KR200150524Y1 - 가변릴리프댐퍼 - Google Patents

Abstract

본 고안은 반도체 크린룸 등에 일정압력 유지를 목적으로 사용되는 릴리프댐퍼에 관한 것으로, 크린룸 안으로 외부의 공기가 창문이나 문 등의 틈새로 유입되는 것을 방지하기 위하여 실내공기를 가압하는 경우, 과잉 가압되는 것을 방지하기 위하여 실내가 규정압력 이상이 되면, 공기가 릴리프댐퍼의 드림을 밀어내게 되어 외부와 실내를 통하도록 하여 실내의 공기가 외부로 배출되면서 실내압이 떨어지게 하고, 이로 인해 실내압이 규정압력 이하가 되면, 릴리프댐퍼는 자체에 달려있는 추의 자중으로 인하여 다시 닫히도록 하는 일련의 반복동작을 하도록 하여 일정한 실내압을 유지하도록 이루어진 릴리프댐퍼에 있어서, 상기 릴리프댐퍼가 일정 실내압이 될 경우에 열리도록 릴리프댐퍼를 세팅할 시에 내부의 가압정도에 따라 배출압을 조정할 수 있도록 릴리프댐퍼 내부 드럼에 가변판을 장착하되, 그 상단은 몸체의 일측에 힌지되도록 구성하고, 그 하단은 릴리프댐퍼의 몸체에 고정된 브라켓에 조정볼트로 조정 가능하도록 장착되어 릴리프댐퍼를 사용자가 원하는 위치에 간편하게 장착할 수 있으며, 릴리프댐퍼 하나만 설치하게 되면, 상기 조정볼트를 조정하여 드럼에 작동되는 실내압의 크기를 변경시킬 수 있도록 하는 효과가 있다.

Description

가변릴리프댐퍼

본 고안은 가변릴리프댐퍼에 관한 것으로, 보다 상세하게는 실내압을 일정하게 유지할 수 있도록 반도체 크린룸 등에 장착되어 실내의 풍량을 일정하게 조절하면서도 사용자가 용이하게 규정압을 변경시킬 수 있도록 한 가변릴리프댐퍼에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 생산 공정시 먼지 등의 이물질의 유입을 방지하도록 밀폐된 공간인 크린룸에서 작업을 하게 되는데, 이러한 먼지 등은 미세하기 때문에 창문이나 문 등을 통해 유입되는 것을 방지하도록 실내의 공기를 가압하여 외부의 공기가 실내 공기의 압력에 의해 유입되지 않도록 하게 된다.

이때, 상기 실내압을 가압하는 방법으로 실내에 일정 속도로 블로우 가스를 송풍하게 되는데, 크린룸이 외부로부터 밀폐되어 있기 때문에 지속적으로 블로우 가스를 송풍하게 되면, 크린룸의 실내압이 상승하게 되고, 실내압이 과잉하게 되면, 작업중인 제품 및 여러 시스템을 손상시키게 되는 문제점이 있으므로 이 가압된 실내 공기를 외부로 배출시키도록 하여야 한다. 이때, 사용되는 것이 릴리프댐퍼로서 외부와 크린룸 사이의 벽에 릴리프댐퍼를 착설하여 규정압력을 세팅하게 되는데, 이때 실내압이 규정압력 이하에서는 릴리프댐퍼가 닫혀 있도록 하여 실내와 외부를 차단하도록 하고, 규정압력 이상에서는 릴리프댐퍼를 실내 공기압으로 인해 자동으로 열리도록 하여 실내의 공기의 균형을 맞추도록 하게 된다.

종래에는 첨부된 예시도면 제1도 및 제2도에 도시된 바와 같이, 릴리프댐퍼(1)의 몸체(10)가 상하 개방된 형상으로 형성되고, 이 몸체(10)의 전면에 다수개의 판으로 형성된 토출그릴(20)이 소정각도로 힌지되도록 형성되며, 이 토출그릴(20) 후측에 소정의 개구부(32)가 형성된 고정판(30)이 몸체(10)와 일체로 장착되고, 이 개구부(32)의 전면 수직 방향으로 고정플랜지(50)가 상기 고정판(30)과 소정각도로 경사진 상태로 볼트(52)로 고정되며, 상기 고정플랜지(50)의 중앙에는 슬라이딩축(60)이 고정되고, 상기 개구부(32)를 개폐할 수 있도록 소정의 반구형상의 드럼(70)이 중앙 상측에 형성된 삽입홈(72)을 통해 슬라이딩축(60)에 삽입되고, 상기 개구부(32)의 가장자리에는 상기 드럼(70)의 개폐시 외부와 밀봉될 수 있도록 실리콘재질의 씰링부재(80)가 부착되게 된다.

이때, 상기 드럼(70)의 중앙부에 형성된 삽입홈(72)에는 일정한 자중을 가지는 베어링케이스(90)가 일체로 삽입, 고정되게 되는데, 이 베어링케이스(90)의 내부에는 상기 드럼(70)이 슬라이딩축(60)을 따라 베어링케이스(90)와 일체로 슬라이딩되도록 베어링(92)이 삽입되게 된다.

이와 같이 구성된 종래의 릴리프댐퍼(1)는 제2도에 도시된 바와 같이, 실내의 공기가 규정압력 이하일 경우에는 상기 릴리프댐퍼(1)의 드럼(70)을 누르고 있는 베어링케이스(90)의 자중이 실내압보다 크므로 드럼(70)과 개구부(32) 사이에서 형성된 씰링부재(80)를 통해 밀봉이 가능하게 되고, 역으로 실내압이 규정압력 이상이 되면, 상기 실내압이 베어링케이스(90)의 자중을 이기고 드럼(70)을 밀게 되며, 이때, 상기 베어링케이스(90)와 일체로 드럼(70)이 슬라이딩축(60)을 따라 이동하면서 상기 개구부(32)를 열게 되며, 이로 인해 실내와 외부가 개통되면서 압력차로인해 고압인 실내의 공기가 외부로 배출되고, 이로 인해 실내의 공기가 규정압력 또는 그 이하로 감소하게 되면, 상기 베어링케이스(90)의 자중에 의해 상기 드럼(70)이 이동하여 개구부(32)를 막으면서 밀봉하게 된다.

그러나 실내압에 따라 상기 드럼(70)을 개폐할 수 있도록 구성된 릴리프댐퍼(1)는 상기 드럼(70)이 고정되어 있는 고정판(30)의 경사 각도에 따라 상기 드럼(70)에 작용하는 실내압의 크기를 조정할 수 있게 되는데, 이때, 일단 상기 고정판(30)을 한 번 실내의 내벽 등에 설치하게 되면, 사용자가 임의로 변경할 수 없도록 고정판(30)이 몸체(10)에 고정되게 되므로 사용자가 원하는 실내압을 다양하게 조정할 수 없기 때문에 작업 환경이 달라지게 되면 다른 릴리프댐퍼(1)를 사용하여 실내압을 다시 세팅하여야 하고, 이로 인해 크린룸 하나에 여러 개의 릴리프댐퍼(1)를 장착하여야 하는 작업상의 번거로움이 있고, 이는 비용상으로 큰 낭비를 초래하며, 비효율적인 단점이 있었다.

이에 본 고안은 상기와 같은 제반 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 종래의 고정판을 몸체에 고정하는 대신에 여러 각도로 조정가능한 가변판을 장착하여 릴리프댐퍼 하나만 설치하면 드럼을 개폐시키는 실내압의 크기를 사용자가 간편하게 조정할 수 있도록 한 가변릴리프댐퍼를 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안은 가변판의 상단을 몸체에 힌지, 고정하고, 가변판의 하단을 몸체에 고정된 브라켓에 조정볼트로 회동가능하도록 장착하여 이 가변판의 중앙부에 형성된 원형의 개구부에 수직 방향으로 고정플랜지를 장착하고, 여기에 슬라이딩축을 직각으로 고정시키며, 이 슬라이딩축에는 드럼을 삽입시켜 상기 개구부에 안착시키고, 상기 조정볼트를 조정함으로써 상기 가변판이 힌지부를 중심으로 일정각도로 회동하도록 하여 일정 실내압을 세팅할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 고정플랜지의 상하단면에 각각의 통풍구를 형성하여 상기 실내압이 드럼에 골고루 작용하도록 한 것을 특징으로 한다.

제1도는 종래의 릴리프댐퍼를 나타낸 사시도.

제2도는 종래의 릴리프댐퍼의 구성을 나타낸 종단면도.

제3a도는 본 고안에 따른 가변릴리프댐퍼를 나타낸 정면도이고, 제3b도는 작동상태를 나타낸 종단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 릴리프댐퍼 10 : 몸체

20 : 토출그릴 30 : 고정판

32 : 개구부 50 : 고정플랜지

52 : 볼트 60 : 슬라이딩축

70 : 드럼 72 : 삽입홈

80 : 씰링부재 90 : 베어링케이스

92 : 베어링 100 : 가변판

110 : 힌지부 120 : 브라켓

130 : 조정볼트 131 : 장홀

132 : 나사 133 : 워셔

140 : 통풍구

이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거 상세히 설명한다.

제3a도 및 제3b도는 본 고안에 따른 실시예를 나타낸 것으로서, 전체적으로는 몸체(10)의 전면에 가변판(100)이 장착되되, 상기 가변판(100)의 상단을 몸체(10)에 힌지, 고정하고, 그 하단을 몸체(10)에 고정된 브라켓(120)에 회동가능하도록 조정볼트(130)로 장착하며, 상기 가변판(100)의 중앙부에는 원형의 개구부(32)가 형성되게 된다.

또한, 상기 가변판(100)의 개구부(32)의 수직방향으로 고정플랜지(50)의 일단이 볼트(52)로 고정되고, 그 타단이 상기 가변판(100)과 함께 조정볼트(130)로 고정되되, 상기 조정볼트(130)의 조정시에 회동 가능하도록 상기 가변판(100) 및 고정플랜지(50)의 타단에 형성된 장홀(131)에 상기 조정볼트(130)를 삽입하여 나사(132)로 고정하며, 이 나사(132)와 장홀(131)사이에는 밀봉을 위하여 합성수지 재질의 워셔(133)가 삽입되게 되고, 상기 고정플랜지(50)의 중앙에는 슬라이딩축(60)이 고정되게 된다.

또한, 상기 가변판(100)의 개구부(32)를 개폐할 수 있도록 소정의 반구형상의 드럼(70)이 중앙 상측에 형성된 삽입홈(72)을 통해 슬라이딩축(60)에 삽입되어 안착되고, 상기 개구부(32)의 가장자리에는 상기 드럼(70)의 개폐시 외부와 밀봉될 수 있도록 실리콘재질의 씰링부재(80)가 부착되게 된다.

또한, 상기 고정플랜지(50)의 상하단면에는 각각의 통풍구(140)가 길게 형성되어 상기 실내압이 이 통풍구(140)를 통해 드럼(70)에 골고루 작용할 수 있도록 한다.

이와 같이 구성된 본 고안은 제3b도와 같이, 크린룸의 실내압이 규정압력 이하에서는 상기 베어링케이스(90)의 자중에 의해 상기 드럼(70)을 누르게 되어 씰링부재(80)를 통해 밀봉이 되게 되고, 이때, 밀폐된 크린룸의 내부는 블로우 가스의 유입에 의해 점차적으로 압력이 상승하게 된다.

상기 크린룸의 실내압이 규정압력 이상이 되면, 상기 실내압이 베어링케이스(90)의 자중을 이기고 드럼(70)을 밀게 되어 이 힘에 의해 상기 드럼(70)이 슬라이딩축(60)의 단부까지 이동하게 되는 것이다.

만일, 크림룸의 실내조건이 달라지거나 보다 취약한 부품이 등이 추가로 설치되어 실내 규정압력을 변경하여야 될 경우, 사용자가 상기 조정볼트(130)의 나사(132)를 풀게 되면, 상기 가변판(100)이 힌지부(110)을 중심으로 일정 각도로 회동하게 되고, 이때, 상기 가변판(100)의 회동각도만큼 슬라이딩축(60)이 경사를 이루게 되어 상기 가변판(100)에 작용하는 실내압의 크기를 조정할 수 있게 된다. 이때, 상기 슬라이딩축(60)이 수평 상태일 경우에는 드럼(70)을 상하 이동시키게 되는 수직력은 존재하지 않으므로 실내압 전부가 드럼(70)을 수평 방향으로 밀게 되는 힘으로 작용하게 되고, 만약 상기 슬라이딩축(60)이 조정볼트(130)의 조정에 의해 소정의 각도로 경사져 있을 경우에는 상기 실내압은 슬라이딩축(60)을 기준으로 수평력 및 수직력의 분력으로 나뉘어지게 되어 상기 드럼(70)을 개폐시키는데 작용하는 수평력이 경사각도만큼 감소되게 되므로 결과적으로 상기 드럼(70)을 미는데는 더 많은 힘이 요구되고, 이는 곧 상기 실내 규정압력을 더 높게 세팅할 수 있게 되는 것으로서, 상기 가변판(100)의 경사각도에 따라 상기 드럼(70)을 개폐시키는 실내 규정압력의 조정이 가능하게 되는 것이다.

위와 같이 본 고안에 따른 가변릴리프댐퍼는 사용자가 원하는 위치에 간편하게 장착할 수 있으며, 릴리프댐퍼 하나만 설치하게 되면, 상기 드럼에 작용되는 실내압을 사용자가 원하는 대로 간편하게 변경시킬 수 있어 효율적이고, 비용이 절감되는 효과가 있는 것이다.

Claims (2)

1. 릴리프댐퍼(1)의 몸체(10)와, 이 몸체(10)의 전면에 장착되어 다수개의 판으로 형성된 토출그릴(20)과, 이 토출그릴(20) 후측에 장착되어 소정의 개구부(32)가 형성된 고정판(30)과, 이 개구부(32)의 전면 수직 방향으로 고정판(30)에 고정된 고정 플랜지(50)와, 상기 고정플랜지(50)의 중앙에는 수직으로 고정된 슬라이딩축(60)과, 상기 개구부(32)를 개폐할 수 있도록 슬라이딩축(60)에 삽입되는 반구형상의 드럼(70)과, 상기 개구부(32)의 가장자리에 부착된 씰링부재(80)와, 상기 드럼(70)의 중앙부에 형성된 삽입홈(72)에 삽입, 고정된 일정한 자중을 가지는 베어링케이스(90)와, 이 베어링케이스(90)의 내부에 삽입된 베어링(92)으로 이루어져 실내의 규정 압력을 유지하도록 조정하는 릴리프댐퍼(1)에 있어서, 상기 드럼(70)에 작용하는 실내압을 변경할 수 있도록 상기 릴리프댐퍼(1)의 몸체(10) 전면에 가변판(100)이 장착되되, 상기 가변판(100)의 상단을 몸체(10)에 힌지부(110)를 중심으로 힌지, 고정하고, 그 하단을 몸체(10)에 고정된 브라켓(120)에 회동가능하도록 고정플랜지(50)과 함께 조정볼트(130)로 고정하되, 상기 조정볼트(130)의 조정시에 회동가능하도록 상기 가변판(100) 및 고정플랜지(50)의 타단에 형성된 장홀(131)에 상기 조정볼트(130)를 삽입하여 나사(132)로 고정하며, 이 나사(132)와 장홀(131)사이에는 밀봉을 위하여 합성수지 재질의 워셔(133)가 삽입되게 되고, 상기 조정볼트(130)의 조정에 의해 가변판(100)이 소정각도로 회동가능하도록 한 것을 특징으로 하는 가변릴리프댐퍼.
2. 제1항에 있어서, 실내압이 드럼(70)에 골고루 작용할 수 있도록 상기 고정플랜지(50)의 상하단면에 다수개의 통풍구(140)가 길게 형성되어 실내압이 상기 개구부(32) 및 통풍구(140)를 통과할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 가변릴리프댐퍼.