KR20010060814A - Method of manufacture in oeld - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 영상표시장치인 유기전계발광표시소자(Organic EL display ;OELD)의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 알(R), 지(G), 비(B) 각 화소 경계에 절연격벽을 형성하고 격벽사이에 R, G, B 유기층을 형성하여 종래의 풀-컬러(full-color) 유기전계발광표시소자에서 발생하는 발광색의 겹침현상과 크로스-토크(cross-talk)를 제거하여 선명도를 향상시킨 유기전계발광표시소자의 제조 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an organic EL display (OELD), which is an image display device. In particular, an insulating partition wall is formed at each pixel boundary of an egg (R), a paper (G), and a non-B (pixel). R, G, and B organic layers are formed between the partition walls to eliminate the overlapping and cross-talk of emission colors generated in the conventional full-color organic light emitting display device, thereby improving sharpness. The present invention relates to a method of manufacturing an organic light emitting display device.
최근에 각광받는 유기 EL 소자는 현재 주로 차량의 계기판이나 휴대폰, 카메라등의 표시부에 적용되고 있으나 씨알티(CRT)나 엘씨디(LCD)와 마찬가지로 결국에는 동화상을 구현하는 텔레비젼(TV), 컴퓨터 모니터등으로의 적용을 목표로 한다.In recent years, organic EL devices, which are in the spotlight, are mainly applied to display panels such as vehicle dashboards, mobile phones, and cameras, but TVs, computer monitors, etc., which eventually implement moving images like CRT and LCD, are used. We aim at application to.
종래의 풀-컬러 유기 EL 소자제작시 몇가지 방법을 사용한 예가 있는데, R, G, B 각 화소를 각각 형성하는 방법과, 컬러 필터를 이용하여 백색발광을 투과시키는 방법과, 청색발광한 빛을 CCM(Color Change Madium)을 사용하여 변환하는 방법 등이 있다.There are several examples using conventional methods for fabricating full-color organic EL devices, including forming R, G, and B pixels, transmitting white light using a color filter, and CCM using blue light. (Color Change Madium) to convert.
여기서, R, G, B 각 화소를 각각 형성하는 방법은 CCM이나 컬러 필터를 사용하지 않아 빛의 손실이 없고 유기물이 가지는 다양한 색깔을 구현할 수 있는 장점이 있어서 보편적으로 사용되고 있다.Here, the method of forming each of the R, G, and B pixels is generally used because it does not use a CCM or a color filter, so that there is no loss of light and the various colors of the organic material can be realized.
그러면, 도 1을 참조하여 종래의 유기 EL 소자의 기본 구조에 대해 설명하기로 한다.Next, the basic structure of the conventional organic EL device will be described with reference to FIG. 1.
종래의 유기 EL 소자는 도시된 바와 같이, 기판(1) 위에 양극전극(2)을 형성하고, 그 양극전극(2) 위에 유기층(3)을 형성하고, 그 위에 음극전극(4)을 형성하고 있다.In the conventional organic EL device, as shown, an anode electrode 2 is formed on a substrate 1, an organic layer 3 is formed on the anode electrode 2, and a cathode electrode 4 is formed thereon. have.
여기서, 기판(1)은 투명 기판으로 양극과 음극 사이에 가해진 전압에 의하여 유기층(3)에서 발광하는 빛을 투과하여 볼 수 있어야 한다.Here, the substrate 1 is a transparent substrate and must be able to see through the light emitted from the organic layer 3 by the voltage applied between the anode and the cathode.
그리고, 양극전극(2)은 정공(hole)을 공급하여 주는 역할을 하는 것으로, 유기층(3)에서 발광된 빛을 투과할 수 있는 ITO와 같은 투명 전극이 사용된다.In addition, the anode electrode 2 serves to supply holes, and a transparent electrode such as ITO capable of transmitting light emitted from the organic layer 3 is used.
또한, 유기층(3)은 발광층을 포함하고 있고 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층 및 전자 주입층 등을 포함하고 있다.In addition, the organic layer 3 includes a light emitting layer and includes a hole injection layer, a hole transport layer, an electron transport layer, an electron injection layer, and the like.
음극전극(4)은 전자를 공급하여 주는 곳으로 전자를 원활하게 공급하여 주기 위하여 일함수가 낮은 금속을 사용하여야 한다.The cathode electrode 4 should be made of metal having a low work function in order to supply electrons smoothly to the place where electrons are supplied.
상기 양극전극(2)에 (+) 전압을 인가하고 음극전극(4)에 (-) 전압을 인가하면 유기층(3) 내로 양극전극(2)에서는 정공이 주입되고 음극전극(4)으로부터는 전자가 주입되어 전자와 재결합에 의하여 빛을 발하게 된다.When a positive voltage is applied to the positive electrode 2 and a negative voltage is applied to the negative electrode 4, holes are injected into the organic layer 3 from the positive electrode 2 and electrons from the negative electrode 4. Is injected to emit light by recombination with electrons.
이때 발광된 빛은 기판(1)을 통하여 방출되게 되어 디스플레이(display)로 제작시 기판방향에서 표시된 정보를 볼 수 있다.At this time, the emitted light is emitted through the substrate 1 so that the information displayed in the direction of the substrate can be seen when fabricating the display.
그러나, 이와 같이 미세패턴된 ITO 위에 세도우(shadow) 마스크(mask)를 사용하여 R, G, B 각 화소를 형성된 종래의 유기전계발광표시소자에 있어서는, 각 픽셀(pixel)(3)의 경계부가 겹치게 형성되어 있다. 이렇게 형성된 경우 유기물의 전도성 때문에 구동하려는 픽셀의 주변 픽셀이 함께 구동되는 크로스-토크(cross-talk)가 생길 수 있고, 구동하고자 하는 픽셀의 발광색에 픽셀 경계부에 겹치게 형성된 유기물의 발광이 함께 일어나서 발광색의 겹침현상이 일어날 수 있어 유기 EL 소자의 선명도가 저하되는 문제점이 있었다.However, in the conventional organic light emitting display device in which R, G, and B pixels are formed by using a shadow mask on the fine patterned ITO, the boundary portion of each pixel 3 is used. Are formed to overlap. In this case, due to the conductivity of the organic material, a cross-talk may be generated in which peripheral pixels of the pixel to be driven are driven together, and light emission of the organic material formed to overlap the pixel boundary with the emission color of the pixel to be driven occurs. Overlapping may occur, resulting in a decrease in the clarity of the organic EL device.
도 2는 종래의 유기 EL 소자에서의 전하의 흐름을 나타낸 단면도로서, 부호 a는 픽셀(3) 중심부에서의 전하의 흐름을 나타낸 것이고, 부호 b는 유기물(3)이 겹치게 형성된 부분에서의 전하의 흐름을 나타낸 것이고, 부호 c는 유기물(3)이 겹치게 형성된 부분을 나타낸 것이다. 이때, 유기물이 겹치게 형성된 부분(c)에서 전하가 화살표 b와 같이 흐를 수 있는데, 이럴 경우 풀-컬러 유기 EL 소자에서 레드(Red) 픽셀이 발광할 경우 레드 픽셀과 겹치는 그린(Green) 픽셀이 함께 발광하게 되어 유기 EL 소자의 선명도가 저하되는 문제점이 있었다.2 is a cross-sectional view showing the flow of electric charges in the conventional organic EL device, in which a represents the flow of electric charges in the center of the pixel 3, and b is the electric charge in the portion where the organic material 3 is overlapped. The flow is shown, and the symbol c represents the portion in which the organic material 3 is formed to overlap. In this case, charges may flow as shown by the arrow b in the portion (c) in which the organic material overlaps. In this case, when the red pixel emits light in the full-color organic EL device, the green pixel overlapping the red pixel is also present. There was a problem that light emission was caused and the sharpness of the organic EL device was lowered.
따라서, 본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명은 R, G, B 각 화소 경계에 절연격벽을 형성하고 격벽사이에 R, G, B 유기층을 형성하여 종래의 풀-컬러(full-color) 유기전계발광표시소자에서 발생하는 발광색의 겹침현상과 크로스-토크(cross-talk)을 제거하여 선명도를 향상시킨 유기전계발광표시소자의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and the present invention forms an insulating partition at each pixel boundary of R, G, and B, and forms an organic layer of R, G, and B between the partitions, so that the conventional full-color It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing an organic light emitting display device having improved clarity by eliminating cross-talk and cross-talk of emission colors generated in the organic light emitting display device.
도 1은 종래의 유기전계발광표시소자의 단면도1 is a cross-sectional view of a conventional organic light emitting display device
도 2는 종래의 유기전계발광표시소자에서의 전하의 흐름을 나타낸 단면도2 is a cross-sectional view showing the flow of charge in a conventional organic light emitting display device
도 3은 본 발명의 절연격벽 형성에 의한 전하의 흐름을 나타낸 단면도3 is a cross-sectional view showing the flow of electric charge by forming the insulating partition wall of the present invention.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명에 의한 유기전계발광표시소자의 제조 방법을 나타낸 제조 공정도4A to 4E are manufacturing process diagrams illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.
도 5는 본 발명에 의한 절연격벽에 의한 음극전극 패턴을 나타낸 단면도5 is a cross-sectional view showing a cathode electrode pattern by the insulating partition wall according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings
1 : 기판 2 : 양극전극1 substrate 2 anode electrode
3 : 유기층 4 : 음극전극3: organic layer 4: cathode electrode
10, 20 : 절연격벽 30 : 음극패턴용 절연격벽10, 20: insulation barrier 30: insulation barrier for cathode pattern
12 : ITO 라인 13 : R, G, B12: ITO Line 13: R, G, B
14 : 메탈 라인14 metal line
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 유기전계발광표시소자의 제조 방법은,In order to achieve the above object, a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention,
기판 위에 투명전극으로 된 양극전극을 일정간격으로 다수개로 형성하는 단계와,Forming a plurality of anode electrodes of transparent electrodes on the substrate at regular intervals;
상기 양극전극과 양극전극 사이에 색겹침 방지용 절연격벽을 상기 양극전극의 높이보다 높게 형성하는 단계와,Forming an insulation barrier for preventing color overlap between the anode electrode and the anode electrode higher than the height of the anode electrode;
상기 양극전극 및 색겹침 방지용 절연격벽이 형성된 결과물 위에 상기 양극전극 및 색겹침 방지용 절연격벽과 일정간격으로 서로 교차하여 매트릭스 형태를 갖도록 다수개의 음극전극 패턴용 절연격벽을 형성하는 단계와,Forming a plurality of insulating barrier ribs for the cathode electrode pattern to have a matrix shape on the resultant material on which the anode electrode and the insulation barrier for preventing color overlap are formed and intersect with the anode electrode and the insulation barrier for preventing color overlap at a predetermined interval;
상기 음극전극 패턴용 절연격벽과 상기 색겹침 방지용 절연격벽 사이로 셔도우 마스크를 사용하여 각 화소를 형성하는 단계와,Forming each pixel using a shadow mask between the insulating partition wall for the cathode electrode pattern and the insulating partition wall for preventing color overlap;
상기 음극전극 패턴용 절연격벽 사이로 마스크 없이 음극전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.And forming a cathode electrode without a mask between the insulating partition walls for the cathode electrode pattern.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 색겹침 방지용 절연격벽은 포토리소그래피 공정을 사용하여 형성시키는 것을 특징으로 한다.According to an embodiment of the present invention, the insulating barrier for preventing color overlap is formed using a photolithography process.
그리고, 상기 색겹침 방지용 절연격벽은 0.1∼0.5㎛ 두께로 형성한 것을 특징으로 한다.In addition, the insulating barrier for preventing color overlap is formed in a thickness of 0.1 ~ 0.5㎛.
그리고, 상기 색겹침 방지용 절연격벽의 재료는 SiO2, SiON, SiNx, BaO, Y2O3등의 절연물질 중 하나를 사용하는 것을 특징으로 한다.The material of the insulating barrier rib for preventing color overlap is characterized in that it uses one of insulating materials such as SiO 2 , SiON, SiNx, BaO, Y 2 O 3, and the like.
그리고, 상기 음극전극 패턴용 절연격벽은 포토리소그래피 공정을 사용하여 형성시키는 것을 특징으로 한다.In addition, the insulating partition wall for the cathode electrode pattern is formed using a photolithography process.
또한, 상기 음극전극 패턴용 절연격벽은 0.5∼5㎛ 두께로 형성한 것을 특징으로 한다.In addition, the insulating partition wall for the cathode electrode pattern is characterized in that formed to a thickness of 0.5 ~ 5㎛.
이하, 본 발명의 실시예에 관하여 첨부도면을 참조하면서 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
또, 실시예를 설명하기 위한 모든 도면에서 동일한 기능을 갖는 것은 동일한 부호를 사용하고 그 반복적인 설명은 생략한다.In addition, in all the drawings for demonstrating an embodiment, the thing with the same function uses the same code | symbol, and the repeated description is abbreviate | omitted.
도 3은 본 발명의 절연격벽 형성에 의한 전하의 흐름을 나타낸 단면도로서, R, G, B 각 화소의 경계를 전기가 통하지 않는 재료를 사용하여 격벽(10)을 형성한 것이다.Fig. 3 is a cross-sectional view showing the flow of electric charge by the formation of the insulating partition wall of the present invention, wherein the partition wall 10 is formed by using a material through which the boundaries of the R, G, and B pixels do not pass.
종래의 풀-컬러 유기 EL 소자에서 발생하는 발광색의 색겹침 현상과 크로스-토크를 제거하기 위해서는 구동하고자 하는 픽셀만을 선별적으로 구동하여야 한다. 이를 위해 본 발명은 도 3과 같이 R, G, B 각 화소(3)의 경계를 전기가 통하지 않는 재료를 사용하여 격벽을 만들어 줌으로서 경계부에서의 발광을 방지하여 색겹침과 크로스-토크를 제거할 수 있다. 이때, 격벽은 픽셀과 픽셀 사이에 전기가 통하지 않게 절연물질을 사용하여 높이 0.1∼0.5㎛ 정도로 형성하려는 유기층(3)의 두께보다 두껍게 격벽(10)을 형성한다.In order to eliminate the color overlap phenomenon and cross-talk of the emission color generated in the conventional full-color organic EL device, only the pixels to be driven must be selectively driven. To this end, the present invention prevents light emission at the boundary to remove color overlap and cross-talk by making partition walls using materials that do not electrically conduct the boundary of each of the R, G, and B pixels 3 as shown in FIG. can do. At this time, the partition wall forms the partition wall 10 thicker than the thickness of the organic layer 3 to be formed at a height of about 0.1 to 0.5 μm using an insulating material so that electricity does not pass between the pixel and the pixel.
도 4a 내지 도 4e는 본 발명에 의한 유기전계발광표시소자의 제조 방법을 나타낸 제조 공정도이다.4A to 4E are manufacturing process diagrams illustrating a method of manufacturing an organic light emitting display device according to the present invention.
먼저, 양극전극으로 ITO(Indium Tin Oxide)(12)를 패터닝한다(도 4a).First, indium tin oxide (ITO) 12 is patterned with an anode electrode (FIG. 4A).
도 4b와 같이, 발광색겹침을 방지할 목적으로 사용되는 절연격벽(이하, '색겹침방지 격벽'이라 칭함)(20)을 ITO 라인(12)의 사이에 두께 0.1∼0.5㎛ 정도로 포토리소그래피 공정을 사용하여 형성시킨다(도 4b).As shown in FIG. 4B, a photolithography process is performed between the insulating partition walls (hereinafter referred to as 'color overlap partition walls') 20 used for the purpose of preventing light emission color overlap between the ITO lines 12 with a thickness of about 0.1 to 0.5 µm. It is formed using (Fig. 4b).
그 후에 색겹침방지 격벽(20)과 직각 방향의 일정한 간격으로 포토리소그래피 공정을 사용하여 음극전극 패턴용 절연격벽(30)을 두께 0.5∼5㎛ 정도로 형성시킨다(도 4c).Thereafter, the insulating partition wall 30 for the cathode electrode pattern is formed to have a thickness of about 0.5 to 5 µm by using a photolithography process at regular intervals in a direction perpendicular to the color overlap prevention partition wall 20 (FIG. 4C).
상기 음극전극 패턴용 절연격벽(30)을 형성한 후 셔도우 마스크를 사용하여 유기층(13)을 형성하는데, 레드(Red ; R), 그린(Green ; G), 블루(Blue ; B) 픽셀을 순서대로 형성한다(도 4d).After forming the insulating partition wall 30 for the cathode electrode pattern, the organic layer 13 is formed using a shadow mask, and red (R), green (G), and blue (B) pixels are formed. It is formed in order (FIG. 4D).
그리고, 마지막으로 음극전극(14)을 형성하면 되는데, 음극전극 패턴용 절연격벽(30)에 의해 음극전극 형성용 마스크 없이 자연적으로 패턴이 형성된다(도 4e).Finally, the cathode electrode 14 may be formed. The pattern is naturally formed without the cathode electrode forming mask by the insulating partition wall 30 for the cathode electrode pattern (FIG. 4E).
여기서, 절연격벽의 재료로는 SiO2, SiON, SiNx, BaO, Y2O3등의 절연물질을 사용한다, RGB 픽셀 형성시 사용하는 셔도우 마스크는 1개만을 사용할 수 있는데, 레드(R) 픽셀을 형성한 후 마스크를 이동시켜 그린(G), 블루(B)를 차례로 형성하면 된다.In this case, insulating materials such as SiO 2 , SiON, SiNx, BaO, and Y 2 O 3 may be used as the material of the insulating barrier. Only one shadow mask may be used to form an RGB pixel. After forming the pixel, the mask may be moved to form green (G) and blue (B) in this order.
도 5는 본 발명에 의한 절연격벽에 의한 음극전극 패턴을 나타낸 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing a cathode electrode pattern by an insulating partition wall according to the present invention.
위의 방법과 같이 유기층 형성전에 고선명도 절연격벽과 음극전극 패턴용 절연격벽을 형성하므로서 유기물의 전도성 때문에 종래의 유기 EL 소자에서 발생할 수 있는 크로스-토크를 제거할 수 있고 RGB 픽셀 간의 경계를 명확하게 하여 발광색의 겹침 현상도 해결할 수 있다.By forming a high-definition insulating barrier and an insulating barrier for the cathode electrode pattern before forming the organic layer as described above, it is possible to eliminate the cross-talk that can occur in the conventional organic EL element due to the conductivity of the organic material and to clearly define the boundary between the RGB pixels. Thus, the overlapping phenomenon of emission colors can also be solved.
본 발명의 유기전계발광표시소자의 판넬 제작 방법은 휴대용 단말기(휴대폰용 및 PDA용 단말기의 표시장치), CNS(Car Navigation System), 게임기의 표시판 등에 이용되어질 수 있다.The panel manufacturing method of the organic light emitting display device of the present invention can be used in portable terminals (display devices of mobile phones and PDA terminals), car navigation systems (CNS), display panels of game machines, and the like.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 유기전계발광표시소자의 제조 방법에 의하면, RGB 픽셀 사이에 절연격벽을 형성하여 유기물의 전도성에 의해 종래의 유기 EL 소자에서 발생하던 발광색의 겹침현상과 크로스 토크를 제거할 수 있어서 풀-컬러 유기 EL 소자의 선명도를 향상시킬 수 있고, 본 발명에 의해 소자 제작시 유기물이 절연격벽속에 형성되기 때문에 픽셀 구동시 구동하지 않는 픽셀을 보호할 수 있어서 소자의 안정성 향상 및 수명을 개선시킬 수 있는 효과가 있다.As described above, according to the manufacturing method of the organic light emitting display device according to the present invention, the overlapping phenomenon and the cross talk of the emission color generated in the conventional organic EL device due to the conductivity of the organic material by forming an insulating partition between the RGB pixels In this case, the sharpness of the full-color organic EL device can be improved, and the organic material is formed in the insulating barrier rib during fabrication of the device, thereby protecting pixels that are not driven during pixel driving, thereby improving stability of the device. And there is an effect that can improve the life.
아울러 본 발명의 바람직한 실시예들은 예시의 목적을 위해 개시된 것이며, 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가등이 가능할 것이며, 이러한 수정 변경등은 이하의 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.In addition, preferred embodiments of the present invention are disclosed for the purpose of illustration, those skilled in the art will be able to various modifications, changes, additions, etc. within the spirit and scope of the present invention, these modifications and changes should be seen as belonging to the following claims. something to do.
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100915546B1 (en) * | 2003-03-31 | 2009-09-07 | 주식회사 동진쎄미켐 | Cathode separator of organic electro luminescence display device |
| KR101461780B1 (en) * | 2012-03-23 | 2014-11-13 | 가부시끼가이샤 도시바 | Organic electroluminescent device and lighting apparatus |
-
1999
- 1999-12-28 KR KR1019990063256A patent/KR20010060814A/en not_active Application Discontinuation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| N231 | Notification of change of applicant | ||
| N231 | Notification of change of applicant | ||
| WITN | Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid |