KR20020031590A - Metal cathode and indirectly heated cathode assembly having the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A metal cathode and cathode structure having metal cathode is provided to easily manufacture small sized emitters, while improving electron emission capability and mechanical characteristics. CONSTITUTION: A metal cathode(13) comprises a cathode composed of a barium 0.5 to 10 weight percent, one or more from a tungsten and molybdenum 0.5 to 15.0 weight percent, and platinum; and a coating layer(12) formed of an iridium. The coating layer has a thickness of 1000 to 2000 angstrom. The iridium layer coated onto the cathode serves to decrease the work function of the cathode, without deteriorating the electron emission capability.

Description

메탈 음극 및 이를 구비한 방열형 음극구조체{Metal cathode and indirectly heated cathode assembly having the same}Metal cathode and heat dissipating cathode structure having same {Metal cathode and indirectly heated cathode assembly having the same}

본 발명은 전자빔 장치의 메탈 음극에 관한 것으로, 상세하게는 텔레비전 브라운관, 촬상관 등의 전자빔 장치에 이용될 수 있는, 전자방출능력이 우수할 뿐만 아니라 수명 및 기계적 성질이 향상된 열전자 방출 메탈 음극 및 이를 구비한 방열형 음극구조체에 관한 것이다.The present invention relates to a metal cathode of an electron beam device, and more particularly, can be used in an electron beam device such as a television cathode ray tube, an imaging tube, etc., and has a hot electron emission metal cathode having excellent electron emission capability and improved life and mechanical properties, and the same. One heat dissipation type cathode structure.

종래 전자관용 열전자 방출 음극에는 니켈(Ni)을 주성분으로 하고 규소(Si), 마그네슘(Mg) 등을 환원제로서 미량 함유시킨 금속 기재(base metal) 위에 바륨을주성분으로 하는 알카리토류 금속 탄산염층, 바람직하게는 (Ba, Sr, Ca)CO3로 구성된 삼원 탄산염, 또는 (Ba, Sr)CO3로 구성된 이원 탄산염으로부터 전환된 산화물로 된 전자방출물질층을 구비한 소위 "산화물 음극"이 널리 사용되었다. 이러한 산화물 음극은 일함수(work function)가 낮아서 비교적 낮은 온도(700-800℃)에서 사용할 수 있다는 장점이 있는 반면, 전자방출능력에 한계가 있어 1A/㎠ 이상의 전류밀도를 방출하기 어려울 뿐만 아니라, 재료가 반도체이고 전기 저항이 크기 때문에 전자방출 밀도를 높이면 주울(Joule)열에 의한 자기가열로 인해 재료가 증발되거나 용융되어 음극이 열화되거나, 장기간 사용에 의해 금속기재와 산화물층 사이에 중간 저항층이 형성되어 수명이 단축되는 단점이 있다.A conventional alkali metal carbonate layer having a barium as a main component on a base metal containing nickel (Ni) as a main component and a trace amount of silicon (Si), magnesium (Mg) as a reducing agent in a conventional electron tube cathode, preferably Preferably, the so-called "oxide cathode" having an electron emitting material layer of oxide converted from a ternary carbonate composed of (Ba, Sr, Ca) CO 3 , or a binary carbonate composed of (Ba, Sr) CO 3 is widely used. . These oxide cathodes have the advantage of being able to be used at relatively low temperatures (700-800 ° C.) due to their low work function, but have a limit in electron emission capability, which makes it difficult to emit a current density of 1 A / cm 2 or more. Because the material is a semiconductor and the electrical resistance is high, if the electron emission density is increased, the material is evaporated or melted due to the self heating by Joule heat, thereby deteriorating the cathode, or the intermediate resistance layer is formed between the metal substrate and the oxide layer by long-term use. There is a disadvantage that the life is shortened.

또한, 산화물 음극은 깨지기 쉽고 장착되는 금속기재에 대한 접착력이 낮으므로 이러한 타입의 음극을 구비한 음극선 장치의 수명은 짧아지게 된다. 예를 들어, 칼라 수상관의 3개 산화물 음극중 하나만 손상되어도 비싼 전체 장치가 고장나게 되는 것이다.In addition, since the oxide cathode is fragile and has low adhesion to the metal substrate to be mounted, the lifetime of the cathode ray device having this type of cathode is shortened. For example, if only one of the three oxide cathodes of a color receiver is damaged, the entire expensive device will fail.

이러한 이유 때문에 전술한 산화물 음극의 단점이 없는 고성능 메탈 음극을 음극선 장치에 적용하려는 시도가 활기를 띄게 되었다.For this reason, attempts have been made to apply high-performance metal cathodes without the disadvantages of the above-described oxide cathodes to cathode ray devices.

예를 들어, 란타늄 헥사보라이드(LaB6)에 기초한 금속 음극은 산화물 음극에 비하여 강도가 크고 더 높은 전자방출능력을 갖는 것으로 알려져 있는데, 헥사보라이드의 단결정 음극은 10A/㎠ 정도의 높은 전류밀도를 방출할 수 있다. 그러나, 란타늄 헥사보라이드 음극은 수명이 짧기 때문에 음극 유니트의 대체가 가능한 일부진공전자장치에만 사용되어 왔다. 란타늄 헥사보라이드 음극의 수명이 짧은 이유는 히이터의 구성물질과의 높은 반응성에 기인한 것으로서, 란타늄 헥사보라이드가 히이터의 구성물질, 예를 들어 텅스텐과 접촉하여 많은 깨지기 쉬운 화합물을 형성하기 때문이다.For example, a metal cathode based on lanthanum hexaboride (LaB 6 ) is known to have a higher strength and higher electron emission ability than an oxide cathode. A single crystal cathode of hexaboride has a high current density of about 10 A / cm 2. Can emit. However, lanthanum hexaboride cathodes have been used only in some vacuum electronic devices that can be replaced by cathode units because of their short lifetime. The short lifetime of the lanthanum hexaboride cathode is due to its high reactivity with the constituents of the heater, since lanthanum hexaboride forms many fragile compounds in contact with the constituents of the heater, eg tungsten. .

미국 특허 제4137476호에는 이러한 반응 가능성을 제거하기 위하여 란타늄 헥사보라이드와 히이터의 바디(body) 사이에 다른 배리어(barrier)층을 형성시킨 음극이 개시되어 있다. 그러나, 이 방법에 의하면 음극 생산비용이 상당히 증가하며 음극의 수명을 크게 개선하기도 어렵다.US Pat. No. 4,137,476 discloses a cathode in which another barrier layer is formed between lanthanum hexaboride and the body of the heater to eliminate this possibility of reaction. However, this method significantly increases the cost of producing the negative electrode and makes it difficult to significantly improve the lifetime of the negative electrode.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 상기 문제점을 해결하기 위하여 전자방출능력이 우수할 뿐만 아니라 수명 및 기계적 성질이 향상된 전자빔 장치의 열전자 방출 메탈 음극을 제공하는데 있다.Therefore, the technical problem to be achieved by the present invention is to provide a hot electron emitting metal cathode of an electron beam device not only excellent in the electron emitting ability, but also improved life and mechanical properties to solve the above problems.

본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기 메탈 음극을 구비한 방열형 음극구조체를 제공하는데 있다.Another technical problem to be achieved by the present invention is to provide a heat radiation type negative electrode structure having the metal cathode.

도 1은 본 발명에 따른 메탈 음극을 구비한 방열형 음극구조체의 구조를 도시한 개략적인 단면도이다.1 is a schematic cross-sectional view showing the structure of a heat radiation type negative electrode structure having a metal cathode according to the present invention.

<도면의 주요 부호에 대한 설명><Description of Major Symbols in Drawing>

11...합금층12...이리듐 코팅층11 alloy layer 12 iridium coating layer

13...메탈 음극14...히이터13 Metal cathode 14 Heater

15...슬리이브15 ... sleeve

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은 바륨 0.5 내지 10중량%, 텅스텐 및 몰리브덴 중 어느 하나 이상의 금속 0.5 내지 15.0중량% 및 나머지량의 백금으로 이루어진 음극 위에 이리듐으로 이루어진 코팅층이 형성된 것을 특징으로 하는 전자빔 장치용 열전자 방출 메탈 음극을 제공한다.In order to achieve the above technical problem, the present invention provides an electron beam, wherein a coating layer made of iridium is formed on a cathode made of 0.5 to 10% by weight of barium, 0.5 to 15.0% by weight of one or more metals of tungsten and molybdenum, and the remaining amount of platinum. Provided is a hot electron emitting metal cathode for a device.

본 발명의 메탈 음극에 있어서, 상기 이리듐 코팅층의 두께는 1000Å 내지20000Å인 것이 바람직하다.In the metal cathode of the present invention, the thickness of the iridium coating layer is preferably 1000 kPa to 20000 kPa.

상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명은 상기 메탈 음극을 구비하는 것을 특징으로 하는 방열형 음극구조체를 제공한다.In order to achieve the above another technical problem, the present invention provides a heat radiation type negative electrode structure comprising the metal negative electrode.

이하 본 발명에 따른 메탈 음극 및 그 제조방법을 상세하게 설명하고자 한다.Hereinafter, a metal negative electrode and a method of manufacturing the same according to the present invention will be described in detail.

본 발명의 음극은 백금-바륨으로 이루어진 합금에 소정량의 텅스텐 및/또는 몰리브덴을 첨가하여 음극 물질을 제조하고, 이 음극 물질 상부에 이리듐을 코팅함으로써 음극의 일함수를 낮추는데 그 특징이 있다.The negative electrode of the present invention is characterized by lowering the work function of the negative electrode by preparing a negative electrode material by adding a predetermined amount of tungsten and / or molybdenum to an alloy made of platinum-barium, and coating iridium on the negative electrode material.

본 발명의 메탈 음극은 바륨 0.5 내지 10.0중량%를 포함한다. 바륨 금속의 함량이 0.5중량% 미만이면 활성성분인 바륨 금속의 결핍으로 인해 음극의 수명이 단축되며, 10.0중량%를 초과하면 전자방출특성이 낮은 Pt2Ba와 같은 화합물을 음극표면에 형성하는 문제점이 있다.The metal cathode of the present invention contains 0.5 to 10.0% by weight of barium. If the content of the barium metal is less than 0.5% by weight, the lifetime of the negative electrode is shortened due to the lack of the active barium metal. If the content of the barium metal exceeds 10.0% by weight, a compound such as Pt 2 Ba having low electron emission characteristics is formed on the surface of the negative electrode. There is this.

본 발명의 음극용 합금은 텅스텐 및/또는 몰리브덴 0.5 내지 15.0중량%를 포함한다. 텅스텐 및/또는 몰리브덴의 함량은 합금의 가소성 및 전자방출능력이 저하되지 않는 한도내에서 선택되는데, 그 함량이 0.5중량% 미만이면 합금의 융점이 저하되어 음극의 고온작동이 곤란하고, 함량이 15.0중량%를 초과하면 음극의 전자방출능력 및 가소성이 저하되는 문제점이 있다.The anode alloy of the present invention comprises 0.5 to 15.0 wt% of tungsten and / or molybdenum. The content of tungsten and / or molybdenum is selected as long as the plasticity and electron-emitting ability of the alloy are not lowered. If the content is less than 0.5% by weight, the melting point of the alloy is lowered, so that the high temperature operation of the cathode is difficult and the content is 15.0. If the weight percentage is exceeded, there is a problem in that the electron-emitting ability and plasticity of the negative electrode are lowered.

본 발명의 메탈 음극은 상기 백금-바륨-텅스텐 및/또는 백금-바륨-몰리브덴으로 이루어진 음극 위에 이리듐으로 이루어진 코팅층이 형성된다. 상기 음극 위에 코팅된 이리듐층은 음극의 일함수를 감소시키는 역할을 한다. 이러한 이리듐의 두께는 1000Å 내지 20000Å인 것이 바람직한데, 이 범위내에서 전자방출능력을 저하시키지 않으면서 효과적으로 음극의 일함수를 감소시킬 수 있다.In the metal cathode of the present invention, a coating layer made of iridium is formed on the cathode made of platinum-barium-tungsten and / or platinum-barium-molybdenum. The iridium layer coated on the negative electrode serves to reduce the work function of the negative electrode. It is preferable that the thickness of such iridium is 1000 kPa to 20000 kPa, and within this range, the work function of the cathode can be effectively reduced without lowering the electron-emitting ability.

이하에서는, 본 발명에 따른 메탈 음극의 제조방법을 예를 들어 상세히 설명한다.Hereinafter, the manufacturing method of the metal negative electrode according to the present invention will be described in detail.

먼저, Pt, Ba 및 텅스텐 및/또는 몰리브덴을 아크로에 넣는다. Pt와 Ba은 융점 차이가 크므로 순간적으로 금속을 융해시킬 수 있는 아크로를 사용하는 것이 바람직하며 Ba은 증발하기 쉬우므로 최종 합금에 함유될 함량보다 10 내지 15%를 더 넣어 Ba의 함량을 조절하도록 한다. 이어서, 아크로 내부를 진공 상태로 유지한 후 Ar 가스와 같은 불활성 기체를 주입한다. 그런 다음, 아크로에 전압을 인가하여 짧은 시간 내에 Pt, Ba 및 텅스텐 및/또는 몰리브덴을 융해시킨다. Pt와 Ba은 밀도차가 많이 나므로 이들 금속으로 이루어진 균일한 합금을 얻기 어렵다. 따라서, 상기 융해과정 및 응고과정을 수회 반복 실시하면 화학적 및 미세구조적 균일성이 향상된 본 발명에 따른 합금을 제조할 수 있다.First, Pt, Ba and tungsten and / or molybdenum are placed in an arc furnace. Since Pt and Ba have a large melting point difference, it is preferable to use an arc furnace that can melt the metal instantaneously. Since Ba is easy to evaporate, 10 to 15% of the content of the final alloy is added to control the content of Ba. do. Subsequently, the inside of the arc furnace is kept in a vacuum state and then an inert gas such as Ar gas is injected. A voltage is then applied to the arc furnace to melt Pt, Ba and tungsten and / or molybdenum in a short time. Since Pt and Ba have a large density difference, it is difficult to obtain a uniform alloy composed of these metals. Therefore, by repeatedly performing the melting process and the solidification process, it is possible to manufacture the alloy according to the present invention with improved chemical and microstructure uniformity.

이어서, 아크로에서 제조한 합금 상에 진공 증착법 등을 이용하여 이리듐을 코팅하여 본 발명에 따른 메탈 음극을 제조하고, 전자관의 음극 구조에 적합하도록 절단 또는 성형한 후 음극 구조체에 장착한다.Subsequently, a metal cathode according to the present invention is prepared by coating iridium on an alloy prepared in an arc using a vacuum deposition method or the like, and is cut or molded to be suitable for the cathode structure of the electron tube, and then mounted on the cathode structure.

본 발명에 따른 전자관용 메탈 음극은 직열형 음극구조체에 사용될 수도 있으나 도 1에 나타난 바와 같은 방열형 음극구조체에 사용하는 것이 바람직하다. 즉, 도 1을 참조하면, 백금-바륨-텅스텐 및/또는 백금-바륨-몰리브덴으로 이루어진 합금(11) 위에 이리듐 코팅층(12)이 형성된 본 발명의 메탈 음극(13)은 히이터(14)가 내장된 슬리이브(15)의 상부에 용접하여 방열형 음극구조체의 열전자 방출물질로 사용하는 것이 바람직하다.The metal cathode for an electron tube according to the present invention may be used in a direct type cathode structure, but is preferably used in a heat radiation type cathode structure as shown in FIG. 1. That is, referring to FIG. 1, the metal cathode 13 of the present invention in which the iridium coating layer 12 is formed on an alloy 11 made of platinum-barium-tungsten and / or platinum-barium-molybdenum has a heater 14 embedded therein. It is preferable to use the hot electron emitting material of the heat radiation type cathode structure by welding the upper portion of the sleeve 15.

본 발명은 하기의 실시예를 참고로 더욱 상세히 설명되며, 이 실시예가 본 발명을 제한하려는 것은 아니다.The invention is described in more detail with reference to the following examples, which are not intended to limit the invention.

<실시예 1><Example 1>

먼저, 분말 또는 잉고트(ingot) 형태의 Pt 3.64g, Ba 0.32g 및 몰리브덴 0.44g을 아크로에 넣는다. 이어서, 아크로 내부를 진공 상태로 유지한 후 Ar 가스를 주입하였다. 그런 다음, 아크로에 전압을 인가하여 Pt, Ba 및 몰리브덴 금속을 융해시키고 세가지 금속의 합금화가 잘 이루어지도록 하였다. 이렇게 얻은 잉고트를 상기 융해 과정을 3회 반복하여 합금의 화학적 및 미세구조적 균일성이 향상되도록 하였고, 최종적으로 Pt 82.8중량%, Ba 7.2중량% 및 몰리브덴 10중량%로 이루어진 3원 합금을 제조하였다.First, 3.64 g Pt, 0.32 g Ba and 0.44 g molybdenum in powder or ingot form are placed in an arc furnace. Subsequently, Ar gas was injected after the inside of the arc furnace was kept in a vacuum state. Then, a voltage was applied to the arc furnace to melt the Pt, Ba and molybdenum metals, and to alloy the three metals well. The ingot thus obtained was repeated three times to melt the chemical and microstructure uniformity of the alloy. Finally, a ternary alloy consisting of 82.8 wt% Pt, 7.2 wt% Ba, and 10 wt% molybdenum was prepared.

이렇게 얻어진 3원 합금 위에 진공 증착법을 이용하여 두께가 3000Å인 이리듐 코팅층을 형성하여 본 발명에 따른 음극을 제조하고, 상기 음극을 절단하여 도 1에 도시된 방열형 음극구조체 상부에 용접한 후 작동온도를 측정하여 그 측정결과를 표 1에 나타내었다.Thus, the negative electrode according to the present invention was formed by forming an iridium coating layer having a thickness of 3000 kPa on the ternary alloy obtained by vacuum evaporation. The negative electrode was cut and welded to the upper portion of the heat radiation type negative electrode structure shown in FIG. The measurement results are shown in Table 1.

<실시예 2><Example 2>

몰리브덴 대신에 텅스텐 0.44g을 이용한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법에 따라 최종적으로 Pt 82.8중량%, Ba 7.2중량% 및 텅스텐 10중량%로 이루어진 3원 합금을 제조하였다.Except for using tungsten 0.44g instead of molybdenum, according to the same method as in Example 1 was finally prepared a ternary alloy consisting of 82.8% by weight of Pt, 7.2% by weight of Ba and 10% by weight of tungsten.

이렇게 얻어진 3원 합금 위에 진공 증착법을 이용하여 두께가 3000Å인 이리듐 코팅층을 형성하여 본 발명에 따른 음극을 제조하고, 상기 음극을 절단하여 도 1에 도시된 방열형 음극구조체 상부에 용접한 후 작동온도를 측정하여 그 측정결과를 표 1에 나타내었다.Thus, the negative electrode according to the present invention was formed by forming an iridium coating layer having a thickness of 3000 kPa on the ternary alloy obtained by vacuum evaporation. The negative electrode was cut and welded to the upper portion of the heat radiation type negative electrode structure shown in FIG. The measurement results are shown in Table 1.

<비교예>Comparative Example

분말 또는 잉고트 형태의 Pt 3.64g, Ba 0.32g을 아크로에 넣는다. 이어서, 아크로 내부를 진공 상태로 유지한 후 Ar 가스를 주입하였다. 그런 다음, 아크로에 전압을 인가하여 Pt 및 Ba 금속을 융해시키고 두가지 금속의 합금화가 잘 이루어지도록 하였다. 이렇게 얻은 잉고트를 상기 융해 과정을 3회 반복하여 합금의 화학적 및 미세구조적 균일성이 향상되도록 하였고, 최종적으로 Pt 91.9중량%, Ba 8.1중량%로 이루어진 2원 합금을 제조하였다.3.64 g of Pt and 0.32 g of Ba in powder or ingot form are placed in an arc furnace. Subsequently, Ar gas was injected after the inside of the arc furnace was kept in a vacuum state. Then, a voltage was applied to the arc furnace to melt the Pt and Ba metals and to alloy the two metals well. The ingot was obtained by repeating the melting process three times to improve the chemical and microstructure uniformity of the alloy. Finally, a binary alloy composed of 91.9 wt% Pt and 8.1 wt% Ba was prepared.

이렇게 얻어진 2원 합금으로 음극을 제조하고, 상기 음극을 절단하여 도 1에 도시된 방열형 음극구조체 상부에 용접한 후 작동온도를 측정하여 그 측정결과를 표 1에 나타내었다.The anode was manufactured from the binary alloy thus obtained, and the cathode was cut and welded to the upper portion of the heat radiation type cathode structure shown in FIG. 1, and then the operating temperature was measured. The measurement results are shown in Table 1 below.

1100℃에서의 일함수(eV)Work function (eV) at 1100 ℃ 1100℃에서의 포화전류밀도(A/㎠)Saturation Current Density at 1100 ℃ (A / ㎠) 실시예 1Example 1 1.71.7 1010 실시예 2Example 2 1.81.8 1010 비교예Comparative example 2.22.2 44

표 1을 참조하면, Pt와 Ba만으로 이루어진 메탈음극에 비해, Pt와 Ba, 텅스텐 및 몰리브덴 중 어느 하나 이상의 금속과 이리듐 코팅층으로 이루어진 본 발명에 따른 메탈 음극은 일함수가 낮으며, 전자방출특성 등도 매우 우수함을 알 수 있다.Referring to Table 1, the metal cathode according to the present invention having a metal and an iridium coating layer of any one or more of Pt and Ba, tungsten, and molybdenum has a low work function, electron emission characteristics, and the like, compared to a metal cathode composed of only Pt and Ba. It can be seen that it is very excellent.

본 발명에 따른 메탈 음극은 가소성이 우수하여 작은 크기의 에미터를 제조하기 용이할 뿐만 아니라 전자방출능력이 크며, 특히 일함수가 낮아 장수명을 가지므로 전자빔 장치의 음극 물질로 유용하다.The metal cathode according to the present invention is not only easy to manufacture a small size emitter having excellent plasticity, but also has a large electron emission ability, and particularly, has a long life, and thus is useful as a cathode material of an electron beam apparatus.

Claims (3)

바륨 0.5 내지 10중량%, 텅스텐 및 몰리브덴 중 어느 하나 이상의 금속 0.5 내지 15.0중량% 및 나머지량의 백금으로 이루어진 음극 위에 이리듐으로 이루어진 코팅층이 형성된 것을 특징으로 하는 전자빔 장치용 열전자 방출 메탈 음극.A thermoelectron emitting metal cathode for an electron beam device, characterized in that a coating layer made of iridium is formed on a cathode made of 0.5 to 10% by weight of barium, 0.5 to 15.0% by weight of one or more metals of tungsten and molybdenum and the remaining amount of platinum. 제1항에 있어서, 상기 이리듐 코팅층의 두께가 1000Å 내지 20000Å인 것을 특징으로 하는 전자빔 장치용 열전자 방출 메탈 음극.The hot electron emission metal cathode for electron beam device according to claim 1, wherein the iridium coating layer has a thickness of 1000 kPa to 20,000 kPa. 제1항 내지 제2항 중 어느 한 항의 메탈 음극을 구비한 것을 특징으로 하는 방열형 음극 구조체.A heat radiation type negative electrode structure, comprising the metal cathode of any one of claims 1 to 2.
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