러를 유발하여 웨이퍼가 추락될 수 있으며, 또한 웨이퍼의 플랫존(flat zone) 검출 후 로봇팔 작동시 웨이퍼와 부딪힘이 발생하고, 한편, 웨이퍼를 척(chuck)에 인/아웃시킬 때도 리니어 암과 척과의 충돌(긁고 지나감)이 생기며, 척 내의 웨이퍼와 로봇팔과의 위치불량에 의한 충돌 등에 의해 웨이퍼의 손실 및 리니어 암의 수명단축을 야기시키는 등의 문제점을 갖고 있었다.However, in the above autoloader device, since the linear arm support 12 and the autoloader support 14 are suspended in the air by bolting, bolt fastening is loosened due to vibration and self-weight generated during the operation of the block. The positions of (12) and (14) are distorted, which may cause an error due to wafer misplacement during wafer in, causing the wafer to fall, and after detecting the flat zone of the wafer, the robot When the arm is in operation, the wafer collides with the wafer. Meanwhile, when the wafer is in / out of the chuck, a collision (scratching and passing) between the linear arm and the chuck occurs, and due to a misposition between the wafer and the robot arm in the chuck. Problems such as the loss of wafers and the shortening of the lifetime of the linear arm due to collisions, etc. .

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출된 것으로서, 오토로더 장치의 정위치를 감지할 수 있도록 함으로써 웨이퍼 및 리니어 암 등의 손상을 미연에 방지할 수 있도록 하는 반도체 제조용 오토로더장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and provides an autoloader device for semiconductor manufacturing that can detect an exact position of the autoloader device, thereby preventing damage to wafers and linear arms in advance. There is a purpose.

도 1은 종래 기술의 반도체 제조용 오토로더 장치의 결합상태를 나타낸 사시도이다.1 is a perspective view showing a coupling state of a conventional autoloader device for semiconductor manufacturing.

도 2는 본 발명에 의한 반도체 제조용 오토로더 장치에 정위치 감지센서가 설치된 상태를 나타낸 사시도이다.Figure 2 is a perspective view showing a state in which the position sensor is installed in the autoloader device for manufacturing a semiconductor according to the present invention.

도 3a, 3b, 3c는 본 발명에 의한 오토로더 장치의 정위치 감지센서의 작동상태를 나타낸 개략도이다.Figure 3a, 3b, 3c is a schematic diagram showing the operating state of the position sensor of the autoloader device according to the present invention.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**** Description of the symbols for the main parts of the drawings **

10 : 보조지지대 10a : 체결공10: auxiliary support 10a: fastening hole

12 : 리니어 암 지지대 14 : 오토로더 지지대12: linear arm support 14: autoloader support

16 : 보울트 18 : 고정보울트16: bolt 18: high information bolt

20 : 너트 22 : 수광센서20: nut 22: light receiving sensor

24 : 발광센서24: light emitting sensor

이와 같은 상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 제조용 오토로더 장치는 상, 하단부가 일방으로 절곡된 보조지지대의 하단 절곡부에 리니어 암 지지대가 이 보조지지대의 절곡방향을 따라 나란히 결합되고, 상기 보조지지대의 중앙 수직면과 교차하는 방향으로 배치된 오토로더 지지대가 상기 중앙 수직면에 결합되는 반도체 제조용 오토로더 장치에 있어서, 상기 리니어 암 지지대와 오토로더 지지대에 이들의 정위치를 감지하는 수, 발광센서가 각각 설치됨을 특징으로 한다.In the semiconductor manufacturing autoloader device according to the present invention for achieving the above object, the linear arm support is coupled side by side in the bending direction of the auxiliary support, the upper and lower ends of the auxiliary support bent in one direction, In an autoloader device for semiconductor manufacturing, in which an autoloader support disposed in a direction intersecting with a central vertical plane of an auxiliary support is coupled to the central vertical plane, wherein the linear arm support and the autoloader support detect the correct position of the autoloader support, and a light emitting sensor is installed, respectively. It is characterized by.

또한, 본 발명에 의한 반도체 제조용 오토로더 장치에 있어서, 상기 수, 발광센서는 정확히 마주볼 수 있도록 리니어 암 지지대의 상면과 오토로더 지지대의 저면에 각각 설치됨이 바람직하다.In addition, in the autoloader apparatus for manufacturing a semiconductor according to the present invention, the number and the light emitting sensor are preferably installed on the upper surface of the linear arm support and the lower surface of the autoloader support so as to face each other accurately.

또한, 본 발명에 의한 반도체 제조용 오토로더 장치에 있어서, 상기 수, 발광센서는 오토로더 장치의 정위치를 정확히 감지할 수 있도록 상기 리니어 암 지지대와 오토로더 지지대에 다수개씩 설치됨이 바람직하다.In addition, in the autoloader device for manufacturing a semiconductor according to the present invention, it is preferable that a plurality of light emitting sensors are provided on the linear arm support and the autoloader support so as to accurately detect the exact position of the autoloader device.

이하, 첨부된 도면에 의거 본 발명의 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2 내지 도 3c에서 나타낸 것과 같이, 본 발명에 따른 오토로더 장치는 상, 하단부가 일방으로 절곡된 보조지지대(10)의 하단 절곡부에결합되어 있는 리니어 암 지지대(12)와, 상기 보조지지대(10)의 중앙 수직면과 교차하는 방향으로 배치된 오토로더 지지대(14)에 이들의 정위치를 감지하는 수, 발광센서(22), (24)가 각각 설치되는 구성으로 되어 있다.As shown in Figure 2 to 3c, the autoloader device according to the present invention is a linear arm support 12 coupled to the lower bent portion of the auxiliary support 10, the upper and lower ends are bent in one direction, and the auxiliary support ( The number and light emitting sensors 22 and 24 for detecting their exact positions are provided in the autoloader support 14 arranged in the direction crossing the center vertical plane of 10).

상기 수, 발광센서(22), (24)는 서로 정확히 마주볼 수 있도록 리니어 암 지지대(12)의 상면과 오토로더 지지대(14)의 저면에 각각 설치되어 있다.The number and light emitting sensors 22 and 24 are respectively provided on the upper surface of the linear arm support 12 and the lower surface of the autoloader support 14 so as to face each other accurately.

그리고, 상기 수, 발광센서(22), (24)는 오토로더 장치의 정위치를 정확히 감지할 수 있도록 상기 리니어 암 지지대(12)와 오토로더 지지대(14)에 다수개씩 설치됨이 바람직하다.In addition, the number, the light emitting sensors 22, 24 are preferably provided in plurality on the linear arm support 12 and the autoloader support 14 so as to accurately detect the exact position of the autoloader device.

이러한 구성의 본 발명은 웨이퍼를 로딩시킨 후 블록들의 정위치를 점검하여 위치가 정확하면 웨이퍼를 체크, 웨이퍼 언로딩, 작업종료 순으로 오토로더가 작동되고, 상기 웨이퍼를 로딩시킨 후 블록들의 정위치를 점검하여 위치가 변동되어 있으면 오토로더의 동작을 정지시킨다.According to the present invention, after loading the wafer, the autoloader is operated in the order of checking the correct position of the blocks and checking the wafer if the position is correct, unloading the wafer, and ending the operation, and correcting the correct position of the blocks after loading the wafer. Check and stop the autoloader if the position is changed.

이렇게, 상기 리니어 암 지지대(12)와 오토로더 지지대(14)의 수, 발광센서(22), (24)에 의해 상기 설비들의 정위치를 정확히 감지하여 웨이퍼 작동시 웨이퍼 위치가 양호하여 정확히 인(IN)되도록 하고, 또한 웨이퍼의 플랫존(flat zone) 검출 후 로봇팔 인(IN)시 웨이퍼와 부딪힘이 방지되도록 하며, 웨이퍼를 척(chuck)에 인/아웃시킬 때도 리니어 암과 척과의 충돌(긁고 지나감) 및 척 내의 웨이퍼와 로봇팔과의 위치불량에 의한 충돌 등을 방지하여 웨이퍼가 정확히 작동되도록 한다.In this way, the number of the linear arm support 12 and the autoloader support 14, the light emitting sensors 22, 24 accurately detect the correct position of the equipment to ensure that the wafer position is good when the wafer is operating correctly (IN It also prevents colliding with the wafer during robot arm in (IN) after detecting the flat zone of the wafer, and also collides with the linear arm and the chuck when the wafer is in / out of the chuck. And the collision caused by a misalignment between the wafer and the robot arm in the chuck, so that the wafer can operate correctly.

이상에서 기술한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조용 오토로더 장치는 각각의 블록에 정위치 감지센서를 설치하여 이들의 정위치를 감지할 수 있도록 함으로써 웨이퍼 및 설비의 손상을 사전에 예방할 수 있는 효과를 얻는다.As described above, in the semiconductor manufacturing autoloader device according to the present invention, an exact position sensor is installed in each block to detect the exact position thereof, thereby obtaining an effect of preventing damage to the wafer and equipment in advance. .

이상의 설명에서와 같이 본 발명은 하나의 바람직한 구체예에 대해서만 기술하였으나, 상기의 구체예를 바탕으로 한 본 발명의 기술사상 범위 내에서의 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 또한, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.As described above, the present invention has been described for only one preferred embodiment, but it is apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the technical spirit of the present invention based on the above embodiments. It is natural that such variations and modifications fall within the scope of the appended claims.

Claims (3)

상, 하단부가 일방으로 절곡된 보조지지대의 하단 절곡부에 리니어 암 지지대가 이 보조지지대의 절곡방향을 따라 나란히 결합되고, 상기 보조지지대의 중앙 수직면과 교차하는 방향으로 배치된 오토로더 지지대가 상기 중앙 수직면에 결합되는 반도체 제조용 오토로더 장치에 있어서,The linear arm support is coupled side by side in the bending direction of the auxiliary support, and the autoloader support disposed in the direction intersecting with the central vertical plane of the auxiliary support is arranged at the lower bent portion of the auxiliary support having the upper and lower ends bent in one direction. In the autoloader device for manufacturing a semiconductor coupled to, 상기 리니어 암 지지대와 오토로더 지지대에 이들의 정위치를 감지하는 수, 발광센서가 각각 설치됨을 특징으로 하는 반도체 제조용 오토로더 장치.The linear arm support and the autoloader support for auto-loader device for semiconductor manufacturing, characterized in that the number and the light emitting sensor for detecting their exact position is installed respectively. 제1항에 있어서, 상기 수, 발광센서는 정확히 마주볼 수 있도록 리니어 암 지지대의 상면과 오토로더 지지대의 저면에 각각 설치됨을 특징으로 하는 상기 반도체 제조용 오토로더 장치.The autoloader device for semiconductor manufacturing according to claim 1, wherein the number and light emitting sensors are respectively provided on the upper surface of the linear arm support and the lower surface of the autoloader support so as to face each other accurately. 제1항에 있어서, 상기 수, 발광센서는 오토로더 장치의 정위치를 정확히 감지할 수 있도록 상기 리니어 암 지지대와 오토로더 지지대에 각각 다수개씩 설치됨을 특징으로 하는 상기 반도체 제조용 오토로더 장치.The autoloader device of claim 1, wherein the number and light emitting sensors are respectively provided on the linear arm support and the autoloader support so as to accurately detect the exact position of the autoloader device.
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