KR20010073650A

KR20010073650A - 챔버의 개폐장치 및 이를 포함하는 진공챔버장치

Info

Publication number: KR20010073650A
Application number: KR1020000002424A
Authority: KR
Inventors: 이병일
Original assignee: 오명환; 태크뱅크 주식회사
Priority date: 2000-01-19
Filing date: 2000-01-19
Publication date: 2001-08-01
Also published as: KR100345386B1

Abstract

본 발명은 전기적, 기계적 특성을 측정하기 위한 챔버의 진공도를 소자를 테스트하는 동안 충분히 유지시킬 수 있으며, 챔버의 무게를 줄여 외부의 기계적 신호를 높을 효율로 측정될 소자에 전달하여 정확한 실험값을 얻을 수 있는 챔버의 개폐장치 및 이를 포함하는 진공챔버장치에 관한 것이다.

상기 본 발명은 일정한 내측 공간부를 갖고, 일측에 상기 공간부와 연통된 연장부를 구비한 챔버와, 상기 연장부 내측에 설치되어 챔버의 안팎의 압력차에 의해 상기 챔버의 공기유출구멍을 개폐하는 마개와, 상기 챔버의 연장부와 일측이 착탈 가능하게 결합 형성된 어댑터를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명은 일측에 상기 공간부와 연통된 연장부를 구비한 챔버와, 상기 연장부 내측에 설치되어 상기 챔버의 공기유출구멍을 개폐하는 마개와, 상기 챔버의 연장부와 일측이 착탈 가능하게 결합 형성된 어댑터와, 상기 챔버의 공기유출구멍을 폐쇄하기 위하여 상기 어댑터 일측에 관통되어 상기 마개와 수평되게 설치되는 푸시로드와, 상기 어댑터 하단부에 연통되어 상기 챔버의 공간부를 진공 형성하기 위한 진공펌프로 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

챔버의 개폐장치 및 이를 포함하는 진공챔버장치{Valve Device for Chamber and Vaccum Chamber Apparatus including the Same}

본 발명은 챔버의 개폐장치 및 이를 포함하는 진공챔버장치에 관한 것으로, 특히 전기적, 기계적 특성을 측정하기 위한 챔버의 진공도를 소자를 테스트하는 동안 충분히 유지시킬 수 있으며, 챔버의 무게를 줄여 외부의 기계적 신호를 높은 효율로 측정될 소자에 전달하여 정확한 실험값을 얻을 수 있는 챔버의 개폐장치 및 이를 포함하는 진공챔버장치에 관한 것이다.

일반적으로 미세전자기계기구는 외부의 기계적 신호 즉, 가속도나 진동 또는 충격의 양에 따라 적정한 전기적 신호 또는 기계적 신호를 외부로 인가하는 기구이다.

이와 같은 미세전자기계기구는 예를들면, 차량에 장착되어 있는 에어백 장치에 설정되어 자동차가 약 60km/시간 이상으로 진행하는 중에 충돌할 때 에어백을 작동시킨다. 이경우 미세전자기계기구 내의 수 마이크로미터 크기의 진동추는 차량이 충돌시 진동추가 가까이 있는 전극과 접촉하게 되며, 이때 발생하는 전기신호가 에어백에 전달되고 이에따라 차량에 탑승하고 있는 탑승자를 보호할 수 있도록 에어백이 부풀어오른다.

그러나 기존의 기계기구와 달리 미세전자기계기구는 그 크기가 사람 머리카락의 수 십분의 일인 수 마이크로미터 정도로 작기 때문에 공기의 저항에 따라 발생하는 신호에 많은 차이를 보인다. 즉, 공기의 저항에 의해 미세전자기계기구의 구조물이 원활한 작동을 할 수 없게 된다.

따라서 최근의 미세전자기계기구는 진공으로 포장되거나 진공상태에서 사용되도록 제작되고 있다. 이에 따라 제작된 미세전자기계기구의 측정도 진공에서 수행되어야 한다.

이와같은 미세전자기계기구의 특성을 측정하기 위한 종래의 측정장치는 도 1a 및 1b에 나타난 바와같이 내측에 진동추(미도시)의 진동에 따라 전기적 신호를 외부로 전달하는 다수의 전기배선(11)과 접속된 측정소자(10)를 포함할 수 있도록 공간부(1a)를 갖고 상부에는 상기 공간부(1a)를 관찰할 수 있도록 투명커버(7)를 결합한 챔버(1)가 형성되며, 상기 챔버(1) 일측에는 수직으로 절곡된 연장부(3)가 연장 형성되어 있다.

한편 상기 연장부(3)는 내측으로 상호 연통된 수평 및 수직공기유출구멍(3a,3b)이 형성되어 있으며, 그 하단이 진공펌프(13) 일측에 연통된 연결관(15)과 착탈 가능하게 연통 결합되어 있다.

이때 상기 연장부(3)와 연결관(15)은 별도의 결합구(17)에 의해 결합이 이루어진다. 또한 상기 진공펌프(13) 작동시 상기 연장부(3)와 연결관(15)의 접촉부로 공기가 누출되는 것을 방지하기 위하여 그 접촉부에 O-링(19)을 위치 설정시킨다.

또한 상기 연장부(3) 일측에는 상기 연장부(3)의 수평공기유출구멍(3a)과 동일 높이에 위치되어 상기 공기유출구멍(3a)의 개폐할 수 있는 개폐밸브(5)가 결합되어 있다.

한편 이와같이 구성된 종래기술은 챔버(1)의 공간부(1a)를 진공상태를 이루기 위하여도록 먼저, 개폐밸브(5)를 개방한 상태로 진공펌프(13)을 작동시킨다.

이에따라 상기 공간부(1a)에 존재하는 공기가 연장부(3) 및 연결관(15)를 따라 진공펌프(13)를 거쳐 외부로 유출되어 상기 공간부(1a) 및 수평/수직공기유출구멍(3a,3b)는 진공상태가 이루어진다.

이어서, 도 1b와 같이 상기 개폐밸브(5)로 상기 수평공기유출구멍(3a)를 폐쇄시킨 뒤 상기 연장부(3)와 연결관(15)을 결합시키고 있는 결합구(17)를 해체하여 연장부(3)로부터 상기 진공펌프(13) 및 연결관(15)을 분리시킨 뒤 상기 측정소자(10)에 대한 테스트를 실시하였다.

한편 도 2a 및 2b에서와 같이 다른 종래기술의 경우에서는 전술한 종래기술과 같이 측정소자(10)를 포함하는 챔버(21)가 형성되어 있으며, 상기 챔버(21) 일측에는 수평방향으로 연장부(23)가 연장 형성되어 있다.

또한 상기 연장부(23)의 개방구멍(23b)을 개폐하기 위한 마개(29)가 탄성스프링(28)에 의해 탄력 지지되며, 상기 마개(29) 외주에는 마개(29)와 개방구멍(23b)과의 접촉부를 통하여 공간부(21a)로 공기가 유입되는 것을 방지하기 위하여 O-링(29a)이 결합되어 있다.

또한 상기 공간부(21a)를 진공상태로 이루기 위하여 상기 연장부(23) 개방단 측으로 착탈 가능하게 결합되는 연결부(25)를 연장 형성한 진공펌프(27)가 형성되어 있다. 이 경우 상기 챔버(21)의 공간부(21a)를 진공상태로 바꾸기 위하여 상기 연결부(25)의 도입단(25a) 내측으로 상기 연장부(23)의 개방단을 삽입시킨다.

이때 상기 도입단(25a) 내측으로 상기 마개(29)를 좌측으로 밀어주는 누름핀(25b)이 형성되어 상기 연장부(23)의 개방구멍(23b)를 개방시키게 되며, 따라서 진공펌프(27) 작동시 상기 공간부(21a) 내부의 공기를 연장부(23)와 연결부(25) 내측을 따라 외부로 유출시킨다.

또한 상기 진공펌프(27)의 구동에 따라 상기 공간부(21a)가 진공상태로 될 경우 상기 연결부(25)와 연장부(23)를 분리시키고, 이에따라 상기 누름핀(25b)의 마개(29)에 대한 압압이 해제되어 상기 마개(29)는 탄성스프링(28)에 의해 상기 연장부(23)의 개방구멍(23b)을 폐쇄한 후 측정소자(10)에 대한 테스트가 이루어졌다.

도 2a 및 2b에 미설명 부호 23a는 공기유출구멍, 25c는 O-링, 29는 투명커버를 각각 나타낸다.

그런데 도1a 및 1b에 도시한 종래기술에서는 챔버(1)의 연장부(3)와 연결되는 연결관(15)을 고무호스로 대체할 경우 착탈과정이 번거로우며, 클립으로 대체할 경우에도 매번 진공상태를 유지하기 위한 고무링과 클립, 챔버의 밸브 및 진공펌프의 연결관을 연결한 후, 상기 챔버(1) 내부가 진공상태가 이루어지면 번거로운 과정을 거쳐 분리해야 하는 매우 불편한 구조로 이루어져 있다.

한편 진공에서 측정소자(10)를 정밀하게 측정하기 위해서는 진공펌프(13)와 연결된 연결관(15)을 제거할 필요가 있다. 그 이유는 진공펌프(10)와 연결관(15)은 진공을 형성하기 위하여 매우 두껍거나 단단한 재료로 되어있기 때문에 연결관(15) 및 진공펌프(13)와 연결한 상태에서 챔버(1)에 기계적 진동 등의 신호를 전달할 때에는 이 기계적 신호가 측정하고자 하는 소자에 전달되지 않는다. 따라서 원활한 기계적 신호의 전달을 위해서는 챔버(1)가 상기 연결관(15)으로부터 분리되어 있어야 하며 그 무게도 가벼워야 한다.

또한 진공펌프(13)와 연결되는 연장부(3)가 휘어져 있어서 밸브 재료들의 용접이 필수적이며, 실험에 필효한 진공도를 유지하면서 용접할 수 있는 재질은 스테인레스 스틸이 쓰이는데 이는 무게가 무거워 챔버(1)의 무게를 증가시켜 정확한 측정을 하기 위한 조건을 충족시키지 못하는 문제점이 있었다.

한편 도 2a 및 2b에 도시한 다른 종래기술에서는 연장부(23)와 연결부(25)의 삽입과 분리에 따라 누름핀(25b)에 의해 탄성스프링(28)에 의해 탄력 지지된 마개(29)를 개폐시켜 진공을 형성하고 유지시킬 수 있도록 구성되어 있다.

그런데 이 경우 챔버(21)의 공간부(21a)를 진공상태로 만든 후, 진공펌프(27)와 상기 연결부(25)를 연장부(23)로부터 분리시키게 되는데, 이때 탄성스프링(28)에 의해 진공방향에서 대기방향으로 힘을 받는 상기 마개(29)는 대기방향에서 진공방향으로 가하기 때문에 탄성스프링(28)으로 그 압력을 상쇄하기에는 역부족이었다. 또한 충분히 압력에 대응할 수 있는 탄성계수를 갖는 탄성스프링(28)을 사용할 경우 상기 연결부(25)와 연장부(23)을 결합시킬 때 상기 탄성스프링(28)의 탄성계수를 극복할 수 있는 압력이 필요하게 되므로 그 사용이 매우 제한되는 문제점이 있었다.

또한 이 경우 도 5에 도시된 바와같이 진공유지도의 결과(S1)는 10^-2Torr (대기:760 Torr)의 진공도를 수 초정도 유지할 뿐이므로, 수 분에서 수 십분이 요구되는 측정시간을 만족시키지 못하여 측정소자에 대한 정확한 측정이 이루어질 수 없는 문제점이 있었다.

따라서 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 전기적, 기계적 특성을 측정하기 위한 챔버의 진공도를 소자를 테스트하는 동안 충분히 유지시킬 수 있으며, 챔버의 무게를 줄여 외부의 기계적 신호를 높을 효율로 측정될 소자에 전달하여 정확한 실험값을 얻을 수 있는 챔버의 개폐장치 및 이를 포함하는 진공챔버장치를 제공하는데 있다.

도 1a 및 1b는 종래의 챔버의 개폐장치를 나타내는 개략도,

도 2a 및 2b는 다른 종래의 챔버의 개폐장치를 나타내는 개략도,

도 3a~3f는 본 발명에 따른 챔버의 개폐장치의 작동을 순서적으로 나타내는 개략도,

도 4는 본 발명과 종래기술에서의 진공펌프의 작동을 멈춘후 경과된 시간에 따라 유지되는 진공도를 나타내는 그래프,

도 5a 및 5b는 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 개략도이다.

*도면내 주요부분에 대한 부호 설명*

31: 챔버 31a: 공간부

31b:공기유출구멍 33: 투명커버

35: 마개 37: 연장부

37a: 개방구멍 37b: 돌출부

40: 진공펌프 50: 어댑터

50a: 삽입부 51: 연결관

53: 누출밸브 55: 손잡이

60: 캡

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 일정한 내측 공간부를 갖고, 일측에 상기 공간부와 연통된 연장부를 구비한 챔버와, 상기 연장부 내측에 설치되어 챔버의 안팎의 압력차에 의해 상기 챔버의 공기유출구멍을 개폐하는 마개와, 상기 챔버의 연장부와 일측이 착탈 가능하게 결합 형성된 어댑터를 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버의 개폐장치를 제공한다.

또한 본 발명에 따르면, 측정소자가 배치되는 일정한 내측 공간부를 갖고, 일측에 상기 공간부와 연통된 연장부를 구비한 챔버와, 상기 연장부 내측에 설치되어 챔버의 안팎의 압력차에 의해 상기 챔버의 공기유출구멍을 개폐하는 마개와, 상기 챔버의 연장부와 일측이 착탈 가능하게 결합 형성된 어댑터와, 상기 챔버에 일정한 압력이 형성된 후 상기 마개를 챔버 측으로 압압하여 상기 챔버의 공기유출구멍을 폐쇄하기 위하여 상기 어댑터 일측에 관통되어 상기 마개와 수평되게 설치되는 푸시로드와, 상기 어댑터 하단부에 연통되어 상기 챔버의 공간부를 진공 형성하기 위한 진공펌프로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공챔버장치가 제공된다.

이상에서와같이 본 발명은 미세전자기계기구를 측정하기 위한 측정시간 동안 진공도를 충분히 유지할 수 있으며, 그 구조가 가볍고 간단하게 이루어져 정확한 측정이 가능한 이점이 있다.

(실시예)

첨부된 도 3a~3f는 본 발명에 따른 챔버의 개폐장치의 작동을 순서적으로 나타내는 개략도이고, 도 4는 본 발명과 종래기술에서의 진공펌프의 작동을 멈춘후 경과된 시간에 따라 유지되는 진공도를 나타내는 그래프이고, 도 5a 및 5b는 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 개략도를 각각 나타낸다.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명에 따른 챔버의 개폐장치를 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 3a에 도시된 바와 같이 외부로 전기신호를 전달할 수 있는 전기배선(11)과 접속된 측정소자(10)를 위치 설정시킬 수 있는 공간부(31a)를 갖는 챔버(31)가 형성되고, 상기 챔버(31) 상부에는 내부를 관찰할 수 있는 투명커버(33)가 구비되어 있다.

또한 상기 챔버(31) 일측에는 내측에 마개(35)를 구비하며 일측이 외부로 개방된 개방구멍(37a)을 갖는 연장부(37)가 연장 형성되어 있으며, 상기 연장부(37)는 관통구멍(31b)에 의해 상기 챔버(31)의 공간부(31a)와 연통 형성되어 있다.

한편 상기 공간부(31a)를 진공상태로 만들기 위한 진공펌프(40)는 상기 연장부(37)의 개방단에 착탈가능하게 결합되는 어댑터(50)와 연통 형성되어 있다.

또한 상기 어댑터(50)는 하방향으로 일측에 누출밸브(53)를 구비한 연결관(51)이 연장 형성되어 상기 진공펌프(40)와 연통되며, 타단이 상기 연장부(37)가 삽입가능하도록 소정의 삽입부(50a)가 형성된다.

또한 상기 어댑터(50) 일측에는 진공상태로 유지할 경우 상기 마개(35)를 외부에서 내부로 밀어 상기 관통구멍(31b)을 폐쇄시키기 위한 푸시로드(55)가 형성되어 있다.

이 경우 상기 연장부(37)는 마개(35)가 챔버(31)로부터 분리되어 분실 또는 오염되지 않도록 개방단에 상기 마개(35)의 지름보다 다소 작은 상기 개방구멍(37a)을 이루는 돌출부(37b)를 형성하여 상기 마개(35)가 진공용기로 부터 완전히 분리되는 것을 방지한다.

미설명 부호 36 및 57은 O-링을 각각 나타낸다.

이와같이 구성된 본 발명에 따른 측정장치의 작용 및 효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 도 3a와 같이 투명커버(33)를 열고 측정하고자 하는 소자(10)를 챔버(31)의 공간부(31a)에 장착시키고 상기 측정소자(10)에 전기배선(11)을 접속시킨 후, 상기 투명커버(33)를 닫고 어댑터(50)를 연장부(37)와 연결시킨 뒤 진공펌프(40)를 작동시킨다.

이어서 상기 진공펌프(40)와 어댑터(50)사이에 진공이 되기 시작하면 상기 챔버(31) 내부는 대기압 상태이고 어댑터(50) 외부는 진공상태이므로 공간부(31a)에 존재하는 공기는 어댑터(50) 방향으로 유출되려는 힘이 발생하게 되고 이 힘은 상기 마개(35)를 어댑터(50) 방향으로 밀게 된다.

이 경우 일정한 진공이 형성되면 도 3b와 같이 어댑터(50)의 푸시로드(55)를 챔버(31) 쪽으로 밀어 넣는데, 이때 챔버(31)와 어댑터(50) 쪽이 모두 동일한 압력이면서 밀어 넣어지는 연장부(37)의 개방구멍(37a)으로 삽입되는 푸시로드(55) 길이만큼 부피가 감소되는 힘에 의해 상기 마개(35)는 자연스럽게 챔버(31) 쪽으로 이동된다.

이 상태에서 도 3c와 같이 상기 어댑터(50)의 연결관(51) 일측에 형성된 누출밸브(53)를 오픈시키면 상기 어댑터(50)와 진공펌프사이는 대기상태가 되고, 상기 챔버(31) 내부는 진공상태이므로 마개(35)는 진공의 힘으로 더욱 강하게 챔버(31) 쪽으로 압착된다.

그 후, 진공펌프(31)의 작동을 중지시키고 도 3d와 같이 어댑터(50)를 챔버(31)로부터 분리시킨다.

한편 도 3e와 같이 마개(35)가 분리되지 않도록 별도의 캡(60)을 결합하여 사용하는 것도 가능하며, 이때 상기 캡(60)은 주위환경이 청결할 경우 씌우지 않아도 무방하다.

따라서 최종적으로 이와같은 상태에서는 챔버(31)가 진공을 이루기 위한 어댑터(50)와 분리된 상태이므로 기계적 신호를 주는 기구(미도시)에 장착하고 기계적 신호에 따른 소자(10)를 측정한다.

또한 측정이 완료된 후 상기 소자(10)를 챔버(31)로부터 분리할 때는챔버(31)에 별도의 누출밸브(미도시)를 사용하여 챔버(31)의 진공을 해제시키거나, 도 3f와 같이 마개(35)와 연동하는 별도의 볼트(61)에 연결하여 연장부(37)로부터 분리시키면 상기 마개(35)가 막고 있던 챔버(31)의 관통구멍(31b)으로 공기가 유입되어 챔버(31)의 공간부(31a)가 대기압으로 올라가게 되고 이때 투명커버(33)를 열어 측정한 소자를 분리시킨다.

한편 도 4에 나타낸 바와같이 상기 챔버(31)의 공간부(31a)를 진공으로 형성시킨 다음 진공펌프(40)와 연결시키는 어댑터(50)를 분리한 후부터 시간에 따른 챔버(31)의 진공 유지정도를 측정한 결과이다. 이에 따르면 진공 유지도는 일정한 진공상태 이하에서 진공펌프를 사용하여 계속 진공을 유지시켜 주는 시간에 따라 달라진다.

이는 챔버(31) 표면에 흡착되어 있는 잔류 개스, 예를 들어 수분, 질소, 산소 등의 공기, 불순물에 의해 결정되는데 이들의 양을 줄이기 위해 진공용기의 표면을 아주 매끄럽게 하건, 챔버(31)의 내부 표면을 수분 등이 흡착되기 힘든 물질, 즉 질화타이타늄, 유리 등으로 형성하면 흡착되는 물질의 양을 줄여 진공 유지도가 향상된다.

또한 도 4에서 검은 동그라미로 표시된 결과(S1)는 도 2에 의해 구성된 측정장치의 진공유지도를 나타내었는데 1분 이하에서 1Torr 이상으로 진공도가 악화된 반면에, 검은 사각형으로 표시된 결과(S2)는 챔버 내부의 진공유지도는 약 30분이 경과하여도 30mTorr 이하로 유지된다.

따라서 미세전자기계기구의 특성측정은 약 10분 정도까지 60mTorr 이하로 유지되어야 하는데 본 발명의 장치에 의하면 이러한 요구조건을 충족시킨다.

한편 진공도는 초기 진공, 즉 어댑터(50)를 사용하여 진공펌프(40)와 연결한 상태에서 진공펌프(40)를 작동시키면서 최대한 진공을 형성시킨 정도에 따라 결정된다. 상승되는 정도는 표면에 흡착된 입자가 떨어져 나오는 것에 의해 결정되므로 이는 활성화 에너지(activation energy)를 필요로 하여 측정되는 진공도를 y축으로 하고 경과시간을 x축으로 할 때 지수(expopential)관계로 된다.

다시 말하면 일정한 진공도에서 한 자리수가 높은 진공도로 상승하는데 일정한 시관이 경과한다. 예를 들어 10^-3Torr에서 10^-2Torr로 상승하는데 10분이 경과한다면 10^-6Torr에서 10^-5Torr 까지 상승하는 데에도 대략 같은 시간인 10분이 경과한다는 것이다.

또한 상기 진공펌프(40)는 고진공 펌프, 예를 들어 유확산펌프(Oil diffusion pump)나 터보 분자 펌프(Turbo molecular pump) 또는 이온펌프(Ion pump) 등을 사용한 경우에도 그대로 적용이 된다. 즉, 고진공 펌프로 10^-6Torr 로 초기 진공을 형성한 경우 10^-5Torr 까지 상승하는데 30분 이상이 필요하다. 이러한 결과는 본 발명이 미세전자기계기구의 특성을 아주 정밀하게 측정하는데 매우 적합하다는 것을 뒷받침해 주고 있다.

한편 종래의 측정장치를 이용하여 측정할 때에는 진공도를 유지하기 위하여 진공펌프와 연결된 연결관을 그대로 유지시켜줘야 하므로 증가된 무게를 상쇄시킬정도의 강한 외부 기계적 신호를 필요로 했으며 이로 인해 기계적 신호 발생장치의 가격이 매우 상승할 뿐만 아니라 정확한 신호량과 미세전자기계기구의 출력에 관한 분석이 불가능하였다.

그러나 본 발명은 진공펌프(40)와의 연결을 제거한 상태에서도 60분 이상 진공도가 유지될뿐만 아니라 무게가 2Kg 이하이기 때문에 정밀한 측정이 가능하게 되었다.

또한 마개(35)와 챔버(31)는 가벼운 금속, 예를 들어 알루미늄이나 알루미늄 합금, 마그네슘, 타이타늄 등이나 플라스틱 계열로 만들어지므로 진공을 유지하기 위해서는 이 둘 사이에 부드러운 재질로 이루어진 중간물질(미도시) 예를 들어, 고무, 바이톤 재질의 고분자물 또는 구리 등이 끼워져야 된다.

이때 상기 중간물질은 상기 마개(35) 쪽이나 챔버(31) 쪽에 부착될 수 있고 양쪽 모두에 부착하는 것도 가능하며, 상기 투명커버(33)와 챔버(31)사이 또한, 전기배선(11)과 챔버(31)사이에도 중간물질이 존재한다. 상기 어댑터(50)를 이용하여 진공을 형성할 때를 위하여 챔버(31)와 어댑터(50) 사이에도 중간물질이 존재한다.

한편 진공펌프(40)와 연결하여 챔버(31)를 진공 상태로 형성할 때 어댑터(50)를 진공용기에 안정적으로 부착시키기 위해 도 5a와 같이 연장부(37) 외주에 나사부(71)를 형성할 경우 상기 어댑터(50)의 삽입부 내주에 동일한 피치의 나사부(73)를 형성하여 사용하는 것도 가능하며, 도 5b와 같이 챔버(31)의 연장부(37)와 어댑터(31)를 연결시키는 지지구(75)를 형성하여 사용하는 것도 가능하다.

또한 측정중에 챔버(31)의 진공도를 측정하기 위해 상기 챔버(31)에 별도의 진공측정기(미도시)를 부착하여 사용할 수 있다. 따라서 상기 진공측정기에 의해 측정될 때의 진공도를 정확히 측정함으로써 진공도에 따른 미세전자기계기구의 특성을 측정할 수 있다.

또한 종래기술의 챔버는 무게가 무거워서 진공측정기를 부착할 수 없었지만 본 발명은 챔버의 무게가 매우 가볍기 때문에 이와같은 진공측정기를 설치하여도 무게가 초과되지 않는다.

Claims

일정한 내측 공간부를 갖고, 일측에 상기 공간부와 연통된 연장부를 구비한 챔버와,

상기 연장부 내측에 설치되어 챔버의 안팎의 압력차에 의해 상기 챔버의 공기유출구멍을 개폐하는 마개와,

상기 챔버의 연장부와 일측이 착탈 가능하게 결합 형성된 어댑터를 포함하는 것을 특징으로 하는 쳄버의 개폐장치.
제1항에 있어서, 상기 개폐장치는 상기 챔버에 일정한 압력이 형성된 후 상기 마개를 챔버 측으로 압압하기 위하여 상기 어댑터 일측에 관통되어 상기 마개와 수평되게 설치되는 푸시로드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버의 개폐장치.
제1항에 있어서, 상기 연장부는 상기 마개가 챔버로부터 분리되지 않도록 개방단에 상기 마개의 지름보다 작은 상기 개방구멍을 이루는 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버의 개폐장치.
제1항에 있어서, 상기 마개에 대기압을 적용시키기 위하여 상기 어댑터 일측에 설치된 누출밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 챔버의 개폐장치.
제1항에 있어서, 상기 연장부의 선단 외주에 형성된 제1나사부와, 상기 어댑터의 도입부 내주에 상기 제1나사부와 결합가능하게 형성된 제2나사부를 구비하여 나사결합에 의해 착탈되는 것을 특징으로 하는 챔버의 개폐장치.
제1항에 있어서, 상기 연장부 외주와 상기 어댑터의 도입부 외주를 각각 연결시키는 지지구를 구비하여 착탈되는 것을 특징으로 하는 챔버의 개폐장치.
측정소자가 배치되는 일정한 내측 공간부를 갖고, 일측에 상기 공간부와 연통된 연장부를 구비한 챔버와,

상기 연장부 내측에 설치되어 챔버의 안팎의 압력차에 의해 상기 챔버의 공기유출구멍을 개폐하는 마개와,

상기 챔버의 연장부와 일측이 착탈 가능하게 결합 형성된 어댑터와,

상기 챔버에 일정한 압력이 형성된 후 상기 마개를 챔버 측으로 압압하여 상기 챔버의 공기유출구멍을 폐쇄하기 위하여 상기 어댑터 일측에 관통되어 상기 마개와 수평되게 설치되는 푸시로드와,

상기 어댑터 하단부에 연통되어 상기 챔버의 공간부를 진공 형성하기 위한 진공펌프로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공챔버장치.