JP2017507031A - レーザにより材料を処理するための装置用の粉体流ノズル、受けユニット及び処理ヘッド - Google Patents
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Abstract
本発明は、レーザにより材料を処理するための装置用の粉体噴射ノズル、受けユニット、及び処理ヘッドに関するものである。粉体噴射ノズルの容易な交換するのを可能にするために、粉体噴射ノズル10の装着用ピン11の外側形状が、挿入可能領域16において挿入方向14に単調テーパ付けされる。
Description
本発明は、請求項1の前文に記載された、レーザにより材料を処理するための装置用の粉体流ノズル、請求項5の前文に記載された、レーザにより材料を処理するための装置の粉体流ノズル用の受けユニット、及び、請求項10に記載された構成を有する、レーザにより材料を処理するための装置用の処理ヘッドに係るものである。
レーザを用いた材料処理は、特に、粉末を用いるレーザ肉盛溶接として実行できる。この方法は、例えば、多くの分野での維持管理、摩耗保護及び腐食保護のために使用される。例えば、工具製作、金型製作、動力装置の構築及び機械工学などである。これについては、レーザ・ビームを用いて溶融スポットを部材に生成させて、追加の材料粉末を粉体流ノズルから溶融スポットに供給する。次いで、供給された粉末を同様に溶融させ、部材の溶融した母材に接合する。レーザ及び粉体流ノズルから構成されたユニットが部材上を移動することにより、いわゆる溶接ビードが形成される。個々の溶接ビードは接近して形成できるので、部材に連続層を形成できる。この部材は表面品質を向上させるために機械加工できる。
このために使用される粉体流ノズルは、非常な高温に曝され、ノズル内を通る粉末により摩耗する。また、部材から跳ね返った完全に又は部分的に融解した粉末が、粉体流ノズルに付着する可能性がある。粉末の供給を妨害することなく誤りのない作業を確実に行うために、付着物を定期的に除去しなければならない。そのため、レーザにより材料を処理するための装置、とりわけ粉末を用いるレーザ肉盛溶接装置用の粉体流ノズルは、交換できるように構成される必要がある。
独国特許第102005058172号(B4)に、レーザ肉盛溶接装の形態のレーザにより材料を処理するための装置が記載されている。この装置は、ビーム通路を備える粉体流ノズルを有する。ビーム通路は、その軸線方向の両端に配置されたビーム入射開口及びビーム出射開口を有する。粉体流ノズルは、ビーム入射開口を設けることができる装着用差込部をさらに有し、この装着用差込部により粉体流ノズルを固定又は締結することができる。粉体流ノズルを固定するために、円周方向溝を有する円筒形差込領域が、(詳細には説明しない)中空の円筒形状の受けスリーブに差し込まれる。受けスリーブは、その周囲に分布された複数の孔を有し、その孔にグラブねじをねじ込むことができる。孔の位置は、粉体流ノズルが差し込まれるとグラブねじが溝に入り、それにより受けスリーブに対して粉体流ノズルを固定するように選択される。粉体流ノズルを取り外す場合、グラブねじを緩めることが必要であることから、グラブねじが抜け落ちる可能性がある。粉末スリーブを設置する場合、粉末スリーブを正確な軸線方向位置及び/又は差込位置に導入してそこで保持する必要がある。これによってのみ、グラブねじをねじ込むことができる。
独国特許第102005058172号(B4)に記載された装置は、装着用差込部及び受けスリーブのこの組み合わせが、完全な侵入深さにあるときに、粉体流ノズルの芯出しを行うように機能する。このように完全な侵入深さにおいて厳格な適合が必要となることから、芯出しは汚染の影響を非常に受けやすい。汚染の程度が低くても、受けスリーブ内で装着用差込部が固定されなくなる可能性がある。
これとは対照的に、本発明の目的は、粉体流ノズル、粉体流ノズル用の受けユニット、および粉体流ノズルの単純な形態での交換が可能であるレーザにより材料を処理するための装置用の処理ヘッドを提案することである。本発明によれば、この目的は、請求項1の構成を有する粉体流ノズル、請求項5の構成を有する受けユニット、及び請求項10の構成を有する処理ヘッドによって達成される。
本発明によれば、レーザにより材料を処理するための装置用の粉体流ノズルは、その軸線方向の両端に配置されたビーム入射開口及びビーム出射開口を有するビーム通路を備える。装置の作動中、レーザ・ビームがビーム入射開口からビーム通路に入り、ビーム入射開口から再びビーム通路の外に出て、その後、処理すべき加工対象物に入射する。粉体流ノズルは、装着用差込部をさらに有し、装着用差込部にビーム入射開口が形成される。装着用差込部により、特にレーザにより材料を処理するための装置用の受けユニットの受けスリーブ内に、粉体流ノズルを固定又は締結することが可能となる。
本発明によれば、装着用差込部は、その外側形状(外側輪郭)のビーム入射開口の方向に形成された差込領域が、ビーム入射開口の方向に単調にテーパ付けされるように構成される。これにより、受けスリーブ内への挿入時に、受けスリーブの対応する内側形状(内側輪郭)に対して装着用差込部の外側形状が接触するまで、粉体流ノズルが差し込むことができ、粉体流ノズルをさらに押すことができない。この位置で、粉体流ノズルが受けスリーブに対して、及び受けユニットに対して、軸線方向及び径方向に明確に規定され、適切な固定手段を使用して固定できる。このように、粉体流ノズルは、非常に簡単に、受けユニット内の正確な位置に固定できる。また、このようにテーパ付けされることにより、汚染の影響を非常に受けにくくなる。
これに関して「単調にテーパ付けする」とは、ビーム入射開口の方向に断面を再び拡大させることなく外側形状にテーパ付けすることと理解すべきである。この点に関して、一定の断面積を有する領域があってもよい。これに関して「差込領域」とは、受けスリーブがはめ込まれる領域として理解すべきである。
粉体流ノズルは、粉末を用いるレーザ肉盛溶接に特に使用される。例えばレーザ切断又はレーザ溶接などの、レーザを用いる他の材料処理に使用することも同様に可能であるが、これらの場合、粉末が粉体流ノズルを流れることはない。
本発明の一具体例によれば、装着用差込部の差込領域は、上記のとおり差込領域がテーパ付けされているために軸線方向に変化する円形断面を有する。この断面は、軸線方向に対して横方向に差込領域を通る断面であり、この点に関して、差込領域は軸線方向に対して回転対称性を有する。このように差込領域の少なくとも部分的に円錐形構成を有する。このために差込領域、したがって装着用差込部が回転機械加工により非常に簡単に製造できる。これは、粉体流ノズルの外側形状全体が回転対称性を有するデザインである場合に特に当てはまる。
粉体流ノズルは、受けスリーブに対して特定の角度位置に設置される必要はない。特定の領域に特定の角度位置で挿入されることが必要な場合、粉体流ノズル及び受けスリーブは、位置決め用の溝及び対応する舌部を有する。
本発明の一具体例によれば、装着用差込部の差込領域の外側形状は2°〜8°のテーパ角度を有する。このようにして、粉体流ノズルが対応する受けスリーブに差し込まれるときに、特に自己保持性が得られる。これは、粉体流ノズルを差し込んで固定する場合に非常に有利である。このようにして、粉体流ノズルが正しく位置付けられ、保持されない場合でもこの正しい位置に留まる。こうすることで、実際にロック又は締結する際に両手を使用できるようになる。この場合、円錐形状に設計された差込領域を有するレシーバも、粉体流ノズルを回転させる必要がないという利点を有することになり、レシーバは、例えばフライス盤又はボルトなどの回転工具用のレシーバとは異なり、工具の力に適合する必要はない。
これに関連するテーパ角度は、差込領域のテーパ領域と軸線方向との間の角度で規定される。
本発明の一具体例によれば、装着用差込部の差込領域は、ビーム出射開口の方向には拡大部分により限定される。すなわち、この拡大部分を介してビーム出射開口の方向に力が加えられる。このようにして、粉体流ノズルを取り外すときに、単純な形で粉体流ノズルに力を作用させることができる。拡大部分は、特に、例えば粉末用接続部又は冷却用液体用接続部を有さない周縁カラーとして構成される。特に、拡大部分はビーム出射開口の方向に向かって再び縮小し、それにより粉体流ノズルが過度の材料を有さないようになり、ひいては過度の重量を有さないようにしている。
上記の目的は、受けスリーブを有するレーザにより材料を処理するための装置用の粉体流ノズルの受けユニットによっても達成される。受けスリーブには、軸線方向の両端に配置された差込開口部及び移行開口部を有する受け空間が、粉体流ノズルの装着用差込部の差込領域を差込方向に受けることを目的として設けられる。それにより、受けスリーブの内側形状が移行開口部の方向に少なくともある領域でテーパ付けされる。このようにして、粉体流ノズルが、既に上記で説明したように、非常に単純な形で受けユニット内で固定できる。これに関して、差込方向は、上記した軸線方向に平行に延び、差込開口部から移行開口部に向かう方向である。装置の作動中、レーザ・ビームは、移行開口部から受けスリーブに入り、差込開口部から再び受けスリーブの外に出る。
本発明によると、締付ナットが受けスリーブの差込開口部の領域に配置される。これは、受けスリーブに対して差込方向に及び差込方向の反対方向に変位できるようになっている。締付スリーブが受けスリーブ内に配置される。締付ナットが内側斜面部を有し、締付スリーブが外側斜面部を有し、これの斜面部は、締付ナットが締め付け方向に変位すると、差込方向に対して横方向に締付スリーブを押圧するように構成及び配置される。これに関して、締付スリーブ内に差し込まれた粉体流ノズルが固定される。特に、受けスリーブが雄ねじを有し、締付ナットが対応する雌ねじを有する。このようにして、非常に単純な形で確実に粉体流ノズルが受け開口部に固定される。粉体流ノズルを確実に固定することは、ただ一つの締付ナットを単に取り外すことによって達成できる。特に、締め付け方向が差込方向と一致する。締付ナットは、その周囲部に孔又は平坦な表面を有し、そこに締付ナットを締めるか又は緩めるための工具を係合できる。
本発明の一具体例によれば、締付スリーブは、スロットを有するスリーブとして構成される。これに関して、スロットは、特に軸線方向に延在する。締付スリーブは、例えば、4つ以上のスロットを有することができる。この締付スリーブは、比較的良好に圧縮でき、それにより粉体流ノズルを確実に固定することが可能となる。さらに、この締付スリーブは、簡単に且つコスト面で効率的に製造できる。
本発明の一具体例によれば、締付スリーブが雄ねじを有し、受けスリーブが雌ねじを有し、これらにより、締付スリーブが受けスリーブに接続できる。これに関して、締付スリーブの雄ねじは、特に、受けスリーブの移行開口部の方向の端部に配置される。このようにして、受けスリーブ内で締付スリーブが単純な形で確実に固定できる。
本発明の一具体例によれば、受けスリーブの雌ねじと雄ねじとが異なる回転方向を有する。これにより、締付ナットを緩めるときに、締付スリーブと受けスリーブとの接続も同時に緩むことが確実に防止される。締付ナットを締めるとき、締付スリーブが上記斜面部を介して圧縮されることに加えて、移行開口部の方向の力が締付スリーブに加えられることで、締付スリーブと受けスリーブとの間の接続が同様に緩められることがない。とりわけ、雄ねじが右ねじとして構成され、雌ねじが左ねじとして構成される。
上記の目的は、上記の構成を有する粉体流ノズル及び受けユニットを備える、レーザにより材料を処理するための装置用の処理ヘッドによっても達成される。
本発明の一具体例によれば、粉体流ノズルが拡大部分を有し、受けユニットが押し出し斜面部を有する締付ナットを有する。これらは、差込スリーブに対して締付ナットが差込方向とは反対方向へ変位すると、粉体流ノズルが同様に差込方向とは反対方向に変位するように構成及び配置される。これにより、差込方向とは反対方向に締付ナットが変位すると、差込方向とは反対方向の力が粉体流ノズルに作用する。この締付ナットの変位とは、特に、押し出し斜面部及び拡大部分を介して締付ナットが緩められるか又は回転されて開けられることを意味する。この力により、その時点での自己保持性に打ち勝つことができ、粉体流ノズルが単純な形で且つ制御される形で受けスリーブから押し出すことができる。
本発明の他の利点、構成及び詳細は、以下の具体例の説明および図面を参照することにより理解できる。図面は、すべての類似の要素又は機能的に類似の要素には同一の符号が付されている。
図1によると、粉末を用いるレーザ肉盛溶接装置(図示されない)用の粉体流ノズル10が、装着用差込部11及びヘッド部12を有する。粉体流ノズル10の外側形状は、軸線方向13に対して回転対称性を有するように形成される。完成した装着用差込部11は、このように軸線方向13に対して横方向にみると円形断面を有する。粉体流ノズル10は、装着用差込部11を介して、図3のみに示される受けスリーブ25内に固定でき、このようにして粉体流ノズル10が保持される。この目的のため、粉体流ノズル10は、軸線方向13に平行に延びる差込方向14に、受けスリーブ25内に差し込まれる。
ヘッド部12は、差込方向14とは反対方向に、装着用差込部11と隣接する。粉末を用いるレーザ肉盛溶接装置が作動している間、レーザ・ビームが、装着用差込部11にあるビーム入射開口23(図3を参照)から、粉体流ノズル10のビーム通路24(図3を参照)を通り、ヘッド部12にあるビーム出射開口21(図2及び図3を参照)を介して再び粉体流ノズル10の外に出て、それにより、加工すべき加工物にいわゆるメルト・スポットを作る。図1には、ビーム入射開口23、ビーム出射開口21、ビーム通路24は示していない。追加の材料が、ヘッド部12に設けられた図示されない3つの流路を介して粉末の形態で供給され、ヘッド部12に設けられた合計で3つの粉末出射開口15から再び外に出る。粉末出射開口15は図1では1つのみ示している。粉末出射開口15は、加工すべき加工物にあるメルト・スポットまで粉末を運ぶように配置される。
装着用差込部11は、3つの異なる領域を有する。装着用差込部11は、ビーム入射開口23を有する差込領域16がテーパ付けされ、ビーム入射開口23の方向に配置される。受けスリーブ25に差し込まれる際、装着用差込部11の差込領域16が受けスリーブ25にはまる。差込方向14の反対側、すなわち、ビーム出射開口21の方向に、拡大部分17が差込領域16に隣接する。拡大部分17の領域では、装着用差込部11の直径が斜面部(面取部)を介して大幅に増大する。直径が急激に増大することも可能である。移行領域18が拡大部分17に隣接し、移行領域はヘッド部12で終端する。装着用差込部11の直径が移行領域18内で連続的に減少するが、図3に示されるように他の大きさの直径も可能である。同様に、ヘッド部12も、異なる直径の大きさを有する複数の領域を有する。これに関連するヘッド部12の構成は重要ではないことから、ヘッド部12の詳細な説明は省く。
装着用差込部11の差込領域16の外側形状は円筒形状ではなく、差込方向14に、すなわち、ここではビーム入射開口23の方向に単調にテーパが付けられる。図1に示される粉体流ノズル10に関しては、差込領域16の外側形状と軸線方向13との間に形成されるテーパの角度αは3°である。この角度は2°〜8°であってもよい。したがって、テーパの角度は、対応する受けスリーブに装着用差込部11を差し込むときに自己保持性を生じさせるように選択される。
例えば、装着用差込部11の差込領域16は20mm〜50mmの直径を有することができ、ヘッド領域12は40mm〜70mmの最大直径を有することができる。粉体流ノズル10の全長は例えば60mm〜90mmにできる。
図2の粉体流ノズル10の正面図は、ヘッド部12のみを示している。ヘッド部12は、粉体流ノズル10の全体と同様に、複数の円径を有する輪郭を有する。ビーム出射開口21がヘッド部12の中心に配置され、装置の作動中、レーザ・ビームがビーム出射開口21からノズル・ヘッド10の外へ出射される。3つの粉末出射開口15がビーム出射開口21の周りに均等に分布して配置される。
図3によると、粉末を用いるレーザ肉盛溶接装置用の処理ヘッド22が、図1の粉体流ノズル10の設計と概ね類似する粉体流ノズル10を有する。ビーム出射開口21がヘッド部12に設けられる。ビーム入射開口23が装着用差込部11の差込領域16に設けられる。ビーム通路24が、ビーム入射開口23とビーム出射開口21との間で差込方向14の反対方向に延在し、連続的にテーパ付けされている。これに関連して、ビーム入射開口23とビーム出射開口21とが軸線方向13の両端に配置されるように構成される。装着用差込部11の差込領域16は、図1で説明されるように、ビーム入射開口23の方向に単調にテーパ付けされる。
処理ヘッド22は、差込スリーブ25をさらに有する。この差込スリーブ25は、全体として中空円筒形となるように構成され、差込開口27を有する受け空間26を形成する。差込開口27に粉体流ノズル10を差し込むことができる。差込スリーブ25は、軸線方向13の反対側に配置された移行開口部28を有し、装置の作動中、移行開口部28からレーザ・ビームが受けスリーブ25に入り、差込開口部27からレーザ・ビームが受けスリーブを再び離れる。移行開口部28の方向に装着用差込部の差込領域16が連続的にはめ込まれる領域で、受けスリーブ25の内側形状がテーパ付けされる。これに関する受けスリーブ25の内側形状のテーパは、装着用差込部11の差込領域16の外側形状のテーパに一致する。
スロットを有する締付スリーブ29が、受けスリーブ25と装着用差込部11の差込領域16との間に配置される。締付スリーブ29は、差込開口部27の方向に広がる全体として中空円錐形の基本形状を有する。締付スリーブ29は、差込方向14に延在する合計で4つのスロットを有する。締付スリーブ29が移行開口28の方向に雄ねじ30を有する。受けスリーブ25が、この雄ねじ30及び対応する雌ねじ31により、受けスリーブ25を有する締付スリーブ29に連結される。上記の2つのねじ部30、31は左ねじとして構成される。
受けスリーブ25は、差込開口部27の領域に雄ねじ32をさらに有し、この雄ねじ32が締付ナット34の雌ねじ33とかみ合う。締付ナット34が、雄ねじ32及び雌ねじ31により受けスリーブ25にねじ込まれ、または、ねじを緩められることができ、このようにして、受けスリーブ25に対して差込方向14に又はその反対方向に変位できる。この2つのねじ32、33は右ねじとして構成される。締付ナット34に対して大きいトルクを加えることを可能にするために、複数の孔35がその円周の周りに分布されるように配置される。
締付ナット34は、差込方向14に位置する円周状の平坦な内側斜面部36をさらに有する。内側斜面部36は、差込方向14に向かって内径が増大するように構成される。締付ナット34の内側斜面部36が締付スリーブ29の対応する外側斜面部37に当たる。締付ナット34を受けスリーブ25上で回転させると(差込方向14である締め付け方向に締付ナット34を変位させることを意味する)、内側斜面部36及び外側斜面部37を介して締付スリーブ29に内向きの力が作用し、この内向きの力が差込方向14に対して横向き方向に締付スリーブ29を押圧して装着用差込部11の差込領域16を固定する。このようにして、粉体流ノズル10を締付スリーブ25内で完全に固定する。このようにして、受けスリーブ25、締付スリーブ29及び締付ナット34により、粉体流ノズル10の受けユニット39が形成される。
締付ナット34は、移行開口部28の反対側に位置する端部に配置された平坦な押し出し斜面部38をさらに有する。押し出し斜面部38は差込方向14に内に向かうように傾斜する。締付ナット34の押し出し斜面部38は、受けスリーブ25から締付ナット34がねじり外す際に、粉体流ノズル10のレシーバ・シャフト11の拡大部分17に接触するように構成され、このようにして、粉体流ノズル10は同様に差込方向14の反対方向に変位される。
このようにして、受けスリーブ25、締付スリーブ29および締付ナット34によって形成される受けユニット39、並びに粉体流ノズル10が、粉末を用いるレーザ肉盛溶接装置用の処理ヘッド22を形成する。
これに関連する粉体流ノズル10の組み立て及び分解は以下のように実行される。
粉体流ノズル10の組み立ての場合、粉体流ノズル10の受けシャフト11の差込領域16の外側形状が締付スリーブ29の内側形状に接触するまで、粉体流ノズル10を受けスリーブ25に差し込む。このようにして、粉体流ノズル10を軸線方向及び径方向において位置決めする。粉体流ノズル10と、受けスリーブ25及び/又は締付スリーブ29とによる上記の自己保持性により、粉体流ノズル10は、保持の必要なく設定された位置に留まる。次いで、締付ナット34を受けスリーブ25にねじ込み、上記のように締付スリーブ29を圧縮して、粉体流ノズル10を固定する。このようにして、供給ラインとの接続を除いて、粉体流ノズル10の組み立てが完了する。
粉体流ノズル10の分解に関しては、締付ナット34を受けスリーブ25からねじを緩め、これにより、上記のように、粉体流ノズル10を同時に受けスリーブ25から押し出す。
Claims (11)
- レーザにより材料を処理するための装置用の粉体流ノズルであって、該粉体流ノズルが、
軸線方向(13)の両端に配置されたビーム入射開口(23)及びビーム出射開口(21)を有するビーム通路(24)と、
前記ビーム入射開口(23)が形成され、粉体流ノズル(10)の固定を可能とする装着用差込部(11)と
を備える、前記粉体流ノズルにおいて、
前記装着用差込部(11)の外側形状は、前記ビーム入射開口(23)の方向に形成された差込領域(16)が、前記ビーム入射開口(23)の方向に単調にテーパ付けされていることを特徴とする粉体流ノズル。 - 前記装着用差込部(11)の前記差込領域(16)が円形断面を有することを特徴とする、請求項1に記載された粉体流ノズル。
- 前記装着用差込部(11)の前記差込領域(16)の外側形状が2°〜8°のテーパ角度αを有することを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載された粉体流ノズル。
- 前記装着用差込部(11)の前記差込領域(16)が、前記ビーム出射開口(21)の方向において拡大部分(17)により限定され、前記拡大部分(17)を介して前記ビーム入射開口(21)の方向に力を加えることができるようになっていることを特徴とする、請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載された粉体流ノズル。
- レーザにより材料を処理するための装置の粉体流ノズル用の受けユニットであって、該受けユニットが受けスリーブ(25)を有し、該受けスリーブ(25)が、軸線方向(13)の両端に配置された差込開口(27)及び移行開口(28)を有する受け空間(26)を有し、前記受けスリーブ(25)は、前記粉体流ノズル(10)の装着用差込部(11)の差込領域(16)を差込方向(14)に受けることを目的として設けられており、前記受けスリーブ(25)の内側形状が、少なくとも部分的に前記移行開口部(28)の方向にテーパ付けされている、前記受けユニットにおいて、
締付ナット(34)が、前記受けスリーブ(25)の前記差込開口(27)の領域に配置され、前記受けスリーブ(25)に対して前記差込方向(14)及び前記差込方向(14)の反対方向に変位できるようになっており、
締付スリーブ(29)が、前記受けスリーブ(25)内に配置され、
前記締付ナット(34)が内側斜面部(36)を有し、前記締付スリーブ(29)が外側斜面部(37)を有し、前記内側斜面部(36)及び前記外側斜面部(37)は、締め付け方向(14)へ前記締付ナット(34)が変位すると、前記差込方向(14)に対して横方向に前記締付スリーブ(29)を押圧するように構成及び配置されることを特徴とする受けユニット。 - 前記受けスリーブ(25)が雄ねじ(32)を有し、締付ナット(34)が対応する雌ねじ(33)を有することを特徴とする、請求項5に記載された受けユニット。
- 前記締付スリーブ(29)がスロットを有するスリーブとして構成されることを特徴とする、請求項5又は請求項6に記載された受けユニット。
- 前記締付スリーブ(29)が雄ねじ(30)を有し、前記受けスリーブ(25)が雌ねじ(31)を有し、前記雄ねじ(30)及び前記雌ねじ(31)により前記締付スリーブ(29)が前記受けスリーブ(25)に取り付けられるようになっていることを特徴とする、請求項5から請求項7までのいずれか一項に記載された受けユニット。
- 前記受けスリーブ(25)の前記雌ねじ(31)と前記雄ねじ(32)とが異なる回転方向を有することを特徴とする、請求項7及び請求項8に記載された受けユニット。
- レーザにより材料を処理するための装置用の処理ヘッドであって、請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載された粉体流ノズルと、請求項5から請求項9までのいずれか一項に記載された受けユニットとを備える、処理ヘッド。
- 前記粉体流ノズル(10)が拡大部分(17)を有し、前記受けユニット(39)が押し出し斜面部(38)を有する締付ナット(34)を有し、前記押し出し斜面部(38)は、前記締付ナット(34)が差込方向(14)とは反対方向へ変位すると、前記粉体流ノズル(10)が同様に前記差込方向(14)とは反対方向に変位するように構成及び配置されていることを特徴とする、請求項10に記載のされた処理ヘッド。
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