KR200159459Y1 - 노광장비용 조명장치 - Google Patents

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Abstract

노광장비용 조명장치를 개시한다. 개시된 조명장치는, 아크 방전이 일어나는 전극이 내장된 램프와, 램프에서 출사된 광을 반사 및 집광시키는 타원경과, 타원경이 설치되는 프레임을 구비하여 된 노광장비용 조명장치에 있어서, 램프에서 직접 출사되는 광의 광경로상에 위치되어 그 광으로부터 전극의 형상을 투영하는 렌즈계와; 렌즈계에 의해 투영된 전극의 형상이 투영되는 투영판과; 투영판에 형성된 전극을 관찰하기 위한 관찰수단;을 포함한다. 이와 같은 노광장비용 조명장치를 채용하는 것에 의해 램프의 전극을 용이하게 관찰할 수 있다.

Description

노광장비용 조명장치
본 고안은 노광장비용 조명장치에 관한 것으로서, 상세하게는 램프 전극의 손상 정도를 용이하게 관찰할 수 있는 램프 관찰장치가 구비된 노광장비용 조명장치에 관한 것이다.
정보화 사회에서 가장 핵심적인 역할을 하고 있는 반도체 기억소자나, 액정표시소자와 같은 평판 디스플레이를 제조하기 위한 노광장비에는 조명장치가 필수적으로 갖추어진다. 이러한 조명장치에서 램프는 시간이 경과함에 따라 아크 방전이 일어나 전극이 손상되어 광효율이 떨어지게 된다. 따라서, 적절한 시기에 램프를 교환해 주어야 한다. 이러한 교환시기는 전극의 손상 정도를 관찰함으로써 알 수 있다. 또한 램프 교환시 램프의 아크 방전 위치가 일정한 위치에 왔는지도 확인한다.
도 1은 종래의 노광장비용 조명장치의 개략적 구성도로서, 도면을 참조하면, 프레임(10)이 마련되고, 그 프레임(10)에는 램프(20)에서 출사된 광을 반사 및 집광시키는 타원경(30)이 설치된다. 상기 램프(20)의 내부에는 한 쌍의 전극(20a)(20b)이 마련되고, 이곳에 전원이 인가되는 것에 의하여 아크방전이 일어난다. 상기 타원경(30)의 일측에는 상기 전극(20a)(20b)을 관찰할 수 있도록 제1관찰홀(30a)이 형성되어 있다. 상기 프레임(10)의 일측에는 상기 제1관찰홀(30a)을 통하여 상기 전극(20a)(20b)을 관찰 할 수 있도록 제2관찰홀(10a)이 마련되어 있다.
이와 같은 조명장치의 전체적인 작용을 설명하면, 램프(20)로부터 출사된 광은 타원경(30)에 의해 반사되어 주미러(20)로 진행한다. 상기 주미러(20)에서 반사된 광은 프레임(10)의 타측에 마련된 개구부(10b)를 통해 진행하여 노광장치의 광으로 사용된다. 이 때, 아크방전이 장시간 계속됨에 따라 전극(20a)(20b)이 손상되어 그 간격이 넓어지는데, 이 손상되는 정도는 상기 제1관찰홀(30a) 및 제2관찰홀(10a)을 통하여 관찰 할 수 있다.
그런데, 상기와 같은 구조의 노광장비용 조명장치에 있어서, 상기 타원경(30)은 유리와 같은 재질이기 때문에 타원경(30)의 손상없이 램프를 관찰하기 위한 제1관찰홀(30a)을 ㄷ 는 것은 매우 어려웠다. 또한, 상기 제1관찰홀(30a)을 통하여 광에너지가 유출되므로 램프(20)의 광이용효율이 낮았다.
본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로서, 램프 전극의 손상 정도를 용이하게 관찰할 수 있으며, 램프의 광이용효율을 높일 수 있는 노광장비용 조명장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 종래 노광장비용 조명장치의 개략적 구성 단면도.
도 2는 본 고안에 따른 노광장비용 조명장치의 개략적 구성 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110 ... 프레임
120 ... 램프
120a,120b ... 전극
130 ... 타원경
133,134 ... 렌즈
136,137,138,139 ... 미러
150 ... 투영판
160 ... CCD 카메라
170 ... 확대장치
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 아크 방전이 일어나는 전극이 내장된 램프와, 상기 램프에서 출사된 광을 반사 및 집광시키는 타원경과, 상기 타원경이 설치되는 프레임을 구비하여 된 노광장비용 조명장치에 있어서, 상기 램프에서 직접 출사되는 광의 광경로상에 위치되어 그 광으로부터 상기 전극의 형상을 투영하는 렌즈계와; 상기 렌즈계에 의해 투영된 상기 전극의 형상이 투영되는 투영판과; 상기 투영판에 형성된 전극을 관찰하기 위한 관찰수단;을 포함한다.
본 고안에 있어서, 상기 렌즈계는, 상기 램프에서 출사되는 광이 통과되는 적어도 하나의 렌즈와, 상기 렌즈를 통과한 광을 상기 투영판으로 반사시키는 적어도 하나의 미러를 포함하여 된 것이 바람직하고, 상기 투영판은, 광의 일부를 통과시키는 반투명 부재인 것이 바람직하다. 이 때, 상기 관찰수단은, 상기 투영판의 후방에 배치된 CCD 카메라나, 상기 투영판을 관찰할 수 있도록 프레임의 소정위치에 설치된 확대장치인 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 노광장비용 조명장치의 바람직한 일 실시예를 상세히 설명한다.
도 2를 참조하면, 본 고안에 따른 노광장비용 조명장치에는, 프레임(110)이 마련되고, 그 프레임(110)에는 램프(120)에서 출사된 광을 반사 및 집광시키는 타원경(130)이 설치된다. 상기 램프(120)의 내부에는 한 쌍의 전극(120a)(120b)이 소정 간격 이격되어 마련되고, 이곳에 전원이 인가되는 것에 의하여 아크방전이 일어난다.
상기 램프(120)를 관찰할 수 있는 프레임의 소정위치에는 렌즈계가 설치된다. 상기 렌즈계는 상기 전극(120a)(120b)의 형상을 형성하기 위한 것이다. 상기 렌즈계는 램프(120)로부터 출사되는 광의 광경로상에 배치되는 복수의 렌즈(133,134)와, 그 복수의 렌즈(133,134) 사이에 설치된 복수의 미러(136,137,138,139)로 구성된다. 상기 램프(120)의 전극(120a)(120b)에서 출사된 광은 상기 복수의 렌즈(133,134)와 복수의 미러(136,137,138,139)에 굴절 및 반사되면서 진행하여 투영판(150)에 투영된다. 이러한 투영판(150)은 반투명부재인 것이 바람직하다.
상기 투영판(150)의 후방에는 그 투영판(150)의 상면에 투영된 전극(120a)(120b)의 형상을 촬상하기 위한 CCD 카메라(160)가 설치된다. 상기 CCD 카메라(160)는 도시되지 않은 모니터와 연결되어 있어, 그 모니터를 통하여 투영판(150)에 형성된 아크전극(120a)(120b)의 손상여부를 판단할 수 있다.
이 때, 상기 CCD 카메라(160)를 거치지 않고 아크전극(120a)(120b)을 관찰할 수 있도록, 상기 투영판(150)이 마주 보이는 프레임(110)의 소정 위치에는 개구부(110a)가 마련되고 이 개구부(110a)에는 확대장치(170)가 설치된다. 이 확대장치(170)는 다수의 렌즈(미도시)로 구성되어 있으며, 이 확대장치(170)를 통하여 투영판(150)에 형성된 아크전극(120a)(120b)의 형상을 확대하여 볼 수 있다.
이와 같은 구조의 전체적인 작용을 설명하면, 램프(120)로부터 출사되는 광은 타원경(130)에 의해 반사되어 주미러(200)로 진행한다. 상기 주미러(200)에 의하여 반사된 광은 프레임(110)의 타측에 마련된 개구부를 통해 진행하여 노광장치의 광으로 사용된다. 한편, 램프(120)에서 아크 방전이 장시간 계속됨에 따라 전극(120a)(120b)이 손상되어 그 간격이 넓어진다. 이 전극(120a)(120b)의 손상되는 정도는 CCD 카메라(160)와 연결된 모니터를 보거나, 확대장치를 봄으로써 관찰할 수 있다. 따라서, 램프(120)의 교체 여부를 용이하게 알 수 있다.
본 발명에서 상기 램프의 전극(120a)(120b)을 관찰하기 위하여 도 1에 도시된 종래 타원경에 제1관찰홀을 형성할 필요가 없다. 따라서, 그 제1관찰홀로의 광에너지 손실이 배제되어 광이용효율을 높일 수 있다. 또한, 유리와 같은 재질인 타원경에 상기 제1관찰홀을 뚫을 필요가 없어 타원경의 제작을 용이하게 할 수 있다.
본 고안은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.
상술한 바와 같이, 본 고안의 노광장비용 조명장치에 있어서, 상기한 렌즈계 및 투영판을 채용하여 전극의 손상여부를 용이하게 관찰할 수 있다. 또한, 종래 기술에서 타원경에 필요하였던 제1관찰홀을 형성할 필요가 없다. 한편, 상기 제1관찰홀이 필요 없으므로 그 제1관찰홀로의 광에너지 유출을 막을 수 있어 광이용효율을 높일 수 있다는 효과가 있다.

Claims (5)

  1. 아크 방전이 일어나는 전극이 내장된 램프와, 상기 램프에서 출사된 광을 반사 및 집광시키는 타원경과, 상기 타원경이 설치되는 프레임을 구비하여 된 노광장비용 조명장치에 있어서,
    상기 램프에서 직접 출사되는 광의 광경로상에 위치되어 그 광으로부터 상기 전극의 형상을 투영하는 렌즈계와;
    상기 렌즈계에 의해 투영된 상기 전극의 형상이 투영되는 투영판과;
    상기 투영판에 형성된 전극을 관찰하기 위한 관찰수단;을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 노광장비용 조명장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 렌즈계는, 상기 램프에서 출사되는 광이 통과되는 적어도 하나의 렌즈와, 상기 렌즈를 통과한 광을 상기 투영판으로 반사시키는 적어도 하나의 미러를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 노광장비용 조명장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 투영판은, 광의 일부를 통과시키는 반투명부재인 것을 특징으로 하는 노광장비용 조명장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 관찰수단은, 상기 투영판의 후방에 배치된 CCD 카메라인 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 노광장비용 조명장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 관찰수단은, 상기 투영판을 관찰할 수 있도록 프레임의 소정위치에 설치된 확대장치인 것을 특징으로 하는 노광장비용 조명장치.
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