KR200158949Y1 - Light source of double exposing device - Google Patents

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KR200158949Y1 KR2019960015603U KR19960015603U KR200158949Y1 KR 200158949 Y1 KR200158949 Y1 KR 200158949Y1 KR 2019960015603 U KR2019960015603 U KR 2019960015603U KR 19960015603 U KR19960015603 U KR 19960015603U KR 200158949 Y1 KR200158949 Y1 KR 200158949Y1
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Abstract

본 고안은 노광시 판넬코너부측의 조도를 증대시키기 위해 광원부를 덮은 아크장커버의 개구부 길이에 차이를 주어 이중으로 부분 노광시키는 이중부분 노광장치의 광원장치에 관한 것이다.The present invention relates to a light source device of a double part exposure apparatus for partially exposing part by giving a difference in the length of the opening of the arc field cover covering the light source part to increase the illuminance of the panel corner part during exposure.

이러한 장치는 광원부에서 발광되는 광의 조도를 판넬코너부측으로 증대시키고 중심부측의 조도를 감소시키기 위해 광축에서 중심부측 개구부 길이가 광축으로부터 외측 개구부 길이보다 짧게 되도록 광원부의 상면을 덮은 아크장커버가 형성되는 것을 특징으로 한다.Such an apparatus is provided with an arc field cover which covers the upper surface of the light source part such that the length of the center side opening is shorter than the length of the outside opening in the optical axis in order to increase the illuminance of the light emitted from the light source portion toward the panel corner portion and reduce the illuminance on the central side. It is characterized by.

이상과 같은 장치에 의해 판넬중심부측에 비해 판넬코너부측의 조도를 증대시킴으로써 판넬에 대해 균일한 조도를 유지시키며 노광을 하게되어 결국 칼라음극선관의 색순도를 향상시킬 수 있는 효과가 있다.By increasing the roughness of the panel corner portion compared to the panel center portion by the above apparatus, the uniform illuminance of the panel is maintained and exposed, and thus, the color purity of the color cathode ray tube can be improved.

Description

이중부분 노광장치의 광원장치Light source device of double part exposure device

제1a도는 칼라음극선관의 이중부분 노광장치를 개략적으로 도시한 단면구성도이고, 1b도는 아크장커버가 덮인 광원장치의 상세도.FIG. 1A is a cross-sectional configuration diagram schematically showing a double portion exposure apparatus of a color cathode ray tube, and FIG. 1B is a detailed view of a light source device covered with an arc field cover.

제2a도는 본 고안에 의한 개구부 길이가 변화된 아크장커버가 덮인 광원장치의 상세도이고, 2b도는 본 고안에 의한 광의 조도를 도시한 상세도.Figure 2a is a detailed view of the light source device covered with an arc field cover of the opening length is changed according to the present invention, Figure 2b is a detailed view showing the illuminance of the light according to the present invention.

제3a도는 본 고안에 의한 제어장치의 상세도이고, 3b도는 본 고안에 의한 제어블럭도.Figure 3a is a detailed view of the control device according to the present invention, Figure 3b is a control block diagram according to the present invention.

도면의 주요부분에 대한 부호의 설명Explanation of symbols for main parts of the drawings

19, 91' : 광원부 20(20a, 20b) : 이중광원부19, 91 ': light source 20 (20a, 20b): dual light source

23, 23' : 요동축 24 : 조광장치23, 23 ': rocking shaft 24: dimmer

26 : 요도장치 29, 29' : 아크장커버26: urethral device 29, 29 ': arc field cover

30, 30' : 개구부(아크) 31 : 스텝모터30, 30 ': opening part (arc) 31: step motor

32 : 발광센서부 34 : 수광센서부32: light emitting sensor portion 34: light receiving sensor portion

35 : 개구부의 가변조도 36 : 제어모듈35: variable roughness of the opening 36: control module

1, ℓ1' : 판넬중심부측 아크장 ℓ2, ℓ2' : 판넬코너부측 아크장1 , ℓ 1 ': Arc field at panel center side ℓ 2 , ℓ 2 ': Arc field at panel corner side

Pc : 판넬중심부 Ps : 판넬코너부Pc: Panel Center Ps: Panel Corner

[고안의 상세한 설명][Detailed Description of Design]

본 고안은 칼라음극선관의 형광면 이중부분 노광장치에 관한 것으로써, 특히 노광시 판넬코너부측의 광의 조도를 증대시키기 위해 광원부를 덮은 아크장커버의 개구부 길이에 차이를 주어 이중으로 부분 노광시키는 이중부분 노광장치의 광원장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fluorescent double-sided exposure apparatus of a color cathode ray tube, and in particular, a double-part which partially exposes the double-sided part by varying the opening length of the arc field cover covering the light source to increase the illuminance of the light on the panel corner side during exposure. A light source device of an exposure apparatus.

제 1 도의 (a)는 칼라음극선관의 이중부분 노광장치(10)의 개략적인 구성도로서, 먼저 판넬(11) 내면에 형광막을 형성시키기 위한 감광성 수지막이 도포되고, 그 내측면에 새도우마스크(12)가 설치된 판넬(11)을 노광장치(10)의 판넬안치부(13)에 안치시킨 다음, 노광장치(10)의 내부의 저면에는 판넬(11) 내면을 이중으로 부분 노광시키기 위해 링크와 레버의 저면에는 판넬(11) 내면을 이중으로 부분 노광시키기 위해 링크와 레버의 조합으로 이루어진 요동장치(26)에 의해 서로 요동하면서 광을 입사시키는 각각 독립된 2개의 이중광원부(20)를 평행한 2축방향으로 설치하고, 그 이중광원부(20)의 광의 출력을 조절하는 조광장치(24)가 설치되며, 이중광원부(20)와 판넬안치부(13) 사이의 노광장치(10) 내부에는 보정렌즈(15)와 필터(16)가 설치된다.FIG. 1A is a schematic configuration diagram of a double exposure apparatus 10 of a color cathode ray tube. First, a photosensitive resin film for forming a fluorescent film is coated on an inner surface of a panel 11, and a shadow mask is applied on an inner surface thereof. 12 is placed on the panel settled portion 13 of the exposure apparatus 10, and then the lower surface of the inside of the exposure apparatus 10 to partially expose the inner surface of the panel 11 with a link and a link. At the bottom of the lever, two independent dual light source portions 20, each of which is incident on the light while rocking each other by a rocking device 26 made of a combination of a link and a lever, to partially partially expose the inner surface of the panel 11, are arranged in parallel. A dimming device 24 is installed in the axial direction, and adjusts the output of light of the double light source unit 20. A correction lens is provided inside the exposure apparatus 10 between the double light source unit 20 and the panel settling unit 13. 15 and a filter 16 are provided.

또한, 보정렌즈(15)의 상부에는 한쌍의 이중광원부(20) 각각의 요동과 연동해서 그 각각의 직경방향과 평행하며, 장변측에 평행하게 구비되어 단변측의 길이에 걸쳐 이동되어서 판넬(11)에 대해 입사되는 광량을 조절하도록 하는 소정 형상의 2개의 셔터개구부(28a,29b)가 형성된 이중셔터부(28)가 설치된다. 그리고, 제 1 도의 (b)에 도시된 바와 같이 한 쌍의 이중광원부(20)의 램프하우징(17,17')내에 지지되며, 발광을 하는 광원부(19,19')의 상면에는 일부 개구부(30,30')가 형성된 아크장커버(29,29')가 덮인다.In addition, the upper part of the correction lens 15, in conjunction with the fluctuations of each of the pair of dual light source portion 20, parallel to the respective radial direction, provided parallel to the long side side is moved over the length of the short side side panel 11 Is provided with a double shutter portion 28 in which two shutter openings 28a and 29b of a predetermined shape are formed to adjust the amount of light incident on the. As shown in FIG. 1 (b), the openings are supported in the lamp housings 17 and 17 'of the pair of dual light source units 20, and a part of the openings are formed on the upper surface of the light source units 19 and 19' which emit light. 30 and 30 'are formed to cover the arc field covers 29 and 29'.

이상과 같이 구성된 노광장치(10)의 노광방법은 우선, 노광장치(10)의 판넬안치부(13)에, 내면에 감광성수지막이 도포되고, 그 내측면에 새도우마스크(12)가 설치된 판넬(11)을 안치시킨 다음, 노광장치(10) 내부의 저면에 설치되어 있는 이중광원부(20)를 조광장치(24)에 의해 작동시키면 그 이중광원부(20)에서 광이 방사되고, 링크와 레버로 연결되어 있는 요동장치(26)가 작동함으로써 이중광원부(20)가 판넬(11)에 대향해서 그 판넬중심부(Pc)와 코너부(Ps) 사이를 요동하고, 그 요동에 의해 경사지면서 이중으로 부분 노광을 실시하게 된다.In the exposure method of the exposure apparatus 10 comprised as mentioned above, the photosensitive resin film | membrane is apply | coated to the panel mounting part 13 of the exposure apparatus 10 on the inner surface, and the panel provided with the shadow mask 12 in the inner surface ( 11) and then the dual light source unit 20 installed on the bottom surface of the exposure apparatus 10 is operated by the dimming unit 24 to emit light from the dual light source unit 20, and to the link and the lever. When the swinging device 26 connected is operated, the dual light source unit 20 swings between the panel center portion Pc and the corner portion Ps opposite to the panel 11, and is partially inclined by the swinging. The exposure is performed.

그리고, 요동을 하면서 그 이중광원부(20)로부터 광이 B-G-R 순으로 아크장커버(29,29')의 개구부(30,30')를 통과하고, 보정필터(16)에 의해 광량이 보정된다. 그리고, 이중광원부(20)로부터 입사된 광의 궤도와, 노광시의 광로가 보정렌즈(15)에 의해 보정되면서 그 보정된 광이 한 쌍의 이중광원부(20) 각각의 요동과 연동해서 2개의 셔터개구부(28a, 28b)가 그 이중셔터부(28)의 단변측의 길이에 걸쳐 좌우방향으로 왕복이동하면서 판넬(11)에 대해 입사되는 광량을 조절하게 된다.Then, while swinging, the light from the double light source unit 20 passes through the openings 30 and 30 'of the arc field covers 29 and 29' in the order B-G-R, and the amount of light is corrected by the correction filter 16. The two light shutters interlock with the fluctuations of the pair of the dual light source units 20 while the trajectory of the light incident from the dual light source unit 20 and the optical path at the time of exposure are corrected by the correcting lens 15. The openings 28a and 28b adjust the amount of light incident on the panel 11 while reciprocating in the left and right directions over the length of the short side of the double shutter portion 28.

이와 같이 보정된 광은 새도우마스크(12)의 개공부를 통해 소정의 배열구조로 판넬중심부(Pc) 측에서 판넬코너부(Ps) 내면에 도포된 감광성 수지막에 이중으로 부분 입사되게 됨으로써 형광막이 형성되게 된다.The light thus corrected is partially incident on the photosensitive resin film coated on the inner surface of the panel corner portion Ps at the panel center portion Pc in a predetermined arrangement through the openings of the shadow mask 12, thereby causing the fluorescent film to be doubled. Will be formed.

그러나, 광원부(19, 19')의 광축으로부터 판넬중심부측(Pc) 개구부 길이(ℓ1, ℓ1')와 광축으로부터 외측 개구부 길이(ℓ2, ℓ2')가 같기 때문에 이중부분 노광시 판넬코너부(Ps)의 조도보다 판넬중심부측(Pc)의 조도가 더 크고, 그 만큼 판넬코너부측(Ps)의 광효율이 감소되는 문제점이 도출되었다.However, since the opening lengths (l 1 , l 1 ') of the panel center portion side (Pc) from the optical axes of the light source parts (19, 19') and the outer opening lengths (l 2 , l 2 ') from the optical axis are the same, the panel is subjected to double exposure. The problem is that the illuminance of the panel center portion side Pc is larger than the illuminance of the corner portion Ps, and the light efficiency of the panel corner portion side Ps is reduced by that amount.

이러한 문제점으로 광효율이 불균등하게 되고, 형광막이 불균일하게 형성되어, 칼라음극선관의 판넬 전체에서 균일한 색상으로 얻기 어려워진다.Due to this problem, the light efficiency becomes uneven, and the fluorescent film is formed unevenly, making it difficult to obtain a uniform color throughout the panel of the color cathode ray tube.

본 고안은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 이것은 특히 광원부의 상면을 덮는 아크장커버의 개구부의 길이를 광축을 중심으로 차이를 두어 판넬코너부측의 조도를 증대시키기 위한 광원장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above-described problems, which provides a light source device for increasing the illuminance of the panel corner portion side by varying the length of the opening of the arc field cover covering the upper surface of the light source unit with respect to the optical axis. It is.

상술한 목적을 수행하기 위한 본 발명은 광원부에서 발광되는 광의 조도를 판넬코너부측으로 증대시키고, 중심부측의 조도를 감소시키기 위해 광축에서 중심부측 개구부 길이가 광축으로부터 외측 개구부 길이보다 짧게 되도록 광원부의 상면은 덮은 아크장커버가 형성된 것을 특징으로 한다. 그리고 한 쌍의 이중광원부가 요동장치에 의해 요동시 그 이중광원부의 요동축을 사이에 두고 설치되어, 판넬중심부측에서 판넬코너부측으로 요동하는 위치를 감지하여 신호를 보내는 발광센서부; 이중광원부의 요동 위치에 따라 발광센서부로부터 단계별로 신호를 입력받는 수광센서부를 구비하고, 수광센서부로부터 단계별로 입력된 신호를 제어하여 스텝모터의 구동에 의해 경사지면서 요동하는 이중광원부의 그 경사각에 따른 선회속도를 단계별로 조절하도록 그 스텝모터의 속도를 제어하는 제어모듈을 구비한다.The present invention for carrying out the above object is to increase the illuminance of the light emitted from the light source portion to the panel corner portion side, and in order to reduce the illuminance on the central side, the top surface of the light source portion such that the central opening length in the optical axis is shorter than the outer opening length from the optical axis Silver covered arc field cover is characterized in that formed. And a pair of dual light source parts are installed with the swing axis between the double light source parts when they are rocked by the rocking device, and detect the position of rocking from the panel center part to the panel corner part to send a signal; The inclination angle of the dual light source which swings while being inclined by driving the step motor by controlling the signal input step by step from the light receiving sensor unit according to the swinging position of the dual light source unit. It is provided with a control module for controlling the speed of the step motor to adjust the turning speed according to.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다. 또 실시예를 설명하기 위한 모든 도면에 있어서, 동일한 기능을 갖는 부분은 동일한 부호를 사용하고, 그 반복적인 설명은 생략한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described in detail a preferred embodiment of the present invention. In addition, in all the drawings for demonstrating an Example, the part which has the same function uses the same code | symbol, and the repeated description is abbreviate | omitted.

제 2 도의 (a)는 본 고안에 의한 개구부 길이가 변화된 아크장커버가 덮인 광원장치가 도시되어 있는바, 한 쌍의 이중광원부(20)의 램프하우징(17, 17') 내에 각각 지지되며 광을 발광하는 광원부(19, 19')의 상면에는 광축에서 판넬중심부측(Pc) 개구부 길이(ℓ1, ℓ1')가 광축으로부터 외측 개구부 길이(ℓ2, ℓ2')보다 짧게 되도록 일부 개구부(30, 30')가 형성된 아크장커버(29,29')가 덮인다.FIG. 2 (a) shows the light source device covered with the arc field cover of which the opening length is changed according to the present invention, and is respectively supported in the lamp housings 17 and 17 'of the pair of double light source portions 20. "upper surface of the panel center side in the optical axis (Pc) opening length (ℓ 1,1 light source (19, 19), which emits a part of the opening to be shorter than) the outer opening length (ℓ 2,2 ') from the optical axis The arc field covers 29 and 29 'formed with 30 and 30' are covered.

그리고, 제 3 도의 (a) 및 (b)에 도시되어 있는 것과 같이, 한 쌍의 이중광원부(20)가 요동장치(26)에 의해 요동시 판넬중심부측(Pc)에서 판넬코너부측(Ps)으로 요동하는 위치를 감지하여 신호를 보내는 발광센서부(32)와 이중광원부(20)의 요동위치에 따라 발광센서부(32)로부터 단계별로 신호를 입력받는 수광센서부(34)가 그 이중광원부(20)의 요동축(23,23')을 사이에 두고 외부에 설치된다.Then, as shown in FIGS. 3A and 3B, the pair of dual light source portions 20 are moved from the panel center portion side Ps to the panel corner portion side Ps when the pair of double light source portions 20 are rocked by the rocking device 26. The light receiving sensor unit 34, which receives a signal from the light emitting sensor unit 32 step by step according to the swinging position of the light emitting sensor unit 32 and the dual light source unit 20, which detects a position that is oscillated with the double light source unit (20) is provided on the outside with the swing shafts 23 and 23 'interposed therebetween.

또한, 수광센서부(34)로부터 단계별로 입력된 신호를 제어하여 스텝모터(31)의 속도를 제어하는 제어모듈(36)을 구비한다.In addition, the control module 36 for controlling the speed of the step motor 31 by controlling the signal input step by step from the light receiving sensor unit 34.

이상과 같이 구성된 본 고안에 따른 광원장치의 작동 및 효과를 상세하게 설명한다.The operation and effects of the light source device according to the present invention configured as described above will be described in detail.

우선, 노광장치(10) 내부의 저면에 설치되고 있는 판넬중심부측(Pc) 개구부길이길이(ℓ1, ℓ1')가 광축으로부터 외측 개구부 길이(ℓ2, ℓ2')보다 짧게 형성된 아크장커버(29,29')가 상면에 덮인 광원부(19, 19')가 램프하우징(17, 17')내에 각각 지지되며 내장된 이중광원부(20)를 조광장치(24)에 의해 작동시키면 그 이중광원부(20)에서 광이 방사되고, 링크와 레버로 연결되어 있는 요동장치(26)가 작동함으로써 이중광원부(20)가 판넬중심부(Pc)와 판넬코너부(Ps) 사이를 요동하며 경사지면서 제 2 도의 (a)에서와 같이 그 아크장커버(29,29')에 의해 판넬코너부측(Ps)의 조도는 증대시키고, 상대적으로 판넬중심부측(Pc)의 조도(35)는 감소시키면서 이중으로 부분 노광을 실시하게 된다.First, an arc field cover in which the length of the panel center portion side Pc opening length (l 1 , l 1 ') provided on the bottom surface inside the exposure apparatus 10 is shorter than the length of the outer opening length (l 2 , l 2 ') from the optical axis. The light source portions 19 and 19 'covered with the upper surface of 29 and 29' are respectively supported in the lamp housings 17 and 17 '. When the built-in double light source portion 20 is operated by the dimming device 24, the double light source portion is applied. The light is radiated from the 20, and the swinging device 26 connected by the link and the lever is operated so that the dual light source unit 20 swings and inclines between the panel center portion Pc and the panel corner portion Ps, thereby inclining the second. As shown in (a) of FIG. 2, the arc length covers 29 and 29 'increase the roughness of the panel corner portion side Ps, and relatively reduce the roughness 35 of the panel center portion side Pc while doublely dividing the portion. The exposure is performed.

이때, 제 3 도에 도시된 바와 같이 노광을 실시함과 동시에 이중광원부(20)의 요동축(23,23')을 사이에 두고 설치된 발광센서부(32)에서 이중광원부(20)가 판넬중심부측(Pc)에서 판넬코너부측(Ps)으로 요동하는 위치에 따라 단계별로 감지하여 수광센서부(34)로 신호를 입력시킨다. 그 입력된 신호는 소정의 데이터가 설치되어 있는 제어모듈(36)로 다시 입력되고, 그 요동 위치에 따라 데이터 값을 판단하여 단계별로 신호를 출력하여 요동장치(26)에 구동력을 전달함으로써 이중광원부(20)를 요동시키게 되는 스텝모터(31)의 속도를 제어하게 된다.At this time, as shown in FIG. 3, the dual light source unit 20 is located at the panel center portion of the light emitting sensor unit 32 provided with the exposure shafts 23 and 23 'of the dual light source unit 20 interposed therebetween. Step by step according to the position swinging from the side (Pc) to the panel corner portion (Ps) to input a signal to the light receiving sensor unit (34). The input signal is input again to the control module 36 in which predetermined data is installed, and the data value is determined according to the swing position, and the signal is outputted step by step to transmit the driving force to the swing device 26, thereby providing a double light source unit. It is to control the speed of the step motor 31 to swing (20).

즉, 판넬코너부측(Ps)으로 이중광원부(20)가 요동할 때 판넬중심부(Pc)측 보다 속도가 단계별로 느려지고, 반대로 판넬중심부측(Pc)으로 요동할 때는 속도가 단계별로 빨라지게 된다.That is, when the double light source unit 20 swings to the panel corner portion side Ps, the speed becomes slower step by step than the panel center portion Pc side, and conversely, when the double light source unit 20 swings to the panel center portion side Ps, the speed increases step by step.

그럼으로써 판넬(11)에 대해 요동하는 이중광원부(20)의 경사시간과, 경사각에 따른 선회 속도가 조절되면서 광이 필터(16)와 보정렌즈(15), 이중셔터부(28)를 통과하게 되고, 새도우마스크(12)의 개공부를 통해 소정의 배열구조로 판넬중심부측(Pc)으로 이동할 수록 노광량을 적게하고, 판넬코너부측(Ps)으로 이동할 수록 노광량을 많이 하게 되어 판넬(11) 전체에 대해 균일하게 노광을 할 수가 있다.This allows the light to pass through the filter 16, the correcting lens 15, and the double shutter unit 28 while the inclination time of the dual light source unit 20 swinging with respect to the panel 11 and the turning speed according to the inclination angle are adjusted. The exposure amount decreases as it moves to the panel center portion side Pc in a predetermined arrangement through the opening of the shadow mask 12, and the exposure amount increases as it moves toward the panel corner portion side Ps. Can be exposed uniformly.

따라서 이상과 같이 광원부의 광축을 중심으로 판넬코너부측보다 판넬중심부측 개구부의 길이를 짧게 형성한 아크장커버와 제어모듈을 구비한 광원장치에 의해 이중으로 부분 노광을 함으로써, 판넬코너부측의 조도를 증대시키고, 상대적으로 판넬중심부측의 조도를 감소시킴으로써 판넬에 대해 균일한 조도를 유지시키게되며, 결국은 칼라음극선관의 색순도를 향상시킬 수 있어서 고품질의 칼라음극선관을 얻을 수가 있다.Therefore, as described above, the partial exposure is performed by a light source device having an arc field cover and a control module which have a shorter length of the panel center side opening portion than the panel corner portion side centering on the optical axis of the light source portion. It is possible to maintain a uniform illuminance with respect to the panel by increasing the intensity and decreasing the illuminance on the side of the panel, and finally, the color purity of the color cathode ray tube can be improved, thereby obtaining a high quality color cathode ray tube.

본 고안은 특정의 바람직한 실시예에 대해서 설명하였지만, 이에 한정되지 아니하고 이하 본 고안의 정신과 청구범위에 기재된 사항으로부터 이탈하지 않는 한도내에서 당업계의 통상의 지식을 가진 자라면 여러가지로 그 응용과 변형이 가능하다.Although the present invention has been described with respect to certain preferred embodiments, it should be understood that various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the present invention. It is possible.

Claims (3)

한 쌍의 이중광원부(20)의 램프하우징(17, 17')내에 각각 지지되며, 일부 개구부(30)가 형성된 아크장커버(29,29')를 상면에 갖춘 광원부(19, 19')의 광이 요동장치(26)에 의해 요동하면서 판넬(11)에 대해 분할하여 이중으로 부분 노광하는 광원장치(20)에 있어서; 상기 광원부(19, 19')에서 발광되는 광의 조도를 판넬코너부측(Ps)으로 증대시키고 중심부측(Pc)의 조도를 감소시키기 위해 광축에서 중심부(Pc)측 개구부 길이(ℓ1, ℓ1')가 광축으로부터 외측 개구부 길이(ℓ2, ℓ2')보다 짧게 되도록 상기 광원부(19, 19')의 상면을 덮은 상기 아크장커버(29,29')가 형성된 것을 특징으로 하는 이중부분 노광장치의 광원장치.Of the light source sections 19 and 19 ', which are supported in the lamp housings 17 and 17' of the pair of dual light source sections 20, respectively, and which have arc field covers 29 and 29 'having some openings 30 formed thereon. A light source device (20) which splits and partially exposes the panel (11) while light is oscillated by the swinging device (26); In order to increase the illuminance of the light emitted from the light source portions 19 and 19 'to the panel corner portion side Ps and to reduce the illuminance of the central portion Pc, the opening lengths of the central portion Pc side at the optical axis are 1 and 1 1 '. The arc field cover (29, 29 ') covering the upper surfaces of the light source portions (19, 19') so that) is shorter than the outer opening length (l 2 , l 2 ') from the optical axis. Light source device. 제1항에 있어서, 상기 한 쌍의 이중광원부(20)가 상기 요동장치(26)에 의해 요동시 그 이중광원부(20)의 요동축(23,23')을 사이에 두고 설치되어, 상기 판넬중심부측(Pc)에서 판넬코너부측(Ps)으로 요동하는 위치를 감지하여 신호를 보내는 발광센서부(32); 상기 이중광원부(20)의 요동 위치에 따라 상기 발광센서부(32)로 부터 단계별로 신호를 입력받는 수광센서부(34)를 구비하는 것을 특징으로 하는 이중부분 노광장치의 광원장치.The panel of claim 1, wherein the pair of double light source portions 20 are provided with the swing shafts 23 and 23 'of the double light source portions 20 when the pair of double light source portions 20 are rocked by the rocking device 26. A light emitting sensor unit 32 which detects a position that swings from the center side Pc to the panel corner unit side Ps and sends a signal; And a light receiving sensor unit (34) receiving a signal from the light emitting sensor unit (32) step by step according to the swinging position of the double light source unit (20). 제2항에 있어서, 상기 수광센서부(34)로부터 단계별로 입력된 신호를 제어하여 스텝모터(31)의 구동에 의해 경사지면서 요동하는 상기 이중광원부(20)의 그 경사각에 따른 선회속도를 단계별로 조절하도록 그 스텝모터(31)의 속도를 제어하는 제어모듈(36)을 구비하는 것을 특징으로 하는 이중부분 노광장치의 광원장치.The method of claim 2, wherein the turning speed according to the inclination angle of the dual light source unit 20 which is oscillated while being inclined by driving of the step motor 31 by controlling the signal input step by step from the light receiving sensor unit 34 is And a control module (36) for controlling the speed of the step motor (31) so as to adjust the pressure.
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KR100567833B1 (en) * 2004-01-09 2006-04-05 스피닉스(주) Apparatus for processing substrate

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