KR101214791B1 - 습식 전기집진장치용 미세 분무장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 습식 전기집진장치용 미세 분무장치에 관한 것으로서 압축공기가 유입되는 에어 배관과, 상기 에어 배관의 일측에 결합되어 상기 압축공기를 분출시키는 에어 노즐과 내부에 상기 에어 배관이 수용되면서 내면이 상기 에어 배관의 외면과 이격되어 세정수의 흐름 통로를 제공하는 세정수 배관 및 상기 세정수 배관의 일측과 상기 에어 노즐의 일측을 감싸면서 세정수를 에어 노즐로 공급하는 세정수 노즐을 포함하여 형성될 수 있다.

Description

습식 전기집진장치용 미세 분무장치{MINUTE SPRAYING APPARATUS FOR A WET ELECTROSTATIC PRECIPITATOR}

본 발명은 습식 전기집진장치에 사용되는 미세 분무장치에 관한 것이다.

반도체 제조 공정에서 발생되는 배기가스인 폐가스는 유독성, 폭발성 및 부식성이 강하기 때문에 인체에 유해할 뿐만 아니라, 대기 중으로 방출될 경우 환경오염을 초래하게 되므로, 이러한 폐가스의 유해성분 함량을 허용 농도 이하로 낮추는 정화처리과정을 거치게 되는 것이 일반적이다.

상기 폐가스에 포함된 분진(mist)이나 미세가루(dust) 등의 미세입자를 포집하여 폐가스를 정화 처리하는 미세입자 포집장치 중 근래에 많이 사용되는 습식 전기집진장치는 폐가스 중에 부유하는 입자를 코로나 방전(corona discharge)에 의해 하전하고 여기에 전계를 형성시켜 정전기력에 의해 미세입자들을 포집한 후 제거하게 된다.

상기 습식 전기집진장치에 구비된 분무부는 코로나방전이 이루어진 미세입자에 세정수(water)를 분무시켜 비교적 큰 미세입자를 제거하는 동시에, 응집부로 유입된 미세입자의 응집성장을 유도한 후 제거시키게 된다. 따라서, 상기 분무부에 설치되는 미세 분무장치는 세정수(water)를 미세하게 분무시켜야 하며, 세정수가 미세하게 분무되지 않아 분무된 세정수 입자가 미세입자보다 클 경우에는 제거하고자 하는 미세입자의 응집성장이 잘 이루어지지 않게 되어 폐가스의 처리가 완벽하게 이루어지지 못하는 문제점이 있었다.

또한, 상기 종래의 미세 분무장치는 폐가스에 의한 부식을 방지하기 위해 내구성과 내부식성이 우수한 스테인리스 스틸의 재질로 구성되는 것이 일반적이었다. 특히 미세 분무장치에 에어를 공급하는 에어 배관과 세정수를 공급하는 세정수 배관 각각은 밀폐성을 확보하기 위해 단일의 재질을 이용하여 단일의 배관으로 구성되는 것이 일반적이었다.

그러나, 종래의 미세 분무장치와 같이 에어 배관과 세정수 배관을 단일의 배관으로 구성할 경우, 긴 배관의 조립으로 인하여 설치가 불편한 문제점이 있었으며, 스테인리스 스틸로 이루어진 배관의 일부에만 부식이 발생할 경우에도 배관 전체를 교체하여야 하는 문제점이 있었다.

또한, 상기 세정수 배관은 반복적인 세정수의 공급으로 인해 세정수에 잔존하는 이물질이 세정수 배관의 내부에 누적되어 노즐의 에어 공급구를 막게 됨으로 인하여 압축공기인 에어의 분사효율을 감소시키고, 분무의 생성효율을 감소시키게 되는 문제점이 있었다.

특히, 상기 미세입자를 포집하여 세정수조로 유입된 후 펌프에 의해 순환되면서 다시 세정수 배관으로 공급되는 세정수에 잔존하던 이물질이 누적되는 세정수 배관 내부는 세정수 배관이 단일관으로 이루어짐으로써 깨끗하게 세척하기 어려운 문제점이 있었다.

본 발명은 배관과 노즐 등의 부식을 방지하면서 배관 내부를 용이하게 세척할 수 있는 습식 전기집진장치용 미세 분무장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 습식 전기집진장치용 미세 분무장치는 압축공기가 유입되는 에어 배관과, 상기 에어 배관의 일측에 결합되어 상기 압축공기를 분출시키는 에어 노즐과 내부에 상기 에어 배관이 수용되면서 내면이 상기 에어 배관의 외면과 이격되어 세정수의 흐름 통로를 제공하는 세정수 배관 및 상기 세정수 배관의 일측과 상기 에어 노즐의 일측을 감싸면서 세정수를 에어 노즐로 공급하는 세정수 노즐을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명은 미세 분무 생성을 위한 세정수가 공급되는 배관을 제1 및 제2배관으로 이루어진 짧은 복수의 관으로 형성함으로써, 분리 후 배관 내주면의 세척을 용이하게 할 수 있게 함과 아울러, 부식에 의해 손상된 특정 배관만을 수리 및 교체할 수 있어 미세 분무장치의 유지 및 보수비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.

또한, 본 발명은 세정수를 상대적으로 직경이 큰 세정수 공급홀을 통하여 공급하게 되므로 세정수 공급홀이 막히는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 분무생성 챔버에서 미세 분무가 생성되는 공간에 위치하는 에어 노즐의 위치를 조절함으로써, 압축공기의 분출압력을 맞게 되는 세정수의 양을 증감시킬 수 있게 되어 미세 분무의 생성 정도와 분무의 크기를 조절할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 일시예에 따른 습식 전기집진장치용 미세 분무장치의 정면도를 나타낸다.
도 2는 본 발명의 일시예에 따른 습식 전기집진장치용 미세 분무장치의 분해 사시도를 나타낸다.
도 3은 도 1의 단면도를 나타낸다.
도 4는 본 발명의 일시예에 따른 습식 전기집진장치용 미세 분무장치가 구비된 습식 전기집진장치의 정면도를 나타낸다.

이하에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 참조하여 설명하도록 한다.

도 1은 본 발명의 일시예에 따른 습식 전기집진장치용 미세 분무장치의 정면도를 나타낸다. 도 2는 본 발명의 일시예에 따른 습식 전기집진장치용 미세 분무장치의 분해 사시도를 나타낸다. 도 3은 도 1의 단면도를 나타낸다.

본 발명에 따른 습식 전기집진장치용 미세 분무장치는, 도 1 내지 3을 참조하면, 분무를 생성하기 위한 압축공기가 유입되는 에어 배관(100)과, 에어 배관(100)의 일단에 결합되어 압축공기를 분출시키는 에어 노즐(200)과, 에어 배관(100)을 감싸며 세정수가 흐르는 세정수 배관(300)과, 세정수 배관(300)의 일측과 에어 노즐(200)의 일측을 함께 감싸면서 세정수를 에어 노즐(200)로 공급하는 세정수 노즐(400)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 습식 전기집진장치용 미세 분무장치는 세정수 배관(300)에 연결되어 세정수조로부터 세정수를 세정수 배관(300)으로 공급하는 세정수 유입관(500)을 포함하여 구성된다.

한편, 이하에서는 일측과 타측의 기재와 관련하여, 도면에서 좌측 방향을 일측으로 기재하며, 우측 방향을 타측으로 기재하여 설명한다.

상기 에어 배관(100)은 내부가 중공인 원통 형상으로 형성되며 소정 길이와 직경을 갖도록 형성된다. 상기 에어 배관은 스테인레스 스틸과 같은 금속 재질로 형성되어 일정한 강도를 가지게 된다. 상기 에어 배관(100)은 세정수에 분사되어 분무인 포그(fog)를 생성하기 위한 압축 공기를 에어 노즐(200)로 분사하게 된다. 상기 에어 배관(100)은 일측에 에어 노즐(200)이 연결되고, 타측에 외부의 압축기(compressor)(미도시)가 연결된다.

또한, 상기 에어 배관(100)은 일측의 내부에 내주 나사부(110)가 형성되며 에어 노즐(200)의 타측이 나사 결합된다. 상기 에어 배관(100)은 에어 노즐(200)과의 견고한 결합과 압축 공기의 누출을 방지할 수 있도록 내구성이 우수한 스테인리스 재질(SUS)로 구성되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 에어 배관(100)은 타측에 압축기와의 용이하고 견고한 결합을 위한 외주 나사부(120)가 형성되는 것이 바람직하다. 상기 외부 나사부(120)는 에어 배관(100)의 외주면에 형성된 나사산의 형태로 이루어지며, 압축기에서 연장되는 호스 또는 파이프의 내주면에 형성되는 나사부(도면에 도시하지 않음)와 상호 견고한 결합을 이루게 된다.

상기 에어 노즐(200)은 원기둥 형상의 노즐 본체(200a)와, 노즐 본체(200a)의 타측 외면에 형성되는 노즐 나사부(210)와, 노즐 나사부(210)로부터 일측으로 이격되어 본체의 외면에 돌출되어 형성되는 걸림턱(220)과, 노즐 본체(200a)의 일측면에 노즐 본체(200a)의 축 방향과 경사지도록 형성되는 경사부(230)와 노즐 본체(200a)의 내부에 노즐 본체(200a)의 축 방향으로 형성되는 에어 통로(240) 및 에어 통로(240)로부터 경사부(230)로 관통되는 분사구(250)를 포함하여 형성된다.

상기 노즐 나사부(210)는 노즐 본체(200a)의 타측 외면에 소정 길이로 형성되며, 에어 배관(100)의 일측 내부로 삽입되어 에어 배관(100)의 내주 나사부(110)와 나사 결합을 하게 된다.

상기 걸림턱(220)은 노즐 나사부(210)로부터 일측으로 이격되어 노즐 본체(200a)의 외면에 소정 높이 또는 직경을 갖도록 돌출되어 형성된다. 상기 걸림턱(220)은 바람직하게는 노즐 본체(200a)의 원주 방향으로 전체적으로 형성된다. 이때, 상기 걸림턱(220)은 직경이 적어도 에어 배관(100)의 내부 직경보다 크게 되도록 형성된다. 또한, 상기 걸림턱(220)은 바람직하게는 에어 배관(100)의 외경보다 작게 되도록 형성된다. 따라서, 상기 걸림턱(220)은 노즐 나사부(210)가 에어 배관(100)의 내주 나사부(110)와 나사 결합하면서 노즐 본체(200a)가 에어 배관(100)의 내부로 삽입될 때 에어 배관(100)의 일단면과 접촉하면서, 노즐 본체(200a)가 에어 배관(100)의 내부로 일정 깊이이상으로 삽입되지 않도록 한다.

상기 경사부(230)는 노즐 본체(200a)의 일측면과 노즐 본체(200a)의 축 방향으로 경사지는 경사면으로 형성되며, 노즐 본체(200a)의 원주 방향을 따라 전체적으로 형성된다. 따라서, 상기 노즐 본체(200a)는 일측부가 노즐 본체(200a)의 축 방향에 수직이 일측면과 경사부를 포함하여 형성되며, 원뿔대 형태로 형성된다. 또한, 상기 경사부(230)는 경사면이 노즐 본체(200a)의 축과 만나도록 연장되어 형성될 수 있다. 이러한 경우에 노즐 본체(200a)는 일측부가 원뿔 형태로 형성될 수 있다. 상기 경사부(230)는 바람직하게는 노즐 본체(200a)의 축 방향과 30 내지 60도의 경사를 이루도록 형성된다.

상기 에어 통로(240)는 노즐 본체(200a)의 내부에서 노즐 본체(200a)의 축 방향으로 소정 직경과 길이를 갖도록 형성된다. 상기 에어 통로(240)는 노즐 본체(200a)의 타측면에서 개방되도록 형성되며, 노즐 본체(200a)의 일측면으로 소정 길이로 연장되어 형성된다. 상기 에어 통로(240)의 직경은 에어 공급에 필요한 크기로 형성된다.

상기 분사구(250)는 소정 직경을 갖으며, 에어 통로(240)와 연결되며 경사부(230)로 개방되도록 적어도 2개의 경사홀(251)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 경사홀(251)은 바람직하게는 4개의 경사홀로 형성될 수 있다. 상기 경사홀(251)은 에어의 분사가 필요한 위치에 따라 적정한 수로 형성될 수 있다. 또한, 상기 분사구(250)는 노즐 본체(200a)의 일측면으로 개방되는 수평홀(252)을 더 포함하여 형성될 수 있다. 상기 분사구(250)는 경사홀(251)과 수평홀(252)의 전체 단면적이 에어 통로(250)의 단면적보다 작도록 형성된다. 따라서, 상기 분사구(250)는 에어 통로(250)를 통하여 공급되는 에어를 에어 통로(250)에 공급되는 압력보다 높은 압력으로 분사하게 된다.

상기 세정수 배관(300)은 내부가 중공인 원통 형상으로, 소정 길이와 직경을 갖도록 형성된다. 상기 세정수 배관(300)은 내부에 에어 배관(100)을 수용되면서 내면이 에어 배관(100)의 외면과 이격되어 세정수 흐름 통로를 형성하게 된다. 따라서, 상기 세정수 배관(300)은 내경이 에어 배관(100)의 외경보다 크게 형성된다. 또한, 상기 세정수 배관(300)은 공급이 필요한 세정수의 양에 따라 적정한 내경을 갖도록 형성된다.

상기 세정수 배관(300)은 일측에 위치하는 제1 배관(310)과 제1 플랜지(320)와 타측에 위치하는 제2 배관(330) 및 제2 플랜지(340)를 포함하여 형성될 수 있다. 또한, 상기 세정수 배관(300)은 제1 플랜지(320)와 제2 플랜지(340)사이에 위치하는 가스켓(350)을 더 포함하여 형성될 수 있다.

상기 제1 배관(310)은 에어 노즐(200)의 일측이 노출되도록 에어 노즐(200)의 타측을 감싸도록 형성된다. 또한, 상기 제1 배관(310)은 에어 배관(100)의 타측을 감싸도록 형성된다. 상기 제2 배관(330)은 에어 배관(100)의 타측의 일부가 노출되도록 에어 배관(100)의 타측을 감싸도록 형성된다. 따라서, 상기 에어 배관(100)은 타측의 단부가 제2 배관(330)의 타측으로 노출되며, 노출되는 부분에 압축기(도면에 미도시)가 연결된다.

또한, 상기 제1 배관(310)과 제2 배관(330)은 바람직하게는 서로 분리 가능하도록 형성된다. 상기 제2 배관(330)은 세정수 유입관(500)과 연결되어 지지되며, 제1 배관(310)은 제2 배관(330)에 연결되어 지지된다. 또한, 상기 제2배관(330)은 지지 플레이트와 같은 별도의 지지 수단(도면에 미도시)에 의하여 지지될 수 있다. 상기 세정수 배관(300)의 내부와 에어 배관(100) 및 에어 노즐(200)의 청소가 필요한 경우에는 제1 배관(310)을 제2 배관(330)으로부터 분리한 후에 청소를 하게 된다. 따라서, 상기 세정수 배관(300)은 제1 배관(310) 및 제2 배관(330)으로 분리되어 형성됨으로써, 세정수 배관(300)의 내부 세척을 용이하게 할 수 있으며, 부식 등에 의하여 일부 배관이 손상되는 경우에 해당 배관만을 수리 또는 교체할 수 있어 미세 분무장치의 유지 및 보수 비용을 절감할 수 있게 된다.

또한, 상기 제1 배관(310) 및 제2 배관(330)은 서로 다른 종류의 재질로 형성될 수 있다. 상기 제1 배관(310)은 직접적으로 폐가스에 노출되므로 가볍고 부식에 강한 폴리염화비닐 재질(PVC)로 구성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 제2 배관(330)은 세정수 유입관(500)과의 안정적인 결합상태를 유지하기 위하며, 조인트(340)와의 결합이 용이하게 스테인리스 스틸 재질(SUS)로 구성되는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 제1 배관(310)과 제2 배관(330)은 각 배관이 위치하는 장소의 특성에 적합하게 상이한 재질로 이루어지므로, 분무 장치의 설치에 대한 안정성을 확보하면서 세정수에 잔존하는 이물질에 의한 부식에 대한 저항력을 동시에 향상시킬 수 있게 된다.

상기 제1 플랜지(320)는 일반적인 플랜지 형상으로 형성되며, 중앙에 제1 배관(310)의 타측이 결합되는 관통홀(320a)이 구비된다, 상기 제 1 플랜지(320)는 바람직하게는 제1 배관(310)과의 결합의 용이성을 위하여 제1 배관(310)과 같은 재질로 형성된다. 상기 제1 플랜지(320)는 폴리염화비닐 재질(PVC)로 형성된다.

상기 제2 플랜지(340)는 제1 플랜지(320)와 대응되는 형상으로 형성되며, 중앙에 제2 배관(330)의 일측이 결합되는 관통홀(340a)이 구비된다, 상기 제2 플랜지(340)는 바람직하게는 제2 배관(330)과의 결합의 용이성을 위하여 제2 배관(330)과 같은 재질로 형성된다. 즉, 상기 제2 플랜지(340)는 스테인리스 스틸 재질(SUS)로 형성된다.

상기 가스켓(350)은 제1 플랜지(320)와 제2 플랜지(340)에 대응되는 면적을 갖는 판상의 고무재질로 형성된다. 상기 가스켓(350)은 제1 플랜지(320)와 제2 플랜지(340) 사이에 위치하여, 제1 플랜지(320)와 제2 플랜지(340)가 결합될 때 압착되면서 제1 플랜지(320)와 제2 플랜지(340) 사이를 밀봉하여 세정수의 누수를 방지하게 된다.

또한, 상기 세정수 배관(300)은 타측에 위치하는 에어 배관 체결부(360)를 더 포함하여 형성될 수 있다.

상기 에어 배관 체결부(360)는 세정수 배관 커버(361)와 체결 배관(362)과 체결 플랜지(363)와 체결 커버(364) 및 체결 와셔(365)를 포함하여 형성된다. 상기 에어 배관 체결부(360)는 세정수 배관(300)의 타측에 결합되며, 세정수 배관(300)의 타측으로 노출되는 제2 배관(220)의 외면과 결합되면서 에어 배관(200)의 타측을 지지하여 고정하게 된다. 또한, 상기 에어 배관 체결부(360)는 세정수 배관(300)의 타측을 밀봉하게 된다.

상기 세정수 배관 커버(361)는 내면이 에어 배관(100)의 외면과 이격되는 제 1 관통홀(361a)이 형성되는 링 형상으로 형성된다. 상기 세정수 배관 커버(361)는 세정수 배관(300)의 제2 배관(320)의 타측단에 결합되어 제2 배관(320)의 일부를 차폐하게 된다.

상기 체결 배관(362)은 에어 배관(100)의 외경보다 큰 내경을 가지도록 형성된다. 상기 체결 배관(362)은 일측이 세정수 배관 커버(361)의 제 1 관통홀(361a)에 결합된다. 또한, 상기 체결 배관(362)은 에어 배관(100)의 외부를 감싸도록 에어 배관(100)과 결합되며, 에어 배관(110)의 외주 나사부(120)를 포함한 타측 일부가 외부로 노출되도록 결합된다.

상기 체결 플랜지(363)는 깔대기 모양으로 형성되며, 직경이 작은 일측의 단부가 체결 배관(362)의 타측의 단부에 결합되도록 형성된다. 즉, 상기 체결 플랜지(363)는 일측면이 일측 방향으로 경사지도록 형성되며, 타측면도 일측 방향으로 경사지도록 형성된다. 상기 체결 플랜지(363)는 일측면과 타측면 사이의 외면에 체결 커버(364)가 결합되는 나사부(363a)가 형성된다.

상기 체결 커버(364)는 바닥면과 측벽을 구비하는 컵 형상으로 형성되며, 바닥면의 중앙에 제 2 관통홀(364a)이 형성된다. 상기 체결 커버(364)의 측벽 내면에는 나사부(364b)가 형성된다. 상기 체결 커버(364)는 체결 플랜지(363)에 나사 결합되면서 체결 플랜지(363)를 감싸도록 형성된다. 상기 에어 배관(100)은 타측의 일부가 체결 커버(364)의 제 2 관통홀(364a)을 통하여 삽입되면서 외부로 노출된다.

상기 체결 와셔(365)는 일측면이 체결 플랜지의 타측면에 대응되는 형상으로 형성되며, 타측면이 체결 커버(364)의 바닥면에 대응되는 형상으로 형성된다. 상기 체결 와셔(365)는 체결 플랜지(363)의 타측면 및 체결 커버(364)의 바닥면과 접촉되도록 체결 플랜지(363)와 체결 커버(364) 사이에 위치하게 된다. 상기 체결 와셔(365)는 체결 커버(364)가 체결 플랜지(363)에 나사 결합되면서 체결되는 경우에, 압착되면서 내면이 에어 배관의 외면과 접촉하게 된다. 따라서, 상기 체결 와셔(365)는 에어 배관(100)과 체결 플랜지(363) 사이의 공간을 밀폐하여 세정수가 유출되지 않도록 한다. 또한, 상기 체결 와셔(365)는 에어 배관 체결부(360)로 하여금 에어 배관(110)을 지지하도록 한다.

상기 세정수 노즐(400)은 배관 본체(410)와 노즐 격벽(420)과 중앙홀(430) 및 세정수 공급홀(440)을 포함하여 형성된다. 또한, 상기 세정수 노즐(400)은 세정수 배출홀(450) 및 에어 노즐 수용부(460)를 더 포함하여 형성될 수 있다.

상기 세정수 노즐(400)은 세정수 배관(300)의 일측과 에어 노즐(200)의 일측을 함께 감싸면서 세정수 배관(300) 및 에어 노즐(200)과 결합된다. 상기 세정수 노즐(400)은 세정수 배관(300)으로부터 공급되는 세정수를 세정수 공급홀(440)을 통하여 에어 노즐(200)로 공급하게 된다. 또한, 상기 세정수 노즐(400)은 노즐 격벽(420)을 중심으로 일측에 에어 노즐(200)이 위치하는 분무 공간을 구비하며, 타측에 세정수 배관(300)이 삽입되어 결합되는 결합 공간을 구비하게 된다. 또한, 상기 세정수 노즐(400)의 분무 공간에서는 에어 노즐(200)을 통하여 분사되는 공기에 의하여 세정수 노즐로부터 공급되는 세정수가 분무된다.

상기 배관 본체(410)는 원통 형상으로 형성되며 타측에 세정수 배관(300)의 일측이 삽입되어 결합된다. 따라서, 상기 배관 본체(410)의 타측은 세정수 배관(300)의 외경에 대응되는 내경을 갖도록 형성된다.

상기 노즐 격벽(420)은 배관 본체(410)의 내부에 배관 본체(410)의 축 방향에 수직인 방향으로 형성된다. 상기 노즐 격벽(420)은 소정 두께의 판상으로 형성된다. 상기 노즐 격벽(420)은 배관 본체(410)의 내부 공간을 일측의 분무 공간과 타측의 결합 공간으로 분리하게 된다. 따라서, 상기 노즐 격벽(420)의 일측에 형성되는 분무 공간에는 에어 노즐(200)이 노출되며, 타측의 결합 공간에는 세정수 배관(300)이 결합된다.

상기 중앙홀(430)은 노즐 격벽(420)의 중앙에 일면에서 타면으로 관통되도록 형성되며, 에어 노즐(200)의 외면에 대응되는 직경을 가지도록 형성된다. 상기 에어 노즐(200)은 중앙홀(430)에 억지 끼움 방식으로 결합된다.

상기 세정수 공급홀(440)은 노즐 격벽(420)의 상부에 일면에 타면으로 관통되는 홀 형상으로 형성된다. 또한, 상기 세정수 공급홀(440)은 에어 노즐(200)의 상부에 위치하도록 형성된다. 따라서, 상기 세정수 공급홀(440)은 에어 노즐(200)로 세정수를 공급하게 된다.

또한, 상기 세정수 공급홀(440)은 그 직경을 적절하게 조정하여 형성할 수 있다. 상기 세정수 공급홀(440)은 바람직하게는 세정수에 포함되어 있는 분진 또는 미세가루의 크기보다 큰 직경을 갖도록 형성된다. 또한, 상기 세정수 공급홀(440)은 적어도 0.5mm의 직경을 갖도록 형성될 수 있다. 따라서, 상기 세정수 공급홀(440)은 세정수에 포함되어 분진 또는 이물질에 의하여 막히는 것이 방지된다. 또한, 상기 세정수 공급홀(440)은 별도의 필터링을 하지 않은 세정수를 사용할 수 있도록 한다.

상기 세정수 배출홀(450)은 노즐 격벽(420)의 하부에서 배관 본체(410)의 내면에서 외면으로 관통되도록 수직 방향으로 형성된다. 상기 세정수 배출홀(450)은 에어 노즐(200)의 하부에 위치하도록 형성된다. 따라서, 상기 세정수 배출홀(450)은 에어 노즐(200)에서 분무되지 않고 에어 노즐(200)의 하부로 떨어지는 세정수를 세정수 노즐(400)의 하부로 배출하게 된다. 한편, 상기 세정수 배출홀(450)은 별도로 형성되지 않을 수 있으며, 이러한 경우에는 세정수는 배관 본체(410)의 일측으로 흘러 외부로 배출된다.

상기 에어 노즐 수용부(460)는 노즐 격벽의 타측면에 에어 노즐의 걸림턱(220)의 외경보다 큰 내경을 가지도록 홈 형상으로 형성된다. 상기 에어 노즐 수용부(460)는 에어 노즐의 걸림턱(220)이 수용되는 공간을 제공하여 에어 노즐이 통상적인 경우보다 더 일측으로 이동하여 설치될 수 있도록 한다. 즉, 상기 에어 노즐(200)은 통상적으로 걸림턱의 일측면이 세정수 배관(300)의 일측면과 동일 평면을 이루도록 설치된다. 다만, 상기 에어 노즐(200)의 분사 위치를 더 일측으로 조정하는 경우에, 에어 노즐(200)의 위치를 일측으로 더 이동시켜 설치하게 된다. 따라서, 상기 에어 노즐(200)은 설치 위치를 조정하여 에어 노즐 수용부(460)에 의하여 분무 영역을 조절할 수 있게 된다.

상기 세정수 유입관(500)은 세정수조로부터 분무를 생성하기 위한 세정수가 미세 분무장치로 유입되는 관으로서, 일단이 세정수조에 연결되고, 타단이 세정수 배관(300), 특히 제2 배관부(330)에 연결된 관으로 구성된다. 또한, 상기 세정수 유입관(500)의 상부에는 세정수조에서 연장된 메인 배관과의 견고한 연결을 위한 유입관 플랜지(510)가 더 포함되어 구성되는 것이 바람직하다.

상기 노즐 캡(600)은 하부가 개방되어 있는 반원통의 형상으로 이루어져 상기 세정수 노즐(400)의 일측에 결합된다. 상기 노즐 캡(600)은 세정수 노즐(400)과 함께 에어 노즐(200)을 보호하게 되며, 작은 지름으로 형성된 분사구(250)에 이물질이 유입되어 분사구(250)를 막는 것을 방지하게 된다.

다음은 본 발명의 실시예에 따른 습식 전기집진장치용 미세 분무장치의 작용에 대하여 설명한다.

먼저, 상기 에어 배관 체결부(360)의 체결 커버(364)를 풀어서 체결 와셔(365)의 내면과 에어 배관(100)의 외면을 이격시키게 된다. 다음으로, 상기 에어 배관(100)과 에어 노즐(200)의 위치를 조정하여, 에어 노즐(200)이 세정수 노즐(400)의 일측면에서 노출되는 위치를 조정하고 체결 커버(364)를 조여서 에어 배관(100)과 에어 노즐(200)의 위치를 고정하게 된다.

상기 에어 배관(100)의 내부로 압축 공기를 공급하게 되며, 압축 공기는 에어 노즐(200)의 분사구(250)를 통하여 분사된다. 다음으로, 상기 세정수 배관(300)은 세정수 유입관(500)을 통하여 공급되는 세정수를 세정수 노즐(400)의 세정수 공급홀(440)로 공급하게 된다. 상기 세정수 공급홀(440)을 통하여 낙하되는 세정수는 에어 노즐(200)의 상부에서 떨어지면서 에어 노즐(200)의 분사구(250)에서 분사되는 압축공기에 의하여 미세 입자로 분무된다. 한편, 상기 세정수 공급홀(440)을 통하여 낙하되는 세정수중에서 분무되지 않은 세정수는 에어 노즐(200)의 하부로 떨어지게 되며 세정수 배출홀(450)을 통하여 외부로 배출된다.

다음에는 본 발명의 일 실시예에 따른 습식 전기집진장치용 미세 분무장치가 구비된 습식 전기집진장치의 일 실시예에 대하여 설명한다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 습식 전기집진장치용 미세 분무장치가 구비된 습식 전기집진장치의 정면도이다.

본 발명에 따른 미세 분무장치가 구비된 습식 전기집진장치(1)는, 도 4를 참조하면, 통상적인 폐가스 처리를 위한 습식 전기집진장치로서, 반도체 제조 공정 중 발생된 수용성 폐가스가 유입되는 폐가스 유입구(10)와, 유입된 폐가스를 처리하기 위한 미세 분무를 생성하여 분사하는 분무부(20)와, 유입된 폐가스에 포함되어 있는 미세 입자를 코로나 방전으로 하전시켜 미세입자를 응집시키는 집진부(30)와, 상기 코로나 방전을 위한 집진극과 방전극을 상호 절연시켜 보호하는 절연 애자부(40)와, 집진이 일루어져 정화된 가스를 배출하는 배기구(50)를 포함하여 구성된다.

이때, 상기 집진부(30)는 코로나 방전을 야기하는 다수의 방전극과, 상기 방전극에서 야기된 코로나 전계에 의해 폐가스의 미세 입자를 집진하는 집진극을 포함하여 구성된다.

또한, 상기 집진극에 쌓인 미세 입자를 세척하기 위한 세정수를 분사하기 위해 상기 방전극과 집진극의 하부에 위치한 다수의 하부 클리닝 노즐(60)과, 상기 방전극과 집진극의 상부에 위치한 다수의 상부 클리닝 노즐(70)을 포함하여 구성된다.

이때, 상기 분무부(20)에는 본 발명에 따른 미세 분무장치가 구비됨으로써, 세정수 노즐 내에 위치하는 에어 노즐의 위치를 조절하여 최상의 미세 분무를 생성할 수 있게 되어 상기 폐가스 유입구를 통하여 유입된 폐가스에 포함되어 있는 일정 크기의 미세 입자를 응집시켜 배출하게 되며, 응집이 채 이루어지지 않아 상기 집진부로 이동하게 된 미세 분무는 코로나 방전에 의해 양극성을 띠게 된 미세 입자를 더 응집하면서 폐가스의 정화를 이루게 된다.

또한, 장기간의 사용으로 인하여 미세 분무장치가 오염될 경우에는 조인트의 분리와 그로 인한 세정수 배관부(300)의 분리에 의해 세정수를 공급하는 배관의 내부도 깨끗하게 세척할 수 있게 되어 미세 분무장치의 사용 수명을 연장할 수 있으며, 보다 향상된 폐가스 처리 효율을 구현할 수 있게 된다.

이상에서는 본 발명에 대한 기술사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만 이는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 이라면 누구나 본 발명의 기술적 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.

100 - 에어 배관 200 - 에어 노즐
300 - 세정수 배관 400 - 세정수 노즐
500 - 세정수 유입관 600 - 노즐 캡

Claims (11)

1. 압축공기가 유입되는 에어 배관;
   상기 에어 배관의 일측에 결합되어 상기 압축공기를 분출시키는 에어 노즐;
   내부에 상기 에어 배관이 수용되면서 내면이 상기 에어 배관의 외면과 이격되어 세정수의 흐름 통로를 제공하는 세정수 배관; 및
   상기 세정수 배관의 일측과 상기 에어 노즐의 일측을 감싸면서 세정수를 에어 노즐로 공급하는 세정수 노즐을 포함하며,
   상기 에어 노즐은 원기둥 형상의 노즐 본체와, 상기 노즐 본체의 타측 외면에 형성되는 노즐 나사부와, 상기 노즐 나사부로부터 일측으로 이격되어 상기 노즐 본체의 외면에 돌출되어 형성되는 걸림턱과, 상기 노즐 본체의 일측면에 상기 노즐 본체의 축 방향과 경사지도록 형성되는 경사부와, 상기 노즐 본체의 내부에 상기 노즐 본체의 축 방향으로 형성되는 에어 통로 및 상기 에어 통로로부터 상기 경사부로 관통되는 분사구를 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 전기집진장치용 미세 분무장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 에어 배관의 일측 내부에는 내주 나사부가 형성되며,
   상기 에어 노즐의 노즐 나사부는 상기 에어 배관의 내주 나사부와 나사 결합되는 것을 특징으로 하는 습식 전기집진장치용 미세 분무장치.
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 경사부는 상기 노즐 본체의 일측면과 상기 노즐 본체의 축 방향으로 경사지는 경사면으로 형성되며,
   상기 분사구는 일측이 상기 에어 통로와 연결되며 타측이 상기 경사부를 통하여 개방되도록 형성되는 적어도 2개의 경사홀을 포함하여 형성되는 것을 특징으로 습식 전기집진장치용 미세 분무장치.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 세정수 배관은 상기 에어 노즐의 타측과 상기 에어 배관의 일측을 감싸도록 형성되는 제1 배관과, 상기 제1 배관의 타측에 결합되는 제1 플랜지와,
   상기 에어 배관의 타측의 일부가 노출되도록 상기 에어 배관의 타측을 감싸도록 형성되는 제2 배관과, 상기 제2 배관의 일측에 결합되며 상기 제1 플랜지와 결합되는 제2 플랜지 및
   상기 제1 플랜지와 제2 플랜지 사이에 위치하는 가스켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 전기집진장치용 미세 분무장치.
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 세정수 배관은 타측에 위치하는 에어 배관 체결부를 더 포함하며,
   상기 에어 배관 체결부는 상기 세정수 배관의 타측에 결합되며, 상기 세정수 배관의 타측으로 노출되는 에어 배관의 타측을 지지하여 고정하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 습식 전기집진장치용 미세 분무장치.
7. 제 6 항에 있어서,
   상기 에어 배관 체결부는
   내면이 상기 에어 배관의 외면과 이격되는 제 1 관통홀이 형성되는 링 형상으로 형성되며, 상기 세정수 배관의 타측에 결합되는 세정수 배관 커버와,
   내부에 상기 에어 배관을 수용하도록 상기 에어 배관의 외경보다 큰 내경을 가지도록 형성되며, 일측이 상기 세정수 배관 커버의 제 1 관통홀에 결합되는 체결 배관과,
   깔대기 모양으로 형성되어 직경이 작은 부분이 상기 체결 배관의 타단에 결합되며, 일측면과 타측면이 일측 방향으로 경사지도록 형성되는 체결 플랜지와,
   바닥면과 측벽을 구비하는 컵 형상으로 형성되어 상기 체결 플랜지를 감싸면서 결합되도록 형성되며, 상기 바닥면의 중앙에 제 2 관통홀이 구비되어 상기 에어 배관이 삽입되는 체결 커버 및
   일측면이 상기 체결 플랜지의 타측면에 대응되는 형상으로 형성되고 타측면이 상기 체결 커버의 바닥면에 대응되는 형상으로 형성되며, 상기 체결 플랜지의 타측면 및 체결 커버의 바닥면과 접촉되도록 상기 체결 플랜지와 체결 커버 사이에 위치하는 체결 와셔를 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 전기집진장치용 미세 분무장치.
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 세정수 노즐은
   원통 형상으로 형성되며 타측에 상기 세정수 배관의 일측이 삽입되는 배관 본체와,
   상기 배관 본체의 내부에 상기 배관 본체의 내부를 차단하도록 상기 배관 본체의 축 방향에 수직인 방향으로 형성되는 노즐 격벽과,
   상기 노즐 격벽의 중앙에 일면에서 타면으로 관통되며, 상기 에어 노즐의 외면에 대응되는 직경을 가지도록 형성되는 중앙홀과,
   상기 노즐 격벽의 상부에 일면에 타면으로 관통되며, 상기 에어 노즐의 상부에 위치하도록 형성되는 세정수 공급홀을 포함하여 형성되는 세정수 공급홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 전기집진장치용 미세 분무장치.
9. 제 8 항에 있어서,
   상기 세정수 공급홀은 세정수에 포함되어 있는 분진 또는 이물질의 크기보다 큰 직경을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 습식 전기집진장치용 미세 분무장치.
10. 제 8 항에 있어서,
    상기 세정수 노즐은
    상기 노즐 격벽의 하부에서 상기 배관 본체의 내면에서 외면으로 관통되도록 수직 방향으로 형성되며, 상기 에어 노즐의 하부에 위치하는 세정수 배출홀과,
    상기 노즐 격벽의 타측면에 상기 에어 노즐의 걸림턱의 외경보다 큰 내경을 가지도록 홈 형상으로 형성되는 에어 노즐 수용부를 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 전기집진장치용 미세 분무장치.
11. 제 1 항에 있어서,
    하부가 개방되어 있는 반원통의 형상으로 이루어져 상기 세정수 노즐의 일측에 결합되는 노즐 캡을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 전기집진장치용 미세 분무장치.

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