KR20020048973A - 입자 및 분자 여과를 위한 복합형 파이버 - Google Patents

입자 및 분자 여과를 위한 복합형 파이버 Download PDF

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KR20020048973A
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KR1020027005051A
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닐 에이치. 헨드릭스
윌리암 이. 맥기버
랜디 알. 레클레어
아델 조지 탄노우스
피터 언거
댄 바우스
로날드 로우르바치
제프 밀러
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크리스 로저 에이취.
얼라이드시그날 인코퍼레이티드
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Abstract

본 발명은 화학적 오염물을 필터링 적용하기 위한 초-효율 멀티로브 단면을 가진 파이버 필터에 관한 것이다. 바람직하게는 산 또는 염기 및 액체 형태인흡수성인 화학적으로 반응성인 반응물 또는 고체 형태인 흡착성인 화학적으로 반응성인 반응물은 각각의 파이버 길이로 세로 방향의 슬롯내에 배치되어 있다. 반응물은 단독으로 사용되거나 파이버내의 세로방향 슬롯내의 반응물로 사용될 수도 있는 고체 흡착성 입자와 결합하여 사용될 수 있다. 파이버내의 반응물은 필터를 통과하는 염기-오염된 기류에 노출된 상태로 존재한다. 암모늄 및 아민과 같은 화학물질인 기류내의 염기 오염물(또한 입자)는 파이버의 세로 방향 슬롯내의 산성 반응물과 반응한다. 오염물과 반응물이 반응함에 따라, 암모늄 또는 아민은 액체 산성 반응물 및 멀티로브 파이버에 비가역적으로 흡수된다.

Description

입자 및 분자 여과를 위한 복합형 파이버{COMPLEX SHAPED FIBER FOR PARTICLE AND MOLECULAR FILTRATION}
기류로부터 오염물을 제거하기 위해 흡착 엘리먼트로서 활성탄 및 그 밖의 물질을 사용하는 것은 통상적으로 공지되어 있다. 유효한 파이버 단면이 밝혀짐에 따라, 부분적으로 중공인 파이버를 생성시킬 수 있다. 특히 유효한 단면은 본원에 참조로 포함되어 있는 미국 특허 제 5,057,368호에 기재된 중심 코어로부터 연장되는 3개의 T자형 로브(lobe)를 지닌 단면이다. 통상적인 필터는 다수의 적용에서 고체 또는 액체 물질로 코팅된 필터링 매질을 사용해왔지만; 이들 적용의 대부분은 흡착 보다는 흡수에 의존해왔다. 흡착은 제거하려는 입자가 필터 물질 엘리먼트의 표면에 부착되는 경우에 일어나는 반면; 흡수는 분자 운동 모빌리티(mobility)가 원하지 않는 입자를 기계적이지 않은 방식으로 하나의 구역에서 또 다른 구역으로 이동시키도록 이용되는 경우에 발생한다. 멀티로브(multilobe) 파이버는 특정 오염물질 제거용 액체 또는 고체가 파이버내에 형성된 공동에 충전되는 경우에 위킹(wicking) 파이버로서 특히 효과적이었다.
고체 필터링 입자로 충전된 다중로브 파이버는 흡착성 공기 여과 및 악취 제거 적용에서 사용되어 왔다. 이러한 필터링 입자는 탄소 입자, 제올라이드, 베이킹 소다, 시클로덱스트린, 및 특정 오염물질을 흡착할 수 있는 고형물을 사용하는 것을 포함해 왔다 (참조: 본원에 참조로 인용되어 있는 미국 특허 제 5,759,394호). 위킹 파이버로서 멀티로브 타입 파이버를 사용하는 그 밖의 적용은 또한 파이버의 공동내에 충전된 특정 액체의 흡수 특성을 또한 필요로 하였다. 이러한 액체는 오염된 기류로부터 가역적인 방식으로 악취 및 가스 분자를 용이하게 흡수하여 이들 분자를 제 2 기류내로 최종 분산시키는 것을 보조하도록 선택되는 것이 전형적이었다 (참조: 본원에 참조로 인용되어 있는 미국 특허 제 5,891,221호 및 제 5,704,966호).
웨이퍼가 특정 화학물질의 소입자 또는 낮은 레벨에도 민감하기 때문에 오염물이 배재된 환경을 유지하는 것은 집적 회로의 제조에 있어서 특히 중요하다. 이것은 여과된 공기로 채워진 청정실 안에서 웨이퍼를 제조함에 의해 수행된다. 필터는 입자 및 화학물질의 수준을 극도로 낮은 레벨 (10억 분의 1 미만)로 감소시키는데 사용된다. 또한, 반도체 도구는 때때로 처리기간동안 국소적인, 극도로 정화된 공기 흐름을 제공하는 환경 제어를 갖추어야 한다. 그러나, 종래 화학 필터는 매우 짧은 수명을 가지며, 자주 교체해야 하고, 특정 화학물질을 효과적으로 여과하기에는 비효율적이다.
요약
본 발명에 따라, 화학 오염물 여과 적용을 위해 장기간 사용가능한 초-고효율 멀티루브 파이버 필터가 기술된다. 파이버 필터의 예기치 않은 초 고효율은 오염물을 10억 분의 1 미만의 낮은 레벨로 감소시킨다. 반응 반응물은, 바람직하게는 액체 또는 고체 형태의 산 또는 염기는 파이버의 각 기장의 종축 슬롯내에서 제거된다. 반응물은, 이온 결합을 형성하는 산-염기 반응, 산화 환원 반응, 공유결합, 수소결합, 배위 화합물, 또는 복합 화합물을 형성하는 당 기술분야에서 공지된 바와 같은 다양한 유기, 무기 반응 메카니즘과 같은 임의의 공지 메카니즘에 의해 염기 오염물과 반응한다. 반응물은 홀로 사용되거나 또는 하이버 내의 종축 슬롯내의 반응물과 함께 사용되는 고체 흡착 입자와 결합하여 사용된다. 파이버는 하나의 구체예에서 단층으로 형성되거나, 다른 구체예에서 다층 파이버 매트로 형성되나, 반응물은 필터를 통해 통과하는 오염된 공기 흐름에 노출된다. 용액 흐름에서의 오염물은 파이버의 종축 슬롯 내에서 반응물과 반응한다. 염기 오염물 및 반응물이 반응되면 오염물은 파이버의 종축 슬롯내에 보유된다.
바람직한 구체예에서 오염물은 암모니아 및/또는 아민이고 반응물은 산이다. 산-주입된 멀티로브 파이버는 몇몇 상업적으로 구입가능한 필터 보다 다소 더 효율적이다. 필터는 당 기술분야에서 청정실, 설치 필터 쳄버와 같은 다양하게 적용되어 사용된다.
도면의 간단한 설명
도 1은 개별적인 멀티로브 섬유의 세부 단면도를 도시한다.
도 2는 반응물이 각 멀티로브 섬유내에 배치된 멀티로브 섬유로 제조된 섬유 매트의 클로즈업 도면을 도시한다.
도 3은 도 2의 섬유 매트의 확대도를 도시한다.
도 4는 산으로 함침된 멀티로브 섬유 대 2개의 기타 시판되는 섬유에 대하여 시간에 따른 오염물 산출(contaminant breakthrough)의 비율을 비교한 플롯을 도시한다.
도 5는 산으로 함침된 멀티로브 섬유를 갖는, 기류를 여과시키는데 사용되는 한 구현예의 챔버를 도시한다.
도 6은 다층 멀티로브 섬유를 갖는 도 5의 챔버를 도시한다.
상이한 도면에서 동일한 참조 부호의 사용은 유사하거나 동일한 항목을 나타낸다.
본 발명은 필터 시스템, 상세하게는 고체 및 액체 반응물을 이용하는 시스템에 관한 것이다.
도 1은 개별적인 멀티로브 섬유(2)의 단면의 세부도를 도시한다. 섬유(2)는 열가소성 섬유로 제조되고 통상적인 섬유 형성 기술, 예를 들어 상기 미국 특허 제 5,057,368호에 기재된 바와 같이, 섬유 조성물을 통상적인 스피너레이트(spinnerate)를 통해 방사함으로써 형성되는 타입의 섬유이다. 섬유(2)는 코어(4)를 포함하며, 이로부터 3개의 로브(6)가 외부로 뻗어있다. 각 로브(6)는 로브(6)의 말단에 수직으로 부착된 캡(8)으로 끝을 이루고 있다. 로브(6)와 인접 캡(8) 사이에 형성된 공동은 세로 슬롯(10)을 형성하는 멀티로브 섬유(2)의 전체 길이를 따라 이어진다. 멀티로브 섬유(2)는 분말화된 탄소와 같은 분말화된 입자성 물질을 보유하는 능력이 있다. 탄소 분말은 임의의 액체를 사용하지 않고 캡(8)에 의해 포획되어 슬롯(10)내에 기계적으로 지지될 수 있다. 분말을 슬롯(10) 내에 포획시키는 것은 분말을 섬유내로 살포한 후 과량의 분말을 흔들어 제거하거나 과량의 분말을 팬으로 불어서 제거하여 수행될 수 있다.
바람직하게는, 섬유(2)는 모세관력에 의해 액체를 슬롯(10)내에 지지할 수 있다. 도 2는 액체 반응물(12)이 그물형 섬유(2)의 슬롯(10)내에 충전되어 있는 섬유 매트(100)의 클로즈업 도면을 도시한다. 액체 반응물(12)은 액체 소적을 섬유(2)의 표면과 충돌시킨 후 섬유 매트(100)로 침투시키고 슬롯(10)내로 위킹(wicking)함으로써, 슬롯(10)을 충전하는데 사용될 수 있다. 액체 소적이 섬유(2)와 충돌한 후에, 이들은 섬유(2) 사이에 빈 공간을 남기고 막히지 않은 기류가 섬유 매트(100)를 통하도록 하면서 슬롯(10)내로 신속하게 합체한다. 대안적으로, 섬유(2)는, 섬유(2)를 반응물(12)내로 침지시키고 과량의 반응물(12)을 제거함으로써 반응물(12)을 모세관력(10)에 의해 슬롯(10)내에 위킹할 수 있다.
반응물(12)은 반응물(12)을 강제로 분무기(atomizer)를 통과시키거나 바람직하게는 종래 점적기(dropper)를 사용하는 것과 같은 다양한 방법으로 액체 점적으로 형성될 수 있다. 반응물(12)은 산, 산화제, 환원제, 착화제, 배위결합제, 및 조해제와 같은 다양한 액체일 수 있다; 그러나, 산을 사용하는 것이 바람직하다. 반응물(12)으로서 사용되기 위한 산은 붕산 및 바람직하게는 인산 또는 황산과 같은 무기산을 포함하며 이것에 제한되지 않는다. 유기산이 무기산 대신에 사용될 수도 있다. 유기산으로는 모노카르복실산, 디카르복실산 및 트리카르복실산이 있으며, 이것에 제한되지 않는다: 이러한 종류의 유기산으로는 시트르산, 락트산, 말레산, 푸마르산, 카프로산, 라우르산, 옥살산, 말론산, 타르타르산, 숙신산, 살리시클릭산, 및 말산을 포함한다. 또 다른 구체예에서, 분말산이 액체산 대신에 사용될 수 있으며, 탄소 분말에 대한 상기 방법에 유사한 방법으로 슬롯(10)내에 함침될 수 있다. 대안적 구체예에서, 분말 염기가 비-염기 오염물을 여과하기 위하여 사용될 수 있다. 그러한 분말 염기로는, 예를 들어 중탄산나트륨(베이킹 소다), 탄산나트륨, 수산화나트륨, 인산3나트륨, 탄산칼륨, 수산화칼륨, 및 나트륨 테트라보레이트가 있다. 또한, 반응물(12)은 구리와 같은 전이금속을 포함하는 배위결합제(coordinating agent), 및 시클로덱스트린과 같은 포획제(entrapping agent)를 포함하는 착화제를 포함할 수 있다.
도 3은 섬유 매트(100)의 확장도이다. 섬유(2)는 주름이 형성되거나 층상으로 형성되어 다양한 구성의 섬유 매트(100)를 형성할 수 있다. 일반적으로, 슬롯(10)내의 부피는 멀티로브 섬유(2)의 부의 약 절반을 차지하고, 오염물의 밀도에 의존하여, 섬유(2)는 액체 오염물의 약 100% 및 슬롯(10)내의 고형 분말의 25% 내지 125%를 획득할 수 있다. 액체 및 고체 오염물을 포획하는 멀티로브 섬유(2)의 성질을 이용하여, 반응물(12)은 흡착 및 흡수 여과 장치를 위해 사용될 수 있다. 반응물(12)은 슬롯(10)내에 의도적으로 함침되고, 반응성 액체 및 고체 반응물, 바람직하게는 양자의 산으로 될 수 있으며, 섬유 매트(100)는 지지 네트워크로서 사용되어 반응물(12)을 흡착성 및 흡수성 분자 오염물 제거를 위해 크게 분산된 구성으로 지지한다. 멀티로브 섬유(2)는 액체 또는 고체(산) 반응물(12)을 보유할 수 있을 뿐만 아니라, 액체 반응물 및 고체 입자의 혼합물을 보유하는 데도 효과적이다. 고체 흡착제, 예를 들어 제올라이트, 산화알루미늄, 활성탄(함침되고 순수한), 및 화학적으로 개질된 실리카가 액체 또는 고체 형태로 산 반응물(12)과 혼화되어, 멀리로브 섬유(2)의 슬롯(10)내에 함침될 수 있다. 또한, 고체 흡착제는 염기 반응물(12)과 조합되어 슬롯(10)내에 함침될 수도 있다.
파이버 매트(100)는 유체 스트림을 통과시킴으로써 염기 오염물을 여과하는데 특히 효과적이다. 염기라는 것은, 화학 분야에서 통상적으로 염기로 간주되는 임의의 화학물질 또는 화합물을 의미한다. 이러한 화학물질 및 화합물에는 루이스 염기, 시프트 염기, 수성 염기 및 바람직하게는 수성 환경중에서 알칼리성인 임의의 화합물이 있다. 암모늄 및 아민이 바람직한 염기이다.
액체 산성 반응물(12)으로 함침된 파이버 매트(100)는 유체 스트림을 통과시킴으로써 특히 암모늄, NH3및 아민(예를 들어, n-메틸-2-피롤리돈(NMP))과 같은 염기 오염물을 특이적으로 흡수하는데 특히 효과적이다. 예를 들어, 암모늄 이온과 같은 오염물을 함유하는 기류를 파이버 매트(100)를 통과시킨다. 이 기류가 산성 반응물(12)으로 함침시킨 다중로브 파이버(2)를 통과함에 따라, 암모니아 이온이 화학적으로 반응(이 반응은 당해 기술 분야에 공지되어 있음)하여, 산성 반응물(12)에 의해서 흡수되어 염을 형성한다. 산성 반응물(12)에 의해서 수소 원자가 암모늄 이온으로 교환되는데, 이 때 부산물로서 물이 형성될 뿐만 아니라 암모늄 이온이 잔류하여 산성 반응물(12)과 반응하거나 여기에 부착된다. 반응물(12)은 다중로브 파이버(2)의 슬롯(10)내에서 상기 암모늄 이온을 비가역적으로 유지시킨다.
액체 산성 반응물(12)으로 함침된 다중로브 파이버(2)의 조합에 의해서, 염기 오염물을 여과시키는데 예상 밖의 초강력한 효과가 얻어진다. 산성 반응물(12)으로 함침시킨 다중로브 파이버(2)를 사용하는 파이버 매트(100)의 효율은, 통상적으로 입수가능한 2개의 산-함침된 일반 필터와 비교 한 도 4로부터 확인할 수 있다. 3개 필터 전부를, 공기로 희석시킨 암모니아로 오염된 90ppm의 가스에 연속적으로 노출시켰다. 공기는 50%의 상대 습도 및 23℃로 유지되었으며, 이 공기를 3개 필터 모두에 대하여 균등한 압력강하를 부여하는 150ft/min의 속도로 필터를 통하여 주입하였다. 염기성 기체 농도를 각 필터의 다운스트림에서 연속적으로 측정하고, 오염물의 처리%를 시간에 따라 표시하였다. 상기 처리%는 필터의 공기 업스트림중에 존재하는 오염물의 최초량에 대한 공기 다운스트림중에 잔류하는 오염물의 양이다.
도4로부터 알 수 있듯이, 곡선 A는 산성 반응물(12)으로 함침된 다중로브 파이버(2)를 나타낸다. 곡선 B 및 C는 기타 시판되고 있는 필터를 나타낸다. 곡선 B 또는 C가 멀티로브 필터(2)와 함께 사용된 산-반응물(12)의 길어진 수명 및 효과를 나타낸 것에 비해 곡선 A의 결과는 산-함침된 멀티로브 필터(2)가 오염물을 상당히 보유하고 있음을 보여준다. 섬유 매트(100)의 보유 시간은 곡선 B에 나타난 보유 시간의 약 3배일 정도로 길다(약 0% 누출에서 120분 대 곡선 B에 대한 약 4% 누출에서 40분).
멀티로브 섬유(2)에서 산 반응물(12)을 사용한 섬유 매트(100)는 다양한 적용, 예를 들어, 멀티로브 섬유(2)를 꼬거나 주름을 잡는데 사용되어 섬유매트(100)를 형성시킬 수 있다. 한 구체예에서, 섬유 매트(100)는 도 5에 도시된 바와 같이 여과 챔버(102)에서 여과 요소로서 사용될 수 있다. 챔버(102)는 하우징(18)으로 이루어져 있으며, 이는 통상적인 금속, 예를 들어, 알루미늄으로 설계되어 조작 및 필드 설치물을 수용한다. 주름 잡거나 꼬아진 섬유 매트(100)는 바람직하게는, 점착 또는 낮은 기체제거 아교에 의해 하우징에 부착된다. 또한, 대안적인 구체예에서, 섬유 매트(100)를 틀에 부착시키고(틀은 도시되지 않음), 섬유 매트(100)가 부착된 틀을 하우징(18) 내에 교환가능하게 부착하거나 제거하는 것이 가능하다. 또한, 하우징(18)은, 섬유 매트(100)를 통해 여과되는 동안 기류가 여과 챔버(102)를 통과할 수 있도록 입구(14) 및 출구(16)를 갖는다. 챔버(102)는 화학적으로 깨끗한 룸 환경을 위해 암모늄, 아민 및 입자에 대한 화학적 여과제 및 입자를 제공하는데 사용될 수 있다.
도 6은 섬유 매트(100)의 대안적인 구체예를 보여준다. 도 6은, 섬유 매트(100) 대신 다중층 섬유 매트(100')를 사용한 것 이외에는 대부분 도 5에 도시된 챔버(102)와 유사하다. 다중층 섬유 매트(100')는 많은 개별적인 근접 층으로 구성된 필터이다. 각각의 개별적인 층은 상기 설명된 임의의 반응물으로 함침된 것이며; 각각 상이한 반응물을 갖는 여러 개별적인 층은 단일 다중층 섬유 매트로 혼입될 수 있다. 층의 수는 1 내지 N 개이며, 섬유 매트(100')는 원하는 작용성에 따라 임의의 층과 반응물의 조합물을 함유할 수 있다.
본 발명은 특정 구체예에 대해서 설명되었지만, 상기 설명은 단지 본 발명을 적용시킨 한 예일 뿐이며, 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 특히, 상기많은 설명이 액체 산으로 함침된 멀티로브 섬유(2)에 대한 것이지만, 본 발명의 대안적인 구체예는 비염기성 오염물을 여과시키는, 고체 산 반응물으로 함침된 멀티로브 섬유(2), 및 고체 및 액체 염기로 함침된 멀티로브 섬유(2)를 포함한다. 기재된 구체예의 특징의 다양한 개조 및 조합은 하기 청구범위에 의해 규정된 본 발명의 범위내에 포함된다.

Claims (51)

  1. 유체 스트림으로부터 염기 오염물을 제거하기 위한 파이버 매트를 포함하는 필터로서,
    다수의 신장된 파이버(여기서, 각각의 파이버는 다수의 길이 방향으로 연장된 내부 캐비티를 규정하고, 각각의 캐비티는 파이버의 외부 표면에 대한 개구를 가지고 있다);
    신장된 파이버의 내부 캐비티내에 배치되어 있고 염기 오염물과 화학적으로 반응성인 반응물을 포함하며;
    반응물이 내부 캐비티내에 보유되어 있고 필터를 통해 유도되는 유체 스트림에 노출되어 있고;
    반응물이 염기 오염물과 반응하도록 되어있는 필터.
  2. 제 1항에 있어서, 파이버가 파이버의 외부 표면에 대한 개구와 결합된 다수의 캡핑된 로브(lobe)를 가짐을 특징으로 하는 필터.
  3. 제 2항에 있어서, 캡핑된 로브가 T자형임을 특징으로 하는 필터.
  4. 제 1항에 있어서, 3개의 내부 캐비티가 존재함을 특징으로 하는 필터.
  5. 제 1항에 있어서, 반응물이 암모늄 및 아민으로 구성된 군으로부터 선택된 염기 오염물과 반응하도록 되어있음을 특징으로 하는 필터.
  6. 제 1항에 있어서, 내부 캐비티내에 배치되어 있고, 제올라이트, 알루미늄 옥시드, 활성 탄소 및 실리카로 구성된 군으로부터 선택되는 흡착성 고체를 추가로 포함함을 특징으로 하는 필터.
  7. 제 6항에 있어서, 흡착성 고체가 산, 조정제(coordinating agent), 착화제 및 조해제(deliquescent agent)로 구성된 군으로부터 선택된 반응물로 함침됨을 특징으로 하는 필터.
  8. 제 1항에 있어서, 반응물이 산, 조정제, 착화제 및 조해제로 구성된 군으로부터 선택됨을 특징으로 하는 필터.
  9. 제 8항에 있어서, 산이 인산, 황산 및 붕산으로 구성된 군으로부터 선택된 무기산임을 특징으로 하는 필터.
  10. 제 8항에 있어서, 산이 시트르산, 락트산, 말레산, 푸마르산, 카프로산, 라우르산, 옥살산, 말론산, 타르타르산, 숙신산, 살리실산 및 말산으로 구성된 군으로부터 선택된 모노카복실 유기산, 디카복실 유기산 또는 트리카복실 유기산임을특징으로 하는 필터.
  11. 제 8항에 있어서, 반응물이 액체임을 특징으로 하는 필터.
  12. 제 8항에 있어서, 반응물이 고체임을 특징으로 하는 필터.
  13. 유체 스트림으로부터 염기 오염물을 제거하기 위한 다층 파이버를 포함하는 필터로서,
    다수의 인접 파이버 층을 포함하고, 각각의 층이 다수의 신장된 파이버(여기서, 각각의 파이버가 다수의 길이 방향으로 연장된 내부 캐비티를 규정하고, 각각의 캐비티가 파이버의 외부 표면에 대한 개구를 가진다); 신장된 파이버의 내부 캐비티내에 배치되어 있고 염기 오염물과 화학적으로 반응성인 반응물을 포함하고;
    반응물이 내부 캐비티내에 보유되어 있고 필터를 통해 유도되는 유체 스트림에 노출되어 있고;
    반응물이 오염물과 반응하도록 되어있고;
    층내의 반응물이 산, 조정제, 착화제 및 조해제로 구성된 군으로부터 선택되고; 각각의 파이버층이 상이한 반응물을 함유함을 특징으로 하는 필터.
  14. 제 13항에 있어서, 파이버가 파이버의 외부 표면에 대한 개구와 결합된 다수의 캡핑된 로브를 가짐을 특징으로 하는 필터.
  15. 제 13항에 있어서, 캡핑된 로브가 T자형임을 특징으로 하는 필터.
  16. 제 13항에 있어서, 3개의 내부 캐비티가 존재함을 특징으로 하는 필터.
  17. 제 13항에 있어서, 반응물이 암모늄 및 아민으로 구성된 군으로부터 선택된 염기 오염물과 반응하도록 되어있음을 특징으로 하는 필터.
  18. 제 13항에 있어서, 내부 캐비티에 배치되어 있고, 제올라이트, 암모늄 옥시드, 활성 탄소 및 실리카로 구성된 군으로부터 선택되는 흡착성 고체를 추가로 포함함을 특징으로 하는 필터.
  19. 제 18항에 있어서, 흡착성 고체가 산, 조정제, 착화제 및 조해제로 구성된 군으로부터 선택된 반응물로 함침됨을 특징으로 하는 필터.
  20. 제 13항에 있어서, 산이 인산, 황산 및 붕산으로 구성된 군으로부터 선택된 무기산임을 특징으로 하는 필터.
  21. 제 13항에 있어서, 산이 시트르산, 락트산, 말레산, 푸마르산, 카프로산, 라우르산, 옥살산, 말론산, 타르타르산, 숙신산, 살리실산 및 말산으로 구성된 군으로부터 선택된 모노카복실 유기산, 디카복실 유기산 또는 트리카복실 유기산임을 특징으로 하는 필터.
  22. 제 13항에 있어서, 반응물이 액체임을 특징으로 하는 필터.
  23. 제 13항에 있어서, 반응물이 고체임을 특징으로 하는 필터.
  24. 기류가 들어가는 입구 및 기류가 나가는 출구를 추가로 포함하는 하우징;
    다수의 길이 방향으로 연장된 내부 캐비티를 규정하는 다수의 신장된 파이버(여기서, 각각의 캐비티는 파이버의 외부 표면에 대한 개구를 가진다); 및 반응물이 내부 캐비티내에 보유되도록 신장된 파이버의 내부 캐비티내에 배치되고 반응물이 염기 오염물의 적어도 일부분과 화학적으로 반응하도록 기류에 노출되어 있는 반응물을 추가로 포함하는 하우징내에 배치된 필터를 포함하는, 기류로부터 염기 오염물을 제거하기 위한 필터링 시스템.
  25. 제 24항에 있어서, 파이버가 파이버의 외부 표면에 대한 개구와 결합된 다수의 캡핑된 로브를 가짐을 특징으로 하는 필터.
  26. 제 24항에 있어서, 캡핑된 로브가 T자형임을 특징으로 하는 필터.
  27. 제 24항에 있어서, 3개의 내부 캐비티가 존재함을 특징으로 하는 필터.
  28. 제 24항에 있어서, 반응물이 암모늄 및 아민으로 구성된 군으로부터 선택된 염기 오염물과 반응하도록 되어있음을 특징으로 하는 필터.
  29. 제 24항에 있어서, 내부 캐비티내에 배치되어 있고, 제올라이트, 알루미늄 옥시드, 활성 탄소 및 실리카로 구성된 군으로부터 선택되는 흡착성 고체를 추가로 포함함을 특징으로 하는 필터.
  30. 제 29항에 있어서, 흡착성 고체가 산, 조정제, 착화제 및 조해제로 구성된 군으로부터 선택된 반응물로 함침됨을 특징으로 하는 필터.
  31. 제 29항에 있어서, 반응물이 산, 조정제, 착화제 및 조해제로 구성된 군으로부터 선택됨을 특징으로 하는 필터.
  32. 제 31항에 있어서, 산이 인산, 황산 및 붕산으로 구성된 군으로부터 선택된 무기산임을 특징으로 하는 필터.
  33. 제 31항에 있어서, 산이 시트르산, 락트산, 말레산, 푸마르산, 카프로산, 라우르산, 옥살산, 말론산, 타르타르산, 숙신산, 살리실산 및 말산으로 구성된 군으로부터 선택된 모노카복실 유기산, 디카복실 유기산 또는 트리카복실 유기산임을 특징으로 하는 필터.
  34. 제 31항에 있어서, 반응물이 액체임을 특징으로 하는 필터.
  35. 제 31항에 있어서, 반응물이 고체임을 특징으로 하는 필터.
  36. 기류로부터 암모늄 및 아민을 제거하기 위한 파이버 매트를 포함하는 필터로서, 파이버 매트가 다수의 신장된 파이버(여기서, 각각의 파이버는 다수의 길이 방향으로 연장된 내부 캐비티를 규정하고, 각각의 캐비티는 파이버의 외부 표면에 대한 개구를 가진다); 신장된 파이버의 내부 캐비티내에 배치된 산을 포함하며; 산이 내부 캐비티내에 보유되어 있고 필터를 통해 유도되는 기류에 노출되고; 산이 암모늄 및 아민의 적어도 일부분과 반응하여 내부 캐비티내에 보유되는 염을 형성시키는 필터.
  37. 제 36항에 있어서, 파이버가 파이버의 외부 표면에 대한 개구와 결합된 다수의 캡핑된 로브를 가짐을 특징으로 하는 필터.
  38. 제 36항에 있어서, 캡핑된 로브가 T자형임을 특징으로 하는 필터.
  39. 제 36항에 있어서, 3개의 내부 캐비티가 존재함을 특징으로 하는 필터.
  40. 제 36항에 있어서, 산이 액체임을 특징으로 하는 필터.
  41. 제 36항에 있어서, 산이 고체임을 특징으로 하는 필터.
  42. 제 36항에 있어서, 산이 인산, 황산 및 붕산으로 구성된 군으로부터 선택된 무기산임을 특징으로 하는 필터.
  43. 제 36항에 있어서, 산이 시트르산, 락트산, 말레산, 푸마르산, 카프로산, 라우르산, 옥살산, 말론산, 타르타르산, 숙신산, 살리실산 및 말산으로 구성된 군으로부터 선택된 모노카복실 유기산, 디카복실 유기산 또는 트리카복실 유기산임을 특징으로 하는 필터.
  44. 다수의 신장된 파이버(여기서, 각각의 파이버는 다수의 길이 방향으로 연장된 내부 캐비티를 규정하고, 각각의 캐비티는 파이버의 외부 표면에 대한 개구를 가진다); 산이 내부 캐비티에 보유되도록 신장된 파이버의 내부 캐비티내에 배치된 산을 포함하는 필터를 제공하고;
    필터를 통해 유체 스트림을 유도시킴으로써, 필터내의 산이 암모늄 및 아민의 적어도 일부분과 반응하여 필터의 파이버의 내부 캐비티내에 보유되는 염을 형성시키는 것을 포함하여, 유체 스트림으로부터 암모늄 및 아민을 제거하는 방법.
  45. 제 44항에 있어서, 파이버가 파이버이 외부 표면에 대한 개구와 결합된 다수의 캡핑된 로브를 가짐을 특징으로 하는 방법.
  46. 제 44항에 있어서, 캡핑된 로브가 T자형임을 특징으로 하는 방법.
  47. 제 44항에 있어서, 3개의 내부 캐비티가 존재함을 특징으로 하는 방법.
  48. 제 44항에 있어서, 산이 액체임을 특징으로 하는 방법.
  49. 제 44항에 있어서, 산이 고체임을 특징으로 하는 방법.
  50. 제 44항에 있어서, 산이 인산, 황산 및 붕산으로 구성된 군으로부터 선택된 무기산임을 특징으로 하는 방법.
  51. 제 44항에 있어서, 산이 시트르산, 락트산, 말레산, 푸마르산, 카프로산, 라우르산, 옥살산, 말론산, 타르타르산, 숙신산, 살리실산 및 말산으로 구성된 군으로부터 선택된 모노카복실 유기산, 디카복실 유기산 또는 트리카복실 유기산임을 특징으로 하는 방법.
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