KR200175588Y1

KR200175588Y1 - Exposure filter of panel exposuring filter

Info

Publication number: KR200175588Y1
Application number: KR2019940027889U
Authority: KR
Inventors: 박정대
Original assignee: 손욱; 삼성에스디아이주식회사
Priority date: 1994-10-25
Filing date: 1994-10-25
Publication date: 2000-04-01
Also published as: KR960015554U

Abstract

노광 필터(53)는 통상 크롬을 유리 증착시켜 빛을 보정하게 되는 바, 이는 제작비가 많이 들뿐만 아니라 빛 투과율의 정확한 조정이 어렵고 크롬막의 파손이 자주 발생됨을 방지하기 위하여, 판넬 노광 장치용 노광 필터에서 필름(1)에 실크 스크린을 통해 흑연(2)등으로 노광에 필요한 패턴을 형성하고 이를 유리(3), (4)에 개재시켜 구성함으로써 제작이 용이하게 된다.The exposure filter 53 is usually glass deposition of chromium to correct the light, which is not only expensive manufacturing cost, but also to prevent difficult adjustment of the light transmittance and chromium film breakage often occurs, exposure filter for panel exposure apparatus In the film (1) through the silk screen to form a pattern required for exposure with graphite (2), etc. and by interposing it in the glass (3), (4) it is easy to manufacture.

Description

Exposure Filter for Panel Exposure Equipment

제1도는 본 고안에 따른 노광 필터를 도시한 사시도.1 is a perspective view showing an exposure filter according to the present invention.

제2도는 일반적인 노광 장치를 도시한 개략 단면도.2 is a schematic cross-sectional view showing a general exposure apparatus.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

1 : 필름 2 : 흑연1: film 2: graphite

3, 4 : 유리3, 4: glass

본 고안은 판넬 노광 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 판넬의 R, G, B 형광체 도트와, 블랙 매트릭스를 노광할 때 사용되는 노광 장치의 노광 필터에 관한 것이다.The present invention relates to a panel exposure apparatus, and more particularly, to an exposure filter of an exposure apparatus used when exposing the R, G, B phosphor dots of a panel and a black matrix.

일반적으로, 음극선관은 R, G, B형광체가 순차 배열되어 있고 새도우 마스크가 설치되어 있는 판넬과, 상기한 판넬에 접합될 뿐만 아니라 외주에 편향 요오크가 부착되어 있는 판넬과, 상기한 판넬에 연결되고 내주에 전자총이 삽입되는 네크로 벌브를 구성하고 있다.In general, a cathode ray tube includes a panel in which R, G, and B phosphors are arranged in sequence and a shadow mask is installed, a panel not only bonded to the above panel but also having a deflection yoke attached to the outer circumference, and the panel described above. It forms a nebula bulb which is connected and an electron gun is inserted in the inner circumference.

상기한 벌브는 통상 10-6TORR 정도의 고진공으로 밀폐되어 있게 되고 외부에는 스템이 형성된 라이드 핀을 통해 전원이 인가되게 된다.The bulb is normally closed by a high vacuum of about 10-6TORR, and the power is applied to the outside through a ride pin having a stem.

여기서, 상기한 바와 같은 음극선관의 판넬에 R, G, B 형성체와 블랙 매트릭스를 형성하기 위해서는 소정의 노광 장치를 사용하게 되는 바, 이는 제2도에 도시된 바와 같이 램프(50)와, 상기한 램프(50)의 상부에 형성되어 램프(50)의 빛을 조절하는 셔터(51)와, 상기한 셔터(51)의 상부에 위치되어 빛을 보정하게 되는 보정 렌즈(52)로 구성되어 있다.Here, a predetermined exposure apparatus is used to form the R, G, and B forming bodies and the black matrix on the panel of the cathode ray tube as described above, as shown in FIG. The shutter 51 is formed on the upper portion of the lamp 50 to adjust the light of the lamp 50, and the correction lens 52 located on the upper portion of the shutter 51 to correct the light have.

또한, 상기한 보정 렌즈(52)의 상부에는 램프(50)를 통해 발생되는 빛의 광량을 판넬(P) 전체에서 균일하게 유지하기 위해 노광 필터(53)를 사용하게 된다.In addition, the upper portion of the correction lens 52, the exposure filter 53 is used to maintain a uniform amount of light generated through the lamp 50 in the entire panel (P).

즉, 상기한 보정 렌즈(52)의 상부에 포토 레지스트가 도포된 판넬(P)을 안착시킨 후 램프(50)를 동작시키고 빛을 판넬(P)에 확산 조명하게 된다.That is, after mounting the panel (P) coated with a photoresist on the correction lens 52, the lamp 50 is operated and light is diffused to the panel (P).

이때, 상기한 판넬(P)은 곡면상으로 제작되는 바, 상기한 곡률과 램프(50)에 의한 곡률이 상이하기 때문에 판넬(P)에서 중앙부와 양측면의 조명량이 다르게 되어 포토 레지스트의 노광이 불균하게 됨을 방지하기 위하여 보정 렌즈(52)를 사용하게 되는 것이다.At this time, since the panel P is manufactured in a curved shape, since the curvature of the panel P and the curvature of the lamp 50 are different, the amount of illumination of the center and both sides of the panel P is different, resulting in uneven exposure of the photoresist. In order to prevent the use of the correction lens 52 will be used.

또한, 상기한 판넬(P)이 곡면상이기 때문에 램프(50)로부터의 광축이 상이하여 광량이 상이하게 됨을 노광 필터(53)로 중앙부의 광량을 감쇄시켜 보정하게 되는 것이다.In addition, since the panel P is curved, the optical axis from the lamp 50 is different so that the amount of light is different.

그러나, 상기한 노광 필터(53)는 통상 크롬을 유리에 증착시켜 빛을 보정하게 되는 바, 이는 제작비가 많이 들뿐만 아니라 빛 투과율이 정확한 조정이 어렵고 크롬막의 파손이 자주 발생되는 문제점이 있다.However, the above-described exposure filter 53 is to correct the light by depositing the chromium on the glass in general, which is not only expensive manufacturing cost, but also difficult to precisely adjust the light transmittance and the chromium film is often broken.

따라서, 본 고안의 목적은 상기한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 제작비가 절감됨과 아울러 빛 투과율의 제어가 용이한 노광 장치용 노광 필터를 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve the above problems, to provide an exposure filter for an exposure apparatus that is easy to control the light transmittance and to reduce the manufacturing cost.

상기한 목적을 실현하기 위하여 본 고안은 판넬 노광 장치용 노광 필터에서 필름에 실크 스크린을 통해 흑연등으로 노광에 필요한 패턴을 형성하고 이를 유리에 개재시켜 구성함을 특징으로 한다.In order to realize the above object, the present invention is characterized by forming a pattern required for exposure with graphite or the like through a silk screen on a film in the exposure filter for a panel exposure apparatus and interposing it in glass.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 고안의 상세한 일실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a detailed embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings.

제1도는 본 고안에 따른 노광 장치용 노광 필터를 도시한 사시도로서, 필름(1)상에 실크 스크린등을 통해 흑연(2)등과 같이 투과율이 낮은 물질이 통상의 노광 패턴으로 인쇄되어 있고, 상기한 필름(1)의 양측에 유리(3), (4)가 접착되어 있다.1 is a perspective view showing an exposure filter for an exposure apparatus according to the present invention, a material having a low transmittance, such as graphite (2) or the like, is printed on a film (1) through a silk screen or the like in a conventional exposure pattern. Glass 3 and 4 are bonded to both sides of one film 1.

상기한 패턴은 중앙부의 광 투과율을 낮게 하고 주변부는 높게 하는 것인 바, 필름(1)의 양측에 부착되는 유리(3), (4)는 필름(1)의 강성이 낮아 쉽게 파손됨을 방지하기 위하여 필름(1)의 양측에 부착되어 있는 것이다.The above pattern is to lower the light transmittance of the center portion and to increase the peripheral portion, the glass (3), (4) attached to both sides of the film (1) has a low rigidity of the film (1) to prevent easy breakage In order to adhere to both sides of the film 1 for.

여기서, 상기한 패턴 형성에 흑연(2)을 사용함은 상기한 흑연(2)이 빛의 투과율이 낮기 때문인 바, 빛의 투과율이 낮은 물질이면 사용이 가능할 뿐만 아니라 그 효과도 동일하게 된다.Here, the use of graphite (2) in the pattern formation is because the graphite (2) is because the light transmittance is low, if the material having a low light transmittance can be used as well as the effect is the same.

상기한 바와 같은 본 고안의 작용 효과를 설명하면 포토 레지스트가 도포된 판넬(P)을 노광 장치의 상부에 안착시킨 후 제2도에 도시된 램프(50)를 동작시키면 여기서 발생된 빛이 셔터(51)를 통과하게 된다.Referring to the operation and effect of the present invention as described above, when the panel (P) coated with a photoresist is seated on the upper part of the exposure apparatus, the lamp 50 shown in FIG. 51).

셔터(51)를 통과한 빛은 보정 렌즈(52)로 입사되는 바, 이는 필름(1)을 사이에 두고 접착된 유리(3), (4)를 통과하여 필름(1)에 도달하게 된다.The light passing through the shutter 51 is incident on the correcting lens 52, which passes through the glass 3 and 4 bonded through the film 1 and reaches the film 1.

필름(1)에 도달된 빛은 필름(1)에 형성되어 있는 소정 형상의 패턴을 통과하게 되는 바, 판넬(P)에 도달하게 됨으로써 여기에 도포되어 있는 포토 레지스트를 노광하게 되는 것이다.The light reaching the film 1 passes through a pattern of a predetermined shape formed on the film 1, and reaches the panel P to expose the photoresist applied thereto.

이때, 상기한 패턴은 판넬(P)의 주변부에서 광량을 많게 하고 중앙부에서는 광량을 적게 함으로써 판넬(P)과 램프(50)의 곡률 상이로 인한 보정을 행하게 되는 것이다.At this time, the pattern is to be corrected due to the curvature difference between the panel P and the lamp 50 by increasing the amount of light in the peripheral portion of the panel (P) and decrease the amount of light in the center portion.

이상과 같이 본 고안은 실크 스크린등을 통해 소정의 패턴이 형성된 필름을 유리 사이에 개재시켜 접합한 노광 렌즈를 사용함으로써 제작이 용이하여 제작비가 절감되는 잇점이 있는 것이다.As described above, the present invention is advantageous in that the production cost is easily reduced by using an exposure lens bonded by interposing a film having a predetermined pattern formed between glass through a silk screen or the like.

Claims

An exposure filter for a panel exposure apparatus, comprising: forming a pattern necessary for exposure with graphite (2) on a film (1) through a silk screen, and interposing it between the glass (3) and (4). Exposure filter for panel exposure apparatus.