KR20020056613A - Heat treatment apparatus of sheet type heated body and heat treatment method of the same - Google Patents

Heat treatment apparatus of sheet type heated body and heat treatment method of the same Download PDF

Info

Publication number
KR20020056613A
KR20020056613A KR1020000086002A KR20000086002A KR20020056613A KR 20020056613 A KR20020056613 A KR 20020056613A KR 1020000086002 A KR1020000086002 A KR 1020000086002A KR 20000086002 A KR20000086002 A KR 20000086002A KR 20020056613 A KR20020056613 A KR 20020056613A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
heat treatment
unit
treatment apparatus
heating element
unit heat
Prior art date
Application number
KR1020000086002A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR100418492B1 (en
Inventor
김웅식
박성수
Original Assignee
이채우
엘지마이크론 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 이채우, 엘지마이크론 주식회사 filed Critical 이채우
Priority to KR10-2000-0086002A priority Critical patent/KR100418492B1/en
Publication of KR20020056613A publication Critical patent/KR20020056613A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100418492B1 publication Critical patent/KR100418492B1/en

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D9/00Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor
    • C21D9/46Heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering, adapted for particular articles; Furnaces therefor for sheet metals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/06Surface hardening
    • C21D1/09Surface hardening by direct application of electrical or wave energy; by particle radiation

Abstract

PURPOSE: A heat treatment apparatus of a sheet type heated body and a heat treatment method of the same are provided which not only obtain high energy efficiency and heat treatment rate when heat treating the ceramic material by forming a ceramic material into a sheet type but also improve heat treatment properties of the heated body. CONSTITUTION: The heat treatment apparatus of a sheet type heated body(115) comprises one or more unit heat treatment systems(100) on which the heated body(115) is mounted, and on which a heating element(111) that is radiated by absorbing microwaves and heat treats the heated body(115) by conducting heat generated to the heated body(115) is put; a transfer part(120) for transferring the heated body(115) to inner and outer sides of the unit heat treatment systems(100); a microwave cutoff part(160) which is installed at the transfer part(120) to prevent leakage of microwaves; a cooling gas supply part(170) for controlling temperature inside the unit heat treatment systems(100) heated by the heating element(111) by infusing cooling gas into the unit heat treatment systems(100); a reactant treatment part(180) for treating reactants generated by heating of the heated body(115); and a main control part(190) for controlling the unit heat treatment systems(100), transfer part(120), cooling gas supply part(170) and reactant treatment part(180) by sensing temperature of the heated body(115), heating element(111) and the inside of the unit heat treatment systems(100).

Description

시트형 피가열체 열처리장치 및 그 열처리방법 {HEAT TREATMENT APPARATUS OF SHEET TYPE HEATED BODY AND HEAT TREATMENT METHOD OF THE SAME}Heat treatment device for sheet-type heated object and heat treatment method {HEAT TREATMENT APPARATUS OF SHEET TYPE HEATED BODY AND HEAT TREATMENT METHOD OF THE SAME}

본 발명은 마이크로웨이브를 이용하여 시트형의 피가열체를 열처리하는 열처리장치 및 그 열처리방법에 관한 것이다.The present invention relates to a heat treatment apparatus for heat-treating a sheet-shaped object to be heated using microwaves, and a heat treatment method thereof.

성형된 피가열체를 열처리할 경우에는 전기저항에 의하여 발생되는 열로 공기를 데우고 이것을 열풍화하여 피가열체를 가열한다.When heat-treating the molded object to be heated, the air is heated by heat generated by electrical resistance and heat-heated to heat the object to be heated.

이러한 종래의 열풍가열장치는 열풍발생에 필요한 공기를 투입하기 위한 공기투입부와 공기의 필터링을 위한 공기필터링부를 가지는 공기공급장치와, 열풍을 만들기 위한 팬과 팬이 과열되는 것을 막기 위한 팬냉각부와 전기저항에 의해 열을 발생시키는 히터를 가지는 열풍발생장치를 포함한다. 또, 열풍가열장치는 발생한 열풍을 가열 공간 내부로 유도하는 연결장치와, 전체 가열장치를 기계적으로 지지하는 가열로 외벽부와 발생한 열풍을 단열 시키기 위한 단열부를 가지는 가열본체를 더 포함한다. 또, 열풍가열장치는 단열부의 온도를 측정하는 센서부와 온도 제어를 위한 제어부를 가지는 제어장치와, 피가열체를 열처리하고 난 뒤 단열부를 냉각시키기 위한 냉각가스공급장치와, 피가열체를 열처리 할 때 발생하는 반응물을 배기시키는 배기 장치와, 피가열체를 반입, 반출 및 이송시키기 위한 이송장치를 더 포함한다.The conventional hot air heater has an air supply unit having an air input unit for inputting air required for hot air generation and an air filtering unit for filtering the air, and a fan cooling unit for preventing the fan and the fan from overheating to create hot air. And a hot air generator having a heater that generates heat by electric resistance. In addition, the hot-air heating apparatus further includes a heating body having a connecting device for guiding the generated hot air into the heating space, a heating furnace outer wall part for mechanically supporting the entire heating device, and a heat insulating part for insulating the generated hot air. In addition, the hot air heating apparatus includes a control unit having a sensor unit for measuring the temperature of the heat insulation unit, a control unit for temperature control, a cooling gas supply device for cooling the heat insulation unit after the heat treatment of the heating element, and a heat treatment of the heating element. It further comprises an exhaust device for exhausting the reactants generated when, and a conveying device for carrying in, carrying out and transporting the heated object.

상기와 같이 구성된 종래의 열풍가열장치의 동작을 설명한다.The operation of the conventional hot air heating device configured as described above will be described.

먼저 피가열체를 성형하여 상기 반입부에 위치시키고, 상기 이송부를 통하여 상기 열풍가열장치의 내부로 피가열체를 투입시킨다. 그러면, 상기 공기투입부로부터 유입된 공기가 상기 공기필터링부을 거치면서 이물이 제거된 후 상기 열풍발생장치로 보내지고, 상기 히터에 의해 발생한 열을 팬으로 불어 열풍을 만든다. 열풍은 상기 열풍가열로의 단열부의 좌에서 우로 또는 우에서 좌로 또는 뒤에서 앞으로로 송풍되어 원하는 온도로 피가열체를 열처리를 하게 된다. 상기 열처리된 피가열체는 상기 냉각장치에서 발생하는 냉각가스에 의해 냉각되고 냉각이 완료되면 원하는 온도로 처리된 성형체를 얻을 수 있다.First, the object to be heated is formed and placed in the carrying-on part, and the object to be heated is introduced into the hot air heater through the transfer part. Then, the air introduced from the air inlet is passed through the air filtering unit to remove foreign matters, and then is sent to the hot air generator, and blows heat generated by the heater to a fan to create hot air. The hot air is blown from the left to the right or from the right to the left or the back to the front of the heat insulating part of the hot air heating furnace to heat-treat the heated object to a desired temperature. The heat-treated to-be-heated body may be cooled by a cooling gas generated in the cooling apparatus, and when the cooling is completed, a molded body processed at a desired temperature may be obtained.

상기와 같은 종래의 열풍가열장치는 다음과 같은 단점이 있다.The conventional hot air heating device as described above has the following disadvantages.

첫째, 피가열체를 열처리하기 위하여 전기저항체의 발열로부터 열 에너지를 공급받아 승온시킨 열풍을 사용하므로 상온의 공기뿐만 아니라 주변의 공정 장치까지 가열하여야하므로 열처리 공정의 열 효율이 매우 낮다. 둘째, 발열체의 산화 및 열풍 공급에 따라 분진 발생이 심하여 피가열체의 제품 불량이 야기된다. 셋째, 피가열체의 열처리후 급속냉각을 시키는 경우 인장응력이 발생하여 제품에 균열이 발생된다. 넷째, 열풍 방식의 경우 피가열체의 열처리 면적이 크지면 크질수록 열처리시의 온도균일성이 떨어져 제품의 건조 또는 소성처리 과정상 얼룩, 두께 불균일 및 내부구조 불량등의 각종 문제가 유발된다. 다섯째, 피가열체의 열처리 면적을 크게하거나 또는 처리 두께를 두껍게 하거나 또는 피가열체의 처리량이 증가 할 경우 열처리로의 길이가 길어야 하므로 투자비가 증가하여 생산성이 저하된다.First, in order to heat the object to be heated, since the hot air supplied with heat energy from the heat generated by the electrical resistor is heated, the heat efficiency of the heat treatment process is very low because it needs to be heated not only at room temperature but also at the surrounding process equipment. Second, dust generation is severe due to oxidation of the heating element and supply of hot air, resulting in product defects of the heating element. Third, in the case of rapid cooling after the heat treatment of the heating element, tensile stress is generated and cracks are generated in the product. Fourth, in the case of the hot air method, the larger the heat treatment area of the heated object is, the lower the temperature uniformity during heat treatment causes various problems such as staining, thickness unevenness, and poor internal structure during the drying or plastic processing of the product. Fifth, when the heat treatment area of the heated object is increased or the thickness of the heated object is increased or the throughput of the heated object is increased, the length of the heat treatment furnace must be long, so that the investment cost increases and productivity is lowered.

본 발명은 상기의 단점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 요업물을 시트형으로 성형하여 열처리할 때 높은 에너지 효율과 빠른 열처리 속도를 얻음과 동시에 시트형 피가열체의 열처리 물성을 개선할 수 있는 시트형 피가열체 열처리장치 및 그 열처리방법을 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the above disadvantages, an object of the present invention is to improve the heat treatment properties of the sheet-shaped heating body while at the same time to obtain a high energy efficiency and fast heat treatment rate when forming the ceramics in the form of a sheet heat treatment The present invention provides a sheet-type heated object heat treatment apparatus and a heat treatment method thereof.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리장치의 구성을 보인 도.1 is a view showing the configuration of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2a 및 도 2b는 종래의 열풍가열장치와 본 실시예에 따른 열처리장치로 피가열체를 건조시켰을 때의 내부구조를 보인 도.Figure 2a and Figure 2b is a view showing the internal structure when the heating object is dried by a conventional hot air heater and the heat treatment apparatus according to the present embodiment.

도 3a 및 도 3b는 종래의 열풍가열장치와 본 실시예에 따른 열처리장치로 피가열체를 소성하였을 때의 내부구조를 보인 도.Figure 3a and Figure 3b is a view showing the internal structure when the heated object is fired by the conventional hot air heater and the heat treatment apparatus according to this embodiment.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Description of the symbols for the main parts of the drawings *

100 : 단위열처리장치111 : 발열체100: unit heat treatment device 111: heating element

115 : 피가열체120 : 이송부115: heating element 120: transfer unit

131 : 마이크로웨이브 상측발생부135 : 마이크로웨이브 하측발생부131: microwave upper side generating unit 135: microwave lower side generating unit

140 : 캐비티150 : 애플리케이터140: Cavity 150: Applicator

160 : 마이크로웨이브 차단부170 : 냉각가스 공급부160: microwave blocking unit 170: cooling gas supply unit

180 : 반응물 처리부190 : 메인제어부180: reactant processing unit 190: main control unit

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 시트형 피가열체 열처리장치는, 시트형의 피가열체를 가열하는 열처리장치에 있어서,In the heat treatment apparatus for heating a sheet-shaped to-be-heated body according to the present invention for achieving the above object,

상기 피가열체가 탑재되고 마이크로웨이브를 흡수하여 발열하며 발생된 열을 상기 피가열체로 전도하여 상기 피가열체를 열처리하는 발열체가 놓이는 적어도 하나 이상의 단위열처리장치; 상기 단위열처리장치의 내ㆍ외측으로 피가열체를 이송하는 이송부; 상기 이송부에 설치되어 마이크로웨이브가 누설되는 것을 방지하는 마이크로웨이브 차단부; 상기 단위열처리장치의 내부로 냉각가스를 주입하여 상기 발열체에 의하여 가열된 상기 단위열처리장치 내부의 온도를 조절하는 냉각가스 공급부; 상기 피가열체의 가열에 의하여 발생되는 반응물들을 처리하는 반응물 처리부; 그리고, 상기 피가열체, 상기 발열체 및 상기 단위열처리장치 내부의 온도를 감지하여 상기 단위열처리장치, 상기 이송부, 상기 냉각가스 공급부 및 상기 반응물 처리부를 제어하는 메인제어부를 구비한다.At least one unit heat treatment device in which the heating element is mounted and absorbs microwaves to generate heat and conducts heat generated to the heating element to heat the heating element; A transfer unit which transfers the heated object to the inside and the outside of the unit heat treatment apparatus; A microwave cutoff part installed in the transfer part to prevent the microwave from leaking; Cooling gas supply unit for controlling the temperature inside the unit heat treatment apparatus heated by the heating element by injecting a cooling gas into the unit heat treatment apparatus; A reactant processing unit configured to process reactants generated by heating of the heated object; And a main control unit which senses a temperature inside the heated object, the heating element, and the unit heat treatment device to control the unit heat treatment device, the transfer unit, the cooling gas supply unit, and the reactant treatment unit.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 시트형 피가열체 열처리방법은, 시트형의 피가열체를 가열하는 열처리방법에 있어서,In the heat treatment method for heating a sheet-like to-be-heated body according to the present invention for achieving the above object,

마이크로웨이브에 의하여 발열하는 발열체에 상기 피가열체를 탑재시켜 단위열처리장치의 내ㆍ외측으로 이송하는 단계; 상기 단위열처리장치에 설치된 마이크로웨이브 발생부를 제어하여 마이크로웨이브를 발생하는 단계; 상기 피가열체를 상기 단위열처리장치로 이송할 때, 상기 단위열처리장치로부터 누설되는 마이크로웨이브를 차단하는 단계; 상기 발열체에서 발열되는 열을 1차 단열하는 단계; 상기발열체에서 발열하는 열을 2차 단열함과 동시에 마이크로웨이브의 누설을 방지하는 단계; 상기 발열체에서 발열된 열을 상기 피가열체에 전도시키는 단계; 상기 1차 단열된 온도의 조절을 위하여 냉각가스를 공급하는 단계; 상기 피가열체의 가열에 의하여 발생하는 반응물들을 처리하는 단계; 상기 피가열체, 상기 발열체 및 상기 단위열처리장치 내부의 온도를 감지하여 상기 단위열처리장치, 상기 피가열체의 이송, 상기 냉각가스의 공급 및 상기 반응물 처리를 제어하는 단계를 수행한다.Mounting the heated object on a heating element that generates heat by microwaves and transferring the inner and outer sides of a unit heat treatment apparatus; Generating a microwave by controlling the microwave generator installed in the unit heat treatment apparatus; Blocking microwaves leaking from the unit heat treatment apparatus when the heating element is transferred to the unit heat treatment apparatus; Primary insulating heat generated from the heating element; Preventing heat of the microwave at the same time as the second heat insulating heat generated by the heating element; Conducting heat generated by the heating element to the heated object; Supplying a cooling gas for controlling the primary insulated temperature; Treating reactants generated by heating of the heated object; Sensing the temperature of the heated object, the heating element, and the unit heat treatment apparatus to control the unit heat treatment apparatus, the transfer of the heated object, the supply of the cooling gas, and the treatment of the reactant.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 시트형 피가열체 열처리장치 및 그 열처리방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a sheet-like heated object heat treatment apparatus and a heat treatment method according to an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 열처리장치의 구성을 보인 도이다.1 is a view showing the configuration of a heat treatment apparatus according to an embodiment of the present invention.

도시된 바와 같이, 시트형의 발열체(111)와 시트형의 피가열체(115)가 놓이는 단위열처리장치(100)가 마련된다. 단위열처리장치(100)의 내부, 더 구체적으로는 피가열체(115)의 아래 및 위 쪽에서 마이크로웨이브를 발생시키는 마이크로웨이브 상측발생부(131) 및 마이크로웨이브 하측발생부(135)가 설치되고, 마이크로웨이브 상ㆍ하측발생부(131,135)에서 발생한 마이크로웨이브를 흡수하여 발열체(111)에서 열이 발생된다. 또, 단위열처리장치(100)의 내부에는 발열체(111)에서 발생한 열을 1차 단열시키기 위한 캐비티(140)가 설치되고, 캐비티(140)의 내부에 발열체(111) 및 피가열체(115)가 위치되어 열발생 및 가열된다. 그리고, 캐비티(140)를 감싸는 형태로 애플리케이터(150)가 단위열처리장치(100)의 내부에 설치된다. 애플리케이터(150)는 캐비티(140)를 지지하면서 2차 단열 및 마이크로웨이브의 누설을 방지하는 단열부(151) 및 외벽부(155)를 가진다.As illustrated, the unit heat treatment apparatus 100 in which the sheet-shaped heating element 111 and the sheet-shaped object to be heated 115 are provided is provided. Inside the unit heat treatment apparatus 100, more specifically, the microwave upper generating unit 131 and the microwave lower generating unit 135 for generating a microwave from below and above the heating body 115, The microwaves are absorbed by the upper and lower generators 131 and 135 to generate heat from the heating element 111. In addition, a cavity 140 is installed inside the unit heat treatment apparatus 100 to primarily insulate heat generated from the heat generating element 111, and the heat generating element 111 and the heated object 115 are provided inside the cavity 140. Is positioned to generate heat and heat. In addition, the applicator 150 is installed inside the unit heat treatment apparatus 100 in a form surrounding the cavity 140. The applicator 150 has a heat insulating portion 151 and an outer wall portion 155 supporting the cavity 140 and preventing leakage of secondary heat and microwaves.

단위열처리장치(100)의 내ㆍ외측에는 단위열처리장치(100)로 발열체(111) 또는 피가열체(115)를 반입, 이송 및 반출시키기 위한 반입부(121), 단위이송부(125) 및 반출부(129)로 이루어진 이송부(120)가 마련된다. 이때, 반입부(121)와 반출부(129)를 통하여 단위열처리장치(100) 내부의 마이크로웨이브가 누설되는 것을 방지하기 위하여 마이크로웨이브차단부(160)가 이송부(120)에 설치된다. 더 구체적으로는 반입부(121) 및 반출부(129)에 마이크로웨이브차단부(160)가 각각 설치된다.In and out of the unit heat treatment apparatus 100, an import unit 121, a unit transfer unit 125, and an export unit for carrying in, transporting, and transporting the heating element 111 or the heated object 115 to the unit heat treatment apparatus 100. The transfer part 120 including the part 129 is provided. At this time, the microwave blocking unit 160 is installed in the transfer unit 120 in order to prevent the microwaves in the unit heat treatment apparatus 100 from leaking through the import unit 121 and the export unit 129. More specifically, the microwave blocking unit 160 is provided in the import unit 121 and the export unit 129, respectively.

그리고, 단위열처리장치(100)의 외측에는 소정 온도를 데워진 캐비티(140) 공간의 온도조절을 위한 냉각가스공급부(170)가 마련되어, 캐비티(140)의 공간으로 냉각가스를 공급한다. 또, 피가열체(115)가 가열되면서 발생하는 반응물을 캐비티(140)로부터 유출시켜 처리하는 반응물처리부(180)가 단위열처리장치(100)의 외측에 마련된다. 또, 피가열체(115)의 온도, 발열체(111)의 온도 및 캐비티(140)의 온도를 검출하는 센서부(191)와, 냉각가스공급부(170)와 반응물처리부(180)의 동작을 제어하는 서브제어부(195)를 가지는 메인제어부(190)가 설치된다.In addition, the outside of the unit heat treatment apparatus 100 is provided with a cooling gas supply unit 170 for controlling the temperature of the cavity 140 warmed a predetermined temperature, supplying the cooling gas to the space of the cavity 140. In addition, a reactant treatment unit 180 for flowing out and treating a reactant generated while the heated object 115 is heated from the cavity 140 is provided outside the unit heat treatment apparatus 100. In addition, the sensor unit 191 which detects the temperature of the heating element 115, the temperature of the heating element 111, and the temperature of the cavity 140, and controls the operations of the cooling gas supply unit 170 and the reactant processing unit 180. The main controller 190 having a sub controller 195 is provided.

본 실시예에 따른 열처리장치는 단속로(Batch Furnace)형태 및 연속로 형태로 구성할 수 있다.The heat treatment apparatus according to the present embodiment may be configured in the form of a batch furnace and a continuous furnace.

단속로 형태일 경우에는 전술한 마이크로웨이브 상ㆍ하측발생부(131,135), 애플리케이터(150), 캐비티(140), 발열체(111)를 포함하는 하나의 단위열처리장치(100)와, 냉각가스공급부(170)와 반응물처리부(180)와 메인제어부(190)와 마이크로웨이브 차단부(160)와 이송부(120)로 이루어 진다.In the case of the intermittent path, one unit heat treatment apparatus 100 including the microwave upper and lower generators 131 and 135, the applicator 150, the cavity 140, and the heating element 111, and the cooling gas supply unit ( 170, the reactant processing unit 180, the main control unit 190, the microwave blocking unit 160, and the transfer unit 120.

연속로 형태일 경우에는 단위열처리장치(100)가 적어도 2개 이상 연속적으로 설치되고, 여기에 냉각가스공급부(170)와 반응물처리부(180)와 제어부(190)와 마이크로웨이브 차단부(160)와 이송부(120)로 이루어 진다. 이때, 이송부(120)는 단위열처리장치(100)로 발열체(111)와 피가열체(115)를 반입시키는 반입부(121)와, 단위열처리장치(100)내에서 발열체(111)와 피가열체(115)를 이송시키는 적어도 하나 이상의 단위이송부(125)와, 단위열처리장치(100)로부터 발열체(111)와 피가열체(115)를 반출시키는 반출부(129)로 구성된다. 그리고, 이송시키기 위한 수단으로는 메쉬벨트(Mesh Belt), 롤러(Roller), 셔틀(Shuttle) 방식의 장치들이 있으며, 이들 중 한가지 또는 다수개를 조합하여 구성한다.In the case of a continuous furnace, at least two unit heat treatment apparatuses 100 are continuously installed, and the cooling gas supply unit 170, the reactant processing unit 180, the control unit 190, the microwave blocking unit 160, It is made of a transfer unit 120. At this time, the transfer unit 120 is a carrying-in unit 121 for carrying in the heating element 111 and the heating element 115 to the unit heat treatment apparatus 100, and the heating element 111 and the heated object in the unit heat treatment apparatus 100. At least one unit transfer unit 125 for transferring the sieve 115, and the carrying out unit 129 for carrying out the heating element 111 and the heating target body 115 from the unit heat treatment apparatus (100). In addition, as a means for conveying, there are a mesh belt, a roller, and a shuttle-type device, and a combination of one or more of them is configured.

본 실시예에 따른 열처리장치의 동작 및 그 열처리방법을 설명한다.The operation of the heat treatment apparatus according to the present embodiment and the heat treatment method thereof will be described.

본 실시예에 사용되는 시트(Sheet)상 피가열체(115)는 열처리하려고 하는 시트형 요업물성형체 그 자체 또는, 무기물, 유기물,금속재질 중 어느 하나로 이루어진 시트형 기판 위에 시트형 요업물성형체가 형성되어 열처리하려고 하는 복합물을 시트형 피가열체(115)라 한다.The sheet-like to-be-heated body 115 used in the present embodiment is heat-treated by forming a sheet-like ceramic molded body on the sheet-like ceramic molded body itself, which is about to be heat-treated, or a sheet-like substrate made of any one of inorganic, organic and metal materials. The composite to be called is the sheet-like heated body 115.

피가열체(115)는 일반적으로 페이스트(Paste) 또는 슬러리(Slurry)로 표현되는 것으로, 세라믹 또는 세라믹-유리 또는 유리로 이루어진 고형분과, 성형체의 결합력 부여를 위한 비이클(Vehicle)로 이루어진 혼합물이다.(이하"요업물"이라 한다.)The to-be-heated body 115 is generally expressed as a paste or slurry, and is a mixture of solids made of ceramic or ceramic-glass or glass and a vehicle for imparting bonding strength of the molded body. (Hereinafter referred to as "consumables")

상기 요업물은 일반적으로 닥터 블레이딩, 스크린 프린팅, 캐스팅, 딥핑, 프레싱, 테이블 코팅등의 방법에 의해 시트형의 단일 또는 패턴 형상으로 구현된다.여기서 피가열체(115)는 이미 열처리가 된 시트형의 요업물 층 위에 기능을 달리하는 새로운 시트형의 요업물을 성형하거나, 기능을 달리하는 시트형의 요업물 층들을 한꺼번에 성형하는 경우도 포함한다. 이후, 피가열체(115)를 건조 또는 소성등의 열처리를 위하여 본 발명에 의한 방법 즉, 마이크로웨이브를 발생시키고 발생한 마이크로웨이브를 발열체(111)가 흡수하여 열을 발생시키면 발열체(111)위에 탑재된 피가열체(115)에 열이 전도되어 피가열체(115)를 열처리 할 수 있도록 하는 간접가열방식을 사용한다.The ceramics are generally embodied in a sheet-like single or pattern form by a method such as doctor blading, screen printing, casting, dipping, pressing, table coating, and the like. It also includes the case of forming new sheet-like ceramics having different functions on the ceramic layer or forming sheet-shaped ceramic layers having different functions at once. Thereafter, the heating element 115 is mounted on the heating element 111 when the heating element 111 generates heat by generating the microwave and generating the microwaves by heat treatment such as drying or firing. Indirect heating is used to conduct heat to the heated object 115 to heat-treat the heated object 115.

여기서 마이크로웨이브에 의한 발열 원리는 다음과 같다.Here, the principle of heat generation by microwave is as follows.

발열체 내부에 쌍극자가 존재할 경우 이 내부에 강한 전계가 주어지면 쌍극자가 전계방향으로 정열하고, 이 전계가 역방향으로 걸리게 되면 쌍극자의 방향도 반대로 배열하게 된다. 이렇게 해서 분자내에서 쌍극자의 회전이나 진동이 발생하고 그 내부 마찰에 의해서 열이 발생한다. 이때 발열체 중에서 열로 변하는 전력손실은 다음과 같이 주어진다.When a dipole is present inside the heating element, if a strong electric field is given therein, the dipole is aligned in the electric field direction, and when the electric field is caught in the reverse direction, the dipole is also arranged in the opposite direction. In this way, dipole rotation or vibration occurs in the molecule, and heat is generated by the internal friction. At this time, the power loss that is converted into heat among the heating elements is given as follows.

여기서 P는 전력손실을, f는 마이크로웨이브의 주파수(Hz)를, υ는 마이크로웨이브 전계의 크기(V/m)를, ε는 물질의 비유전율을, tanδ는 유전체 손실각을 나타낸다.Where P is the power loss, f is the frequency of the microwave (Hz), υ is the magnitude of the microwave field (V / m), ε is the relative dielectric constant of the material, and tanδ is the dielectric loss angle.

상기 전력손실을 매시간, 단위 체적에 대해서 발생하는 열량으로 환산하면 다음과 같다.The power loss is converted into heat generated per unit volume per hour as follows.

따라서 상기 공식에서 주어지는 열량 Q가 전도되어 시트형 피가열체(115)를 가열시킨다. Therefore, the amount of heat Q given in the above formula is conducted to heat the sheet-like object to be heated 115.

상기 원리를 바탕으로 본 실시예에 따른 열처리장치를 통하여 동작을 시키면 다음과 같다Based on the above principle, the operation through the heat treatment apparatus according to the present embodiment is as follows.

먼저 상기 요업물을 전술한 성형방법에 의해 시트형 피가열체(115)로 만들고 발열체(111)에 탑재시킨다. 이때, 발열체는 손실정접(Loss Tangent)값이 큰 재료로 시트형으로 압축 성형하여 만든다. 이후, 피가열체(115)와 발열체(111)를 반입부(121)에 위치시키고, 단위이송부(125)를 통하여 단위열처리장치(100)내로 투입시킨다. 그러면, 마이크로웨이브 상ㆍ하측발생부(131,135)에서 마이크로웨이브를 발열체(111)에 조사하게 된다. 이때, 마이크로웨이브 상ㆍ하측발생부(131,135)에 사용되는 마그네트론은 상용되는 915MHZ 또는 2.45GHZ의 것을 사용하며 마이크로웨이브 상ㆍ하측발생부(131,135)내에 다수 개 배열한다.First, the ceramic product is formed into a sheet-like heated object 115 by the molding method described above and mounted on the heating element 111. In this case, the heating element is made by compression molding into a sheet of a material having a high loss tangent value. Thereafter, the heating element 115 and the heating element 111 are positioned in the carrying-in unit 121, and are introduced into the unit heat treatment apparatus 100 through the unit transfer unit 125. Then, the microwaves are irradiated to the heating element 111 by the microwave upper and lower generators 131 and 135. At this time, the magnetrons used in the microwave upper and lower generators 131 and 135 are 915MHZ or 2.45GHZ, which are commonly used, and are arranged in the microwave upper and lower generators 131 and 135.

여기서 기판의 재질, 요업물의 특성, 가열온도 균일성등의 변수를 고려하여 마이크로웨이브 상ㆍ하측발생부(131,135)를 두개 다 사용하거나, 또는 마이크로웨이브 상측발생부(131)만을 사용하거나, 또는 마이크로웨이브 하측발생부(135)만을 사용할 수 있다.Here, both of the microwave upper and lower generators 131 and 135 may be used, or only the microwave upper generator 131 may be used, or the micrometer may be used in consideration of variables such as substrate material, ceramic characteristics, and heating temperature uniformity. Only the wave lower generation unit 135 may be used.

마이크로웨이브 조사가 이루어지면 발열체(111)가 발열하게 되고, 그 열이 피가열체(115)에 전달된다. 이때, 발생 열손실 방지와 균일 가열을 위한 공간이 필요하게 되는데 이는 캐비티(140)로 해결된다. 캐비티(140)는 캐비티(140) 전체를기계적으로 지지하고 또한 단열이 잘 되면서 동시에 마이크로웨이브를 잘 통과시키는, 즉 손실 정접값이 낮은 재료들을 사용하여 상기 발열체(111)로부터 발생한 열의 손실 방지와 균일 가열을 달성할 수 있다.When microwave irradiation is made, the heating element 111 generates heat, and the heat is transmitted to the heating element 115. At this time, a space for preventing heat loss and uniform heating is required, which is solved by the cavity 140. The cavity 140 mechanically supports the entire cavity 140 and is well insulated while simultaneously passing the microwave well, that is, preventing loss and uniformity of heat generated from the heating element 111 using materials having low loss tangent values. Heating can be achieved.

또한, 캐비티(140)와 더불어 애플리케이터(150)는 마이크로웨이브의 조사가 이루어 질 때, 캐비티(140)를 지지하면서 발열체(111)에서 발생한 열을 2차적으로 단열시키는 단열부(151)와, 마이크로웨이브가 단위열처리장치(100)의 외부로 누설이 되지 않도록하는 금속재질의 외벽부(155)로 구성되어 있다.In addition, when the microwave 140 is irradiated with the cavity 140, the applicator 150 supports the cavity 140 and insulates the heat generated from the heat generating element 111 secondly, and the micro The outer wall portion 155 is formed of a metal material to prevent the wave from leaking to the outside of the unit heat treatment apparatus 100.

마이크로웨이브에 의해 피가열체(115)가 열처리 될 때, 일반적으로 피가열체(115)의 제품 결함이 없도록 하기 위하여 온도 프로파일(Profile)을 따라 열처리 하게 된다. 즉, 시간당 특정 승온속도를 가지는 승온 구간과, 건조 또는 소성등의 열처리 목적에 맞게 최고온도 유지시간을 가지는 최고온도 유지구간과, 시간당 특정 냉각속도를 가지는 냉각 구간으로 구성된다.When the heating element 115 is heat treated by the microwave, it is generally heat treated along the temperature profile (Profile) in order to avoid product defects of the heating element 115. That is, it consists of a temperature increase section having a specific temperature increase rate per hour, the maximum temperature holding section having a maximum temperature holding time according to the heat treatment purpose, such as drying or firing, and a cooling section having a specific cooling rate per hour.

여기서 본 실시예에 따른 연속로 형태는 단위열처리장치(100)를 2개 이상 병렬 연결하여 상기 온도 프로파일을 구현할 수 있다.Here, the continuous furnace form according to the present embodiment may implement the temperature profile by connecting two or more unit heat treatment apparatuses 100 in parallel.

예를 들면, 3개이상이 연속적으로 연결된 경우는, 승온용 단위열처리장치(100) 1개와 최고온도 유지용 단위열처리장치(100) 1개와 냉각용 단위열처리장치(100) 1개로 연속로를 구성할 수 있다.For example, when three or more are connected in series, a continuous furnace is composed of one unit heat treatment apparatus 100 for heating, one unit heat treatment apparatus 100 for maintaining the maximum temperature, and one unit heat treatment apparatus 100 for cooling. can do.

그리고, 단위열처리장치(100) 두개가 연속적으로 마련된 경우에는, 상기 연속된 단위열처리장치중 어느 하나의 단위열처리장치가 승온 및 최고온도를 유지하는 구역이면, 다른 하나의 단위열처리장치는 냉각구역이 된다. 또는, 상기 연속된단위열처리장치중 어느 하나의 단위열처리장치가 승온구역이면, 다른 하나의 단위열처리장치는 최고온도를 유지 및 냉각구역이 된다. 즉, 승온과 최고온도 유지 역할을 함께 하는 단위열처리장치(100) 1개와 냉각용 단위열처리장치(100) 1개로 연속로를 구성할 수 있으며, 또한 승온의 정밀제어를 위하여 승온용 단위열처리장치(100)를 적어도 2개 이상으로 하고 최고온도 유지용 단위열처리장치(100) 1개와 냉각용 단위열처리장치(100) 1개로 연속로를 구성할 수 있다. 또한, 언급한 구성방법 이외에 요업물 열처리 특성에 따라 3개의 구간에 대응한 다양한 병렬 연결이 가능하다.In the case where two unit heat treatment apparatuses 100 are continuously provided, if one unit heat treatment apparatus of the continuous unit heat treatment apparatus maintains an elevated temperature and a maximum temperature, the other unit heat treatment apparatus has a cooling zone. do. Alternatively, if one unit heat treatment apparatus of the continuous unit heat treatment apparatus is a temperature raising zone, the other unit heat treatment apparatus maintains a maximum temperature and becomes a cooling zone. That is, one unit heat treatment apparatus (100) and the cooling unit heat treatment apparatus (100) for the role of maintaining the temperature and the maximum temperature can be configured as a continuous furnace, and the unit heat treatment apparatus for temperature increase for precise control of the temperature increase ( At least two 100 units may be used, and a continuous furnace may be configured by one unit heat treatment apparatus 100 for maintaining the maximum temperature and one unit heat treatment apparatus 100 for cooling. In addition, in addition to the configuration method mentioned above, various parallel connections corresponding to three sections are possible according to ceramic heat treatment characteristics.

그리고, 단속로 형태는 상기 단위열처리장치(100)를 1개 사용하여 캐비티(140) 공간 내의 온도 조절을 마이크로웨이브 발생정도와 냉각가스 공급정도를 조절함으로써 승온,최고온도 유지,냉각 구간을 연속적으로 처리하는 온도 프로파일을 구현할 수 있다.In addition, the intermittent path form continuously controls the temperature, maximum temperature, and cooling intervals by controlling the microwave generation degree and the cooling gas supply degree by controlling the temperature in the cavity 140 space using one unit heat treatment apparatus 100. It is possible to implement temperature profiles to process.

상기와 같이 피가열체(115)를 단위열처리장치(100)내에서 처리할 때 온도 프로파일의 온도조절과 피가열체(115)의 적절한 열처리 반응 특성에 대응하여 공기, 질소가스, 수소가스, 산소가스등의 냉각가스를 냉각가스공급부(170)를 통하여 공급시킨다. 또한, 피가열체(115)가 열처리 될 때 폐가스, 산화물, 탄화물등의 반응 생성물들이 발생하게 되는데, 이것은 반응물처리부(180)가 캐비티(140)로부터 반응 생성물들을 뽑아 내어 반응물들을 처리한다.As described above, when the object to be heated 115 is treated in the unit heat treatment apparatus 100, air, nitrogen gas, hydrogen gas, and oxygen are responded to the temperature control of the temperature profile and the appropriate heat treatment reaction characteristics of the object to be heated 115. Cooling gas such as gas is supplied through the cooling gas supply unit 170. In addition, when the object to be heated 115 is heat-treated, reaction products such as waste gas, oxides, carbides, etc. are generated, which reactant processing unit 180 extracts the reaction products from the cavity 140 and processes the reactants.

그리고, 반입부(121)와 반출부(129)는 단위열처리장치(100) 외부와 열려져 있기 때문에 마이크로웨이브 상ㆍ하측발생부(131,135)에서 발생한 마이크로웨이브가 단위열처리장치(100)의 외부로 누설이 될 수 있는데, 이는 마이크로웨이브 차단부(160)에 의하여 누설되지 않는다. 즉, 반입부(121)와 단위열처리장치(100)와 반출부(129)의 연결부위에 금속셔터를 설치하여 피가열체(115)가 반입 또는 반출 될 때만 셔터를 열도록 한다든지, 반입부(121)와 반출부(129)에 마이크로웨이브의 반사파와 외부로 향하는 파동의 위상차가 λ/2이 되도록 하는 쵸크를 설치하여 마이크로웨이브를 상쇄시키도록 한다든지, 마이크로웨이브 차단부(160)내에 손실정접이 큰 마이크로웨이브 흡수체를 설치하는 것 등으로 마이크로웨이브의 누설을 막는다.In addition, since the import unit 121 and the export unit 129 are opened to the outside of the unit heat treatment apparatus 100, microwaves generated from the microwave upper and lower generators 131 and 135 leak to the outside of the unit heat treatment apparatus 100. It may be, which is not leaked by the microwave blocking unit 160. That is, a metal shutter is installed at the connection portion between the carry-in unit 121, the unit heat treatment apparatus 100, and the carry-out unit 129 to open the shutter only when the heated object 115 is brought in or taken out. A choke is provided in the 121 and the carrying out portion 129 so that the phase difference between the reflected wave of the microwave and the wave outward is λ / 2 so as to cancel the microwave or the loss in the microwave shield 160. The microwave leakage is prevented by installing a microwave absorber with a large tangent.

그리고, 마이크로웨이브의 발생정도와 균일성, 피가열체(115)의 이송정도, 열처리를 위한 온도프로파일, 냉각가스의 공급정도, 반응물의 처리 정도등을 조절하기 위해서는 메인제어부(190)가 필요하다. 즉, 단위열처리장치(100)에 설치된 센서부(191)는 피가열체(115)의 온도와 상기 마이크로웨이브를 흡수하여 발열 할 때의 온도와 캐비티(140)내의 온도를 측정하여 서브제어부(191)에 전달하고, 서브제어부(191)는 상기 정보들을 연산하여 상기 제어 인자들을 제어한다.In addition, the main control unit 190 is required to adjust the degree of generation and uniformity of the microwave, the degree of transfer of the heating object 115, the temperature profile for heat treatment, the degree of supply of cooling gas, and the degree of treatment of the reactants. . That is, the sensor unit 191 installed in the unit heat treatment apparatus 100 measures the temperature of the heating element 115 and the temperature at the time of absorbing the microwaves and generating heat and the temperature in the cavity 140 to control the sub-control unit 191. ), And the sub-control unit 191 calculates the information to control the control factors.

피가열체(115)의 열처리 목적에 맞게 열처리되고 냉각이 된 피가열체(115)는 단위이송부(125)을 거쳐 반출부(129)로 반출된다.The heated object 115 heat-treated and cooled according to the heat treatment purpose of the heated object 115 is carried out to the carrying out portion 129 via the unit transfer part 125.

이하, 본 실시예에 따른 구체적인 실험예들을 설명한다.Hereinafter, specific experimental examples according to the present embodiment will be described.

요업물은 고형분이 PbO-B2O3-SiO2계 유리분말 80%, 비이클이 20%되게 구성하고, 상기 요업물을 스크린프린터로 유리기판 위에 인쇄를 한다. 즉, 메쉬가 250인 오프닝(Opening) 제판 위에 상기 요업물을 얹고 스크래핑(Scrapping)하고 스퀴징(Squizing)하여 기판 위에 시트형 요업물 인쇄체를 형성시킨다.The ceramics are composed of 80% PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -based glass powder and 20% vehicle, and the ceramics are printed on a glass substrate with a screen printer. That is, the ceramic material is placed on an opening plate with 250 mesh, scraped and squeezed to form a sheet-like ceramic material printed on the substrate.

이후 종래의 열풍가열장치와 본 실시예에 따른 열처리장치에 각각 요업물 인쇄체를 투입하고, 온도 프로파일은 표1과 같이 설정한다.After that, the ceramic product is introduced into the conventional hot air heater and the heat treatment apparatus according to the present embodiment, and the temperature profile is set as shown in Table 1.

온도 프로파일 설정Temperature profile settings 승온속도(℃/분)Temperature rise rate (℃ / min) 바이클연소온도/유지시간(℃/분)Bike combustion temperature / holding time (℃ / min) 최고온도/유지시간(℃/분)Temperature / holding time (℃ / min) 냉각속도(℃/분)Cooling rate (℃ / min) 온도프로파일총 소요시간(분)Temperature profile total time (minutes) 열풍가열로Hot air heating furnace 55 350/60350/60 550/60550/60 1.91.9 1,1851,185 본발명에 의한열처리장치Heat treatment device according to the present invention 2020 350/10350/10 550/30550/30 1010 129129

상기와 같이 온도프로파일 총 소요시간이 열풍가열장치 대비 1/10 정도로 가능한 것은 열풍의 경우 요업물의 표면에서 내부로 열처리가 되는 반면, 본 실시예에 따른 열처리장치의 경우 마이크로웨이브의 특성상 피가열체를 부피가열과 선택가열이 되도록 할 뿐만 아니라 발열체(111)가 피가열체(115)바로 밑에서 가열되므로 가열효율이 좋아 가열시간을 단축할 수 있다. 뿐만 아니라 냉각에 있어서도 열풍가열장치는 열풍가열장치 내의 공간 만큼의 가열 부피를 냉각시켜야 하고 또한 급냉에 따른 피가열체(115)의 결함을 방지하기 위해서는 냉각속도를 빠르게 할 수 없다.As described above, the total time required for the temperature profile is about 1/10 of that of the hot air heating device, whereas the hot air is heat-treated from the surface of the ceramic to the inside. In addition to the volume heating and selective heating, the heating element 111 is directly heated under the heating element 115, so that the heating time is good and the heating time can be shortened. In addition, also in cooling, the hot air heater must cool the heating volume as much as the space in the hot air heater, and in order to prevent defects of the heated object 115 due to quenching, the cooling speed cannot be increased.

그러나, 본 실시예에 따른 열처리장치는 캐비티(140)의 공간이 열풍 소성로 대비 매우 작을 뿐만 아니라, 급냉시 발생하는 인장응력을 제거할 수 있기 때문에 피가열체(115)에 생기는 휨, 균열등의 제품 결함 없이 급냉 시킬 수 있다.However, in the heat treatment apparatus according to the present embodiment, since the space of the cavity 140 is not very small as compared with the hot air firing furnace, it is possible to remove the tensile stress generated during the quenching, such as bending, cracking, etc., generated in the heated object 115. Can be quenched without product defects.

상기와 같이 종래의 장치와 본 실시예에 따른 장치로 열처리를 행하고 난 뒤의 건조상태와 소성상태를 도 2a 내지 도 3b에 도시하였다.As described above, the dry state and the calcined state after heat treatment by the conventional apparatus and the apparatus according to the present embodiment are illustrated in FIGS. 2A to 3B.

도 2a 및 도 2b는 종래의 열풍가열장치와 본 실시예에 따른 열처리장치로 피가열체를 건조시켰을 때의 내부구조를 보인 도이고, 도 3a 및 도 3b는 종래의 열풍가열장치와 본 실시예에 따른 열처리장치로 피가열체를 소성하였을 때의 내부구조를 보인 도이다.2A and 2B are views illustrating an internal structure when a heated object is dried by a conventional hot air heater and a heat treatment apparatus according to the present embodiment, and FIGS. 3A and 3B illustrate a conventional hot air heater and the present embodiment Figure shows the internal structure when the heating element is fired by the heat treatment apparatus according to the present invention.

도시된 바와 같이,주사 전자 현미경 사진을 촬영하여 피가열체(115)의 내부구조를 관찰한 결과, 종래의 장치에 의한 건조 및 소성상태와 본 실시예에 따른 장치에 의한 건조 및 소성상태에 있어서 품질특성이 차이가 없다는 결과를 얻었다.As shown in the drawing, the scanning electron microscope photograph was taken to observe the internal structure of the heated object 115. As a result, in the drying and firing state by the conventional apparatus and the drying and firing state by the apparatus according to the present embodiment. The result is that there is no difference in quality characteristics.

이상에서 설명하듯이, 본 발명에 따른 시트형 피가열체 열처리장치 및 그 열처리방법은 외부에서 열을 가하는 방식이 아니기 때문에 에너지 효율이 대단히 높고, 또한 빠른 열처리 속도를 얻을 수 있다.As described above, the sheet-shaped to-be-heated body heat treatment apparatus and the heat treatment method according to the present invention is not a method of applying heat from the outside, the energy efficiency is very high, and a fast heat treatment rate can be obtained.

또한, 가열전력과 가열 및 냉각온도 제어가 용이하고 에너지 효율이 높기 때문에 기존의 열풍가열장치 대비 장비 크기를 대폭 줄일 수 있다.In addition, since the heating power and heating and cooling temperature control is easy and the energy efficiency is high, the size of the equipment can be significantly reduced compared to the existing hot air heater.

또한, 발열체의 산화 및 열풍 공급에 따라 분진 발생이 없으므로 이물에 의한 피가열체의 제품 불량이 없다.In addition, there is no dust generated by the oxidation of the heating element and the supply of hot air, so there is no product defect of the heating element due to foreign matter.

또한, 온도 균일성이 좋고 인장응력등의 제품불량인자 유발이 억제 되기 때문에 피가열체 열처리 면적의 대형화, 후막화가 용이하고 제품의 요구물성을 대폭 개선 할 수 있다.In addition, since temperature uniformity is good and induction of product defect factors such as tensile stress is suppressed, it is easy to enlarge the heat treatment area of the heating element and to thicken the film, and to greatly improve the required physical properties of the product.

이상에서는, 본 발명의 일 실시예에 따라 본 발명을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 변경 및 변형한 것도 본 발명에 속함은 당연하다.In the above, the present invention has been described in accordance with one embodiment of the present invention, but those skilled in the art to which the present invention pertains have been changed and modified without departing from the spirit of the present invention. Of course.

Claims (7)

시트형의 피가열체를 가열하는 열처리장치에 있어서,In the heat treatment apparatus for heating a sheet-like object to be heated, 상기 피가열체가 탑재되고 마이크로웨이브를 흡수하여 발열하며 발생된 열을 상기 피가열체로 전도하여 상기 피가열체를 열처리하는 발열체가 놓이는 적어도 하나 이상의 단위열처리장치;At least one unit heat treatment device in which the heating element is mounted and absorbs microwaves to generate heat and conducts heat generated to the heating element to heat the heating element; 상기 단위열처리장치의 내ㆍ외측으로 피가열체를 이송하는 이송부;A transfer unit which transfers the heated object to the inside and the outside of the unit heat treatment apparatus; 상기 이송부에 설치되어 마이크로웨이브가 누설되는 것을 방지하는 마이크로웨이브 차단부;A microwave cutoff part installed in the transfer part to prevent the microwave from leaking; 상기 단위열처리장치의 내부로 냉각가스를 주입하여 상기 발열체에 의하여 가열된 상기 단위열처리장치 내부의 온도를 조절하는 냉각가스 공급부;Cooling gas supply unit for controlling the temperature inside the unit heat treatment apparatus heated by the heating element by injecting a cooling gas into the unit heat treatment apparatus; 상기 피가열체의 가열에 의하여 발생되는 반응물들을 처리하는 반응물 처리부; 그리고,A reactant processing unit configured to process reactants generated by heating of the heated object; And, 상기 피가열체, 상기 발열체 및 상기 단위열처리장치 내부의 온도를 감지하여 상기 단위열처리장치, 상기 이송부, 상기 냉각가스 공급부 및 상기 반응물 처리부를 제어하는 메인제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 시트형 피가열체 열처리장치.And a main controller configured to sense a temperature inside the heated object, the heating element, and the unit heat treatment device to control the unit heat treatment device, the transfer unit, the cooling gas supply unit, and the reactant treatment unit. Heat treatment device. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 단위열처리장치는,The unit heat treatment apparatus, 상기 단위열처리장치의 내부 상하측에 마련되어 마이크로웨이브를 발생시키는 마이크로웨이브 발생부;A microwave generator configured to generate microwaves in the upper and lower sides of the unit heat treatment apparatus; 상기 단위열처리장치의 내부에 마련되고 상기 발열체가 놓이며, 상기 발열체로부터 발열되는 열을 1차 단열시키는 캐비티;A cavity provided inside the unit heat treatment apparatus and disposed with the heat generator, and configured to primarily insulate heat generated from the heat generator; 상기 캐비티를 감싸는 형태로 상기 단위열처리장치의 내부에 설치되어 상기 캐비티를 지지하면서 2차 단열함과 동시에 마이크로웨이브의 누설을 방지하는 애플리케이터를 가지는 것을 특징으로 하는 시트형 피가열체 열처리장치.A sheet-shaped heat-treatment apparatus for heating a sheet, characterized in that it has an applicator installed inside the unit heat treatment apparatus to surround the cavity and supporting the cavity to prevent secondary leakage and at the same time prevent leakage of the microwave. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 단위열처리장치는 하나만 마련되고,Only one unit heat treatment device is provided, 상기 단위열처리장치의 내부는 소정 시간단위로 승온되는 승온구간, 최고온도를 유지하는 최고온도유지구간 및 냉각되는 냉각구간을 가지는 것을 특징으로 하는 시트형 피가열체 열처리장치.The inside of the unit heat treatment apparatus is a sheet-type heated object heat treatment apparatus, characterized in that it has a temperature rising section to be heated by a predetermined time unit, the maximum temperature holding section to maintain the maximum temperature and the cooling section to be cooled. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 단위열처리장치는 두개가 연속적으로 마련되고,The unit heat treatment apparatus is provided in two, 상기 연속된 단위열처리장치중 어느 하나의 단위열처리장치가 승온 및 최고온도를 유지하는 구역이면, 다른 하나의 단위열처리장치는 냉각구역이 되고,If one unit heat treatment apparatus of the continuous unit heat treatment apparatus maintains the elevated temperature and the maximum temperature, the other unit heat treatment apparatus becomes a cooling zone, 상기 연속된 단위열처리장치중 어느 하나의 단위열처리장치가 승온구역이면, 다른 하나의 단위열처리장치는 최고온도를 유지 및 냉각구역인 것을 특징으로 하는시트형 피가열체 열처리장치.And if one unit heat treatment apparatus of the continuous unit heat treatment apparatus is an elevated temperature zone, the other unit heat treatment apparatus is a maximum temperature maintaining and cooling zone. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 단위열처리장치는 3개 이상이 연속적으로 연결되고,The unit heat treatment apparatus is connected to three or more continuously, 상기 연속된 단위열처리장치의 내부에는 상기 피가열체를 승온시키는 승온부와, 상기 피가열체를 최고온도로 유지시키는 최고온도유지부와, 상기 피가열체를 냉각시키는 냉각부가 소정 간격으로 구획된 것을 특징으로 하는 시트형 피가열체 열처리장치.Inside the continuous unit heat treatment apparatus, a temperature raising part for heating the heated object, a maximum temperature holding part for maintaining the heated object at a maximum temperature, and a cooling part for cooling the heated object are divided at predetermined intervals. Sheet-shaped heating element heat treatment apparatus, characterized in that. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 이송부는 상기 발열체와 상기 피가열체를 이송시켜 상기 단위열처리장치로 유입시키는 반입부와, 상기 발열체와 상기 피가열체를 상기 캐비티의 내부로 이송시키는 단위이송부와, 상기 발열체와 상기 피가열체를 상기 단위열처리장치의 외부로 반출시키는 반출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 시트형 피가열체 열처리장치.The transfer unit includes a carrying-in unit for transferring the heating element and the heated object to the unit heat treatment device, a unit transferring unit for transferring the heating element and the heated object into the cavity, and the heating element and the heated object. And a carrying-out unit for carrying out to the outside of the unit heat treatment apparatus. 시트형의 피가열체를 가열하는 열처리방법에 있어서,In the heat treatment method of heating the sheet-shaped object to be heated, 마이크로웨이브에 의하여 발열하는 발열체에 상기 피가열체를 탑재시켜 단위열처리장치의 내ㆍ외측으로 이송하는 단계;Mounting the heated object on a heating element that generates heat by microwaves and transferring the inner and outer sides of a unit heat treatment apparatus; 상기 단위열처리장치에 설치된 마이크로웨이브 발생부를 제어하여 마이크로웨이브를 발생하는 단계;Generating a microwave by controlling the microwave generator installed in the unit heat treatment apparatus; 상기 피가열체를 상기 단위열처리장치로 이송할 때, 상기 단위열처리장치로부터 누설되는 마이크로웨이브를 차단하는 단계;Blocking microwaves leaking from the unit heat treatment apparatus when the heating element is transferred to the unit heat treatment apparatus; 상기 발열체에서 발열되는 열을 1차 단열하는 단계;Primary insulating heat generated from the heating element; 상기 발열체에서 발열하는 열을 2차 단열함과 동시에 마이크로웨이브의 누설을 방지하는 단계;Preventing heat from microwaves while simultaneously insulating heat generated by the heating element; 상기 발열체에서 발열된 열을 상기 피가열체에 전도시키는 단계;Conducting heat generated by the heating element to the heated object; 상기 1차 단열된 온도의 조절을 위하여 냉각가스를 공급하는 단계;Supplying a cooling gas for controlling the primary insulated temperature; 상기 피가열체의 가열에 의하여 발생하는 반응물들을 처리하는 단계;Treating reactants generated by heating of the heated object; 상기 피가열체, 상기 발열체 및 상기 단위열처리장치 내부의 온도를 감지하여 상기 단위열처리장치, 상기 피가열체의 이송, 상기 냉각가스의 공급 및 상기 반응물 처리를 제어하는 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 시트형 피가열체 열처리장치.Sensing the temperature of the heating element, the heating element, and the unit heat treatment device to control the unit heat treatment device, the transfer of the heating element, the supply of the cooling gas, and the treatment of the reactant. Sheet type heating element heat treatment device.
KR10-2000-0086002A 2000-12-29 2000-12-29 Heat treatment apparatus of sheet type heated body and heat treatment method of the same KR100418492B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2000-0086002A KR100418492B1 (en) 2000-12-29 2000-12-29 Heat treatment apparatus of sheet type heated body and heat treatment method of the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2000-0086002A KR100418492B1 (en) 2000-12-29 2000-12-29 Heat treatment apparatus of sheet type heated body and heat treatment method of the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20020056613A true KR20020056613A (en) 2002-07-10
KR100418492B1 KR100418492B1 (en) 2004-02-11

Family

ID=27689108

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2000-0086002A KR100418492B1 (en) 2000-12-29 2000-12-29 Heat treatment apparatus of sheet type heated body and heat treatment method of the same

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100418492B1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103194578A (en) * 2013-04-19 2013-07-10 申偲伯 Microwave energy high-temperature atmosphere heat treatment furnace

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4307277A (en) * 1978-08-03 1981-12-22 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Microwave heating oven
JPS59150014A (en) * 1983-02-16 1984-08-28 Tokyo Denshi Giken Kk Heat treating furnace by electromagnetic wave
JPS63285121A (en) * 1987-05-18 1988-11-22 Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp Device for roasting-reducing by microwave heating
KR890003971A (en) * 1987-08-21 1989-04-19 김재현 How to manufacture multilayer wire for accessories
KR100328297B1 (en) * 1999-01-14 2002-03-16 정수철 Heating furnace of plasma display pannel

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103194578A (en) * 2013-04-19 2013-07-10 申偲伯 Microwave energy high-temperature atmosphere heat treatment furnace

Also Published As

Publication number Publication date
KR100418492B1 (en) 2004-02-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1333012B1 (en) Burning furnace, burnt body producing method, and burnt body
US6222170B1 (en) Apparatus and method for microwave processing of materials using field-perturbing tool
KR20150102950A (en) Hybrid microwave and radiant heating furnace system
US20020139795A1 (en) Apparatus and method for processing ceramics
JP2004526649A5 (en)
KR20180071184A (en) Manufacturing apparatus for cabon fiber using microwave
JP2005506260A (en) Ceramic processing method using electromagnetic energy
JP2004101008A (en) Electromagnetic wave continuous baking furnace and continuous baking method for baking body by use of electromagnetic wave radiation
WO1993012629A1 (en) Microwave heating method and apparatus
KR100418492B1 (en) Heat treatment apparatus of sheet type heated body and heat treatment method of the same
JP2007147264A (en) Continuous type heat treatment method and continuous type heat treat furnace
TWI830937B (en) Microwave processing device and carbon fiber manufacturing method
KR20100131129A (en) Sintering furnace or heat treatment furnace enhanced by the module of uniformizing heat flux and gas flow at low temperature zone and accelerating cooldown speed
JP2654903B2 (en) Microwave sintering method and microwave sintering furnace
JPH05105501A (en) Dielectric drying method of honeycomb structure
JPH07114188B2 (en) Heat treatment method for semiconductor substrate and heat treatment apparatus used therefor
KR20070099381A (en) Heat treatment furnace of preparing flat display panel, manufacturing device and method of flat display panel including the same, and flat display panel prepared thereby
KR100370661B1 (en) Heating element for heat treatment
JP2002130955A (en) Continuous baking furance, burned product and method for manufacturing the same
KR100390880B1 (en) Cavity of heat treatment apparatus
JP2011169504A (en) Solid-phase reaction baking method for powder, and solid-phase reaction baking furnace
CA1125380A (en) Microwave heating apparatus with a thermally insulated tunnel
CN214361512U (en) Metal treatment equipment
JP4926445B2 (en) Oxidation-resistant furnace for graphite material and oxidation-resistant method for graphite material
JP2002293558A (en) Heat-generating setter and continuous heat treatment furnace using the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090202

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee