KR20020034751A - Metal cathode and indirectly heated cathode assembly having the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A metal cathode and a heat-sink type cathode structure having the same are provided to enhance capacity of electron emission and lengthen a lifetime of the metal cathode by improving a structure of metal cathode. CONSTITUTION: A metal cathode(11) for electron tube is used in a heat-sink type cathode structure. The metal cathode(11) is formed on an upper portion of a sleeve(15) by using a welding method. A heater(13) is mounted in the sleeve(15). The metal cathode(11) is used as a thermion emission material of the heat-sink type cathode structure. The metal cathode(11) is formed with barium of 3 to 20 wt%, one or more high melting point metal of 0.01 to 20 wt% selected from a group including niobium, osmium, molybdenum, tantalum, tungsten, and rhenium, and platinum of the remaining wt%.

Description

메탈 음극 및 이를 구비한 방열형 음극구조체{Metal cathode and indirectly heated cathode assembly having the same}Metal cathode and heat dissipating cathode structure having same {Metal cathode and indirectly heated cathode assembly having the same}

본 발명은 전자빔 장치의 메탈 음극에 관한 것으로, 상세하게는 텔레비전 브라운관, 촬상관 등의 전자빔 장치에 이용될 수 있는, 전자방출능력이 크고 수명이 향상된 전자빔 장치용 열전자 방출 메탈 음극 및 이를 구비한 방열형 음극구조체에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal cathode of an electron beam device, and more particularly, to a heat electron emission metal cathode for an electron beam device having a high electron emission capability and an improved lifetime, which can be used for an electron beam device such as a television CRT and an imaging tube, and a heat dissipating cathode having the same. It is about a structure.

종래 전자관용 열전자 방출 음극에는 니켈(Ni)을 주성분으로 하고 규소(Si), 마그네슘(Mg) 등을 환원제로서 미량 함유시킨 금속 기재(base metal) 위에 바륨을 주성분으로 하는 알카리토류 금속 탄산염층, 바람직하게는 (Ba, Sr, Ca)CO3로 구성된 삼원 탄산염, 또는 (Ba, Sr)CO3로 구성된 이원 탄산염으로부터 전환된 산화물로 된 전자방출물질층을 구비한 소위 "산화물 음극"이 널리 사용되었다. 이러한 산화물 음극은 일함수(work function)가 낮아서 비교적 낮은 온도(700-800℃)에서 사용할 수 있다는 장점이 있는 반면, 전자방출능력에 한계가 있어 1A/㎠ 이상의 전류밀도를 방출하기 어려울 뿐만 아니라, 재료가 반도체이고 전기 저항이 크기 때문에 전자방출 밀도를 높이면 주울(Joule)열에 의한 자기가열로 인해 재료가 증발되거나 용융되어 음극이 열화되거나, 장기간 사용에 의해 금속기재와 산화물층 사이에 중간 저항층이 형성되어 수명이 단축되는 단점이 있다.A conventional alkali metal carbonate layer having barium as a main component on a base metal containing nickel (Ni) as a main component and a trace amount of silicon (Si), magnesium (Mg) as a reducing agent in a conventional electron tube cathode, preferably Preferably, the so-called "oxide cathode" having an electron emitting material layer of oxide converted from a ternary carbonate composed of (Ba, Sr, Ca) CO 3 , or a binary carbonate composed of (Ba, Sr) CO 3 is widely used. . These oxide cathodes have the advantage of being able to be used at relatively low temperatures (700-800 ° C.) due to their low work function, but have a limit in electron emission capability, which makes it difficult to emit a current density of 1 A / cm 2 or more. Because the material is a semiconductor and the electrical resistance is high, if the electron emission density is increased, the material is evaporated or melted due to the self heating by Joule heat, thereby deteriorating the cathode, or the intermediate resistance layer is formed between the metal substrate and the oxide layer by long-term use. There is a disadvantage that the life is shortened.

이러한 이유 때문에 전술한 산화물 음극의 단점이 없는 고성능 메탈 음극을 음극선 장치에 적용하려는 시도가 활기를 띄게 되었다.For this reason, attempts have been made to apply high-performance metal cathodes without the disadvantages of the above-described oxide cathodes to cathode ray devices.

예를 들어, 란타늄 헥사보라이드(LaB6)에 기초한 금속 음극은 산화물 음극에 비하여 강도가 크고 더 높은 전자방출능력을 갖는 것으로 알려져 있는데, 헥사보라이드의 단결정 음극은 10A/㎠ 정도의 높은 전류밀도를 방출할 수 있다. 그러나, 란타늄 헥사보라이드 음극은 수명이 짧기 때문에 음극 유니트의 대체가 가능한 일부 진공전자장치에만 사용되어 왔다. 란타늄 헥사보라이드 음극의 수명이 짧은 이유는 히이터의 구성물질과의 높은 반응성에 기인한 것으로서, 란타늄 헥사보라이드가 히이터의 구성물질, 예를 들어 텅스텐과 접촉하여 많은 깨지기 쉬운 화합물을 형성하기 때문이다.For example, a metal cathode based on lanthanum hexaboride (LaB 6 ) is known to have higher strength and higher electron emission ability than an oxide cathode. Can emit. However, lanthanum hexaboride cathodes have been used only in some vacuum electronics, which can replace the cathode units because of their short lifetime. The short lifetime of the lanthanum hexaboride cathode is due to its high reactivity with the constituents of the heater, since lanthanum hexaboride forms many fragile compounds in contact with the constituents of the heater, eg tungsten. .

미국 특허 제4137476호에는 이러한 반응 가능성을 제거하기 위하여 란타늄헥사보라이드와 히이터의 바디(body) 사이에 다른 배리어(barrier)층을 형성시킨 음극이 개시되어 있다. 그러나, 이 방법에 의하면 음극 생산비용이 상당히 증가하며 음극의 수명을 크게 개선하기도 어렵다.U.S. Patent 4137476 discloses a cathode in which another barrier layer is formed between lanthanum hexaboride and the body of the heater to eliminate this possibility of reaction. However, this method significantly increases the cost of producing the negative electrode and makes it difficult to significantly improve the lifetime of the negative electrode.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기 문제점을 해결하기 위하여 전자방출능력이 크며 수명이 길어, 대형관 및 고정세 전자관 등의 전자빔 장치에 사용될 수 있는 전자빔 장치 열전자 방출 메탈 음극을 제공하는데 있다.Accordingly, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide an electron beam device hot electron emission metal cathode which can be used for electron beam devices such as large tube and high-definition electron tube to have a large electron emission ability and a long life to solve the above problems.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기 메탈 음극을 구비한 방열형 음극구조체를 제공하는데 있다.Another technical problem to be achieved by the present invention is to provide a heat radiation type negative electrode structure having the metal cathode.

도 1은 본 발명에 따른 메탈 음극을 구비한 방열형 음극구조체의 구조를 도시한 개략적인 단면도이고,1 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a heat radiation type cathode structure having a metal cathode according to the present invention,

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 합금의 전자 방출 능력을 나타낸 그래프이다.2 is a graph showing the electron emission capability of the alloy according to an embodiment of the present invention.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은 바륨 3 내지 20중량%, 니오븀, 오스뮴, 몰리브덴, 탄탈, 텅스텐 및 레늄으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 고융점 금속 0.01 내지 20중량% 및 나머지량의 백금을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 장치용 열전자 방출 메탈 음극을 제공한다.In order to achieve the above technical problem, the present invention includes 3 to 20% by weight of barium, 0.01 to 20% by weight of one or more high melting point metals selected from the group consisting of niobium, osmium, molybdenum, tantalum, tungsten and rhenium, and the balance of platinum. Provided is a hot electron emission metal cathode for an electron beam device.

본 발명의 메탈 음극은 란타늄, 세륨, 프라세오디뮴, 네오디뮴 및 사마륨으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나 이상의 희토류 금속을 더 포함할 수 있다.The metal anode of the present invention may further include any one or more rare earth metals selected from the group consisting of lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium, and samarium.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은 상기 메탈 음극을 구비하는 것을 특징으로 하는 방열형 음극구조체를 제공한다.In order to achieve the above another technical problem, the present invention provides a heat radiation type negative electrode structure comprising the metal negative electrode.

이하 본 발명에 따른 메탈 음극 및 그 제조방법을 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, a metal negative electrode and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail.

Pt, Pd, Ir 등의 백금족 원소와 Ba의 합금 에미터들은 마그네트론(magnetron)이나 TWT(Traveling Wave Tube), BWT(Backward Wave Tube) 등의 음극으로 사용되어 왔는데, 열전자 방출 음극이 아니라 1차전자가 재료에 충돌하여 그 에너지로 2차전자가 방출되는 2차전자 방출 음극으로 이용되었다. 종래의 마그네트론에서 2차전자 방출 음극으로 사용되는 백금족 원소-Ba의 합금 에미터에 있어서, Ba 함유량은 1 내지 2중량%이며 수명이 1000시간 정도로 짧아 전자관용 열전자 방출 음극으로 사용하기는 불가능하다.Platinum group elements such as Pt, Pd, and Ir and alloy emitters of Ba have been used as cathodes of magnetron, traveling wave tube (TWT), backward wave tube (BWT), etc. Was used as the secondary electron emission cathode, which impinged on the material and released secondary electrons at that energy. In the alloy emitter of the platinum group element -Ba used as the secondary electron emission cathode in the conventional magnetron, the Ba content is 1 to 2% by weight and the lifespan is about 1000 hours, which makes it impossible to use it as a hot electron emission cathode for an electron tube.

본 발명에서는 바륨 3 내지 20중량%, 니오븀, 오스뮴, 몰리브덴, 탄탈, 텅스텐 및 레늄으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 고융점 금속 0.01 내지 20중량% 및 나머지량의 백금을 포함하는 합금으로 제조된, 전자방출능력이 크고 균일하며 수명 또한 향상된 메탈 음극을 전자관의 열전자 방출물질로 사용하는데 특징이 있다.In the present invention, the former is made of an alloy comprising from 3 to 20% by weight of barium, 0.01 to 20% by weight of at least one high melting point metal selected from the group consisting of niobium, osmium, molybdenum, tantalum, tungsten and rhenium and the balance of platinum It is characterized by the use of a metal cathode as a hot electron emitter for electron tubes with a large emitting capacity, uniformity, and improved lifetime.

백금 및 바륨으로 이루어진 이원 합금으로 제조된 열전자 방출 음극은 종래의 산화물 음극에 비하여 전자방출특성이 우수하나, 메탈음극의 작동온도가 비교적 고온이므로 에미터의 결정성장이 과도하게 일어나 수명특성에 한계를 보이게 된다.The hot electron emission cathode made of a binary alloy composed of platinum and barium has better electron emission characteristics than the conventional oxide cathode. However, since the operating temperature of the metal cathode is relatively high, the crystal growth of the emitter is excessive, resulting in a limitation in the lifetime characteristics. It becomes visible.

따라서, 본 발명에서는 전자관과 같은 전자 빔 장치의 열전자 방출 음극에 적합하도록 백금과 바륨의 함량을 조절함과 동시에, 이들 이원 합금의 결정 성장을 방지할 수 있는 고융점 금속을 첨가하므로써 전자방출특성을 균일하게 하고 음극의 수명을 높이고자 하였다.Therefore, in the present invention, the content of platinum and barium is adjusted to be suitable for the thermoelectron emitting cathode of an electron beam device such as an electron tube, and at the same time, the electron emission characteristics are improved by adding a high melting point metal which can prevent crystal growth of these binary alloys. It was intended to make it uniform and to increase the lifetime of the cathode.

본 발명의 메탈 음극에 있어서, Ba의 함량이 3중량% 미만이면 음극의 수명특성이 저하되며, 20중량%를 초과하면 슬럼프 등이 발생하는 문제점이 있다.In the metal negative electrode of the present invention, if the content of Ba is less than 3% by weight, the lifetime characteristics of the negative electrode are lowered, and if it exceeds 20% by weight, there is a problem that slump and the like occur.

본 발명의 메탈 음극에 있어서, 첨가되는 고융점 금속으로는 니오븀, 오스뮴, 몰리브덴, 탄탈, 텅스텐 및 레늄 등을 들 수 있다. 이러한 고융점 금속의 함량이 0.05중량% 미만이면 음극의 수명특성을 향상시키는 효과가 미미하며, 20중량%를 초과하면 금속의 결정구조상 주상이 바뀌므로 초기 특성이 감소하는 문제점이 있다. 고융점 금속의 더욱 바람직한 함량은 0.5 내지 20중량%이다.In the metal cathode of the present invention, niobium, osmium, molybdenum, tantalum, tungsten, rhenium, etc. may be added as the high melting point metal to be added. If the content of the high melting point metal is less than 0.05% by weight, the effect of improving the life characteristics of the negative electrode is insignificant, and if it exceeds 20% by weight, the main phase is changed in the crystal structure of the metal, there is a problem that the initial characteristics are reduced. More preferred content of the high melting point metal is 0.5 to 20% by weight.

본 발명에 따른 메탈 음극에 란타늄, 세륨, 프라세오디뮴, 네오디뮴 및 사마륨으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나 이상의 희토류 금속을 더 첨가할 수 있다.One or more rare earth metals selected from the group consisting of lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium and samarium may be further added to the metal anode according to the present invention.

이하에서는, 본 발명에 따른 메탈 음극의 제조방법을 예를 들어 상세히 설명한다.Hereinafter, the manufacturing method of the metal negative electrode according to the present invention will be described in detail.

먼저, Pt, Ba 및 고융점 금속을 아크로에 넣는다. Pt와 Ba은 융점 차이가 크므로 순간적으로 금속을 융해시킬 수 있는 아크로를 사용하는 것이 바람직하며 Ba은 증발하기 쉬우므로 최종 합금에 함유될 함량보다 10 내지 15%를 더 넣어 Ba의 함량을 조절하도록 한다. 이어서, 아크로 내부를 진공 상태로 유지한 후 Ar 가스와 같은 불활성 기체를 주입한다. 그런 다음, 아크로에 전압을 인가하여 짧은 시간 내에 Pt, Ba 및 고융점 금속을 융해시킨다. 이 때, 텅스텐과 같은 금속봉으로 잘 저어주어 세가지 금속의 합금화가 잘 이루어지도록 한다. Pt와 Ba은 밀도차가 많이 나므로 이들 금속으로 이루어진 균일한 합금을 얻기 어렵다. 따라서, 상기 융해 과정 및 응고과정을 수회 반복 실시하면 화학적 및 미세구조적 균일성이 향상된 본 발명에 따른 합금을 제조할 수 있다.First, Pt, Ba and high melting point metals are placed in an arc furnace. Since Pt and Ba have a large melting point difference, it is preferable to use an arc furnace that can melt the metal instantaneously. Since Ba is easy to evaporate, 10 to 15% of the content of the final alloy is added to control the content of Ba. do. Subsequently, the inside of the arc furnace is kept in a vacuum state and then an inert gas such as Ar gas is injected. Then, a voltage is applied to the arc furnace to melt Pt, Ba and the high melting point metal in a short time. At this time, stir well with a metal rod such as tungsten to ensure good alloying of the three metals. Since Pt and Ba have a large density difference, it is difficult to obtain a uniform alloy composed of these metals. Therefore, by repeatedly performing the melting process and the solidification process, it is possible to produce an alloy according to the present invention with improved chemical and microstructure uniformity.

이어서, 아크로에서 제조한 3원 합금을 전자관의 음극 구조에 적합하도록 절단 또는 성형한 후 음극 구조체에 장착한다.Subsequently, the ternary alloy prepared in the arc furnace is cut or molded to suit the cathode structure of the electron tube and then mounted on the cathode structure.

본 발명에 따른 전자관용 메탈 음극은 직열형 음극구조체에 사용될 수도 있으나 도 1에 나타난 바와 같은 방열형 음극구조체에 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 도 1을 참조하면, 본 발명의 메탈 음극(11)은 히이터(13)가 내장된 슬리이브(15)의 상부에 용접하여 방열형 음극구조체의 열전자 방출물질로 사용하는 것이 바람직하다.The metal cathode for an electron tube according to the present invention may be used in a direct type cathode structure, but is preferably used in a heat radiation type cathode structure as shown in FIG. 1. That is, referring to FIG. 1, the metal cathode 11 of the present invention is preferably welded to the upper portion of the sleeve 15 having the heater 13 embedded therein and used as a heat electron emission material of the heat radiation type cathode structure.

본 발명은 하기의 실시예를 참고로 더욱 상세히 설명되며, 이 실시예가 본 발명을 제한하려는 것은 아니다.The invention is described in more detail with reference to the following examples, which are not intended to limit the invention.

<실시예 1><Example 1>

먼저, 분말 형태의 Pt 10g, Ba 1.0g 및 몰리브덴 1g을 아크로에 넣는다. 이어서, 아크로 내부를 진공 상태로 유지한 후 Ar 가스를 주입하였다. 그런 다음, 아크로에 전압을 인가하여 Pt, Ba 및 Mo 금속을 융해시켰다. 어렇게 얻은 잉고트를 상기 융해 과정을 3회 반복하여 합금의 화학적 및 미세구조적 균일성이 향상되도록 한 3원합금을 제조하였다.First, 10 g of powder Pt, 1.0 g of Ba and 1 g of molybdenum are placed in an arc furnace. Subsequently, Ar gas was injected after the inside of the arc furnace was kept in a vacuum state. Then, a voltage was applied to the arc furnace to melt the Pt, Ba, and Mo metals. Thus obtained ingot was repeated three times the melting process to prepare a ternary alloy to improve the chemical and microstructure uniformity of the alloy.

실시예 2Example 2

분말상태의 Pt 10g, Ba 1.3g 및 텅스텐 0.3g을 아크로에 넣은 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 3원합금을 제조하였다.A ternary alloy was prepared in the same manner as in Example 1 except that 10 g of powder Pt, 1.3 g of Ba, and 0.3 g of tungsten were placed in an arc furnace.

실시예 3Example 3

분말상태의 Pt 10g, Ba 1.0g, 몰리브덴 0.15g 및 세륨 0.07g을 아크로에 넣은 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 4원합금을 제조하였다.A quaternary alloy was prepared in the same manner as in Example 1 except that 10 g of powder Pt, 1.0 g of Ba, 0.15 g of molybdenum, and 0.07 g of cerium were placed in an arc furnace.

이어서, 상기 실시예에 따라 제조한 3원합금 및 4원합금을 절단하여 도 1에 도시된 방열형 음극구조체 상부에 용접한 후 인가전압에 따른 음극의 전자방출능력을 측정하여 그 측정결과를 도 2에 나타냈다.Subsequently, the three-membered alloy and the four-membered alloy prepared according to the embodiment were cut and welded to the upper portion of the heat radiation type negative electrode structure shown in FIG. 1, and then the electron emission capability of the negative electrode was measured according to the applied voltage. Indicated.

도 2를 참조하면, 본 발명의 함량을 갖는 3원합금 및 4원합금의 음극(실시예 1 내지 3)은 전자방출능력이 매우 큼을 알 수 있다.Referring to Figure 2, it can be seen that the cathode (Examples 1 to 3) of the ternary alloy and the quaternary alloy having the content of the present invention has a very large electron emission ability.

본 발명에 따른 메탈 음극 및 이를 구비한 방열형 음극구조체는 함침형 음극과 비슷한 1200℃ 정도의 온도에서도 동작되어 종래의 음극제조공정의 변경 없이도 적용이 가능할 뿐만 아니라 전자방출능력이 균일하고 크며 수명이 길다. 또한, 본 발명의 메탈 음극은 종래의 탄산염 음극과는 달리 공정 적용성이 양호하고, 브라운관 내의 진공도나 가스 등 외적인 요인에 대한 안정성이 뛰어나므로 대형관 및 고정세 전자관 등에 유용하게 사용될 수 있다.The metal cathode according to the present invention and the heat dissipating cathode structure having the same are operated at a temperature of about 1200 ° C. similar to the impregnated cathode, and thus can be applied without changing the conventional cathode manufacturing process. . In addition, unlike the conventional carbonate cathode, the metal anode of the present invention has good process applicability, and is excellent in stability against external factors such as vacuum degree or gas in the CRT, and thus may be usefully used in large tubes and high-definition electronic tubes.

Claims (3)

바륨 3 내지 20중량%, 니오븀, 오스뮴, 몰리브덴, 탄탈, 텅스텐 및 레늄으로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 고융점 금속 0.01 내지 20중량% 및 나머지량의 백금을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 장치용 열전자 방출 메탈 음극.3-20 wt% barium, 0.01-20 wt% of one or more high melting point metals selected from the group consisting of niobium, osmium, molybdenum, tantalum, tungsten and rhenium and the balance of platinum for an electron beam device Metal cathode. 제1항에 있어서, 란타늄, 세륨, 프라세오디뮴, 네오디뮴 및 사마륨으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나 이상의 희토류 금속을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 장치용 열전자 방출 메탈 음극.The hot electron emission metal cathode of claim 1, further comprising any one or more rare earth metals selected from the group consisting of lanthanum, cerium, praseodymium, neodymium, and samarium. 제1항 내지 제2항 중 어느 한 항의 메탈 음극을 구비한 것을 특징으로 하는 방열형 음극 구조체.A heat radiation type negative electrode structure, comprising the metal cathode of any one of claims 1 to 2.
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