KR20020029715A - Organic electroluminescence display device - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An organic electroluminescence display device is provided to achieve an improved display quality and reduce power consumption by maintaining contact resistances of cathode side lead electrodes at both sides of screen display area to be equal. CONSTITUTION: An organic electroluminescence display device comprises a substrate(110); anode electrodes(120) arranged at a screen display area from among the upper surface of the substrate; anode side lead electrodes arranged outside of the screen display area and connected to ends of anode electrodes so as to apply power to anode electrodes; cathode side lead electrodes(165a,165b) arranged at the opposed one side and the other side of the screen display area, and which are separated from the anode electrodes; an inter-layer insulation film(130) covering the front surface of the substrate, and which has contact holes(127,167a,167b) formed at a predetermined portion of the cathode side lead electrodes disposed adjacent to the screen display area and at a predetermined portion of anode electrodes where pixels are to be formed; a luminescent element layer for generating light having a predetermined color; and cathode electrodes arranged to cross the anode electrodes and connected to cathode side lead electrodes through contact holes.

Description

유기 전계 발광 표시장치{Organic electroluminescence display device}Organic electroluminescence display device

본 발명은 유기 전계 발광 표시장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 리드 전극들을 덮도록 층간 절연막을 기판의 전면에 형성하고, 층간 절연막 중에서 화면표시영역의 양쪽에 형성되는 캐소드측 리드 전극들의 단부 소정부분에 컨택홀을 형성한 후에 캐소드 전극을 형성하여 컨택홀을 통해 캐소드측 리드 전극들과 캐소드 전극들을 전기적으로 연결시킴으로써, 화면표시영역의 양쪽으로 형성되는 캐소드측 리드 전극들의 접촉 면적을 서로 동일하게 제어하기 위한 유기 전계 발광 표시장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic light emitting display device, and more particularly, an interlayer insulating film is formed on the entire surface of the substrate to cover the lead electrodes, and predetermined portions of the cathode side lead electrodes formed on both sides of the screen display area of the interlayer insulating film. After forming a contact hole in the cathode, the cathode is formed to electrically connect the cathode-side lead electrodes and the cathode electrodes through the contact hole, thereby controlling the contact area of the cathode-side lead electrodes formed on both sides of the screen display area equally. An organic electroluminescent display device is provided.

일반적으로 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(Cathode Ray Tube)는 TV를 비롯해서 계측기기, 정보 단말기기 등의 모니터에 주로 이용되고 있으나, CRT의 자체 무게와 크기로 인해 전자 제품의 소형화, 경량화의 요구에 적극 대응할 수 없었다.CRT (Cathode Ray Tube), one of the commonly used display devices, is mainly used for monitors such as TVs, measuring devices, and information terminal devices.However, due to the weight and size of the CRT itself, Could not respond actively to the demand.

이러한, CRT를 대체하기 위해 경박단소화 및 저소비전력 등의 장점을 갖고 있는 평판 표시장치의 개발이 활발히 진행되고 있으며, 그 수요도 계속적으로 증가하고 있다. 현재까지는 평판 표시장치들 중에서 액정의 전기 광학적 성질을 이용하여 정보를 표시하는 액정표시장치의 수요가 가장 많으므로 액정표시장치 위주로 기술 개발이 이루어지고 있다.In order to replace the CRT, development of a flat panel display device having advantages such as light and small size and low power consumption is actively progressing, and the demand thereof is continuously increasing. Until now, the demand for a liquid crystal display device for displaying information using the electro-optical properties of liquid crystals among flat panel display devices is the highest, and thus technology development has been focused on liquid crystal display devices.

그러나, 액정표시장치는 외부에서 들어오는 광의 양을 조절하여 화상을 표시하는 수광성 장치이기 때문에 구동이 복잡할 뿐만 아니라 액정패널에 광을 조사하기 위한 별도의 광원, 즉 백라이트 어셈블리가 반드시 필요하므로 액정표시장치의경박단소화 및 가격경쟁력 등 여러 가지 면에서 불리한 요소가 많다.However, since the liquid crystal display device is a light-receiving device that displays an image by controlling the amount of light coming from the outside, driving is complicated, and a separate light source, that is, a backlight assembly, for irradiating light to the liquid crystal panel is necessary, so that the liquid crystal display is required. There are a number of disadvantages in many ways, such as smaller and smaller devices and price competitiveness.

이로 인해 최근에는 액정표시장치에 비해 응답속도가 빠르고, 휘도가 우수하며, 구조가 간단하여 경박단소화 등을 용이하게 실현할 수 있는 자체 발광 소자인 유기 전계 발광 표시장치의 개발이 활발히 진행되고 있다. 이러한 유기 전계 발광 장치는 액정표시장치의 백라이트, 휴대용 단말기, 자동차 항법 시스템, 랩탑형 컴퓨터 및 벽걸이용 TV까지 그 용도가 다양하여 액정표시장치의 뒤를 이은 차세대 평판 표시장치로 주목받고 있다.As a result, in recent years, the development of an organic light emitting display device, which is a self-luminous device capable of easily realizing light and small size, has a rapid response speed, excellent luminance, and simple structure compared to a liquid crystal display device. The organic electroluminescent device is attracting attention as a next-generation flat panel display device following the liquid crystal display device due to its various uses such as a backlight of a liquid crystal display device, a portable terminal, an automobile navigation system, a laptop computer, and a wall-mounted TV.

유기 전계 발광 표시장치는 플러스 전원이 인가되는 애노드 전극과 마이너스 전원이 인가되는 캐소드 전극 사이에 빛을 자체적으로 발산시키는 발광 소자층을 형성한 것으로, 애노드 전극에서 발광 소자층으로 전달된 정공과 캐소드 전극에서 발광 소자층으로 전달된 전자가 재결합하면 발광 소자층을 형성하는 유기 분자들이 여기되면서 여기자가 방사되고, 방사된 여기자가 비활성화되면서 발광층으로부터 빛이 발산된다.The organic light emitting display device forms a light emitting element layer that emits light between an anode electrode to which positive power is applied and a cathode electrode to which negative power is applied, and holes and cathode electrodes transferred from the anode electrode to the light emitting element layer. When the electrons transferred to the light emitting device layer recombine at, organic molecules forming the light emitting device layer are excited, and excitons are emitted, and the emitted excitons are inactivated to emit light from the light emitting layer.

이러한 유기 전계 발광 표시장치의 구조를 첨부된 도면 도 1을 참조하여 개략적으로 설명하면 다음과 같다.The structure of the organic light emitting display device will be described with reference to FIG. 1 as follows.

먼저, 빛을 투과시키는 투명한 기판(10) 상에 ITO를 증착시킨 후에 ITO를 패터닝하여 화면이 표시되는 부분인 화면 표시영역에는 플러스 전원이 인가되는 애노드 전극들(20)을 형성하고, 화면 표시영역의 바깥쪽에는 애노드측 리드 전극들(도시 안됨)과 캐소드측 리드 전극들(65a,65b)을 형성한다. 여기서, 애노드측 리드 전극들은 애노드 전극들(20)의 일측단부에서 연장 형성되고, 캐소드측 리드전극들(65a,65b)은 애노드 전극(20)의 폭방향에 일측에 위치하며 애노드 전극(20)과 소정간격 이격되어 형성된다. 제품의 사양에 따라서는 도 1에 도시된 바와 같이 화면표시영역의 양쪽으로 캐소드측 리드 전극들(65a,65b)을 형성하는 경우가 있으며 여기서는 화면표시영역의 양쪽에 캐소드측 리드 전극들(65a,65b)이 형성된 유기 전계 발광 표시장치(1)에 대해서 설명한다.First, ITO is deposited on a transparent substrate 10 that transmits light, and then patterned ITO to form anode electrodes 20 to which positive power is applied to the screen display area, which is a part where a screen is displayed. Anode side lead electrodes (not shown) and cathode side lead electrodes 65a and 65b are formed on the outside. Here, the anode side lead electrodes extend from one end of the anode electrodes 20, and the cathode side lead electrodes 65a and 65b are positioned at one side in the width direction of the anode electrode 20 and the anode electrode 20. It is formed to be spaced apart from a predetermined interval. According to the specification of the product, as shown in FIG. 1, cathode side lead electrodes 65a and 65b may be formed on both sides of the screen display area, and cathode side lead electrodes 65a, The organic electroluminescent display 1 in which 65b) is formed will be described.

이와 같이 애노드 전극들(20)과 애노드측 리드 전극들 및 캐소드측 리드 전극들(65a,65b)이 기판(10) 상에 형성되면 애노드측 리드 전극들과 캐소드측 리드 전극들(65a,65b)이 외부환경에 의해 부식되는 것을 방지하고 적절한 전기적 특성을 얻을 수 있도록 Cr, Ni, Ag, Au, Mo 등의 금속을 이용하여 도 1에 도시된 바와 같이 애노드측 리드 전극들과 캐소드측 리드 전극들(65a,65b)의 상부면에만 보호전극(21)을 형성한다.As such, when the anode electrodes 20, the anode side lead electrodes, and the cathode side lead electrodes 65a and 65b are formed on the substrate 10, the anode side lead electrodes and the cathode side lead electrodes 65a and 65b are formed. In order to prevent corrosion by this external environment and obtain proper electrical characteristics, anode lead electrodes and cathode lead electrodes as shown in FIG. 1 using metals such as Cr, Ni, Ag, Au, and Mo The protective electrode 21 is formed only on the upper surfaces of the 65a and 65b.

이어, 하부층과 상부층을 절연시키는 층간 절연막(30)을 화면표시영역에만 형성하고, 층간 절연막(30) 중 빛이 발광되어 화면이 표시될 부분(픽셀부분)에만 컨택홀을 형성하여 애노드 전극들(20)의 소정부분을 층간 절연막(30)의 외부로 노출시킨다.Subsequently, an interlayer insulating layer 30 that insulates the lower layer and the upper layer is formed only in the screen display area, and a contact hole is formed only in a portion (pixel portion) of the interlayer insulating layer 30 where light is emitted to display the screen. A predetermined portion of 20 is exposed to the outside of the interlayer insulating film 30.

이후, 기판(10)의 전면에 포토레지스트를 두껍게 코팅하고, 포토 리소그레피 공정과 식각 공정을 거쳐 캐소드측 리드 전극들(65a) 소정부분으로부터 화면표시영역을 가로질러 반대편 캐소드측 리드 전극들(65b) 소정부분까지 연장되는 음극 분리 격벽들(40)을 캐소드측 리드 전극들(65a,65b) 사이의 공간에 형성한다.Then, the photoresist is thickly coated on the entire surface of the substrate 10, and the photocathode and etching processes are performed on the opposite cathode side lead electrodes across the screen display area from a predetermined portion of the cathode side lead electrodes 65a. 65b) Cathode separation partitions 40 extending to a predetermined portion are formed in the space between the cathode side lead electrodes 65a and 65b.

이어, 화면표시영역과 대응되는 부분이 개구되고 나머지 영역은 폐쇄된 마스크(도시 안됨)를 기판(10)에 밀착시키고, 화면 표시영역에 유기 물질을 증착시켜 전류의 흐름에 의해 빛을 발산시키는 발광 소자층(50)을 형성한다.Subsequently, the light emitting portion emits light by flowing a current by depositing an organic material on the screen 10 by closely attaching a mask (not shown) that has a portion corresponding to the screen display area and a closed area to the substrate 10. The element layer 50 is formed.

계속해서, 화면표시영역과 캐소드측 리드 전극들(65a,65b)의 일측단부 소정부분이 노출될 수 있도록 개구된 마스크(도시 안됨)를 기판(10)에 밀착시킨 상태에서 캐소드 메탈을 증착시킴으로써, 음극 분리 격벽들(40) 사이의 공간에 애노드 전극들(20)과 교차되는 캐소드 전극들(60)을 형성한다. 이때, 마스크의 개구부가 캐소드측 리드 전극들(65a,65b)의 일측단부 소정부분까지 노출시키도록 형성되기 때문에 캐소드 메탈이 기판(10) 상에 증착되면 캐소드측 리드 전극들(65a,65b)과 캐소드 전극들(60)은 자연스럽게 연결된다.Subsequently, by depositing a cathode metal in a state in which an open mask (not shown) is brought into close contact with the substrate 10 so that the screen display area and predetermined portions of one end portions of the cathode side lead electrodes 65a and 65b are exposed. Cathode electrodes 60 intersecting with the anode electrodes 20 are formed in the space between the cathode separation barrier ribs 40. At this time, since the opening of the mask is formed to expose the predetermined portion of one side end of the cathode side lead electrodes 65a and 65b, when the cathode metal is deposited on the substrate 10, the cathode side lead electrodes 65a and 65b and the cathode side lead electrodes 65a and 65b are formed. The cathode electrodes 60 are naturally connected.

그러나, 캐소드 메탈을 증착시켜 캐소드 전극들(60)을 형성함과 아울러 캐소드 전극들(60)과 캐소드측 리드 전극들(65)을 연결하는 공정에서 기계적인 마스크의 흔들림으로 인해 도 1에 도시된 바와 같이 화면표시영역의 일측에 형성되는 캐소드측 리드 전극들(65a)의 접촉면적(ℓ)과 반대쪽에 형성되는 캐소드측 리드 전극들(65b)의 접촉면적(ℓ′)이 서로 다르게 된다.However, in the process of depositing the cathode metal to form the cathode electrodes 60 as well as connecting the cathode electrodes 60 and the cathode side lead electrodes 65, the mechanical mask is shaken, which is illustrated in FIG. As described above, the contact areas l ′ of the cathode side lead electrodes 65b formed on the opposite side of the cathode side lead electrodes 65a formed on one side of the screen display area are different from each other.

화면표시영역을 기준으로 화면표시영역의 양측에 형성되는 캐소드측 리드 전극들의 접촉면적이 서로 다를 경우에 접촉저항도 달라지므로 휘도 불균일이 발생되고, 소비전력이 증가하므로 소자의 특성이 저하되는 문제점이 있다.When the contact areas of cathode side lead electrodes formed on both sides of the screen display area are different from each other, the contact resistance is different, resulting in luminance unevenness and power consumption. have.

따라서, 본 발명의 목적은 마스크의 흔들림에도 불구하고 화면표시영역을 기준으로 화면표시영역의 일측에 형성되는 캐소드측 리드 전극들의 접촉면적과 화면표시영역의 타측에 형성되는 캐소드측 리드 전극들의 접촉면적을 동일하게 제어하는데 있다.Accordingly, an object of the present invention is that despite the shaking of the mask, the contact area of the cathode lead electrodes formed on one side of the screen display area with respect to the screen display area and the contact area of the cathode lead electrodes formed on the other side of the screen display area. To control the same.

본 발명의 다른 목적은 다음의 상세한 설명과 첨부된 도면으로부터 보다 명확해 질 것이다.Other objects of the present invention will become more apparent from the following detailed description and the accompanying drawings.

도 1은 종래의 유기 전계 발광 표시장치의 구조를 개략적으로 나타낸 단면도.1 is a cross-sectional view schematically illustrating a structure of a conventional organic light emitting display device.

도 2a와 도 2b는 본 발명에 의한 유기 전계 발광 표시장치에서 애노드 전극과 리드 전극들을 형성하는 과정을 나타낸 도면.2A and 2B illustrate a process of forming anode electrodes and lead electrodes in an organic light emitting display device according to the present invention.

도 3a와 도 3b는 본 발명에 의한 유기 전계 발광 표시장치에서 층간 절연막과 층간 절연막에 컨택홀을 형성하는 과정을 도시한 도면.3A and 3B illustrate a process of forming contact holes in an interlayer insulating film and an interlayer insulating film in an organic light emitting display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명에 의한 유기 전계 발광 표시장치에서 음극 분리 격벽들이 형성된 상태를 나타낸 단면도.4 is a cross-sectional view illustrating a state in which cathode separation barriers are formed in an organic light emitting display according to the present invention.

도 5는 본 발명에 의한 유기 전계 발광 표시장치에서 발광 소자층이 형성된 상태를 나타낸 단면도.5 is a cross-sectional view illustrating a state in which a light emitting device layer is formed in an organic light emitting display according to the present invention.

도 6a와 도 6b는 도 3b를 A-A로 자른 상태에서 캐소드 전극을 형성하고, 캐소드 전극과 캐소드측 리드 전극들을 연결시키는 과정을 나타낸 단면도.6A and 6B are cross-sectional views illustrating a process of forming a cathode electrode while cutting FIG. 3B by A-A, and connecting the cathode electrode and the cathode side lead electrodes.

도 7a와 도 7b는 도 3b를 B-B로 자른 상태에서 캐소드 전극을 형성하고, 캐소드 전극과 캐소드측 리드 전극들을 연결시키는 과정을 나타낸 단면도.7A and 7B are cross-sectional views illustrating a process of forming a cathode electrode while cutting FIG. 3B into B-B and connecting a cathode electrode and a cathode side lead electrode.

이와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명은 애노드 전극들과 화면표시영역의 양쪽으로 캐소드 리드 전극들이 형성된 기판의 전면에 층간 절연막을 형성하고, 층간 절연막 중에서 픽셀이 형성될 부분과 캐소드 리드 전극들의 일측 단부에 소정크기의 컨택홀을 형성한 후에 발광 소자층을 형성하고, 화면표시영역을 포함하여 컨택홀이 형성된 캐소드측 리드 전극들의 단부 소정부분을 노출시키는 개구가 형성된 마스크를 기판에 밀착시킨 후에 캐소드 메탈을 증착시킴으로써 캐소드 전극을 형성함과 아울러 캐소드측 리드 전극들의 단부에 형성된 컨택홀을 통해 캐소드 전극들과 캐소드측 리드 전극들을 전기적으로 연결시킨다.In order to achieve the above object, the present invention forms an interlayer insulating film on the entire surface of the substrate on which the cathode lead electrodes are formed on both the anode electrodes and the screen display area, and a portion of the interlayer insulating film on which a pixel is to be formed and one end of the cathode lead electrodes. A light emitting element layer is formed after forming a contact hole of a predetermined size in the cathode, and the cathode metal including the screen display area is formed in close contact with the substrate by forming a mask in which an opening for exposing predetermined portions of the end portions of the cathode-side lead electrodes is formed. By depositing the cathode, the cathode and the cathode-side lead electrodes are electrically connected through the contact holes formed at the ends of the cathode-side lead electrodes.

이하, 본 발명에 의한 유기 전계 발광 표시장치에 대해서 첨부된 도면 도 2a 내지 도 7b를 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, an organic light emitting display device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 2A to 7B.

유기 전계 발광 표시장치는 도 2a와 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이 빛을 투과시키는 기판(110), 기판(110)의 상부면 중에서 화면표시영역에 형성되며 플러스 전원이 공급되는 애노드 전극들(120), 화면표시영역의 바깥쪽에 형성되며 외부의 구동장치(도시 안됨)와 전극들을 전기적으로 연결시키는 리드 전극들(125)(165a,165b), 픽셀이 형성될 부분과 리드 전극들(165a,165b)의 단부 소정부분에 컨택홀(127)(167a,167b)이 형성되며 애노드 전극들(120)과 애노드 전극들(120)의 상부에 형성될 다른 전극들을 절연시키는 층간 절연막(130), 리드 전극들(165a,165b)의 소정부분으로부터 화면표시영역까지 연장되어 형성되는 음극 분리 격벽들(140), 음극분리 격벽들(140) 사이에 형성되어 전류의 흐름에 의해 빛을 자체적으로 발생시키는 발광 소자층(150) 및 발광 소자층(150)의 상부면에 애노드 전극들(120)과 교차되도록 형성되고 컨택홀(167a,167b)을 통해 리드 전극들(165a,165b)과 연결되는 캐소드 전극들(160)로 구성된다.As shown in FIGS. 2A, 7A, and 7B, an organic light emitting display device includes anodes formed on a screen display area among upper surfaces of the substrate 110 and upper surfaces of the substrate 110, and having positive power supplied thereto. 120, lead electrodes 125 (165a and 165b) formed outside the screen display area and electrically connecting the external driving device (not shown) to the electrodes, a portion where the pixel is to be formed, and the lead electrodes 165a. A contact hole 127 (167a, 167b) is formed at a predetermined end portion of the 165b and insulates the anode electrodes 120 and other electrodes to be formed on the anode electrodes 120; It is formed between the cathode separation barrier ribs 140 and the cathode separation barrier ribs 140 extending from a predetermined portion of the lead electrodes 165a and 165b to the screen display area to generate light by current flow. Top surface of the light emitting element layer 150 and the light emitting element layer 150 And cathode electrodes 160 formed to intersect the anode electrodes 120 and connected to the lead electrodes 165a and 165b through the contact holes 167a and 167b.

이들 구성요소들 중에서 애노드 전극들(120)은 도 2a에 도시된 바와 같이 서로 소정간격 이격되어 기판(110)의 세로방향을 따라 스트라이프 형상으로 형성된다.Among these components, the anode electrodes 120 are formed in a stripe shape along the longitudinal direction of the substrate 110 by being spaced apart from each other as shown in FIG. 2A.

그리고, 리드 전극들(125)(165a,165b)은 도 2a에 도시된 바와 같이 애노드측 리드 전극들(125)과 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)로 구성된다. 애노드측 리드 전극들(125)은 애노드 전극들(120)과 연결되어 애노드 전극들(120)에 플러스 전원을 공급하는 것으로, 애노드 전극들(120)의 일측단부로부터 기판(110)의 세로방향을 따라 소정 길이만큼 연장되어 형성된다.In addition, the lead electrodes 125 and 165a and 165b include the anode side lead electrodes 125 and the cathode side lead electrodes 165a and 165b as illustrated in FIG. 2A. The anode side lead electrodes 125 are connected to the anode electrodes 120 to supply positive power to the anode electrodes 120, and the longitudinal direction of the substrate 110 is extended from one end of the anode electrodes 120. As a result, it extends by a predetermined length.

그리고, 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)은 컨택홀(167a,167b)을 통해 캐소드 전극들(160)과 연결되어 캐소드 전극들(160)에 마이너스 전원을 공급하는 것으로, 화면표시영역의 가로방향 일측과 타측에 각각 형성되며, 애노드 전극(120)으로부터 소정간격 이격되어 있다.The cathode lead electrodes 165a and 165b are connected to the cathode electrodes 160 through the contact holes 167a and 167b to supply negative power to the cathode electrodes 160. It is formed on one side and the other side of the direction, and is spaced apart from the anode electrode 120 by a predetermined interval.

도 2b에 도시된 바와 같이 애노드측 리드 전극들(125)과 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)의 상부면에는 리드 전극들이 외부환경에 의해 부식되는 것을 방지하고 전기적 특성을 향상시키기 위한 보호전극(121)이 형성된다.As shown in FIG. 2B, upper surfaces of the anode-side lead electrodes 125 and the cathode-side lead electrodes 165a and 165b may be provided to protect lead electrodes from corrosion by an external environment and to improve electrical characteristics. 121 is formed.

한편, 층간 절연막(130)은 애노드 전극들(120)과 캐소드 전극들(160)을 전기적으로 절연시키는 것으로, 기판(110)의 전면에 형성된다. 그리고, 컨택홀들(127) (167a,167b)은 앞에서 설명한 바와 같이 픽셀이 형성될 부분과 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)의 일측단부에 각각 형성되어 애노드 전극들(120)의 소정부분과 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)의 소정부분을 층간 절연막(130)의 외부로 노출시킨다.Meanwhile, the interlayer insulating layer 130 electrically insulates the anode electrodes 120 and the cathode electrodes 160 and is formed on the entire surface of the substrate 110. As described above, the contact holes 127 and 167a and 167b are formed at portions of the side where the pixel is to be formed and at one end of the cathode side lead electrodes 165a and 165b, respectively, and thus, the predetermined portions of the anode electrodes 120. And a predetermined portion of the cathode side lead electrodes 165a and 165b are exposed to the outside of the interlayer insulating layer 130.

바람직하게, 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)에 형성되는 컨택홀들(167a,167b)은 화면표시영역의 일측에 형성되는 캐소드측 리드 전극들(165a)과 캐소드 전극들(160)의 접촉면적이 화면표시영역의 타측에 형성되는 캐소드측 리드 전극들(165b)의 캐소드 전극들(160)의 접촉면적과 동일할 수 있도록 마스크(200; 도 6a, b 참조)가 기계적 공차에 의해 흔들리는 범위 내에 형성한다.Preferably, the contact holes 167a and 167b formed in the cathode side lead electrodes 165a and 165b are in contact with the cathode side lead electrodes 165a formed on one side of the screen display area and the cathode electrodes 160. Range in which the mask 200 (see FIGS. 6A and B) is shaken by mechanical tolerances so that the area may be equal to the contact area of the cathode electrodes 160 of the cathode side lead electrodes 165b formed on the other side of the screen display area. To form.

음극 분리 격벽들(140)은 발광 소자층(150)을 깨끗하게 분리시키고, 서로 인접하는 캐소드 전극들(160)이 단락되는 것을 방지하기 위한 것으로, 리드 전극들 중에서 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)의 사이의 공간에 역사다리꼴 형상으로 형성된다.The cathode separation barriers 140 are used to cleanly separate the light emitting device layer 150 and to prevent the cathode electrodes 160 adjacent to each other from being short-circuited. Among the lead electrodes, cathode side lead electrodes 165a and 165b. It is formed in inverted trapezoidal shape in space between)

이와 같이 구성된 유기 전계 발광소자의 제조 방법을 첨부된 도면 도 2a내지 도 7b를 참조하여 설명하면 다음과 같다.The method of manufacturing the organic EL device configured as described above will be described with reference to FIGS. 2A to 7B.

먼저, 기판(110)의 상부면에 빛을 투과시키는 투명한 금속, 예를 들어 ITO를 증착시킨 후에 포토 리소그래피 기술과 식각 기술을 이용하여 ITO를 패터닝한다. 그러면, 기판(110)의 상부면 중에서 화면표시영역에는 애노드 전극들(120)이 서로 소정간격 이격되어 기판(110)의 세로방향을 따라 스트라이프 형상으로 형성되고, 화면 표시영역의 바깥쪽에는 리드 전극들(125)(165a,165b)이 형성된다.First, a transparent metal that transmits light, for example, ITO, is deposited on the upper surface of the substrate 110, and then ITO is patterned using photolithography and etching techniques. Then, the anode electrodes 120 are formed in a stripe shape along the longitudinal direction of the substrate 110 in the screen display area of the upper surface of the substrate 110 by being spaced apart from each other by a predetermined distance, and the lead electrode outside the screen display area. Fields 125 (165a, 165b) are formed.

여기서, 애노드 전극들(120)의 길이방향 일측에는 애노드측 리드 전극들(125)이 애노드 전극들(120)과 연결되어 형성되고, 애노드 전극(120)의 폭방향 일측에는 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)이 일렬로 형성되는데, 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)은 서로 대향되는 화면표시영역의 일측과 타측에 각각 형성되며 애노드 전극들(120)과는 분리되어 있다.Here, anode side lead electrodes 125 are formed at one side in the longitudinal direction of the anode electrodes 120 and are connected to the anode electrodes 120, and cathode side lead electrodes (at the side in the width direction of the anode electrode 120) 165a and 165b are formed in a line, and cathode side lead electrodes 165a and 165b are formed on one side and the other side of the screen display area facing each other and are separated from the anode electrodes 120.

이와 같이 애노드 전극들(120)과 리드 전극들(126)(165a,165b)이 형성되면, 소정의 메탈을 기판(110) 상에 증착시킨 후에 소정의 메탈을 패터닝하여 도 2b에 도시된 바와 같이 리드 전극들(125)(165a,165b)의 상부면에만 보호전극(121)을 형성한다.As described above, when the anode electrodes 120 and the lead electrodes 126 (165a and 165b) are formed, a predetermined metal is deposited on the substrate 110, and then the predetermined metal is patterned, as shown in FIG. 2B. The protective electrode 121 is formed only on the upper surfaces of the lead electrodes 125, 165a and 165b.

바람직하게는 ITO와 소정의 메탈을 기판(110) 상에 차례대로 증착시킨 후에, 소정의 메탈을 패터닝하여 리드 전극들(125)(165a,165b)이 형성될 부분에 보호막(121)을 형성한 후에 ITO를 패터닝하여 애노드 전극들(120)과 리드 전극들(125)(165a,165b)을 형성하여도 무방하다.Preferably, after the ITO and the predetermined metal are deposited on the substrate 110 in sequence, the predetermined metal is patterned to form the passivation layer 121 at the portions where the lead electrodes 125, 165a and 165b are to be formed. Afterwards, the ITO may be patterned to form the anode electrodes 120 and the lead electrodes 125 (165a and 165b).

앞에서 설명한 공정에 의해 보호전극(121)이 형성되면, 도 3a에 도시된 바와 같이 소정의 절연물질을 기판의 전면에 도포하여 층간 절연막(130)을 형성하고, 도 3b에 도시된 바와 같이 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)의 일측단부와 애노드 전극들(120) 중에서 정보를 표시하는 픽셀들이 형성될 부분에 소정크기를 갖는 컨택홀들(127)(167a,167b)을 형성하여 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)과 애노드 전극들(120)의 소정부분을 층간 절연막(130)의 외부로 노출시킨다.When the protective electrode 121 is formed by the above-described process, as shown in FIG. 3A, a predetermined insulating material is coated on the entire surface of the substrate to form the interlayer insulating layer 130, and the cathode side as shown in FIG. 3B. Cathode-side leads are formed by forming contact holes 127 (167a and 167b) having predetermined sizes in one end portions of the lead electrodes 165a and 165b and the portions in which pixels for displaying information are formed among the anode electrodes 120. FIG. Exposed portions of the electrodes 165a and 165b and the anode electrodes 120 are exposed to the outside of the interlayer insulating layer 130.

이후에 포토레지스트를 두껍게 도포하고 포토 리소그래피 공정과 식각 공정을 거쳐 도 4에 도시된 바와 같이 캐소드측 리드 전극들(165a,165b) 사이의 공간에 애노드 전극들(120)과 교차되는 음극 분리 격벽들(140)을 형성하는데, 음극 분리 격벽들(140)은 역사다리꼴 형상으로 형성되며, 화면표시영역의 일측에 형성된 캐소드측 리드 전극들(165a)의 소정부분에서부터 화면표시영역을 가로질러 반대편에 형성된 캐소드측 리드 전극들(165b) 소정부분까지 연장되어 형성된다.Afterwards, the photoresist is thickly applied, and through the photolithography process and the etching process, cathode separation barrier ribs intersecting with the anode electrodes 120 in the space between the cathode side lead electrodes 165a and 165b as shown in FIG. 4. The cathode separation partitions 140 are formed in an inverted trapezoidal shape, and are formed on opposite sides of the cathode display lead electrodes 165a formed on one side of the screen display area across the screen display area. The cathode side lead electrodes 165b extend to predetermined portions.

이어, 화면표시영역만을 노출시키고 나머지는 폐쇄시키는 마스크(도시 안됨)를 기판(110)에 밀착시킨 후에 소정 색을 발광시키는 유기물질을 증착시켜 전류의 흐름에 의해 빛을 발산시키는 발광 소자층(150)을 도 5에 도시된 바와 같이 화면표시영역에 형성한다.Subsequently, a mask (not shown) which exposes only the screen display area and closes the rest is in close contact with the substrate 110, and then, an organic material emitting a predetermined color is deposited to emit light by the flow of current. ) Is formed in the screen display area as shown in FIG.

계속해서, 도 6a와 도 6b에 도시된 바와 같이 화면표시영역을 포함하여 컨택홀들(167a,167b)이 형성된 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)의 소정부분까지 노출시키도록 개구부(210)가 형성되고 나머지 부분은 폐쇄된 마스크(200)를 기판(110)에 밀착시킨 상태에서 캐소드 메탈을 증착시킨다. 그러면, 음극 분리 격벽들(140) 사이의 공간에 도 7a와 도 7b에 도시된 바와 같이 애노드 전극들(120)과 교차되는 캐소드 전극들(160)이 형성될 뿐만 아니라 캐소드 전극들(160)과 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)이 컨택홀들(167a,167b)을 통해 연결된다.6A and 6B, the opening 210 may be exposed to a predetermined portion of the cathode-side lead electrodes 165a and 165b including the screen display area and having the contact holes 167a and 167b formed thereon. Is formed and the remaining portion deposits the cathode metal in a state where the closed mask 200 is in close contact with the substrate 110. Then, as shown in FIGS. 7A and 7B, the cathode electrodes 160 crossing the anode electrodes 120 are formed in the space between the cathode separation barriers 140 and the cathode electrodes 160 and the cathode electrodes 160. The cathode side lead electrodes 165a and 165b are connected through the contact holes 167a and 167b.

캐소드 전극들(160)을 형성하는 공정에서 기준점 a와 a'에 위치해야할 개구부(210)의 끝점이 증착 마스크(200)의 흔들림으로 인해 기준점 a와 a'의 바깥쪽과 안쪽으로 이동된다. 즉, 기준점 a에 위치해야할 개구부(210)의 끝점은 도 6a에 도시된 바와 같이 기준점 a의 바깥쪽으로 소정 길이만큼 나가게 되고, 기준점 a'에 위치해야할 개구부(210)의 끝점은 도 6b에 도시된 바와 같이 기준점 a'의 안쪽으로 소정길이만큼 들어오게 된다.In the process of forming the cathode electrodes 160, the end points of the openings 210 to be positioned at the reference points a and a 'are moved to the outside and inside of the reference points a and a' due to the shaking of the deposition mask 200. That is, the end point of the opening 210 to be positioned at the reference point a goes out of the reference point a by a predetermined length as shown in FIG. 6A, and the end point of the opening 210 to be positioned at the reference point a 'is shown in FIG. 6B. As shown in the drawing, a predetermined length enters the inside of the reference point a '.

그러나 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)의 일단부에 형성된 컨택홀들(167a,167b)이 마스크의 흔들림 오차 범위 내에 형성되기 때문에 도 7a와 도 7b에 도시된 바와 같이 캐소드 메탈이 컨택홀들(167a,167b)을 완전히 채우게된다.However, since the contact holes 167a and 167b formed at one end of the cathode side lead electrodes 165a and 165b are formed within the shaking error range of the mask, the cathode metal is formed as shown in FIGS. 7A and 7B. It will completely fill 167a, 167b.

따라서, 마스크(200)의 흔들림에도 불구하고 화면표시영역의 일측에 형성되는 캐소드측 리드 전극들(165a)과 캐소드 전극들(160)의 접촉면적은 화면표시영역의 타측에 형성되는 캐소드측 리드 전극들(165b)과 캐소드 전극들(160)의 접촉면적과 동일하게 된다. 이는 캐소드측 리드 전극들(165a,165b)의 일단부에 형성된 컨택홀들(167a,167b)의 면적이 전부 동일하게 형성되기 때문이다.Therefore, despite the shaking of the mask 200, the contact area between the cathode side lead electrodes 165a and the cathode electrodes 160 formed on one side of the screen display area is the cathode side lead electrode formed on the other side of the screen display area. The contact area between the electrodes 165b and the cathode electrodes 160 is the same. This is because the areas of the contact holes 167a and 167b formed at one end of the cathode side lead electrodes 165a and 165b are all the same.

이상에서 설명한 바와 같이 기판의 전면에 층간 절연막을 형성하고, 캐소드 전극들과 연결되는 캐소드측 리드 전극들 중에서 증착 마스크의 기계적인 흔들림 오차 범위 내에 컨택홀을 형성함으로써, 화면표시영역의 일측과 타측에 형성되는 캐소드측 리드 전극들과 캐소드 전극의 접촉면적을 서로 동일하게 제어한다.As described above, an interlayer insulating film is formed on the entire surface of the substrate, and contact holes are formed within the mechanical fluctuation error range of the deposition mask among cathode side lead electrodes connected to the cathode electrodes. The contact areas of the formed cathode side lead electrodes and the cathode electrode are controlled to be equal to each other.

그러면, 화면표시영역의 일측에 형성된 캐소드측 리드 전극들과 연결되는 캐소드 전극들의 접촉저항과 화면표시영역의 타측에 형성되는 캐소드측 리드 전극들과 연결된 캐소드 전극들의 접촉저항이 서로 동일하므로 유기 전계 발광 표시장치의 표시품위를 향상시킬 수 있고 소비전력을 감소시킬 수 있는 효과가 있다.Then, since the contact resistances of the cathode electrodes connected to the cathode side lead electrodes formed on one side of the screen display area and the cathode resistances connected to the cathode side lead electrodes formed on the other side of the screen display area are the same, the organic electroluminescence The display quality of the display device can be improved and the power consumption can be reduced.

Claims (3)

빛을 투과시키는 기판;A substrate that transmits light; 상기 기판의 상부면 중에서 화면이 표시되는 부분인 화면표시영역에 서로 소정간격 이격되어 복수개 형성되는 애노드 전극들;A plurality of anode electrodes formed on the screen display area, which is a part of the upper surface of the substrate, spaced apart from each other by a predetermined distance; 상기 화면표시영역의 외측에 형성되고 상기 애노드 전극들의 일단과 연결되어 상기 애노드 전극들 각각에 전원을 인가하는 애노드측 리드 전극들;Anode side lead electrodes formed outside the screen display area and connected to one ends of the anode electrodes to apply power to each of the anode electrodes; 상기 화면표시영역의 외측 중에서 서로 마주보는 상기 화면표시영역의 일측과 타측에 각각 형성되며 상기 애노드 전극들과 분리되는 캐소드측 리드 전극들;Cathode side lead electrodes formed on one side and the other side of the screen display area facing each other among the outside of the screen display area and separated from the anode electrodes; 상기 기판의 전면을 덮으며, 상기 화면표시영역과 인접하는 상기 캐소드측 리드 전극들의 일단부 소정부분과 상기 애노드 전극들 중에서 화상을 표시하는 픽셀들이 형성될 소정부분에 컨택홀들이 형성된 층간 절연막;An interlayer insulating layer covering a front surface of the substrate and having contact holes formed in a predetermined portion of one end of the cathode-side lead electrodes adjacent to the screen display area and a predetermined portion of the anode to display pixels; 상기 화면표시영역 중에서 상기 캐소드측 리드 전극들과 동일선상에 형성되어 소정 색의 빛을 발생시키는 발광 소자층 및A light emitting element layer formed on the same line as the cathode side lead electrodes in the screen display area and generating light having a predetermined color; 상기 화면표시영역 중에서 상기 캐소드측 리드 전극들과 동일선상에 상기 애노드 전극들과 교차되도록 형성되며 상기 컨택홀들을 통해서 상기 캐소드측 리드 전극들과 연결되는 캐소드 전극들을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치.And organic light emitting diodes formed on the same line as the cathode side lead electrodes in the screen display area to cross the anode electrodes and connected to the cathode side lead electrodes through the contact holes. Display. 제 1 항에 있어서, 상기 캐소드측 리드 전극들에 형성된 컨택홀들의 면적은서로 동일하며, 상기 캐소드 전극들을 형성할 때 사용되는 마스크의 흔들림 오차 범위 내에 상기 컨택홀들이 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치.The organic field of claim 1, wherein the area of the contact holes formed in the cathode side lead electrodes is the same, and the contact holes are formed within an error range of a mask used when the cathode electrodes are formed. Light emitting display. 제 1 항에 있어서, 상기 화면표시영역의 일측에 형성된 상기 캐소드측 리드 전극들의 소정부분으로부터 상기 화면표시영역을 가로질러 상기 화면표시영역의 타측에 형성되는 상기 캐소드측 리드 전극들의 소정부분까지 연장되는 음극 분리 격벽들이 상기 캐소드측 리드 전극들 사이의 공간에 더 형성되는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시장치.The display device of claim 1, further comprising: extending from a predetermined portion of the cathode side lead electrodes formed on one side of the screen display area to a predetermined portion of the cathode side lead electrodes formed on the other side of the screen display area across the screen display area. An organic light emitting display device, wherein cathode separation barriers are further formed in a space between the cathode side lead electrodes.
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