KR20020057212A - Auto cell sorter - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 셀 라인의 패킹 공정에 사용되는 장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 검사가 끝난 셀(cell)을 글래스 아이디(glass ID)를 기준으로 각각 종류별로 정렬하여 새로운 로트(lot)를 구성하고, 이 정보를 상위 호스트와 통신을 통하여 서로 주고받음으로써, 다중 모델 셀에 대응이 가능하고 카세트의 수납을 제외한 모든 동작이 자동으로 이루어지는 자동 셀 분류장치(auto cell sorter)에 관한 것이다.The present invention relates to a device used in the packing process of the cell line, and more particularly, to form a new lot by sorting the tested cells by type based on the glass ID. The present invention relates to an automatic cell sorter capable of coping with multiple model cells and automatically performing all operations except storing cassettes by exchanging this information with each other through communication with an upper host.
일반적인 셀 라인(cell line)의 패킹(packing) 공정을 상술하면 다음과 같다.A general packing process of a cell line will now be described.
먼저, 패킹 공정에 앞서 셀 테스터(cell tester)에서 셀을 종류 및 검사 방법에 따라 18V,20V,Q 급으로 분류하는 셀 검사 공정이 이루어진다.First, prior to the packing process, a cell test process is performed in which a cell tester classifies a cell into 18V, 20V, and Q classes according to the type and inspection method.
상기 셀 검사 공정을 통해 적정 급으로 분류된 셀은 패킹 공정에 들어가는데, 이 과정에서는 현물과 워크시트 상의 아이디(ID)를 비교하여 카세트 아이디에 따라 상위 호스트에 정보를 요청하고, 셀 아이디에 따라 정렬(sorting)을 실시한 후, 상위 호스트에 분류된 로트 아이디 및 셀 정보를 저장하게 된다.Cells classified into appropriate grades through the cell inspection process enter a packing process. In this process, IDs on the worksheet and the spot are compared to request information from the host based on the cassette ID and sorted according to the cell ID. After sorting, the lot ID and cell information classified in the upper host are stored.
이를 상술하면, 먼저 셀 검사 공정으로부터 셀 및 워크시트가 전달된다. 다음, 카세트(cassette)에 있는 셀을 한 장씩 언로딩하여 상기 워크시트와 아이디를 확인하다. 다음, PC를 이용해 상위 호스트로부터 카세트 정보를 전송받는다. 다음, 상기 워크시트와 PC 상이 데이터를 비교 확인한 후, 셀을 언로딩하여 종류별로 정렬을 실시한다. 다음, PC 상에 카세트 아이디를 써놓고 정렬된 셀 정보를 기록한 후, 상위 호스트에 새로운 정보를 저장하게 된다.In detail, the cells and worksheets are first transferred from the cell inspection process. Next, the worksheet and ID are checked by unloading the cells in the cassette one by one. Next, the cassette information is received from the host using the PC. Next, after comparing the data between the worksheet and the PC, the cells are unloaded and sorted by type. Next, after writing the cassette ID on the PC and recording the sorted cell information, new information is stored in the host.
그러나, 이러한 과정을 거치면서 다음과 같은 문제점이 대두되었다.However, the following problems emerged through this process.
첫째, 작업자가 손으로 직접 셀을 잡고 로딩 및 언로딩을 실시함에 따라 제품에 스트레스가 가해지며 작업의 효율도 떨어지게 되었다.First, as the operator directly holds the cell by hand and performs loading and unloading, the product is stressed and the work efficiency is reduced.
둘째, 작업자가 직접 정렬 정보인 셀 아이디를 타이핑함으로써, 작업에 오류가 발생할 소지가 항상 있었으며, 작업자의 육안에 의한 확인 작업은 작업자의 피로도를 증가시키는 요인이 되었다.Second, since the operator directly typed the cell ID which is the sorting information, there was always a possibility that an error occurred in the work, and the checking operation by the naked eye of the worker increased the fatigue of the worker.
셋째, 셀 아이디 확인 및 셀 로딩과 언로딩, 그리고 셀 아이디 타이핑 등 작업자에게 주어지는 부하가 너무 과중하여 작업 효율이 떨어지게 되었다.Third, the load on the operator, such as cell ID checking, cell loading and unloading, and cell ID typing, was too heavy, resulting in inefficient work efficiency.
넷째, 작업자가 직접 글래스를 다룸에 따라 정전기에 그대로 노출되었다.Fourth, as the worker directly handled the glass, it was exposed to static electricity.
다섯째, 수작업에 의한 카세트로의 셀 로딩시 카세트 슬릿과 상기 셀이 충돌하여 크랙의 발생 등 셀이 파손되는 문제가 야기되었다.Fifth, when cell loading into a cassette by hand, a cassette slit collides with the cell, causing a problem of cell breakage such as crack generation.
여섯째, 수작업으로 인한 이물질 발생의 소지를 항상 지니고 있다.Sixth, there is always the possibility of foreign matters caused by manual labor.
마지막으로, 공정 자동화 관점에서 패킹 공정만이 수작업으로 행해진다는 것은 라인 전체의 자동화 측면에서 상당히 부정적인 요소로 작용하며, 수작업에 의한 데이터 오류의 요인이 항상 잔존하게 되었다.Finally, from the process automation point of view, the only manual packing process is a significant negative factor in terms of line-wide automation, and there is always a source of manual data errors.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 셀 라인의 패킹 공정에 있어서, 카세트의 로딩 및 언로딩을 제외한 모든 동작을 자동화하여 작업자의 부하를 최소화하고, 수작업에 의한 오류의 발생을 제거함으로써 작업 효율이 상승될 수 있는 자동 셀 분류장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to minimize the load of the operator by automating all operations except the loading and unloading of the cassette in the packing process of the cell line, error by manual labor It is to provide an automatic cell sorting apparatus in which work efficiency can be increased by eliminating the occurrence of the
도 1은 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치의 전체 모습을 나타낸 횡단면도1 is a cross-sectional view showing the overall appearance of the automatic cell sorting apparatus according to the present invention;
도 2는 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치의 로딩 영역을 나타낸 단면도2 is a cross-sectional view showing a loading area of the automatic cell sorting apparatus according to the present invention.
도 3은 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치의 셀 얼라이너를 나타낸 단면도3 is a cross-sectional view showing a cell aligner of the automatic cell sorting apparatus according to the present invention.
도 4a는 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치의 언로딩 영역을 나타낸 단면도Figure 4a is a cross-sectional view showing an unloading region of the automatic cell sorting apparatus according to the present invention
도 4b는 도 4a의 A 부분을 나타낸 확대 단면도4B is an enlarged cross-sectional view illustrating a portion A of FIG. 4A.
도 4c는 도 4b의 측면도4C is a side view of FIG. 4B
도 5는 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치의 로보트 영역을 나타낸 단면도5 is a cross-sectional view showing the robot area of the automatic cell sorting apparatus according to the present invention.
도 6은 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치의 전체 모습을 나타낸 종단면도Figure 6 is a longitudinal sectional view showing the overall appearance of the automatic cell sorting apparatus according to the present invention;
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
1 : 본체10 : 로딩 영역1: main body 10: loading area
20 : 셀 얼라이너30 : 로보트 영역20: cell aligner 30: robot area
40 : 언로딩 영역51 : 이오나이저40: unloading area 51: ionizer
52 : 비시알(BCR)53 : 영역 센서52: Bisial (BCR) 53: Area sensor
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치는 본체를 이루는 프레임 내에, 셀 검사 공정이 완료된 다중 모델의 셀이 수용된 카세트가 안착되는 로딩 영역과, 상기 로딩 영역의 좌, 우측에 상기 셀에 관한 정보를 상위 호스트로부터 제공받을 수 있도록 상기 셀을 정렬시키는 셀 얼라이너와, 상기 정보에 따라 셀을 분류하고 분류된 셀을 이송하는 로보트 영역과, 상기 로보트 영역에서 이송된 셀을 각 모델별로 수용할 수 있도록 2종류의 카세트가 구비된 언로딩 영역을 포함한다.In order to achieve the above object, the automatic cell sorting apparatus according to the present invention includes a loading area in which a cassette containing a cell of a multi-model in which a cell inspection process is completed is seated in a frame constituting a main body, and on the left and right sides of the loading area. A cell aligner that aligns the cells so that information about the cells can be provided from a host host, a robot area for classifying cells according to the information and transferring the sorted cells, and a cell transferred from the robot area for each model. It includes an unloading area equipped with two kinds of cassettes for accommodating.
이 때, 상기 로딩 영역은 상기 카세트의 양 측면과 후면에 구비되어 상기 카세트를 클램핑하는 좌, 우면 클램핑 실린더 및 후면 클램핑 실린더와, 상기 카세트의 일측에 구비되어 상기 카세트에 수용된 셀의 크기를 감지하는 근접 센서와, 상기 카세트의 다른 일측에 구비되어 상기 카세트의 유무를 확인하는 포토 센서와, 상기 후면 클랭핑 실린더의 동작시 전면의 기준을 제공하고 고정을 담당하는 스토퍼로 이루어진다.At this time, the loading area is provided on both sides and the rear of the cassette, the left and right clamping cylinder and the back clamping cylinder for clamping the cassette, and provided on one side of the cassette for sensing the size of the cell accommodated in the cassette Proximity sensor, provided on the other side of the cassette is provided with a photo sensor for checking the presence of the cassette, and a stopper for providing a reference of the front surface during the operation of the rear clamping cylinder and responsible for fixing.
또한, 상기 좌, 우면 클램핑 실린더는 카세트 클랭핑시 서로 밀리는 것을 방지하기 위해 서로 용량이 다른 것을 특징으로 한다.In addition, the left and right side clamping cylinders are characterized in that they have different capacities from each other to prevent them from being pushed to each other when the cassette is clamped.
그리고, 상기 셀 얼라이너는 서보 모터와, 셀과 직접 접촉하는 부분으로 아세탈로 만들어진 블록과, 상기 서보 모터에 연결되고 상기 블록의 일단이 가이드되는 볼 스크류 및 엘엠(LM)과, 상기 블록의 일측에 구비되어 셀에 과도한 압력이 가해질 경우 상기 블록을 셀과 멀어지는 방향으로 밀어내는 실린더로 이루어진다.The cell aligner includes a servo motor, a block made of acetal in direct contact with the cell, a ball screw and an LM connected to the servo motor and guided at one end of the block, and on one side of the block. It is provided with a cylinder that pushes the block away from the cell when excessive pressure is applied to the cell.
그리고, 상기 로보트 영역은 기판 반송 로보트와, 모터와 상기 모터의 일단에 연결된 볼 스크류와 엘엠(LM)으로 이루어져 상기 기판 반송 로보트를 이동시키는 구동부와, 상기 기판 반송 로보트의 정지시 충격을 완화시키는 충격흡수부와, 상기 기판 반송 로보트의 이동 영역 주위에 구비되어, 상기 기판 반송 로보트의 이동시 발생하는 이물질을 아래로 유동시키는 타공판으로 이루어진다.The robot region includes a substrate conveying robot, a motor and a ball screw connected to one end of the motor, and a driving part for moving the substrate conveying robot, and an impact to alleviate an impact when the substrate conveying robot stops. It consists of an absorption part and the perforated plate which is provided around the moving area of the said substrate conveyance robot, and flows down the foreign substances which arise at the time of the movement of the said substrate conveyance robot.
그리고, 상기 언로딩 영역은 상기 각 카세트의 양 측면과 후면에 구비되어 상기 카세트를 클램핑하는 좌, 우면 클램핑 실린더 및 후면 클램핑 실린더와, 상기 각 카세트의 유무를 확인하는 포토 센서와, 상기 각 카세트에 삽입되는 셀의 크기를 감지하는 셀 사이즈 체커로 이루어진다.The unloading area is provided at both side and rear surfaces of each cassette, and the left and right clamping cylinders and rear clamping cylinders for clamping the cassettes, a photo sensor for checking the presence or absence of each cassette, and the respective cassettes. It consists of a cell size checker that detects the size of the inserted cell.
이 때, 상기 셀 사이즈 체커는 실린더에 연결되어 함께 이동하는 포토 센서 및 포토 커플러와 상기 포토 커플러의 이동 경로상에 일정간격으로 형성된 다수의 슬릿으로 이루어져, 상기 포토 센서 이동시 포토 커플러가 지나간 슬릿의 개수를 계산하여 셀의 크기를 감지하는 것을 특징으로 한다.At this time, the cell size checker is composed of a photo sensor and a photo coupler connected to the cylinder and move together and a plurality of slits formed at a predetermined interval on the movement path of the photo coupler, the number of slits passed by the photo coupler when the photo sensor moves It is characterized by detecting the size of the cell by calculating a.
그리고, 상기 각 카세트 별로 구비되어 제전 분위기를 조성하는 이오나이저와, 상기 로딩 영역 및 언로딩 영역에 구비되는 영역 센서(area sensor)와, 상기 언로딩 영역에 카세트 아이디를 자동으로 읽고 이를 통신할 수 있는 비시알(BCR) 유니트가 더 포함된다.An ionizer provided for each cassette to create an antistatic atmosphere, an area sensor provided in the loading area and the unloading area, and a cassette ID are automatically read and communicated with the unloading area. A BCIAL unit is further included.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자동 셀 분류장치를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an automatic cell sorting apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
먼저, 도 1은 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치의 전체 모습을 나타낸 횡단면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치의 로딩 영역을 나타낸 단면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치의 셀 얼라이너를 나타낸 단면도이다. 그리고, 도 4a는 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치의 언로딩 영역을 나타낸 단면도이고, 도 4b는 도 4a의 A 부분을 나타낸 확대 단면도이며, 도 4c는 도 4b의 측면도이다. 그리고, 도 5는 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치의 로보트 영역을 나타낸 단면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치의 전체 모습을 나타낸 종단면도이다.First, Figure 1 is a cross-sectional view showing the overall appearance of the automatic cell sorting apparatus according to the present invention, Figure 2 is a cross-sectional view showing a loading area of the automatic cell sorting apparatus according to the present invention, Figure 3 is an automatic cell sorting according to the present invention Sectional drawing showing the cell aligner of the device. 4A is a cross-sectional view showing an unloading area of the automatic cell sorting apparatus according to the present invention, FIG. 4B is an enlarged cross-sectional view showing part A of FIG. 4A, and FIG. 4C is a side view of FIG. 4B. 5 is a cross-sectional view showing a robot area of the automatic cell sorting apparatus according to the present invention, and FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing the overall appearance of the automatic cell sorting apparatus according to the present invention.
도 1에 도시된 바에 따르면, 본 발명에 따른 자동 셀 분류장치(auto cell sorter)는 본체(1)를 이루는 프레임 내부 우측에 셀 검사 공정이 완료된 다중 모델의 셀이 동일한 카세트에 수용되는 로딩 영역(10)이 위치하고, 상기 로딩 영역(10)의 양 측면에 상기 카세트에 수용된 셀의 정보를 상위 호스트(도시 생략)로부터 제공받을 수 있도록 상기 셀을 정렬시키는 셀 얼라이너(20)가 구비되며, 상기 본체(10) 내부 중앙부에 상위 호스트로부터 제공받은 정보를 이용하여 상기 셀을 분류하고 분류된 셀을 다음 영역으로 이송시키는 로보트 영역(30)이 위치하고, 상기 본체(1) 내부의 우측에는 상기 로보트(30) 영역에서 이송된 셀을 수용할 수 있도록 2개의 카세트가 구비된 언로딩 영역(40)이 위치한다.As shown in FIG. 1, an automatic cell sorter according to the present invention includes a loading area in which multiple models of cells in which a cell inspection process is completed are accommodated in the same cassette in the right side of the frame constituting the main body 1 ( 10 is located, and the cell aligner 20 is arranged on both sides of the loading area 10 to align the cells so that the information of the cells contained in the cassette can be provided from an upper host (not shown). In the central part of the main body 10, a robot area 30 for classifying the cells using the information provided from the upper host and transferring the sorted cells to the next area is located, and on the right side inside the main body 1, the robot ( 30) The unloading area 40 is provided with two cassettes to accommodate the cells transferred in the area.
이하, 상기 로딩 영역, 셀 얼라이너, 로보트 영역 및 언로딩 영역을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the loading area, cell aligner, robot area, and unloading area will be described in detail.
먼저, 도 2에 도시된 바에 따르면, 상기 로딩 영역(10)에는 카세트(15)의 좌, 우측면과 후면에 상기 카세트를 클램핑하는 좌, 우면 클램핑 실린더(11,12)와후면 클램핑 실린더(13)가 설치된다. 이 때, 상기 좌, 우면 클램핑 실린더(11,12)는 서로 용량이 다른 것을 선택하는데, 이것은 상기 좌, 우면 클램핑 실린더의 용량이 같은 경우 카세트(15)를 클램핑하거나 또는 그 후에 서로 밀리는 현상이 발생하는 것을 방지하기 위함이다. 그리고, 상기 카세트 접촉면은 롤러(도시 생략)를 사용하여 상기 후면 클램핑 실린더(13)의 동작시 구름접촉이 가능하도록 한다. 또한, 상기 후면 클램핑 실린더(13)의 브라켓에 상기 카세트(15)에 일치하는 요철(17)을 형성하여, 정확한 클램핑이 이루어지도록 한다.First, as shown in FIG. 2, in the loading area 10, left and right clamping cylinders 11 and 12 and rear clamping cylinders 13 which clamp the cassettes to the left, right and rear surfaces of the cassette 15. Is installed. At this time, the left and right clamping cylinders 11 and 12 select ones having different capacities, which may occur when the left and right clamping cylinders have the same capacity. To prevent it. In addition, the cassette contact surface allows rolling contact during operation of the rear clamping cylinder 13 using a roller (not shown). In addition, an unevenness 17 corresponding to the cassette 15 is formed on the bracket of the rear clamping cylinder 13 so that accurate clamping is performed.
한편, 상기 카세트(15)의 우측 상부에는 셀의 크기를 측정하는 근접 센서(14)가 설치된다. 즉, 상기 카세트(15)에는 여러 종류의 셀이 수용되는 바, 이들을 하나의 카세트로 대응하기 위해 카세트의 슬롯을 조정해야 하는데, 이 때 상기 근접 센서(14)가 사용된다.On the other hand, the proximity sensor 14 for measuring the size of the cell is installed on the upper right side of the cassette 15. That is, the cassette 15 is accommodated in a variety of cells, it is necessary to adjust the slot of the cassette to correspond to them as one cassette, the proximity sensor 14 is used at this time.
그리고, 상기 카세트(15)의 우측 하부에는 카세트의 유무를 감지하기 위한 포토 센서(photo sensor,16)가 설치되며, 상기 근접 센서(14)의 주위에는 후면 클램핑 실린더(13)의 동작시 전면의 기준을 제공하고 고정을 담당하는 스토퍼(stopper,18)가 설치된다.In addition, a photo sensor 16 for detecting the presence or absence of a cassette is installed at a lower right side of the cassette 15, and a front surface of the front side when the rear clamping cylinder 13 is operated around the proximity sensor 14. A stopper 18 is provided which provides a reference and is responsible for fixing.
다음, 도 3에 도시된 바에 따르면, 상기 셀 얼라이너(cell aligner,20)는 서보 모터(servo motor,21), 실린더(23), 근접 센서(24), 엘엠(LM,25), 볼 스크류(26) 및 블록(22)으로 이루어진다.Next, as shown in FIG. 3, the cell aligner 20 includes a servo motor 21, a cylinder 23, a proximity sensor 24, an LM 25, and a ball screw. It consists of 26 and the block 22.
상기 서보 모터(21)는 로딩 영역의 카세트에 수용된 셀의 크기에 따라 블록(22)을 가변적으로 유연하게 조정하기 위해 사용된 것으로, 상기 블록(22)을가이드하는 볼 스크류(26) 및 엘엠(25)이 연결된다. 그리고, 상기 실린더(23)는 서보 모터(21)의 오동작으로 셀에 가해지는 압력이 일정량을 초과할 경우 작동하여 상기 셀의 손상을 최소화하기 위한 것이다. 즉, 상기 서보 모터(21)의 오동작시 셀과 직접 접촉하는 블록(22)을 우측으로 강제 이동시키고, 상기 근접 센서(24)의 감지에 의해 인터록(interlock)이 걸리게 된다. 그리고, 상기 블록(22)은 셀에 직접 접촉하는 부분이기 때문에 아세탈로 만들어지며, 셀과의 직각도를 유지하기 위해 체결부위에 미세 조정이 가능하도록 잔공이 가공된다.The servo motor 21 is used to variably and flexibly adjust the block 22 according to the size of the cell accommodated in the cassette of the loading area, and the ball screw 26 and the elm ( 25) is connected. In addition, the cylinder 23 operates to minimize damage to the cell by operating when the pressure applied to the cell due to a malfunction of the servo motor 21 exceeds a predetermined amount. That is, when the servo motor 21 malfunctions, the block 22 directly contacting the cell is forcibly moved to the right, and an interlock is applied by the detection of the proximity sensor 24. In addition, the block 22 is made of acetal because the block 22 is in direct contact with the cell, and the remaining hole is processed to allow fine adjustment at the fastening part in order to maintain the perpendicularity with the cell.
다음, 도 4a 내지 4c에 도시된 바에 따르면, 상기 언로딩 영역(40)에는 상술한 로딩 영역의 클램핑 실린더와 같은 역할을 하는 다수의 클램핑 실린더(41,42)와 포토 센서 및 셀 사이즈 체커(cell size checker,43)가 설치된다.Next, as shown in FIGS. 4A to 4C, the unloading area 40 includes a plurality of clamping cylinders 41 and 42, photo sensors, and cell size checkers, which serve as clamping cylinders of the aforementioned loading area. size checker, 43) is installed.
그러나, 상기 언로딩 영역(40)은 크기가 다른 2종류의 카세트(45a,45b)가 구비되고 후면 기준이기 때문에, 상기 클램핑 실린더(41,42)는 카세트의 좌, 우측면에 하나씩 구비되고 전면에 푸시 타입의 클램핑 실린더(도시 생략)가 구비된다.However, since the unloading area 40 is provided with two kinds of cassettes 45a and 45b having different sizes and is on the rear side, the clamping cylinders 41 and 42 are provided on the left and right sides of the cassette, respectively, on the front side. A push type clamping cylinder (not shown) is provided.
한편, 상기 셀 사이즈 체커(43)는 2종류의 카세트(45a,45b)에 삽입되는 셀의 크기를 다수의 센서를 이용하여 감지하는 복잡한 구조를 피한 것으로, 실린더(43b)에 연결된 포토 센서(43a)와 상기 포토 센서와 함께 이동하는 포토 커플러(photo coupler,43d)와 상기 포토 커플러의 이동 경로상에 형성된 다수의 슬릿(slit,43c)으로 구성된다. 즉, 상기 포토 센서(43a)가 실린더(43b)에 의해 이동하는 동안, 상기 포토 커플러(43d)는 슬릿(43c)의 개수를 자동으로 세게 되며, 상기 슬릿의 개수는 프로그램에 미리 설정된 셀의 크기와 대응한다.On the other hand, the cell size checker 43 avoids a complicated structure of detecting the size of a cell inserted into two kinds of cassettes 45a and 45b by using a plurality of sensors, and the photo sensor 43a connected to the cylinder 43b. ) And a photo coupler 43d moving together with the photo sensor, and a plurality of slits 43c formed on the movement path of the photo coupler. That is, while the photo sensor 43a is moved by the cylinder 43b, the photo coupler 43d automatically counts the number of slits 43c, and the number of slits is the size of a cell preset in the program. Corresponds to
다음, 도 5에 도시된 바에 따르면, 상기 로보트 영역(30)에는 JEA 사의 기판 반송 로보트(31)가 수평이동 가능하도록 소정 경로상에 위치하고, 상기 기판 반송 로보트(31)를 이동시키기 위한 모터(32)와 경로를 가이드하는 볼 스크류(33) 및 엘엠(LM,34)으로 이루어진 구동부가 상기 로보트(31)의 이동시 진동을 최소화할 수 있도록 구비되며, 상기 기판 반송 로보트(31)의 하부에는 정지시에 충격을 완화하는 충격 흡수부(35)가 구비되다. 이 때, 상기 기판 반송 로보트(31)의 이동 경로 주위에 타공판(36)을 설치하여, 이동시 발생하는 이물질이 아래로 유동되는 것을 가능하게 한다.Next, as shown in FIG. 5, in the robot region 30, a substrate conveying robot 31 of JEA is positioned on a predetermined path so as to be horizontally movable, and a motor 32 for moving the substrate conveying robot 31. ) And a driving part consisting of a ball screw 33 and an LM (34) for guiding a path are provided to minimize vibrations when the robot 31 moves, and when stopped at a lower portion of the substrate conveying robot 31. The shock absorbing portion 35 to mitigate the shock is provided. At this time, the perforated plate 36 is provided around the movement path of the substrate transfer robot 31, so that foreign matters generated during the movement can flow downward.
다음, 도 6에 도시된 바에 따르면, 본체(1)의 각 카세트 영역별로 정전기를 방지하기 위해 제전 분위기를 조성하는 이오나이저(ionizer,51)가 상부 프레임에 설치되어 있는데, 도 6에는 상기 언로딩 영역부만을 도시하고 있다.Next, as shown in FIG. 6, an ionizer 51 is formed in the upper frame to form an antistatic atmosphere in order to prevent static electricity in each cassette region of the main body 1. In FIG. 6, the unloading is performed. Only the area portion is shown.
그리고, 상기 로딩 영역 및 언로딩 영역에는 작업자의 안전 대책으로 영역 센서(area sensor,53)가 설치되며, 상기 언로딩 영역의 상부 프레임에는 카세트 아이디를 자동으로 읽기 위한 비시알(BCR) 유니트(52)가 설치된다. 이 때, 상기 비시알 유니트(52)에는 통신 유니트가 구비되어 있어 상위 호스트와의 통신이 가능하다.In addition, an area sensor 53 is installed in the loading area and the unloading area as a safety measure for an operator, and a BSI unit 52 for automatically reading a cassette ID on the upper frame of the unloading area. ) Is installed. At this time, the BC unit 52 is provided with a communication unit to enable communication with a higher host.
이제, 이와 같이 구성된 자동 셀 분류장치의 전체적인 작동을 설명하면 다음과 같다.Now, the overall operation of the automatic cell sorting device configured as described above is as follows.
먼저, 전원을 인가한 후 준비 버튼을 눌림으로써, 장비의 상태 및 상위 호스트와의 통신 점검이 이루어지고, 모든 이동하는 유니트가 원점으로 복귀된다. 다음, 언로딩 영역(40)에 좌, 우면 클램핑 실린더(41,42)와 전면 클램핑 실린더가 작동되어 빈 카세트(45)가 장착된다. 다음, 비시알 유니트(52)에서 상기 카세트(45)의 아이디를 읽고 상위 호스트에 등록한다. 다음, 로딩 영역(10)에 셀 검사 공정이 완료된 혼합 셀이 수용된 카세트(15)가 좌, 우면 클램핑 실린더(11,12) 및 후면 클램핑 실린더(13)의 작용으로 안착된다.First, after the power is applied and the ready button is pressed, the state of the equipment and the communication with the upper host are checked, and all moving units are returned to the origin. Next, the left and right clamping cylinders 41 and 42 and the front clamping cylinders are operated in the unloading area 40 so that the empty cassette 45 is mounted. Next, the ID unit 52 reads the ID of the cassette 45 and registers with the host. Next, the cassette 15 in which the mixed cell in which the cell inspection process is completed is accommodated in the loading region 10 is seated by the action of the left and right clamping cylinders 11 and 12 and the rear clamping cylinder 13.
다음, 상기 로딩 영역(10)의 좌우에 있는 셀 얼라이너(20)가 카세트에 수용된 셀을 정열시킨 후, 상기 로딩 영역(10)과 언로딩 영역(40)의 카세트의 셀 유무를 확인한다. 다음, 작업자는 작업 PC 상에 아이디를 타이핑함으로써, 상기 아이디에 의한 셀 정보가 상위 호스트로부터 작업 PC 상으로 전송된다. 다음, 작업자는 제공받은 정보를 기준으로 상기 셀을 18V, 20V, Q 급으로 분류하고, 이를 워크시트와 비교하여 최종 확인한다.Next, after the cell aligner 20 on the right and left of the loading area 10 aligns the cells accommodated in the cassette, the presence or absence of a cell in the cassette of the loading area 10 and the unloading area 40 is checked. Next, the worker types an ID on the work PC, whereby cell information by the ID is transmitted from the host to the work PC. Next, the operator classifies the cell into 18V, 20V, and Q class based on the information provided, and compares it with the worksheet for final confirmation.
다음, 작업자가 시작 버튼을 누르게 되면 로보트(31)가 분류를 실시하게 된다. 이 후, 작업이 완료되면 상위 호스트로 정보가 백업되고 작업자는 카세트를 언로딩하게 된다. 이 때, 상기 언로딩 영역(40)의 카세트(45)가 풀(full)이 아닐 경우 로딩 영역의 카세트만 교체하여 작업을 계속 수행할 수 있다.Next, when the operator presses the start button, the robot 31 performs classification. After that, when the work is completed, the information is backed up to the host host and the worker unloads the cassette. At this time, when the cassette 45 of the unloading area 40 is not full, only the cassette of the loading area may be replaced to continue the operation.
본 발명에 따른 자동 셀 분류장치는 다음과 같은 효과를 제공한다.The automatic cell sorting apparatus according to the present invention provides the following effects.
첫째, 수작업을 자동화하여 작업자가 직접 셀을 접촉해야 하는 경우를 제거할 수 있고 이오나이저를 설치하여 정전기를 방지할 수 있는 환경을 구축할 수 있다.First, it is possible to automate manual operations, eliminating the need for workers to touch the cell directly, and to install an ionizer to create an environment to prevent static electricity.
둘째, 카세트의 이동은 작업자에 의해 이루어지나, 셀에 대한 작업자의 핸들링을 제거함으로써 이물질의 오염을 방지할 수 있다.Secondly, the cassette is moved by the operator, but by removing the operator's handling of the cell can prevent contamination of foreign matter.
셋째, 육안에 의한 셀 아이디의 개별 검사 및 작업 PC를 이용하여 타이핑하는 것이 자동화됨에 따라 작업자에게 가해지는 피로도를 감소시키고 작업을 효율성을 증대시킬 수 있다.Third, the automatic inspection of the cell ID by the naked eye and typing using the work PC can reduce the fatigue applied to the operator and increase the work efficiency.
넷째, 기존의 작업자를 대신하여 상위 호스트와의 통신이 자동화됨에 따라 라인의 전체 흐름을 자동화할 수 있다.Fourth, the entire flow of the line can be automated as communication with the host above is automated on behalf of the existing worker.
마지막으로, 카세트의 로딩 및 언로딩과 약간의 전산 작업만으로 모든 작업을 완료할 수 있어, 기존에 비해 작업시간 및 업무량을 축소시킬 수 있다.Finally, the loading and unloading of cassettes and a little computational work can all be completed, reducing work time and workload compared to the conventional one.
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