KR200188486Y1 - 슬라이드 실린더 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 부품과 같은 소형의 정밀부품이나 이와 유사한 부품의 조립장비에 적용되는 슬라이드 실린더에 관한 것이다.

본 고안의 목적은 슬라이드 실린더를 구성하는 구성부재의 집약에 의한 전체 부피를 최소화와 제조능률의 향상에 의한 제품의 신뢰도가 극대화되고, 슬라이드 테이블의 전, 후진 작동을 안내하는 롤러 베어링간의 접촉마찰력감소에 의한 소음의 극소화 및 부드러운 이송의 극대화 장비 운용의 정밀성이 보장되며, 슬라이드 테이블 및 피스톤로드를 상호 연결하는 지지플레이트가 상기 슬라이드테이블과 일체형으로 제공되어 외부에서 작용되는 부하(수직, 수평하중이나 회전 모멘트)에 대하여 안정성을 극대화함에 있다.

본 고안의 상기 목적은 피스톤(2,2)의 직진 왕복운동을 조절하는 행정제어기구(90)가 실린더블록(1)에 내장되도록 하고,

금속제의 롤러베어링(8)의 접촉마찰을 극소화하도록 상기 롤러베어링간(8,8)에 수지재의 스페이서 롤러(81)를 구비하며,

상기 롤러베어링(8,81)의 외부 이탈을 막기 위한 스토퍼를 별도의 부재 설비에 의하지 않고 상기 롤러베어링(8,81)이 이동하는 슬라이더(4)와 가이드레일(6,6)의 베어링 안내홈(41,41)(61,61) 내측 전방과 후방에 세팅스크류(42,62)의 세팅에 의하여 구비하고,

슬라이드 테이블(5)과 이 슬라이드 테이블의 주행동작원인 피스톤의 로드(3)를 연결하는 지지플레이트(7)를 일체형으로 구비함에 의하여 달성된다.

이러한 본 고안은 전체적인 부피의 축소화 및 조립성이 뛰어난 효과가 있고,

금속제의 롤러베어링간의 접촉마찰을 극소화시켜 부드러운 이송 및 사용 수명의 연장, 소음이 극소화 효과가 있으며,

조립장비의 응용에 따라서 취부 지그에 의해 작용되는 수직하중, 수평하중, 회전모멘트에 충분히 견디도록 구성 부품의 일체화로서 장기적으로 사용수명이 보장되는 효과가 있다.

Description

슬라이드 실린더{SLIDE CYLINDER}

본 고안은 반도체 부품과 같은 소형의 정밀부품이나 이와 유사한 부품의 조립장비에 적용되는 슬라이드 실린더에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 구성부재의 집약에 의한 전체 부피를 최소화와 제조능률의 향상에 의한 제품의 신뢰도가 극대화되고, 슬라이드 테이블의 전, 후진 작동을 안내하는 롤러 베어링간의 접촉마찰력감소에 의한 소음의 극소화 및 부드러운 이송의 극대화 장비 운용의 정밀성이 보장되며, 슬라이드 테이블 및 피스톤로드를 상호 연결하는 지지플레이트가 상기 슬라이드테이블과 일체형으로 제공되어 외부에서 작용되는 부하(수직, 수평하중이나 회전 모멘트)에 대하여 안정성을 극대화한 슬라이드 실린더에 관한 것이다.

일반적으로 반도체와 같은 초정밀형 제품을 제조함에 있어서는 각 제조라인에서 필요한 부품의 조립의 위해 조립장비가 필수적으로 사용되고 있고,

이러한 조립장비는 컨베이어 라인 상에서 이송되는 조립부품의 클램핑 이송, 흡착이송, 부품의 전환이송의 목적으로 슬라이드 실린더가 사용되고 있으며 이러한 슬라이드 실린더는 상기와 같은 작업을 수행하기 위하여 별도의 지그를 장착하여 사용되고 있다.

이러한 종래의 슬라이드 실린더는 사용범위에 따라서 다양한 기능 및 형태를 갖추고 있으나,

잘 알려진 바와 같이, 기본적으로 복수의 실린더실를 갖추고 있으며 이 복수의 실린더실에 유체나 공기를 외부로부터 가압하여 공급하는 유, 공압원과 연통 되는 전진포트와 후진포트를 구비한 실린더블록;

상기 가압 공급되는 유, 공압에 의해 상기 실린더실을 전, 후진 작동하는 복수의 피스톤, 이 피스톤에 일측이 조립되고 타측이 상기 실린더블록으로부터 돌출 되는 피스톤로드;

상기 실린더블록의 상부 중앙에 볼트로 조립 고정되는 슬라이더;

상기 실린더블록을 따라 전, 후진 작동하되 상기 슬라이더에 의해 안내되도록 하부 양방에 가이드레일을 장착한 슬라이드 테이블;

상기 슬라이드 테이블의 전진 선단에 90도로 나사 조립되고 상기 돌출된 피스톤로드의 타측과 볼트로 조립되는 지지플레이트;

상기 슬라이더의 양방과 각각의 가이드레일을 따라 형성된 90°V자형 베어링 안내홈을 따라서 90°의 크로스(Cross)상태로 수용되는 다수의 롤러베어링 및;

상기 피스톤의 행정(전, 후진 주행)을 조절하도록 행정제어기구를 구비하고 있다.

이러한 종래의 슬라이드 실린더는 후술되는 바와 같이 몇 가지 문제점을 갖고 있다.

첫째, 전체적인 부피가 비대하고 구조가 복잡한 단점으로 반도체 부품과 같은 초소형의 정밀부품의 조립장비에 적용하기에 매우 어려운 실정이고, 구조의 복잡으로 제조원가가 상승되는 단점을 갖고 있다.

즉, 종래의 상기 슬라이드 실린더는 피스톤의 주행을 조절하는 상기 행정제어기구가 상기 실린더블록의 외부에 별도로 부착 구비되고, 이러한 별도의 행정제어기구의 부착에 따른 외부의 유,공압원과 실린더실을 연통 하는 상기 피스톤의 전진포트와 후진포트가 상기 실린더실의 일측에 구비되지 못하고, 상기 실린더블록의 후방에 구비되되, 상기 피스톤의 후진작동을 위한 후진포트는 후방으로부터 경유되는 통로를 상기 일측의 실린더실과 분리되어 구비하여 일측의 실린더실과 연통 시키고 있기 때문에,

상기 실린더블록의 외부에 별도로 구비되는 행정제어기구와 상기 피스톤의 후진작동을 위한 후진포트를 연통하기 위한 통로의 구성은 슬라이드 실린더의 전체 부피를 비대화하고,

별도의 행정제어기구의 부착과 후진포트의 형성을 위한 통로의 구성 및 이의 밀폐을 위한 별도의 부품가공과 조립으로 전체적인 구성은 물론 소요부품의 다량으로 제조원가가 상승되었다.

둘째, 슬라이더와 가이드레일간에 크로스 상태로 수용되는 다수의 롤러베어링이 상기 슬라이드 테이블이나 지지플레이트에 작용되는 부하에 의한 접촉마찰력을 극소화하지 못하여 상기 슬라이드 테이블의 전, 후진 작동 시에 부드러운 이송이 제공되지 못하고, 작동에 따른 소음의 발생과 롤러베어링의 마모가 빠르게 진행되어 수명이 단축되는 단점이 있다.

즉, 종래의 슬라이드 실린더는 상기 슬라이더의 베어링 안내홈과 양방의 가이드레일의 베어링 안내홈에서 다수의 금속재의 롤러베어링이 90도로 크로스 되어 자유로이 이동되도록 수용되고 있으나 전, 후진 작동에 따른 각 롤러베어링의 구름이동시에 상호간이 밀착되고, 이러한 밀착에 의한 롤러베어링 상호간의 크로스 접촉면의 심한 마찰로 이 부분이 빠르게 마모되어 소음이 발생되며, 이러한 빠른 마모 진행으로 장기간 사용 시에 오동작의 발생 염려와 마찰면의 증대로 전, 후진 작동의 정밀성이 떨어지게 된다.

셋째, 슬라이드 테이블과 지지플레이트가 별도의 부품으로서 나사에 의하여 조립 고정되기 때문에 상기 슬라이드 테이블이나 플레이트에 조립되는 지그의 동작에 따른 작용되는 부하 즉, 상기 지그의 동작이나 자체 하중에 의해 작용되는 수직, 수평하중 또는 회전모멘트를 초기에는 충분히 극복하나,

장기간 사용 시에 상기 슬라이드 테이블과 플레이트가 연결된 조립부분에 응력이 집중되어 나사부분에 전단응력이 발생되어 절단되거나, 나사 풀림으로 장치 운용 중에 오동작 발생이 빈번하게 되어 제품의 신뢰성이 떨어지게 된다.

넷째, 상기 슬라이더와 가이드레일 상에 수용되는 상기 다수의 롤러베어링의 외부 이탈을 막기 위한 부재의 다량 소모의 단점을 갖고 있다.

즉, 종래의 슬라이드 실린더는 상기 롤러베어링이 외부로 이탈이 안되도록 하기 위하여 스톱퍼을 양방의 가이드레일의 베어링 안내홈 선단과 후단의 외측에 나사에 의한 조립으로 제공되어져 전체적인 부피의 비대, 소요자재의 낭비, 소용자재의 증가에 의한 중량 증가가 있었다.

본 고안은 상기와 같은 종래의 슬라이드 실린더의 문제점을 효과적으로 해소하고자 연구 개발된 것으로서,

본 고안의 목적은 구성부품의 간소화 및 집약에 의한 전체적인 부피와 중량의 최소화로 소형의 정밀 부품의 조립장비에서의 적용 능률 및 사용 능률을 극대화할 수 있는 슬라이드 실린더를 제공함에 있다.

본 고안의 목적은 조립장비의 응용에 따라서 취부 지그에 의해 작용되는 수직하중, 수평하중, 회전모멘트에 충분히 견디도록 구성 부품의 일체화로서 장기적으로 사용수명이 보장되는 슬라이드 실린더를 제공함에 있다.

본 고안의 목적은 슬라이드 테이블의 전, 후진 작동을 지지 안내하는 롤러베어링간의 접촉마찰을 극소화시켜 부드러운 이송 및 사용 수명의 연장이 제공되고, 소음이 극소화로 제품의 신뢰성이 제공되는 슬라이드 실린더를 제공함에 있다.

본 고안의 상기 목적은 피스톤의 직진 왕복운동을 조절하는 행정제어기구가 실린더블록에 내장되도록 하고,

금속제의 롤러베어링의 접촉마찰을 극소화하도록 상기 롤러베어링간에 수지재의 스페이서 롤러를 구비하며,

상기 롤러베어링의 외부 이탈을 막기 위한 스토퍼를 별도의 부재 설비에 의하지 않고 상기 롤러베어링이 이동하는 슬라이더와 가이드레일의 베어링 안내홈 내측 전방과 후방에 세팅스크류의 세팅에 의하여 구비하고,

슬라이드 테이블과 이 슬라이드 테이블의 주행동작원인 피스톤의 로드를 연결하는 지지플레이트를 일체형으로 구비함에 의하여 달성된다.

도 1은 본 고안의 분해 사시도,

도 2는 본 고안의 전진작동 상태의 정면도

도 3은 도 2의 평면도로서 계단상의 단면을 취한 단면도,

도 4는 본 고안의 측단면도,

도 5는 도 4의 실린더실을 따라 취한 평단면도,

도 6은 도 4의 슬라이더를 따라 취한 평단면도,

도 7은 본 고안의 슬라이더와 가이드레일에 수용된 크로스 롤러 베어링의 배열을 보여주는 일부 발췌 분해 사시도,

도 8은 본 고안의 행정제어기구의 일부 발췌 분해 사시도,

도 9 및 도 10은 본 고안의 행정제어기구의 다른 실시예의 정면도,

도 11은 본 고안의 후진작동 상태의 정면도,

도 12는 본 고안의 도 11의 평면도로서 계단상의 단면을 취한 단면도.

＜ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

1 : 실린더 블록 2 : 피스톤

4 : 슬라이더 5 : 슬라이드 테이블

6 : 가이드 레일 7 : 지지플레이트

8 : 금속제의 롤러베어링 9 : 행정제어기구

81 : 수지재의 스페이서 롤러베어링

91 : 이동거리홈 92, 93 : 나사공

94, 95 : 스토퍼볼트 96 : 스토퍼돌기

이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 고안의 구성에 대하여 상세히 살펴보기로 한다.

즉, 본 고안은 도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 실린더실(11,11)를 갖추고 있으며 이 복수의 실린더실에 유체나 공기를 외부로부터 가압하여 공급하는 유, 공압원과 연통 되는 전진포트(12)와 후진포트(13)를 구비한 실린더블록(1)과, 상기 가압 공급되는 유, 공압에 의해 상기 실린더실(11,11)을 전, 후진 작동하는 복수의 피스톤(2,2), 이 피스톤에 일측이 조립되고 타측이 상기 실린더블록(1)으로부터 돌출 되는 피스톤로드(3,3)와, 상기 실린더블록(1)의 상부 중앙에 볼트(B)로 조립 고정되는 슬라이더(4)와, 상기 실린더블록(1)을 따라 전, 후진 작동하되 상기 슬라이더(4)에 의해 안내되도록 하부 양방에 가이드레일(6,6)을 장착한 슬라이드 테이블(5)과, 상기 슬라이드 테이블(5)의 선단에 90도로 조립되고 상기 돌출된 피스톤로드(3,3)의 타측과 볼트(B)로 조립되는 지지플레이트(7)와, 상기 슬라이더(4)의 양방과 각각의 가이드레일(6,6)을 따라 형성된 90°V자형 베어링 안내홈(41,41)(61,61)을 따라서 90°의 크로스(Cross)상태로 수용되는 다수의 금속제의 롤러베어링(8) 및, 상기 피스톤(2,2)의 행정(전, 후진 주행)을 조절하도록 행정제어기구(90)를 구비하여 이루어지는 슬라이드 실린더에 있어서,

상기 실린더 블록(1)은 상기 실린더실(11,11)과 상호간이 연통 되어 일측에 상기 전진포트(12)와 후진포트(13)의 연통 하되, 이들의 상방에 상기 행정제어기구(90)를 내설하고,

상기 금속제의 롤러 베어링(8)의 각각의 사이에는 수지재의 스페이서 롤러베어링(81)이 구비되며,

상기 슬라이드 테이블(5)과 지지플레이트(7)는 일체형으로 이루어진다.

이때, 상기 행정제어기구(90)는 상기 실린더 블록(1)이 일측에 길이방향의 상부 모서리를 따라서 이동거리홈(91)이 요설되고, 이 이동거리홈의 길이방향으로 양측면에 나사공(92,93)이 관통되어 각각에 조절스토퍼볼트(94,95)가 나사 조립되며,

상기 이동거리홈(91)의 내부를 왕복하며 상기 조절스토퍼볼트(94,95)에 의하여 전진 주행과 후진 주행을 제한 받는 스토퍼돌기(96)가 상기 슬라이드 테이블(5)의 일측에 일체로 구성되어 이루어진다.

또한, 상기 슬라이드 테이블(5)의 일측에는 상기 일측의 가이드레일(6)의 베어링 안내홈(61)과 수평선상의 길이방향으로 다수의 나사공(63)을 관통하고, 이에 예압볼트(64)가 나사 결합되어 이를 조여주는 것에 의하여 상기 슬라이더(4)와 상기 가이드레일(6)의 베어링 안내홈(41)(61)의 폭을 좁혀주는 것으로 상기 롤러베어링(8)의 접동 마찰력을 조절하도록 되어 있다.

도면 중 미설명 부호 21은 상기 실린더블록(1)의 실린더실(11,11)을 밀폐하는 헤드커버를, 22는 상기 헤드커버(21)에 조립되는 기밀유지용 O-링을 나타낸 것이고, 23은 스페이서 칼라를, 31은 로드커버를, 32, 33은 상기 로드커버(31)에 조립되는 기밀유지용 O-링 및 로드패킹을, 34는 스토퍼 링을, 35는 댐퍼링을, 36은 상기 피스톤(11,11)의 피스톤패킹을, 37은 마그네트를, 38은 자기검출봉을, 39는 스냅링을 도시한 것이다.

이러한 본 고안은 종래의 슬라이드 실린더의 작동과 동일하게 운용된다.

즉, 상기 실린더 블록(1)의 전진포트(12)에 외부의 유, 공압원(미도시됨)으로 가압된 유체나 공기가 인입되게 되면 실린더실(11,11)에 내설된 피스톤(2,2)이 전진하게 되고, 이러한 피스톤의 전진작동에 의하여 피스톤 로드(3,3)가 전진하게 되며, 상기 피스톤 로드와 볼트(B)로 결합된 지지플레이트(7)가 전진함과 동시에 이와 일체로 형성된 슬라이드 테이블(5)이 상기 실린더블록(1)의 중앙 상부에 결합된 슬라이더(4)와 상기 슬라이드 테이블(5)의 하부 양방에 결합된 가이드레일(6,6)과 베어링 안내홈(41,41)(61,61)의 사이에 구름운동 가능케 배치된 롤러 베어링(8)의 지지 안내로 전진 작동하게 되고,(도 2, 도3, 도 5 도 6 참조)

반대로 상기 실린더 블록(1)의 후진포트(12)에 가압된 유체나 공기가 인입되면 전술한 피스톤(2,2)의 전진 작동과 역순으로 후진 작동하게 된다.(도 11 및 도 12 참조)

이러한 슬라이드 실린더에 있어, 본 고안의 특징은 상기에서 언급한 바와 같이, 상기 실린더블록(1)에 내설되는 상기 행정제어기구(90)를 상기 실린더 블록(1)에 내설함에 있다.

즉, 상기 행정제어기구(90)는 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 실린더 블록(1)이 일측에 길이방향의 상부 모서리를 따라서 이동거리홈(91)이 요설되고, 이 이동거리홈의 길이방향으로 양측면에 나사공(92,93)이 관통되어 각각에 조절스토퍼볼트(94,95)가 나사 조립되며,

상기 이동거리홈(91)의 내부를 왕복하며 상기 조절스토퍼볼트(94,95)에 의하여 전진 주행과 후진 주행을 제한 받는 스토퍼돌기(96)가 상기 슬라이드 테이블(5)의 일측에 일체로 구성되어 이루어진다.

이러한 본 고안의 상기 행정제어기구(90)는 상기 조절스토퍼볼트(94)(95) 각각의 나사 회동에 의하여 상기 슬라이드 테이블(5)에 일체로 형성된 스토퍼돌기(96)의 전진주행이나 후진주행의 거리를 조절함으로 상기 피스톤(2,2)의 행정을 조절할 수 있게 된다.

이때, 상기 스토퍼 돌기(96)의 이동 제한을 받는 전방면(96a)과 후방면(96b)에는 도 9에 도시된 바와 같이 완충고무와 같은 댐퍼(97)를 구비하거나,

도 10에 도시된 바와 같이 상기 조절스토퍼볼트(94,95)의 선단에 상기 댐퍼(97)를 구비하여 상기 피스톤(2,2)의 행정 제어에 초기충격의 완화로서 장비의 안전성이 제공할 수 있다.

이러한 본 고안의 행정제어기구(90)는 종래와 같이 상기 실린더블록(1)의 외부에 구비하지 않고, 상기 실린더블록(1)의 내에 구비함으로서 슬라이드 실린더의 전체적인 부피의 최소화가 가능 및 상기 전진포트(12)나 후진포트(13)가 간소하게 상기 실린더블록(1)의 일측에 구비가 가능하여 제조원가의 절감이 가능하게 된다.

또한, 본 고안의 특징은 상기 금속제의 롤러 베어링(8)의 각각의 사이에는 수지재의 스페이서 롤러베어링(81)이 구비하는 것에 있다.

즉, 상기 금속제의 롤러베어링(8)은 상기 슬라이더(4)의 양방과 각각의 가이드레일(6,6)을 따라 형성된 90°V자형 베어링 안내홈(41,41)(61,61)을 따라서 90°의 크로스(Cross)상태로 수용되고, 상기 가이드레일(6,6)과 조립 고정된 슬라이드 테이블(5)의 전, 후진 주행에 의하여 상기 슬라이더(4)의 베어링 안내홈(41,41)을 구름 이동하게 된다.

이러한 구름 이동되는 다수의 금속제의 롤러베어링(8)은 상호간이 밀착 이동이 이루어지나, 이들의 사이에 개재된 다른 재질(수지재)의 스페이서 롤러베어링(81)에 의하여 상호간의 크로스 접촉면(외주면)에 마찰이 금속보다 경도가 낮은 수지재로 제공되는 상기 스페이서 롤러베어링(81)과 일어나게 되어 소음이 극소화되고 동시에 마모가 없게 된다.

상기 스페이서 롤러베어링(81)의 재질은 테프론재가 바람직하나, 어떠한 수지재로 이루어져도 상관은 없다.

이때, 상기 수지재의 스페이서 롤러베어링(81)은 도 7에 도시된 바와 같이 상기 90도로 크로스 되어 배치되는 금속재의 롤러베어링(8)과의 45도로서 상기 베어링 안내홈(41,41)(61,61)의 길이 방향의 직립상태로 배치되고, 상기 금속제의 롤러베어링(8)의 지름 치수보다는 작은 지름 치수로 형성됨이 바람직하다.

또한, 본 고안의 특징은 상기에서 언급한 바와 같이, 상기 슬라이드 테이블(5)과 지지플레이트(7)는 일체형으로 이루어짐으로서, 상기 슬라이드 테이블(5) 및 지지플레이트(7)에 사용 목적에 따라서 취부되는 지그의 하중, 지그의 동작에 의하여 발생되는 수직하중, 수평하중, 회전모멘트에 전혀 영향이 없게 되고 부품의 간소화에 의한 조립성이 뛰어나게 된다.

또한, 본 고안은 종래의 슬라이드 실린더와 같이, 상기 롤러베어링(8,81)의 외부 이탈을 막기 위한 스토퍼를 별도의 부재 설비에 의하지 않고 상기 롤러베어링(8,81)이 이동하는 슬라이더(4)와 가이드레일(6,6)의 베어링 안내홈(41,41)(61,61) 내측 전방과 후방 각각에 세팅스크류(42)(62)의 세팅에 의하여 구비함으로서 전체적인 부피의 축소화 및 조립성이 뛰어나게 된다.

이상에서 상세히 살펴본 바와 같이, 본 고안은 피스톤의 직진 왕복운동을 조절하는 행정제어기구가 실린더블록에 내장되고, 슬라이드 테이블의 이송을 안내하는 롤러베어링의 외부 이탈을 막기 위한 스토퍼가 별도의 부재 설비에 의하지 않고 슬라이더와 가이드레일의 베어링 안내홈의 내측에 세팅스크류의 세팅에 의하여 구비함으로서 전체적인 부피의 축소화 및 조립성이 뛰어난 효과가 있고,

금속제의 롤러베어링의 접촉마찰을 극소화하도록 상기 롤러베어링간에 수지재의 스페이서 롤러를 구비함으로서, 롤러베어링간의 접촉마찰을 극소화시켜 부드러운 이송 및 사용 수명의 연장, 소음이 극소화 효과가 있으며,

슬라이드 테이블과 이 슬라이드 테이블의 주행동작원인 피스톤의 로드를 연결하는 지지플레이트를 일체형으로 구비함에 의하여 조립장비의 응용에 따라서 취부 지그에 의해 작용되는 수직하중, 수평하중, 회전모멘트에 충분히 견디도록 구성 부품의 일체화로서 장기적으로 사용수명이 보장되는 효과가 있다.

Claims (7)

1. 복수의 실린더실(11,11)을 갖추고 있으며 이 복수의 실린더실에 유체나 공기를 외부로부터 가압하여 공급하는 유, 공압원과 연통되는 전진포트(12)와 후진포트(13)를 구비한 실린더블록(1)과, 상기 가압 공급되는 유, 공압에 의해 상기 실린더실(11,11)을 전, 후진 작동하는 복수의 피스톤(2,2), 이 피스톤에 일측이 조립되고 타측이 상기 실린더블록(1)으로부터 돌출 되는 피스톤로드(3,3)와, 상기 실린더블록(1)의 상부 중앙에 볼트(B)로 조립 고정되는 슬라이더(4)와, 상기 실린더블록(1)을 따라 전, 후진 작동하되 상기 슬라이더(4)에 의해 안내되도록 하부 양방에 가이드레일(6,6)을 장착한 슬라이드 테이블(5)과, 상기 슬라이드 테이블(5)의 선단에 90도로 조립되고 상기 돌출된 피스톤로드(3,3)의 타측과 볼트(B)로 조립되는 지지플레이트(7)와, 상기 슬라이더(4)의 양방과 각각의 가이드레일(6,6)을 따라 형성된 90°V자형 베어링 안내홈(41,41)(61,61)을 따라서 90°의 크로스(Cross)상태로 수용되는 다수의 금속제의 롤러베어링(8) 및, 상기 피스톤(2,2)의 행정(전, 후진 주행)을 조절하도록 행정제어기구(90)를 구비하여 이루어지는 슬라이드 실린더에 있어서,

   상기 실린더 블록(1)은 상기 실린더실(11,11)과 상호간이 연통 되어 일측에 상기 전진포트(12)와 후진포트(13)의 연통 하되, 이들의 상방에 상기 행정제어기구(90)를 내설하고,

   상기 금속제의 롤러 베어링(8)의 각각의 사이에는 수지재의 스페이서 롤러베어링(81)이 구비되며,

   상기 슬라이드 테이블(5)과 지지플레이트(7)는 일체형으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬라이드 실린더.
2. 제1항에 있어서, 상기 행정제어기구(90)는 상기 실린더 블록(1)이 일측에 길이방향의 상부 모서리를 따라서 이동거리홈(91)이 요설되고, 이 이동거리홈의 길이방향으로 양측면에 나사공(92,93)이 관통되어 각각에 조절스토퍼볼트(94,95)가 나사 조립되며,

   상기 이동거리홈(91)의 내부를 왕복하며 상기 조절스토퍼볼트(94,95)에 의하여 전진 주행과 후진 주행을 제한 받는 스토퍼돌기(96)가 상기 슬라이드 테이블(5)의 일측에 일체로 구성되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬라이드 실린더.
3. 제1항에 있어서, 상기 슬라이드 테이블(5)의 일측에는 상기 일측의 가이드레일(6)의 베어링 안내홈(61)과 수평선상의 길이방향으로 다수의 나사공(63)을 관통하고, 이에 예압볼트(64)가 나사 결합되어 이를 조여주는 것에 의하여 상기 슬라이더(4)와 상기 가이드레일(6)의 베어링 안내홈(41)(61)의 폭을 좁혀주는 것으로 상기 롤러베어링(8)의 접동 마찰력을 조절하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬라이드 실린더.
4. 제 2항에 있어서, 상기 행정제어기구(90)는 상기 스토퍼 돌기(96)의 이동 제한을 받는 전방면(96a)과 후방면(96b)으로 댐퍼(97)를 구비하거나, 상기 조절스토퍼볼트(94,95)의 선단에 상기 댐퍼(97)를 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬라이드 실린더.
5. 제1항에 있어서, 상기 스페이서 롤러베어링(81)의 재질은 테프론재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬라이드 실린더.
6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 수지재의 스페이서 롤러베어링(81)은 상기 90도로 크로스 되어 배치되는 금속재의 롤러베어링(8)과의 45도로서 상기 베어링 안내홈(41,41)(61,61)의 길이 방향의 직립상태로 배치되고, 상기 금속제의 롤러베어링(8)의 지름 치수보다는 작은 지름 치수로 형성 되어 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬라이드 실린더.
7. 제1항 또는 제6항에 있어서, 상기 롤러베어링(8,81)은 상기 슬라이더(4)와 가이드레일(6,6)의 베어링 안내홈(41,41)(61,61) 내측 전방과 후방 각각에 세팅되는 세팅스크류(42)(62)에 의하여 외부 이탈이 방지되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 슬라이드 실린더.