KR200164678Y1 - 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조 - Google Patents
세정용 비이드 분사장치의 공급관구조 Download PDFInfo
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Abstract
본 고안은 반도체장비부품 세정용 비이드 분사장치의 공급관(S) 구조에 관한 것으로, 공급관(S) 내부의 마모에 의한 교체 작업이 용이하도록 하기 위해, 본체(10)의 내부로 관통 삽입되어 용착된 고정관(20)과, 본체(10) 내부로부터 고정관(20) 일단의 내주면에 나사결합되는 내접관(30)과, 비이드를 공급하기 위한 이송관(40) 및 고무관(50)과, 상기 고무관(50)과 고정관(20)을 상호 연결할 수 있도록 관의 일단이 상기 고무관(50) 내에 밀착 삽입됨과 동시에 그 타단이 상기 고정관(20)의 외향단쪽 내주면에 나사결합되는 접속관(60)으로 분리되어 각각 교체 가능하도록 구성된 것으로서, 세정용 비이드 분사장치 본체(10) 내에 비이드를 충전하기 위한 공급관(S)의 본체 결합부를 분해 및 조립이 가능한 고정관(20), 내접관(30) 및 접속관(60)으로 분리 구성하므로써 교체작업 등의 관리 유지가 용이하며, 기존의 고정관(20) 내에 내접관(30) 및 접속관(60)이 결합됨과 아울러 상기 접속관(60)의 비이드 진입구(61)쪽 내주면에 세라믹 재질의 보호관(70)이 삽입 설치되어, 관내에 유입되는 비이드의 충돌 및 압력에 의한 마모를 방지하므로써 누수 발생이 억제되어 장치의 장기간 사용이 가능하게 되는 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조에 관한 것이다.
Description
본 고안은 반도체장비부품 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조에 관한 것으로, 특히 반도체장비부품 세정용 비이드 분사장치 본체 내에 비이드를 충전하기 위한 공급관의 본체 결합부를 분해 및 조립이 가능하도록 구성하여 교체작업이 용이하게 함과 아울러, 공급관 내에 유입되는 비이드의 충돌 및 압력에 의한 마모를 방지하므로써 장치의 수명이 연장될 수 있도록 한 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조에 관한 것이다.
일반적으로, 비이드 분사장치(Bead Blaster 또는 Wet Abrasive Blasting Machine)는 제조공정중 반도체장비부품 표면에 달라붙은 이물질을 제거하거나, 또는 부품의 표면거칠기를 조정하기 위한 장비로서, 이 장비의 본체 내에는 세정용 분말가루인 비이드(Bead)와 물을 혼합한 세정제가 충전되어 있고, 이를 자체 펌프로써 순환시킨 후 비이드건(Bead Gun)을 통해 고압 분사하여 반도체장비부품의 표면을 세정하게 된다.
한편, 상기한 종래 세정용 비이드 분사장치의 공급관은 도 1에 도시된 바와 같이, 장치 본체(10)의 내부로 관통 삽입되어 용착된 고정관(20)과, 비이드를 공급하기 위한 이송관(40)과, 상기 고정관(20) 및 이송관(40)을 연결하는 고무관(50)으로 구성된 것이었다. 도면중 미설명 부호 S는 공급관, 21은 용접부, 51은 각 관의 접속부를 고정하기 위한 클램퍼를 나타낸다.
상기 고정관(20)은 직선 원통형상의 관을 본체(10)에 용착한 것으로, 상기 본체(10)와 일체형으로 되어 있었다. 또한, 상기 고무관(50)은 고정관(20)과 이송관(40) 사이에 삽입 결합한 후, 그 연결부 외주를 클램퍼(51)로 조여서 고정한 것이었다.
이러한 구성을 갖는 종래의 공급관(S)은 비이드를 포함한 세정제가 이송관(40), 고무관(50) 및 고정관(20)을 순차적으로 통과하여 본체(10) 내부로 유입되도록 되어 있었다.
또한, 공급관(S)을 통해 세정제가 유입되는 과정에서 각 관(20)(40)(50)의 내부가 비이드에 의해 마모되어 누수될 수 있으므로 일정기간 사용 후에는 보수 관리가 필요하게 된다.
그러나, 종래 세정용 비이드 분사장치의 공급관(S)을 보수 관리함에 있어서, 이송관(40) 및 고무관(50)은 분리 가능하여 관 내부가 마모되었을 경우에 쉽게 교체할 수 있으나, 상기 고정관(20)의 내부가 마모되어 누수되는 경우에는 본체(10)에 용접되어 있으므로 교체가 매우 곤란할 뿐만 아니라 장시간의 작업이 이루어져야 한다는 문제점이 있었다.
이에 본 고안은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 세정용 비이드 분사장치 본체와 공급관의 결합부를 분해 및 조립이 가능하도록 하여 교체작업 등의 관리 유지가 용이하게 함과 아울러, 공급관 내에 유입되는 비이드의 충돌 및 압력에 의한 마모를 방지하므로써 누수 발생이 억제되어 장치의 수명이 연장될 수 있도록 한 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조를 제공하는데 그 목적이 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조를 나타낸 개략도,
도 2는 본 고안에 따른 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조를 나타낸 개략도,
도 3은 본 고안에 따른 공급관의 결합부 구조를 설명하기 위한 각 관의 분해 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
S ; 공급관10 ; 본체
20 ; 고정관21 ; 용접부
22 ; 나사홈30 ; 내접관
32, 62 ; 나사산40 ; 이송관
50 ; 고무관51 ; 클램퍼
60 ; 접속관61 ; 비이드 진입구
70 ; 보호관71 ; 환턱
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조는 본체의 내부로 관통 삽입되어 용착된 고정관과, 본체 내부로부터 고정관 일단의 내주면에 나사결합되는 내접관과, 비이드를 공급하기 위한 이송관 및 고무관과, 상기 고무관과 고정관을 상호 연결할 수 있도록 관의 일단이 상기 고무관 내에 밀착 삽입됨과 동시에 그 타단이 상기 고정관의 외향단쪽 내주면에 나사결합되는 접속관으로 분리되어 각각 교체 가능하도록 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 접속관의 비이드 진입구쪽 내주면에는 비이드의 충돌 및 압력에 의한 마모를 방지하기 위한 세라믹 재질의 보호관이 삽입 설치된 것을 특징으로 한다.
이하, 본 고안을 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 고안에 따른 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조는 본체(10)의 내부로 관통 삽입되어 용착된 고정관(20)과, 본체(10) 내부로부터 고정관(20) 일단의 내주면에 나사결합되는 내접관(30)과, 비이드를 공급하기 위한 이송관(40) 및 고무관(50)과, 상기 고무관(50)과 고정관(20)을 상호 연결할 수 있도록 관의 일단이 상기 고무관(50) 내에 밀착 삽입됨과 동시에 그 타단이 상기 고정관(20)의 외향단쪽 내주면에 나사결합되는 접속관(60)으로 분리 구성되어 있다.
바람직하게는, 상기 접속관(60)의 비이드 진입구(61)쪽 내주면에 비이드의 충돌 및 압력에 의한 마모를 방지하기 위한 세라믹 재질의 보호관(70)이 삽입 설치될 수도 있다.
여기서 도면부호 21은 고정관(20)을 본체(10)에 용접한 용접부이고, 22는 상기 고정관(20)의 내주면에 형성된 나사홈이며, 32 및 62는 상기 나사홈(22)에 결합되도록 내접관(30) 및 접속관(60)의 각 외주면 상에 형성된 나사산이고, 51은 고무관(50)의 연결부에 설치된 고정용 클램퍼이며, 71은 상기 접속관(60)의 비이드 진입구(61)쪽 일단을 감싸줄 수 있도록 상기 보호관(70)의 선단에 형성된 환턱이다.
상기와 같이 구성된 본 고안에 따른 공급관(S)의 결합구조를 설명하면 다음과 같다. 즉, 본체(10)에 용착 고정된 고정관(20) 내에 내접관(30) 및 접속관(60)이 나사결합되어 상기 내접관(30) 및 접속관(60)의 마주보는 각 단이 상기 고정관(20) 내에서 접하도록 되어 있으며, 이때 상기 접속관(60)의 비이드 진입구(61)쪽 단의 내주면에는 세라믹 재질의 보호관(70)이 삽입 설치될 수 있다. 또한, 상기 접속관(60)의 타단 외주면 상에는 고무관(50)이 끼워져 클램퍼(51)로 고정되고, 이 고무관(50)의 타단 내주면 상에는 이송관(40)이 삽입되어 그 외주면을 클램퍼(51)로 조임 고정하게 되어 있다.
이와 같이 결합된 본 고안의 공급관(S)을 통한 유입 경로는 비이드를 포함한 세정제가 이송관(40), 고무관(50), 보호관(70), 접속관(60) 및 내접관(30)을 순차적으로 통과하여 본체(10) 내부로 유입되도록 되어 있다.
결국, 비이드가 접속관(60) 내를 진입할 때 상기 보호관(70)에 의해 상기 접속관(60)의 내주면이 마모되는 것을 방지할 수 있게 되고, 고정관(20)은 분리 교체가 가능한 내접관(30) 및 접속관(60)에 의해 보호되므로 비이드의 충돌에 의한 손상을 전혀 받지 않게된다.
따라서, 상기 공급관(S) 내의 어느 부위에 마모가 발생하였을 경우에 그 부분에 해당하는 관만을 교체할 수 있으므로 유지 및 보수관리가 신속 용이하게 이루어질 뿐만 아니라 매우 경제적이며, 본체(10)에 용착된 고정관(20)에는 마모 등의 손상이 발생하지 않도록 이중 구조를 유지하므로 이 부분에 마모가 발생하였을 경우에는 본체(10) 내부로부터 상기 내접관(30)을 분리해내어 새것으로 교환할 수 있는 것이다.
상기와 같은 구성및 작용에 의해 기대할 수 있는 본 고안의 효과는 다음과 같다.
본 고안에 따른 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조는 반도체장비부품 세정용 비이드 분사장치 본체(10) 내에 비이드를 충전하기 위한 공급관(S)의 본체 결합부를 분해 및 조립이 가능한 고정관(20), 내접관(30) 및 접속관(60)으로 분리 구성하므로써 교체작업 등의 관리 유지가 용이하며, 기존의 고정관(20) 내에 내접관(30) 및 접속관(60)이 결합됨과 아울러 상기 접속관(60)의 비이드 진입구(61)쪽 내주면에 세라믹 재질의 보호관(70)이 삽입 설치되어, 관내에 유입되는 비이드의 충돌 및 압력에 의한 마모를 방지하므로써 누수 발생이 억제되어 장치의 장기간 사용이 가능하게 되는 효과가 있다.
Claims (2)
- 반도체장비부품 세정용 비이드 분사장치의 본체 내에 비이드를 충전하기 위한 공급관에 있어서, 상기 공급관은 본체의 내부로 관통 삽입되어 용착된 고정관과, 본체 내부로부터 고정관 일단의 내주면에 나사결합되는 내접관과, 비이드를 공급하기 위한 이송관 및 고무관과, 상기 고무관과 고정관을 상호 연결할 수 있도록 관의 일단이 상기 고무관 내에 밀착 삽입됨과 동시에 그 타단이 상기 고정관의 외향단쪽 내주면에 나사결합되는 접속관으로 분리되어 각각 교체 가능하도록 구성된 것을 특징으로 하는 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조.
- 제 1 항에 있어서, 상기 접속관의 비이드 진입구쪽 내주면에는 비이드의 충돌 및 압력에 의한 마모를 방지하기 위한 세라믹 재질의 보호관이 삽입 설치된 것을 특징으로 하는 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조.
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| KR2019970011856U KR200164678Y1 (ko) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 세정용 비이드 분사장치의 공급관구조 |
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